JPH05287335A - Ａｕ微小球の製造方法 - Google Patents
Ａｕ微小球の製造方法Info
- Publication number
- JPH05287335A JPH05287335A JP12145692A JP12145692A JPH05287335A JP H05287335 A JPH05287335 A JP H05287335A JP 12145692 A JP12145692 A JP 12145692A JP 12145692 A JP12145692 A JP 12145692A JP H05287335 A JPH05287335 A JP H05287335A
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- Japan
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- wire
- diameter
- microspheres
- charging voltage
- explosion
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- Pending
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- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 球径10〜 100μｍのＡｕ微小球を線爆法にて
効率良く安定して作ることを目的とする。 【構成】 上記課題を解決する為の本発明の技術的手段
は、線爆法（Ａｕ線間で放電させＡｕを爆発溶融させ冷
却固化して、微小球とする）にて粒径10〜 100μｍのＡ
ｕ微小球を作るにおいて、Ａｕの線径、電極間距離およ
び充電電圧を相互の相関（充電エネルギー）のもとに線
径を 0.3〜 1.5mm、電極間距離を50〜200mm及び充電電
圧 2.5〜 5.0ｋＶとすることを特徴とするものである。
効率良く安定して作ることを目的とする。 【構成】 上記課題を解決する為の本発明の技術的手段
は、線爆法（Ａｕ線間で放電させＡｕを爆発溶融させ冷
却固化して、微小球とする）にて粒径10〜 100μｍのＡ
ｕ微小球を作るにおいて、Ａｕの線径、電極間距離およ
び充電電圧を相互の相関（充電エネルギー）のもとに線
径を 0.3〜 1.5mm、電極間距離を50〜200mm及び充電電
圧 2.5〜 5.0ｋＶとすることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品用バンプ等に
用いられるＡｕ微小球の製造方法に係り、特に球径10〜
100μｍのＡｕ微小球を作るのに好適な製造方法に関す
るものである。
用いられるＡｕ微小球の製造方法に係り、特に球径10〜
100μｍのＡｕ微小球を作るのに好適な製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術と課題】従来の微小球の製造方法の一つに
線爆法があり、各種焼結用粉体を作るのに、またパイプ
内面の硬さを上げる為のコーティングの一方法として用
いられていた。また、他の方法としては、溶融金属をノ
ズルから吐出させ表面張力を利用して球体にし、固化さ
せる方法等がとられていた。しかし、球径10〜 100μｍ
のＡｕ微小球の製造においては、線爆法ではコンデンサ
ーの制御が難しく粒径のばらつきが大きくまたＡｕが高
価なこともあり、あまり試みられていなかった。また、
Ａｕの溶融金属をノズルから吐出させる方法では、球径
10〜 100μｍの微小球を作る為の精度及び侵食されない
ノズルを作るのが困難で設備が高価で大型となる等の課
題があった。
線爆法があり、各種焼結用粉体を作るのに、またパイプ
内面の硬さを上げる為のコーティングの一方法として用
いられていた。また、他の方法としては、溶融金属をノ
ズルから吐出させ表面張力を利用して球体にし、固化さ
せる方法等がとられていた。しかし、球径10〜 100μｍ
のＡｕ微小球の製造においては、線爆法ではコンデンサ
ーの制御が難しく粒径のばらつきが大きくまたＡｕが高
価なこともあり、あまり試みられていなかった。また、
Ａｕの溶融金属をノズルから吐出させる方法では、球径
10〜 100μｍの微小球を作る為の精度及び侵食されない
ノズルを作るのが困難で設備が高価で大型となる等の課
題があった。
【０００３】
【発明の目的】本発明は上記課題を解決すべくなされた
もので、球径10〜 100μｍのＡｕ微小球を線爆法にて効
率良く安定して作ることを目的とする。
もので、球径10〜 100μｍのＡｕ微小球を線爆法にて効
率良く安定して作ることを目的とする。
【０００４】
【発明の構成】上記課題を解決する為の本発明の技術的
手段は、線爆法（Ａｕ線間で放電させＡｕを爆発溶融さ
せ冷却固化して微小球とする）にて粒径10〜 100μｍの
Ａｕ微小球を作るにおいて、Ａｕの線径、電極間距離お
よび充電電圧を相互の相関（充電エネルギー）のもとに
線径を 0.3〜 1.5mm、電極間距離を50〜 200mm及び充電
電圧 2.5〜 5.0ｋＶとすることを特徴とするものであ
る。
手段は、線爆法（Ａｕ線間で放電させＡｕを爆発溶融さ
せ冷却固化して微小球とする）にて粒径10〜 100μｍの
Ａｕ微小球を作るにおいて、Ａｕの線径、電極間距離お
よび充電電圧を相互の相関（充電エネルギー）のもとに
線径を 0.3〜 1.5mm、電極間距離を50〜 200mm及び充電
電圧 2.5〜 5.0ｋＶとすることを特徴とするものであ
る。
【０００５】
【作用】上記のように構成された本発明のＡｕ微小球の
製造方法によればＡｕの線径、電極間距離および充電電
圧を相互に相関を持たせ最適な充電エネルギーとするこ
とにより、所定の粒径及び分布とし、効率良く安定して
Ａｕ微小数を保つものである。ここで球径10〜 100μｍ
のＡｕの微小球を得る為に、線径を 0.3〜 1.5mm、電極
間距離を50〜 200mm及び充電電圧 2.5〜 5.0ｋＶを最適
としたのは、線径が1.5mmを超えるとまた、充電電圧が
2.5ｋＶ未満だと粒径が大きくなり、一方、線径が 0.3
未満また、充電電圧が５ｋＶを超えると粒径が小さくな
ることによる。また、電極間距離は50mm未満だと１回の
線爆における製造効率が悪く、 200mmを超えると装置が
大型となり、回収効率、作業性が悪くなるからである。
製造方法によればＡｕの線径、電極間距離および充電電
圧を相互に相関を持たせ最適な充電エネルギーとするこ
とにより、所定の粒径及び分布とし、効率良く安定して
Ａｕ微小数を保つものである。ここで球径10〜 100μｍ
のＡｕの微小球を得る為に、線径を 0.3〜 1.5mm、電極
間距離を50〜 200mm及び充電電圧 2.5〜 5.0ｋＶを最適
としたのは、線径が1.5mmを超えるとまた、充電電圧が
2.5ｋＶ未満だと粒径が大きくなり、一方、線径が 0.3
未満また、充電電圧が５ｋＶを超えると粒径が小さくな
ることによる。また、電極間距離は50mm未満だと１回の
線爆における製造効率が悪く、 200mmを超えると装置が
大型となり、回収効率、作業性が悪くなるからである。
【０００６】Ａｕは、爆発溶融後固化しにくく線爆ボッ
クスが狭いとボックス壁に溶着してしまう為、歩留りを
低下させることとなるので、ボックスは広い方がよく50
cm角ぐらい以上が好ましい。また、ボックス内をＨｅな
どの不活性ガスで充填すると冷却媒体としての効果があ
る。更に、回収効率を上げる為には、底面の微小球受部
をロート状にしておくことやボックス壁面を鏡面にして
おくものである。
クスが狭いとボックス壁に溶着してしまう為、歩留りを
低下させることとなるので、ボックスは広い方がよく50
cm角ぐらい以上が好ましい。また、ボックス内をＨｅな
どの不活性ガスで充填すると冷却媒体としての効果があ
る。更に、回収効率を上げる為には、底面の微小球受部
をロート状にしておくことやボックス壁面を鏡面にして
おくものである。
【０００７】
【実施例】以下に実施例について述べる。線爆装置の基
本回路を図１に示す。電源１、充電器２、コンデンサー
３、電極４、Ａｕ線５からなる。図２に線爆装置の概略
図を示す。６、コンデンサーボックス、７コンプレッサ
ー、８、放電爆発部、９、操作装置、10、集塵器からな
る。図３に線爆発ボックスを示す。電源部のコンデンサ
ーの定格は、容量80μＦ、耐圧８ｋＶである。線爆発ボ
ックスはステンレス鋼製の直方体で、電極間距離は 200
mm以内で任意に調整できる。なお導線が置かれる電極部
分は消耗を小さくする為と導電性を保持する目的からＭ
ｏチップを用いている。この線爆発ボックスの上部より
ビニール管で電気集塵器に接続する。電気集塵器には、
生成粉体を捕集するためのその集塵フィルターを設けて
ある。吸収能力は 1.2ｍ3 ／min である。次の条件にて
Ａｕの微小球を作った。 １．Ａｕ、 0.5mmφ、 2.5ｋＶ、 150mm ２．Ａｕ、 1.0mm 、 4.5ｋＶ、 50mm 然して、粒径（μｍ）と度数（％）からの粒径分布につ
いて図４、図５の結果を得た。
本回路を図１に示す。電源１、充電器２、コンデンサー
３、電極４、Ａｕ線５からなる。図２に線爆装置の概略
図を示す。６、コンデンサーボックス、７コンプレッサ
ー、８、放電爆発部、９、操作装置、10、集塵器からな
る。図３に線爆発ボックスを示す。電源部のコンデンサ
ーの定格は、容量80μＦ、耐圧８ｋＶである。線爆発ボ
ックスはステンレス鋼製の直方体で、電極間距離は 200
mm以内で任意に調整できる。なお導線が置かれる電極部
分は消耗を小さくする為と導電性を保持する目的からＭ
ｏチップを用いている。この線爆発ボックスの上部より
ビニール管で電気集塵器に接続する。電気集塵器には、
生成粉体を捕集するためのその集塵フィルターを設けて
ある。吸収能力は 1.2ｍ3 ／min である。次の条件にて
Ａｕの微小球を作った。 １．Ａｕ、 0.5mmφ、 2.5ｋＶ、 150mm ２．Ａｕ、 1.0mm 、 4.5ｋＶ、 50mm 然して、粒径（μｍ）と度数（％）からの粒径分布につ
いて図４、図５の結果を得た。
【０００８】
【発明の効果】以上のように本発明のＡｕ微小球の製造
方法によれば、Ａｕの線径、電極間距離および充電電圧
を相互に相関を持たせ最適な充電エネルギーとすること
により、所定の粒径及び分布とし、球径10〜 100μｍの
Ａｕ微小数が効率良く安定して得られるという優れた効
果を有するものである。
方法によれば、Ａｕの線径、電極間距離および充電電圧
を相互に相関を持たせ最適な充電エネルギーとすること
により、所定の粒径及び分布とし、球径10〜 100μｍの
Ａｕ微小数が効率良く安定して得られるという優れた効
果を有するものである。
【図１】本発明のＡｕ微小球の製造方法の一実施例にお
ける線爆発装置の基本回路図。
ける線爆発装置の基本回路図。
【図２】本発明のＡｕ微小球の製造方法の一実施例にお
ける線爆発装置概要図。
ける線爆発装置概要図。
【図３】本発明のＡｕ微小球の製造方法の一実施例にお
ける線爆ボックスを示す図。
ける線爆ボックスを示す図。
【図４】粒径分布を示すグラフ。
【図５】粒径分布を示すグラフ。
【符号の説明】 １ 電源 ２ 充電器 ３ コンデンサー ４ 電極 ５ 線材
Claims (1)
- 【請求項１】 線爆法（Ａｕ線間で放電させ、Ａｕを爆
発溶融させ冷却固化して微小球とする）にて粒径10〜 1
00μｍのＡｕ微小球を作るにおいてＡｕの線径、電極間
距離及び充電電圧を相互の相関（充電エネルギー）のも
とに線径を0.3〜 1.5mm、電極間距離を50〜 200mm及び
充電電圧 2.5〜 5.0ｋＶとすることを特徴とするＡｕ微
小球の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12145692A JPH05287335A (ja) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | Ａｕ微小球の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12145692A JPH05287335A (ja) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | Ａｕ微小球の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05287335A true JPH05287335A (ja) | 1993-11-02 |
Family
ID=14811584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12145692A Pending JPH05287335A (ja) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | Ａｕ微小球の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05287335A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6821579B2 (en) * | 1998-11-13 | 2004-11-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Surface treatment method using electric discharge, and an electrode for the surface treatment method |
| US9187831B2 (en) | 2002-09-24 | 2015-11-17 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Method for coating sliding surface of high-temperature member, high-temperature member and electrode for electro-discharge surface treatment |
| US9284647B2 (en) | 2002-09-24 | 2016-03-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method for coating sliding surface of high-temperature member, high-temperature member and electrode for electro-discharge surface treatment |
-
1992
- 1992-04-15 JP JP12145692A patent/JPH05287335A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6821579B2 (en) * | 1998-11-13 | 2004-11-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Surface treatment method using electric discharge, and an electrode for the surface treatment method |
| US9187831B2 (en) | 2002-09-24 | 2015-11-17 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Method for coating sliding surface of high-temperature member, high-temperature member and electrode for electro-discharge surface treatment |
| US9284647B2 (en) | 2002-09-24 | 2016-03-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method for coating sliding surface of high-temperature member, high-temperature member and electrode for electro-discharge surface treatment |
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