JPH05273455A - Optical repeating device of laser beam machine - Google Patents
Optical repeating device of laser beam machineInfo
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- JPH05273455A JPH05273455A JP4074348A JP7434892A JPH05273455A JP H05273455 A JPH05273455 A JP H05273455A JP 4074348 A JP4074348 A JP 4074348A JP 7434892 A JP7434892 A JP 7434892A JP H05273455 A JPH05273455 A JP H05273455A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、トーチへ向かうレーザ
光の光軸を調節するレーザ加工機の光中継装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical repeater for a laser processing machine that adjusts the optical axis of laser light directed to a torch.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のレーザ加工機の光中継装
置は、レーザ光を偏向させる第１ミラー部と、この第１
ミラー部からのレーザ光を偏向させてトーチ側へ送る第
２ミラー部とを備えている。これら第１および第２ミラ
ー部はそれぞれ、レーザ光を偏向させるミラーを有する
環状のミラーブロックと、このミラーブロックを受け入
れフローティグ状態で保持する凹部を有するミラーホル
ダと、このミラーホルダを上記ミラーへの入射光の光軸
回りに回転させる駆動手段とを備えており、上記ミラー
ホルダには、その底面から上記凹部へ螺入されミラーブ
ロックの底面に当接してミラーブロックを角度調節する
３個１対の押しボルトと、上記角度調節後のミラーブロ
ックを位置決めする固定ボルトとが設けられている。2. Description of the Related Art Conventionally, an optical repeater for a laser beam machine of this type has a first mirror section for deflecting a laser beam and a first mirror section.
And a second mirror section for deflecting the laser light from the mirror section and sending it to the torch side. Each of the first and second mirror portions has an annular mirror block having a mirror for deflecting laser light, a mirror holder having a concave portion for receiving the mirror block and holding it in a floating state, and the mirror holder to the mirror. Driving means for rotating the incident light around the optical axis of the mirror holder. The mirror holder is screwed into the recess from the bottom surface thereof and abuts against the bottom surface of the mirror block to adjust the angle of the mirror block. A pair of push bolts and a fixing bolt for positioning the mirror block after the angle adjustment are provided.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
光中継装置では、ミラーを角度調節する際、３個１対の
押しボルトでミラーブロックを押し引きしながら、ミラ
ーブロック底面の３点の高さ位置で角度調節するため、
調節のための基準が存在せず、調節が不安定になるとと
もに、調節に時間がかかるという問題がある。However, in the above-mentioned conventional optical repeater, when adjusting the angle of the mirror, while pushing and pulling the mirror block with a pair of three push bolts, the height of three points on the bottom surface of the mirror block is increased. To adjust the angle at the position
There is a problem that the standard for adjustment does not exist, the adjustment becomes unstable, and the adjustment takes time.
【０００４】また、角度の調節量が、押しボルトのねじ
のピッチに左右されるために、不明確であり、微少な角
度調節が困難であるという問題もある。Further, since the amount of angle adjustment depends on the pitch of the screw of the push bolt, there is a problem that it is unclear and it is difficult to make a minute angle adjustment.
【０００５】本発明はかかる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、ミラーの角度調節を
安定してかつ短時間で行い得るとともに、ミラーの微少
な角度調節が可能なレーザ加工機の光中継装置を提供し
ようとするものである。The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to make it possible to stably adjust the angle of the mirror in a short time and to make a fine adjustment of the angle of the mirror. It is intended to provide an optical repeater for a processing machine.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、レーザ光が通過する光路の
途中にミラー部を設け、このミラー部を、レーザ光を偏
向させるミラーを収容した環状の周縁部を有するミラー
ブロックと、このミラーブロックを受け入れ保持する有
底円筒状のミラーホルダと、このミラーホルダを上記ミ
ラーへの入射光の光軸回りに回転させる駆動手段とを備
えた構成とするレーザ加工機の光中継装置において、上
記ミラーホルダの内周面に、上記ミラーブロックの周縁
部と嵌合する嵌合部を設け、上記ミラーブロックの周縁
部と上記ミラーホルダの嵌合部との嵌合面を、上記ミラ
ーの角度を変化させるように球面に形成し、上記ミラー
ホルダに、外周面から上記嵌合部まで貫通するスリット
を円周方向に対して斜めに形成し、このスリットに、上
記ミラーブロックの周縁部に螺合可能な押えねじを外側
から挿通し、この押えねじを、上記ミラーブロックをミ
ラーホルダに対して摺動させるように上記スリット内で
移動可能に設けるとともに、上記ミラーブロックの周縁
部との螺合によりミラーブロックをミラーホルダに保持
する構成とするものである。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 provides a mirror part in the optical path through which the laser beam passes, and the mirror part deflects the laser beam. A mirror block having a ring-shaped peripheral edge portion, a bottomed cylindrical mirror holder that receives and holds the mirror block, and a drive unit that rotates the mirror holder around the optical axis of the light incident on the mirror. In the optical repeater of the laser processing machine having a configuration provided with, a fitting portion that fits with a peripheral portion of the mirror block is provided on an inner peripheral surface of the mirror holder, and the peripheral portion of the mirror block and the mirror holder are provided. The fitting surface with the fitting portion is formed into a spherical surface so as to change the angle of the mirror, and a slit penetrating from the outer peripheral surface to the fitting portion is formed in the mirror holder in the circumferential direction. It is formed diagonally and a captive screw that can be screwed into the peripheral edge of the mirror block is inserted from the outside into this slit, and the captive screw is inserted in the slit so that the mirror block slides with respect to the mirror holder. And the mirror block is held by the mirror holder by screwing with the peripheral edge of the mirror block.
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明に従属するものであり、上記ミラーホルダの外周面
に、上記スリットに沿って目盛を設ける構成とするもの
である。The invention according to claim 2 is dependent on the invention according to claim 1, and is configured such that a scale is provided along the slit on the outer peripheral surface of the mirror holder.
【０００８】[0008]
【作用】上記の構成により、請求項１記載の発明では、
押えねじとミラーブロックとの螺合を緩め、この状態で
押えねじををスリット内で移動させると、ミラーブロッ
クがミラーホルダに対して回動するとともに、スリット
の傾斜角度に従って、ミラーホルダに対するミラーブロ
ックの傾きひいてはミラーの角度が無段階にかつ徐々に
変化する。ミラーの角度が定まると、押えねじをミラー
ブロックの周縁部に向かってさらに螺進させることによ
り、ミラーブロックは、ミラーホルダに保持される。With the above construction, in the invention according to claim 1,
When the screw between the cap screw and the mirror block is loosened and the cap screw is moved in the slit in this state, the mirror block rotates with respect to the mirror holder, and the mirror block with respect to the mirror holder moves in accordance with the tilt angle of the slit. The tilt of the mirror, and thus the angle of the mirror, changes steplessly and gradually. When the angle of the mirror is determined, the holding screw is further screwed toward the peripheral portion of the mirror block, so that the mirror block is held by the mirror holder.
【０００９】請求項２記載の発明では、ミラーホルダの
目盛に従ってミラーの角度を定めておけば、メインテナ
ンスのためにミラーブロックを取り外して再度取り付け
る際、ミラーの角度を、ミラーホルダの目盛に従って再
現することができる。また、１対のミラーを同角度に合
わせる際には、目盛に従って合わせる。According to the second aspect of the present invention, if the angle of the mirror is determined according to the scale of the mirror holder, when the mirror block is removed and reattached for maintenance, the angle of the mirror is reproduced according to the scale of the mirror holder. be able to. When the pair of mirrors are aligned at the same angle, they are aligned according to the scale.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１１】図１は、本発明の一実施例に係る光中継装
置Ｂを備えたレーザ加工機Ａを示し、１はレーザ光Ｌの
光源、２はこの光源１からのレーザ光Ｌが通過する第１
光路であり、この第１光路２には、上記光中継装置Ｂが
接続されている。この光中継装置Ｂは、上記第１光路２
を通過したレーザ光Ｌを偏向して、第２光路３へ送るよ
うになっている。この第２光路３は、上記光中継装置Ｂ
と、ワークＷを溶接加工するトーチ４との間に設けられ
ており、この第２光路３内には、上記光中継装置Ｂから
のレーザ光Ｌを上記トーチ４の方向へ偏向するベンドミ
ラー５と、このベンドミラー５からのレーザ光Ｌをワー
クＷ上で集束させる集光レンズ６とが配設されている。FIG. 1 shows a laser processing machine A equipped with an optical repeater B according to an embodiment of the present invention, where 1 is a light source of a laser beam L and 2 is a laser beam L from the light source 1. First
It is an optical path, and the optical repeater B is connected to the first optical path 2. The optical repeater B has the first optical path 2
The laser light L that has passed through is deflected and sent to the second optical path 3. The second optical path 3 is the optical repeater B.
And a torch 4 for welding the work W, and in the second optical path 3, a bend mirror 5 that deflects the laser light L from the optical repeater B in the direction of the torch 4. And a condenser lens 6 for focusing the laser light L from the bend mirror 5 on the work W.
【００１２】上記光中継装置Ｂは、上記光源１からのレ
ーザ光Ｌを偏向させる第１ミラー部８と、この第１ミラ
ー部８からのレーザ光Ｌを偏向させて上記トーチ４側へ
送る第２ミラー部９とを備えており、これら第１および
第２ミラー部８，９はそれぞれ、図２に示すように、ミ
ラーブロック１０と、このミラーブロック１０をフロー
ティング状態で保持する有底円筒状のミラーホルダ１１
と、このミラーホルダ１１を回転させる駆動手段である
駆動モータ１２とを有している。The optical repeater B deflects the laser light L from the light source 1 and a first mirror portion 8 and deflects the laser light L from the first mirror portion 8 to send it to the torch 4 side. As shown in FIG. 2, each of the first and second mirror portions 8 and 9 includes a mirror block 10 and a bottomed cylindrical shape that holds the mirror block 10 in a floating state. Mirror holder 11
And a drive motor 12 which is a drive means for rotating the mirror holder 11.
【００１３】上記ミラーブロック１０は、レーザ光Ｌを
偏向させるミラー１４を有しており、このミラー１４
は、その表面を露出させた状態で環状の周縁部１５に収
容されている。The mirror block 10 has a mirror 14 for deflecting the laser light L.
Are accommodated in the annular peripheral portion 15 with their surfaces exposed.
【００１４】上記ミラーホルダ１１は、図３に示すよう
に、上記ミラーブロック１０を囲む円筒状の側壁１６
と、この側壁１６とともに凹部を形成する底壁１７とを
有しており、上記側壁１６の内周面には、上記ミラーブ
ロック１０の周縁部１５と嵌合する嵌合部１８が環状に
突設されている。この嵌合部１８と上記ミラーブロック
１０の周縁部１５との嵌合面はそれぞれ、球面状の凹面
と凸面とで形成されており、上記ミラーブロック１０の
周縁部１５は、上記ミラーホルダ１１の嵌合部１８に収
められ保持されるようになっている。上記ミラーブロッ
ク１０は、その周縁部１５を上記嵌合部１８の凹面に沿
って上下に摺動させることにより、角度を変え得るよう
になっている。このミラーブロック１０の角度を変化さ
せることにより、上記ミラー１４もその角度を変化さ
せ、レーザ反射光Ｌｂの光軸を変えるようになってい
る。As shown in FIG. 3, the mirror holder 11 has a cylindrical side wall 16 surrounding the mirror block 10.
And a bottom wall 17 that forms a recess together with the side wall 16, and a fitting portion 18 that fits with the peripheral edge portion 15 of the mirror block 10 projects annularly on the inner peripheral surface of the side wall 16. It is set up. The fitting surfaces of the fitting portion 18 and the peripheral edge portion 15 of the mirror block 10 are formed by a spherical concave surface and a convex surface, respectively, and the peripheral edge portion 15 of the mirror block 10 of the mirror holder 11 is formed. It is adapted to be housed and held in the fitting portion 18. The angle of the mirror block 10 can be changed by sliding the peripheral edge portion 15 up and down along the concave surface of the fitting portion 18. By changing the angle of the mirror block 10, the mirror 14 also changes its angle and changes the optical axis of the laser reflected light Lb.
【００１５】上記駆動モータ１２は、その駆動軸１９が
上記ミラーホルダ１１の底壁１７に接続されており、上
記ミラー１４へのレーザ入射光Ｌａの光軸回りに上記ミ
ラーホルダ１１を回転させるようになっている。The drive shaft 12 of the drive motor 12 is connected to the bottom wall 17 of the mirror holder 11 so as to rotate the mirror holder 11 around the optical axis of the laser incident light La incident on the mirror 14. It has become.
【００１６】上記ミラーホルダ１１の側壁１６には、外
周面から上記嵌合部１８まで貫通するスリット２０が円
周方向に対して斜めに形成されており、このスリット２
０には、外側から押えねじ２１が挿通されている。この
押えねじ２１は、上記スリット２０内を抜けた後、上記
ミラーブロック１０の周縁部１５に形成されたねじ孔２
２に出没可能に螺着されている。この押えねじ２１は、
上記ねじ孔２２との螺合を緩めた状態で上記スリット２
０内を移動可能に設けられており、この移動により上記
ミラーブロック１０をミラーホルダ１１に対して摺動さ
せるようになっている。そして、この押えねじ２１は、
ミラー１４の角度が決まると、上記ねじ孔２２に向かっ
てさらに螺進され、上記ねじ孔２２内に螺入して、ミラ
ーブロック１０の周縁部１５との間で上記ミラーホルダ
１１を挟持するようにして、ミラーブロック１０を保持
固定するようになっている。The side wall 16 of the mirror holder 11 is formed with a slit 20 penetrating from the outer peripheral surface to the fitting portion 18 obliquely with respect to the circumferential direction.
A cap screw 21 is inserted from the outside into 0. The cap screw 21 is screwed into the screw hole 2 formed in the peripheral edge portion 15 of the mirror block 10 after passing through the slit 20.
It is screwed so that it can appear and disappear in 2. This cap screw 21
In the state where the screw with the screw hole 22 is loosened, the slit 2
It is provided so as to be movable in 0, and this movement causes the mirror block 10 to slide with respect to the mirror holder 11. And, the cap screw 21 is
When the angle of the mirror 14 is determined, the mirror 14 is further screwed toward the screw hole 22, and is screwed into the screw hole 22 so as to sandwich the mirror holder 11 with the peripheral edge portion 15 of the mirror block 10. Then, the mirror block 10 is held and fixed.
【００１７】また、上記ミラーホルダ１１の側壁１６の
外周面には、上記スリット２２に沿って目盛Ｍが設けら
れており、この目盛Ｍに合わせて押えねじ２１の挿通固
定位置を決め得るようになっている。Further, a scale M is provided along the slit 22 on the outer peripheral surface of the side wall 16 of the mirror holder 11, and the insertion and fixing position of the cap screw 21 can be determined in accordance with the scale M. Is becoming
【００１８】上記レーザ加工機Ａは、第１および第２ミ
ラー部８，９のミラー１４，１４の角度を設定した後、
ワークＷに対して溶接加工を行うようになっている。そ
の際、駆動モータ１２を駆動させずにレーザ光Ｌをトー
チ４から射出すると、レーザ光Ｌの光軸は動かない。一
方、両ミラー１４，１４が駆動モータ１２の駆動軸１９
に対して直交せず、傾斜状態で互いに平行に設定されて
いれば、駆動モータ１２の駆動に伴ってレーザ光Ｌの光
軸が変動し、トーチ４から射出されたレーザ光Ｌはウィ
ービングして、ワークＷの溶接箇所にくまなく照射され
る。In the laser processing machine A, after setting the angles of the mirrors 14 and 14 of the first and second mirror portions 8 and 9,
Welding is performed on the work W. At that time, if the laser light L is emitted from the torch 4 without driving the drive motor 12, the optical axis of the laser light L does not move. On the other hand, the two mirrors 14, 14 are driven by the drive shaft 19 of the drive motor 12.
If they are not orthogonal to each other and are set parallel to each other in an inclined state, the optical axis of the laser light L changes with the driving of the drive motor 12, and the laser light L emitted from the torch 4 is weaved. , Is irradiated all over the welded part of the work W.
【００１９】上記のウィービングの際、レーザ光Ｌは、
上記各駆動モータ１２の回転方向により異なる軌跡を描
くようになっている。上記両駆動モータ１２，１２が同
一回転方向で駆動していれば、レーザ光Ｌは、円を描く
ようにしてワークＷに照射される。また、一方の駆動モ
ータ１２のみを作動させ、他方の駆動モータ１２の作動
を停止させることによっても、レーザ光ＬはワークＷ上
に円を描く。さらに、両駆動モータ１２，１２が互いに
逆方向で駆動していれば、レーザ光Ｌは、左右にほぼ直
線状に振れながらワークＷに照射される。この振れ幅の
調節は、ミラー１４の角度を調節することにより可能で
ある。上記ウィービングにより、レーザ光Ｌの照射範囲
を広げることができるとともに、間隔の開いたワーク同
士の溶接が可能になる。During the above weaving, the laser light L is
A different trajectory is drawn depending on the rotation direction of each drive motor 12. If both drive motors 12 and 12 are driven in the same rotation direction, the laser light L is applied to the work W in a circular shape. Further, the laser light L also draws a circle on the work W by operating only one drive motor 12 and stopping the operation of the other drive motor 12. Further, if both drive motors 12 and 12 are driving in opposite directions, the laser light L irradiates the work W while oscillating in a substantially straight line from side to side. The swing width can be adjusted by adjusting the angle of the mirror 14. By the above-mentioned weaving, the irradiation range of the laser beam L can be widened, and welding of works with an interval is possible.
【００２０】次に、本発明の作用・効果について説明す
る。ミラーブロック１０と押えねじ２１との螺合を緩
め、この状態で押えねじ２１を傾斜状のスリット２０内
で移動させるだけで、ミラーブロック１０がミラーホル
ダ１１に対して回動して傾斜するので、ミラー１４の角
度を簡単かつ短時間で調節することができる。また、ス
リット２０が押えねじ２１の移動方向を案内するので、
ミラー１４の角度調節を安定して行うことができる。さ
らに、押えねじ２１は、スリット２０の傾斜角度に従っ
て無段階にかつ徐々に移動することができるので、ミラ
ー１４の微少な角度調節もできる。ミラー１４の角度が
定まると、押えねじ２１をミラーブロック１０の周縁部
１５のねじ孔２２に向かってさらに螺進させることによ
り、ミラーブロック１０とミラーホルダ１１とが挟着さ
れ、ミラーブロック１０は、保持固定される。Next, the operation and effect of the present invention will be described. By simply loosening the screwing between the mirror block 10 and the pressing screw 21 and moving the pressing screw 21 in the inclined slit 20 in this state, the mirror block 10 rotates and tilts with respect to the mirror holder 11. The angle of the mirror 14 can be adjusted easily and in a short time. Further, since the slit 20 guides the moving direction of the cap screw 21,
The angle of the mirror 14 can be adjusted stably. Further, the pressing screw 21 can be moved steplessly and gradually according to the inclination angle of the slit 20, so that the angle of the mirror 14 can be adjusted minutely. When the angle of the mirror 14 is determined, the cap screw 21 is further screwed toward the screw hole 22 of the peripheral edge portion 15 of the mirror block 10, whereby the mirror block 10 and the mirror holder 11 are sandwiched, and the mirror block 10 , Held and fixed.
【００２１】なお、ミラーホルダ１１の目盛Ｍに従って
ミラー１４の角度を定めておけば、メインテナンスのた
めにミラーブロック１０を取り外して再度取り付ける
際、ミラー１４の角度を、ミラーホルダ１１の目盛Ｍに
従って簡単に再現することができる。また、第１および
第２ミラー部８，９の１対のミラー１４，１４を同角度
に合わせる際に、両ミラー部８，９の目盛Ｍ，Ｍに従っ
て簡単に合わせることができる。従って、上記目盛Ｍを
利用してミラー１４の設定作業の能率を向上させること
ができる。If the angle of the mirror 14 is determined according to the scale M of the mirror holder 11, the angle of the mirror 14 can be easily adjusted according to the scale M of the mirror holder 11 when the mirror block 10 is removed and reattached for maintenance. Can be reproduced. Further, when the pair of mirrors 14, 14 of the first and second mirror portions 8, 9 are aligned at the same angle, they can be easily aligned according to the scales M, M of both mirror portions 8, 9. Therefore, it is possible to improve the efficiency of the setting work of the mirror 14 by using the scale M.
【００２２】なお、上記実施例では、光中継装置Ｂを光
源１とベンドミラー５との間に設けていたが、この発明
に係る光中継装置をレーザ加工機内で設ける位置に、特
に制限はなく、光源１と集光レンズ６との間であれば、
どこでも良い。Although the optical repeater B is provided between the light source 1 and the bend mirror 5 in the above embodiment, there is no particular limitation on the position where the optical repeater according to the present invention is provided in the laser beam machine. , Between the light source 1 and the condenser lens 6,
Anywhere
【００２３】また、上記実施例では、スリット２０に沿
って目盛Ｍを設けていたが、この目盛を設けない構成に
しても良い。Although the scale M is provided along the slit 20 in the above embodiment, the scale may not be provided.
【００２４】さらに、上記実施例では、ミラーブロック
１０の周縁部１５を球面状の凸面で形成し、ミラーホル
ダ１１の嵌合部１８を球面状の凹面で形成していたが、
これとは逆に、ミラーブロック１０の周縁部１５を球面
状の凹面で形成し、ミラーホルダ１１の嵌合部１８を球
面状の凸面で形成しても良い。Further, in the above embodiment, the peripheral edge portion 15 of the mirror block 10 is formed as a spherical convex surface, and the fitting portion 18 of the mirror holder 11 is formed as a spherical concave surface.
On the contrary, the peripheral portion 15 of the mirror block 10 may be formed as a spherical concave surface, and the fitting portion 18 of the mirror holder 11 may be formed as a spherical convex surface.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上のように、請求項１記載のレーザ加
工機の光中継装置によれば、押えねじをミラーホルダの
スリット内で移動させるだけで、ミラーの角度を簡単か
つ短時間で調節することができる。また、スリットが押
えねじの移動方向を案内するので、ミラーの角度調節を
安定して行うことができる。さらに、押えねじをスリッ
ト内で無段階にかつ徐々に移動させることができるの
で、ミラーの微少な角度調節もできる。As described above, according to the optical repeater of the laser beam machine of the first aspect, the angle of the mirror can be adjusted easily and in a short time only by moving the pressing screw in the slit of the mirror holder. can do. Further, since the slit guides the moving direction of the cap screw, the angle of the mirror can be adjusted stably. Further, since the holding screw can be moved steplessly and gradually within the slit, it is possible to make a minute angle adjustment of the mirror.
【００２６】請求項２記載のレーザ加工機の光中継装置
によれば、メインテナンスのためにミラーブロックを取
り外した後再度取り付ける際、ミラーの角度をミラーホ
ルダの目盛に従って簡単に再現することができる。ま
た、１対の両ミラーを同角度に合わせる際に、目盛に従
って簡単に合わせることができる。従って、ミラーの角
度設定作業の能率を向上させることができる。According to the optical repeater of the laser processing machine of the second aspect, when the mirror block is removed and then reattached for maintenance, the angle of the mirror can be easily reproduced according to the scale of the mirror holder. Further, when the pair of mirrors are aligned at the same angle, they can be easily aligned according to the scale. Therefore, the efficiency of the mirror angle setting work can be improved.
【図１】本発明の一実施例に係る光中継装置を備えたレ
ーザ加工機の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a laser processing machine including an optical repeater according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例に係るレーザ加工機の光中継
装置を構成するミラー部の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a mirror unit that constitutes an optical repeater of a laser beam machine according to an embodiment of the present invention.
【図３】同断面図である。FIG. 3 is a sectional view of the same.
４ トーチ ８ 第１ミラー部 ９ 第２ミラー部 １０ ミラーブロック １１ ミラーホルダ １２ 駆動モータ（駆動手段） １４ ミラー １５ ミラーブロックの周縁部 １８ ミラーホルダの嵌合部 ２０ スリット ２１ 押えねじ Ａ レーザ加工機 Ｂ 光中継装置 Ｌ，Ｌａ，Ｌｂ レーザ光 Ｍ 目盛 4 Torch 8 1st mirror part 9 2nd mirror part 10 Mirror block 11 Mirror holder 12 Drive motor (driving means) 14 Mirror 15 Peripheral part of mirror block 18 Mirror holder fitting part 20 Slit 21 Presser screw A Laser processing machine B Optical repeater L, La, Lb Laser light M Scale
Claims (2)
部が設けられており、このミラー部は、レーザ光を偏向
させるミラーを収容した環状の周縁部を有するミラーブ
ロックと、このミラーブロックを受け入れ保持する有底
円筒状のミラーホルダと、このミラーホルダを上記ミラ
ーへの入射光の光軸回りに回転させる駆動手段とを有し
ているレーザ加工機の光中継装置において、 上記ミラーホルダの内周面には、上記ミラーブロックの
周縁部と嵌合する嵌合部が設けられており、 上記ミラーブロックの周縁部と上記ミラーホルダの嵌合
部との嵌合面は、上記ミラーの角度を変化させるように
球面に形成されており、 上記ミラーホルダには、外周面から上記嵌合部まで貫通
するスリットが円周方向に対して斜めに形成されてお
り、 上記スリットには、上記ミラーブロックの周縁部に螺合
可能な押えねじが外側から挿通されており、 上記押えねじは、上記ミラーブロックをミラーホルダに
対して摺動させるように上記スリット内で移動可能に設
けられているとともに、上記ミラーブロックの周縁部と
の螺合によりミラーブロックをミラーホルダに保持して
いることを特徴とするレーザ加工機の光中継装置。1. A mirror section is provided in the middle of an optical path through which a laser beam passes, and the mirror section has a mirror block having an annular peripheral portion that accommodates a mirror for deflecting the laser beam, and the mirror block. In an optical repeater for a laser beam machine, which has a bottomed cylindrical mirror holder for receiving and holding, and drive means for rotating the mirror holder around the optical axis of incident light to the mirror, The inner peripheral surface is provided with a fitting portion for fitting with the peripheral portion of the mirror block, and the fitting surface between the peripheral portion of the mirror block and the fitting portion of the mirror holder is the angle of the mirror. Is formed to be a spherical surface so that the slits that penetrate from the outer peripheral surface to the fitting portion are formed obliquely with respect to the circumferential direction. Has a cap screw that can be screwed onto the peripheral edge of the mirror block inserted from the outside, and the cap screw is movable in the slit so that the mirror block slides with respect to the mirror holder. An optical repeater for a laser processing machine, which is provided and holds the mirror block in a mirror holder by screwing with the peripheral portion of the mirror block.
リットに沿って目盛が設けられている請求項１記載のレ
ーザ加工機の光中継装置。2. The optical repeater for a laser beam machine according to claim 1, wherein a scale is provided along the slit on the outer peripheral surface of the mirror holder.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4074348A JPH05273455A (en) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Optical repeating device of laser beam machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4074348A JPH05273455A (en) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Optical repeating device of laser beam machine |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05273455A true JPH05273455A (en) | 1993-10-22 |
Family
ID=13544528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4074348A Withdrawn JPH05273455A (en) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Optical repeating device of laser beam machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05273455A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6663247B1 (en) * | 2000-08-31 | 2003-12-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Reflecting mirror unit |
| JP2006078773A (en) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | Optical path adjusting element, optical path adjusting method, integrated optical element module, and manufacturing method therefor |
| US20160195384A1 (en) * | 2015-01-05 | 2016-07-07 | Mitutoyo Corporation | Interference objective lens and light interference measuring device |
-
1992
- 1992-03-30 JP JP4074348A patent/JPH05273455A/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105758294A (en) * | 2015-01-05 | 2016-07-13 | 株式会社三丰 | Interference objective lens and light interference measuring device |
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| DE102016200014B4 (en) | 2015-01-05 | 2023-02-02 | Mitutoyo Corporation | Interference objective lens and light interference measuring device |
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