JPH0528933U - Laser Doppler instrument calibration equipment - Google Patents

Laser Doppler instrument calibration equipment

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JPH0528933U
JPH0528933U JP7838591U JP7838591U JPH0528933U JP H0528933 U JPH0528933 U JP H0528933U JP 7838591 U JP7838591 U JP 7838591U JP 7838591 U JP7838591 U JP 7838591U JP H0528933 U JPH0528933 U JP H0528933U
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JP
Japan
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measurement
laser doppler
cylindrical body
line
calibration
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Application number
JP7838591U
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Japanese (ja)
Inventor
修太郎 明星
勲 池田
俊夫 五十嵐
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Nippon Steel Corp
Original Assignee
Sumitomo Metal Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 検出部(光学ヘッド部)を外さずに測定現場
近辺の較正位置へ移動させ、被測定体との物理条件を変
えずに迅速, 確実に測定精度をチェックできるレーザド
ップラー計測器における較正装置の提供。 【構成】 被測定体2用ライン外のライン近接位置に較
正装置1である円筒体4を設け、レーザドップラー計測
器3を通常測定位置より円筒体4位置まで移動自在とす
る。またこの円筒体4位置まで移動したレーザドップラ
ー計測器3で、円筒体4の周表面を擬似測定面とし、演
算器5の指令によって円筒体4の回転数を変更しつつ測
定を行うことにより、較正を行う。そして速度の積分に
より板長さ測定を行うに際し、較正装置により、移動パ
ターンを種々設定して較正することにより、測定精度を
0.1%に維持する。
(57) [Summary] [Purpose] You can quickly and reliably check the measurement accuracy without moving the detector (optical head) to a calibration position near the measurement site without changing the physical conditions with the DUT. Providing a calibration device for laser Doppler measurement. [Structure] A cylindrical body 4 which is a calibration device 1 is provided at a line proximity position outside the line for the object to be measured 2, and the laser Doppler measuring device 3 is movable from the normal measurement position to the cylindrical body 4 position. Further, with the laser Doppler measuring device 3 moved to the position of the cylindrical body 4, the peripheral surface of the cylindrical body 4 is used as a pseudo measurement surface, and measurement is performed while changing the rotation speed of the cylindrical body 4 according to a command from the computing unit 5, Calibrate. When measuring the plate length by integrating the velocity, the calibration device sets various movement patterns and calibrates them to improve the measurement accuracy.
Maintain at 0.1%.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

この考案は、鉄鋼・非鉄金属等の製造ライン(熱間・冷間を問わず)において 、鋼板等の被測定体の移動速度または移動距離(被測定体長さ)を光のドップラ ー効果の利用により非接触で測定するレーザドップラー計測器の精度を、オフラ インで迅速にチェックして較正する較正装置に関するものである。 This invention uses the Doppler effect of light to determine the moving speed or moving distance (measured body length) of a measured body such as a steel plate in a manufacturing line for steel and non-ferrous metals (whether hot or cold). The present invention relates to a calibration device for rapidly checking and calibrating the accuracy of a laser Doppler measuring instrument, which makes non-contact measurement.

【0002】[0002]

【従来の技術および考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by conventional techniques and devices]

被測定体にレーザー光を照射すると散乱光の周波数は、ドップラー効果により 、入射光の周波数f0からシフトする。この散乱光の周波数fd は、被測定体の移 動速度に比例するため、fd を計測することにより、被測定体の移動速度Vを知 ることができると共に、この速度Vを時間で積算することにより、被測定体の移 動距離,即ち被測定体の長さLが得られることとなる。When the measured object is irradiated with laser light, the frequency of scattered light shifts from the frequency f 0 of incident light due to the Doppler effect. Since the frequency f d of this scattered light is proportional to the moving speed of the object to be measured, the moving speed V of the object to be measured can be known by measuring f d , and this speed V can be calculated with time. By integrating, the moving distance of the measured object, that is, the length L of the measured object can be obtained.

【0003】 この種のレーザドップラーによる測定は、図6に示すように、レーザビームの 照射角度θが大きく影響する。即ち、照射角度がわずか傾いている分で、ドップ ラー効果が出るため、この角度がズレると計測値が変わってしまう。そのためこ の照射角度θの設定を、較正装置にて、確認すると共に、調整(補正)する必要 がある。In this type of laser Doppler measurement, as shown in FIG. 6, the irradiation angle θ of the laser beam has a great influence. That is, since the Doppler effect is produced even if the irradiation angle is slightly inclined, the measured value changes if this angle shifts. Therefore, it is necessary to confirm and adjust (correct) the setting of this irradiation angle θ with a calibration device.

【0004】 そして従来、この種の較正装置は、較正すべき計測器を使用する現場には、一 般的に設置していない。また仮に設置してあったとしても、計測器を設置する該 当ラインの側近である環境の良い運転室や電気室である。そのため、ライン上の 計測器から取り外した検出部(光学ヘッド部)を運転室や電気室内に搬入し、較 正装置へある精度で注意深く位置決めしてセットした後にテストを実施し、テス ト終了後また取り外したラインの正式場所に検出部を据付けて配線や配管の接続 作業後、測定を開始することとなる。Conventionally, this type of calibration device is generally not installed in the field where the measuring instrument to be calibrated is used. Even if it is installed, it is an operator's cab or an electric room in a good environment near the line where the measuring instrument is installed. Therefore, the detector (optical head) removed from the measuring instrument on the line was carried into the operator's cab or electric room, carefully positioned and set to the calibration device with a certain degree of accuracy, and then tested, and after the test was completed. In addition, the detector will be installed at the official location of the removed line, and the measurement will be started after connecting the wiring and piping.

【0005】 なおレーザドップラー計測器としては、特開昭62-126378 号公報等に示されて いるが、この特開昭62-126378 号は移動する被測定体の測定点が被測定体の厚み により高さ方向に変化し、レーザ照射角度θが変化する分を厚さ計でドップラー 速度計測定誤差を補正し測定誤差を低減させる速度計であり、測定現場での較正 方法については何も記載されていない。A laser Doppler measuring device is disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. Sho 62-126378 and the like. In Japanese Unexamined Patent Publication No. Sho 62-126378, the measuring point of a moving measured object is the thickness of the measured object. Changes in the height direction due to the change in laser irradiation angle θ, and the thickness meter corrects the measurement error by the Doppler velocimeter, which reduces the measurement error.There is no description about the calibration method at the measurement site. It has not been.

【0006】 また較正装置としては、特開平1-288706 号公報や実開昭64-38501号公報が知 られている。ここで前者は、板幅計などの較正時に、ライン内の板の代わりに基 準板を自動的に搬送する装置を用い、ライン停止時に測定するものである。その ため、各種寸法の基準板を出し入れする必要があり、省力効果はあるものの実用 的でなく、しかも通常オフライン較正が主流である。そして後者は、各種寸法を 1つの基準板にまとめ、少しづつ位置をずらすことにより、1枚の基準板での測 定を可能とするものである。Further, as a calibration device, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 1-288706 and Japanese Utility Model Laid-Open No. 64-38501 are known. Here, the former is to measure when the line is stopped by using a device that automatically conveys the reference plate instead of the plate in the line when calibrating the plate width meter. Therefore, it is necessary to insert and remove the reference plates of various sizes, which is labor-saving but not practical, and offline calibration is usually the mainstream. In the latter, various dimensions are combined into one reference plate and the positions are gradually shifted to enable measurement with one reference plate.

【0007】 なおレーザドップラー計測器の稼動状況や不調時のチェック方法としては、レ ーザ発信器や制御盤の入・出力チェック、即ちシステムの電気系チェック。これ と計測器における検出部(光学ヘッド部)の取付け角度・距離の位置チェック、 即ちシステムの光学・機械系チェックに分かれる。そしてそれぞれ単独にチェッ クするために、多大の工数がかかり、また工数の割にはシステム総合での判定は 困難である。As a method for checking the operating status and malfunction of the laser Doppler measuring device, input / output check of the laser transmitter and control panel, that is, electric system check of the system is performed. This is divided into the position check of the mounting angle and distance of the detector (optical head) in the measuring instrument, that is, the optical and mechanical system check of the system. Since each check is performed individually, a great deal of man-hours are required, and it is difficult to make a comprehensive judgment for the man-hours.

【0008】 また較正装置が測定現場側にあったとしても検出部(光学ヘッド部)を取り外 し、較正装置に検出部(光学ヘッド部)を設定して測定開始となるため、検出部 (光学ヘッド部)と制御盤との間における光ケーブル等の経路環境(外部ノイズ やケーブル長)が異なり、また光学系も全くの再現には至らない。Even if the calibration device is on the measurement site side, the detection unit (optical head unit) is removed, and the detection unit (optical head unit) is set in the calibration device to start measurement. The route environment (external noise and cable length) of the optical cable etc. between the optical head part) and the control panel is different, and the optical system cannot be reproduced at all.

【0009】 この考案は前述した事情に鑑みて創案されたもので、その目的はレーザドップ ラー計測器において、測定現場で検出部(光学ヘッド部)を取り外すことなく、 近辺に設置された較正装置上へ移動させるだけで、被測定体との物理条件を変え ずに誰でも迅速かつ確実に測定精度のチェックができる較正装置を提供すること にある。The present invention was created in view of the above-mentioned circumstances, and its purpose is to improve a laser Doppler measuring device on a calibration device installed in the vicinity without removing the detection unit (optical head) at the measurement site. The objective is to provide a calibration device that allows anyone to quickly and reliably check the measurement accuracy without changing the physical conditions of the object to be measured by simply moving it to.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

この考案によれば、較正装置を、測定現場における検出部(光学ヘッド部)の 近く、例えばレーザドップラー計測器を、ライン上に被測定体の流れと直角方向 に、検出部の据付け高さ等の位置を変えずに、そのままリトラクト可能な門型架 台を設ける。そしてチェック時には、計測器の検出部を移動させて較正装置の真 上へもって行き、正式測定と同じ環境(光学系,電気系共の環境)のため、オン ラインとほぼ同一条件での較正が迅速で確実に実施できるようにする。 According to this invention, the calibration device is installed near the detection unit (optical head) at the measurement site, for example, the laser Doppler measuring device is installed on the line in the direction perpendicular to the flow of the object to be measured, the installation height of the detection unit, etc. A gate-type mount that can be retracted without changing the position of will be installed. When checking, move the detector of the measuring instrument and bring it directly above the calibration device. Since the environment is the same as formal measurement (both the optical system and the electrical system), calibration under almost the same conditions as online is possible. Be able to do it quickly and reliably.

【0011】[0011]

【実施例】【Example】

以下、この考案のレーザドップラー計測器の較正装置を、図示する実施例によ って説明する。 Hereinafter, a calibration apparatus for a laser Doppler measuring device according to the present invention will be described with reference to the illustrated embodiment.

【0012】 被測定体2の移動速度や移動距離を光ドップラー効果の利用によって計測する レーザドップラー計測器3の測定値を較正する較正装置1(図1参照)は、被測 定体2用のライン上である通常計測位置およびライン外のライン近接位置の間を 移動自在に設けられているレーザドップラー計測器3と、このレーザドップラー 計測器3が移動する前記ライン近接位置に設けられており、被測定体2の測定面 と同じ高さとなって擬似測定面となる周表面を有する円筒体4と、この円筒体4 の回転速度を被測定体2の停止状態から最高移動速度状態までに対応すべく連続 的に回転変更指令を発すると共に、その回転数の実測およびレーザドップラー計 測器3の計測実績を記録し、円筒体4の回転数の実測とレーザドップラー計測器 3の計測実績との計測誤差を演算して記憶する演算器5とを備えてなる。The calibration device 1 (see FIG. 1) for calibrating the measurement value of the laser Doppler measuring device 3 for measuring the moving speed and the moving distance of the object 2 to be measured is used for the object 2 to be measured. The laser Doppler measuring device 3 is provided so as to be movable between the normal measurement position on the line and the line proximity position outside the line, and is provided at the line proximity position where the laser Doppler measurement device 3 moves. A cylindrical body 4 having a peripheral surface that is the same height as the measurement surface of the object to be measured 2 and serves as a pseudo measurement surface, and the rotation speed of the cylindrical body 4 corresponds to the state from the stopped state of the object to be measured 2 to the maximum moving speed state. In order to continuously issue the rotation change command, the actual measurement of the rotational speed and the measurement result of the laser Doppler measuring instrument 3 are recorded, and the actual measurement of the rotational speed of the cylindrical body 4 and the laser Doppler measuring instrument 3 are performed. And a calculator 5 that calculates and stores a measurement error from the measurement result of.

【0013】 なおこの図1での符号6は、レーザドップラー計測器3のバックアップ用とし て設けられているタッチローラ式のPLG 発信器である。また符号7は、電気室( 図示せず)に設けられており、PLG 発信器(電気)6からの計測値および後述す る検出部8の信号処理部からの信号が送られてくる、被測定体2用ラインの制御 用である電気シーケンサーである。Reference numeral 6 in FIG. 1 is a touch roller type PLG oscillator provided as a backup for the laser Doppler measuring instrument 3. Further, reference numeral 7 is provided in an electric room (not shown), and the measured value from the PLG oscillator (electricity) 6 and the signal from the signal processing unit of the detecting unit 8 which will be described later are transmitted. It is an electric sequencer for controlling the line for the measuring object 2.

【0014】 そしてこの実施例におけるレーザドップラー計測器3は、He−Neレーザ,光検 出器,信号処理部からなる検出部8と、光学ヘッド部(光プローブ)9とを備え ている。また演算器5は、操作員用として運転室(図示せず)に設けられた信号 処理パソコンで構成されており、検出部8のHe−Neレーザおよび電気シーケンサ ー7からの信号が送られてくる。The laser Doppler measuring instrument 3 in this embodiment is provided with a detector 8 including a He-Ne laser, an optical detector, and a signal processor, and an optical head (optical probe) 9. The computing unit 5 is composed of a signal processing personal computer provided in an operator's cab (not shown) for an operator, and receives signals from the He-Ne laser of the detection unit 8 and the electric sequencer 7. come.

【0015】 このような構成からなる較正装置1を使用して行う、レーザドップラー計測器 3による測定値の較正は、以下に述べるようにして行う。The calibration of the measurement value by the laser Doppler measuring instrument 3 performed by using the calibration device 1 having such a configuration is performed as described below.

【0016】 まず測定モード時には、レーザドップラー計測器3での計測値(図1での検出 部8からの出力)とタッチローラ式のPLG 発信器6からのデータとを、電気シー ケンサー7によって読み取り、画面表示とプリント出力とを行う。First, in the measurement mode, the electric sequencer 7 reads the measurement value of the laser Doppler measuring device 3 (output from the detecting unit 8 in FIG. 1) and the data from the touch roller type PLG transmitter 6. , Screen display and print output.

【0017】 次に較正モード時には、検出部である検出部8および光学ヘッド部(光プロー ブ)9をレーザドップラー計測器3へ取付けた状態で、レーザドップラー計測器 3をライン近接位置の較正位置まで移動させる。Next, in the calibration mode, the laser Doppler measuring instrument 3 is attached to the laser Doppler measuring instrument 3 with the detecting portion 8 and the optical head portion (optical probe) 9 being the detecting portion, and the laser doppler measuring instrument 3 is calibrated at the line proximity position. Move to.

【0018】 そして較正装置1からの円筒体4でのPLG 信号と、レーザドップラー計測器3 からの計測信号とを、演算器5で一定時間カウントして画面表示およびプリント 出力し、またこれらの測定データはRAM デイスク(図示せず)に保存して必要時 にプリント出力する。Then, the PLG signal from the calibration device 1 in the cylindrical body 4 and the measurement signal from the laser Doppler measuring device 3 are counted by the calculator 5 for a certain period of time and displayed on the screen and printed out. The data is saved in a RAM disk (not shown) and printed out when necessary.

【0019】 そしてこれらの較正結果の利用法は、PLG の測定値を主とし、レーザの誤差を 種々の条件毎に記憶し、実生産時の測定値を制御用CPUへ送る際に、誤差補正 (較正値)を加える。なお較正をより現実に近づけるため、円筒体4の回転数は 、0〜最高通板速度まで可変速下で行う。つまり計測誤差は、被測定体2の移動 速度が変わる時に生じやすいので、加速,減速,急加速,急停止等の各種パター ンを想定して行ない、PLG の値とレーザ実績とを比較する。The method of using these calibration results is mainly for the measured value of PLG, the error of the laser is stored for each of various conditions, and when the measured value at the time of actual production is sent to the control CPU, error correction is performed. Add (calibration value). In order to bring the calibration closer to reality, the rotational speed of the cylindrical body 4 is set to a variable speed from 0 to the maximum plate passing speed. In other words, measurement errors are likely to occur when the moving speed of the device under test 2 changes, so various patterns such as acceleration, deceleration, sudden acceleration, and sudden stop are assumed, and the PLG value is compared with the laser performance.

【0020】 図2は、ライン全体でのレーザドップラー計測器3の設置場所を示すライン概 略図である。また図3は、実操業を想定した被測定体2の移動速度に対応したMa x 回転数を円筒体4に与え、加速,一定速,減速を行ない、回転総数(PLG の測 定値)と円筒体径とより被測定体2の長さに換算し、レーザでの測長と比較した 結果を示す表である。FIG. 2 is a schematic line diagram showing installation locations of the laser Doppler measuring instrument 3 on the entire line. In addition, Fig. 3 shows that the cylinder 4 is given a Max rotation speed corresponding to the moving speed of the measured object 2 assuming actual operation, acceleration, constant speed, and deceleration are performed, and the total number of rotations (PLG measurement value) and cylinder It is a table which shows the result of having converted into the length of the to-be-measured body 2 from body diameter, and having compared with the length measurement by a laser.

【0021】 なお図4の表に測長済みコイル(重量と板厚×幅により算出)での測定結果を 、また図5の表に較正装置による較正結果を示す。このように測定精度チェック 結果は、実測済のテストコイルを使用して測定の結果、誤差0.1%とPLG ・携帯 型メジャーリングに比較して最も精度が良く、また較正装置による較正結果、誤 差は±0.1%以内と良好であった。The table of FIG. 4 shows the measurement results of the length-measured coil (calculated from the weight and the plate thickness × width), and the table of FIG. 5 shows the calibration results of the calibration device. In this way, the measurement accuracy check result is the most accurate as compared with PLG / portable measuring, as a result of measurement using a test coil that has been actually measured, and the calibration result by the calibration device, The error was good within ± 0.1%.

【0022】[0022]

【考案の効果】[Effect of the device]

従来の較正方法で、オフラインでの較正装置をラインからもっと離れて設置し 、計測器の検出部(光学ヘッド部)は取り外してその設置場所まで移動させてい たものを、本考案では、検出部(光学ヘッド部)を取付けた状態で、計測器を較 正位置まで移動させることで行うので、計測器の較正作業を容易に行うことがて きる。 In the conventional calibration method, the off-line calibration device was installed farther from the line, and the detector (optical head) of the measuring instrument was removed and moved to the installation location. Since the measuring device is moved to the calibration position with the (optical head) attached, the calibration work of the measuring device can be easily performed.

【0023】 またレーザドップラー計測器における計測精度のチェックを、保守専門の部署 の人に依頼しなくても、工場のオペレータで、操業小休止のチャンスに迅速かつ も簡単に較正チェック作業が可能となる。そのため、保守員の負荷軽減に寄与出 来ると共に、計測器の精度をアップさせることがてき、高精度を維持しての測定 を行うことができる。Also, without having to ask the person in the department specializing in maintenance to check the measurement accuracy of the laser Doppler measuring instrument, the operator of the factory can perform the calibration check work quickly and easily at the chance of a short break in operation. Become. Therefore, the load on the maintenance staff is reduced, and the accuracy of the measuring instrument can be improved, and the measurement can be performed while maintaining high accuracy.

【0024】 さらに既設ラインに設置する場合は従来の方式を残して切替使用を可とすれば 、計測器の稼動率は高いものに維持することが可能となる。Further, when installed in an existing line, if the conventional method is left and switching is allowed, the operating rate of the measuring instrument can be maintained high.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この考案の較正装置を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing a calibration device of the present invention.

【図2】レーザドップラー計測器の設置位置例を示すラ
イン概略図である。
FIG. 2 is a schematic line diagram showing an example of an installation position of a laser Doppler measuring instrument.

【図3】この考案の較正装置でのレーザドップラー計測
器と基準PLG との測定結果の比較表である。
FIG. 3 is a comparison table of measurement results of a laser Doppler measuring instrument and a reference PLG in the calibration device of the present invention.

【図4】測定済みコイルでの実測定テスト結果を示す表
である。
FIG. 4 is a table showing the results of actual measurement tests on measured coils.

【図5】較正装置による較正結果を示す表である。FIG. 5 is a table showing a calibration result by the calibration device.

【図6】レーザドップラー計測器の原理を示す概略図で
ある。
FIG. 6 is a schematic diagram showing the principle of a laser Doppler measuring instrument.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…較正装置、2…被測定体、3…レーザドップラー計
測器、4…円筒体、5…演算器、6…PLG 発信器、7…
電気シーケンサー、8…検出部、9…光学ヘッド部(光
プローブ)。
1 ... Calibration device, 2 ... Object to be measured, 3 ... Laser Doppler measuring instrument, 4 ... Cylindrical body, 5 ... Arithmetic unit, 6 ... PLG transmitter, 7 ...
Electric sequencer, 8 ... Detection unit, 9 ... Optical head unit (optical probe).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 五十嵐 俊夫 茨城県鹿島郡鹿島町大字光3番地 鹿島プ ラント工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshio Igarashi No. 3 Hikari, Oshima, Kashima-cho, Kashima-gun, Ibaraki Prefecture Kashima Plant Industry Co., Ltd.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】被測定体の移動速度や移動距離を光ドップ
ラー効果の利用によって計測するレーザドップラー計測
器の測定値を較正する較正装置であり、 前記被測定体用のライン上である通常計測位置およびラ
イン外のライン近接位置の間を移動自在に設けられてい
るレーザドップラー計測器と、このレーザドップラー計
測器が移動する前記ライン近接位置に設けられており、
前記被測定体の測定面と同じ高さとなって擬似測定面と
なる周表面を有する円筒体と、この円筒体の回転速度を
前記被測定体の停止状態から最高移動速度状態までに対
応すべく連続的に回転変更指令を発すると共に、その回
転数の実測およびレーザドップラー計測器の計測実績を
記録し、円筒体の回転数の実測とレーザドップラー計測
器の計測実績との計測誤差を演算して記憶する演算器と
を備えてなることを特徴とするレーザドップラー計測器
の較正装置。
1. A calibration device for calibrating a measurement value of a laser Doppler measuring device for measuring a moving speed and a moving distance of a measured object by using an optical Doppler effect, and a normal measurement on a line for the measured object. Position and a laser Doppler measuring device provided movably between the line proximity position outside the line, and the laser Doppler measuring device is provided at the line proximity position to move,
A cylindrical body having a peripheral surface which becomes the same height as the measurement surface of the measured object and becomes a pseudo measurement surface, and the rotation speed of this cylindrical object is adjusted from the stopped state of the measured object to the maximum moving speed state. While continuously issuing a rotation change command, record the actual measurement of the number of revolutions and the measurement results of the laser Doppler measuring device, and calculate the measurement error between the actual measurement of the rotational speed of the cylindrical body and the measurement result of the laser Doppler measuring device. A calibration device for a laser Doppler measuring instrument, comprising: an arithmetic unit for storing the information.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015073026A (en) * 2013-10-03 2015-04-16 Jukiオートメーションシステムズ株式会社 Mounting system, calibration method, and program
JP2017173216A (en) * 2016-03-25 2017-09-28 株式会社小野測器 Calibration system and calibration method of laser doppler velocimeter

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