JPH0527273A - 方向性結合器 - Google Patents

方向性結合器

Info

Publication number
JPH0527273A
JPH0527273A JP18423691A JP18423691A JPH0527273A JP H0527273 A JPH0527273 A JP H0527273A JP 18423691 A JP18423691 A JP 18423691A JP 18423691 A JP18423691 A JP 18423691A JP H0527273 A JPH0527273 A JP H0527273A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
waveguides
waveguide
layer
directional coupler
semiconductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18423691A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigemitsu Maruno
茂光 丸野
Yoshitoku Nomura
良徳 野村
Hiroshi Sugimoto
博司 杉本
Yuji Abe
雄次 阿部
Toshiyuki Oishi
敏之 大石
Mitsunobu Gotoda
光伸 後藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP18423691A priority Critical patent/JPH0527273A/ja
Publication of JPH0527273A publication Critical patent/JPH0527273A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 素子構成が簡単で、小型かつ光マトリックス
スイッチの構成が容易な方向性結合器およびを分波器を
提供する 【構成】 方向性結合器の2つの平行な導波路を多重量
子井戸ガイド層中に形成させ、この導波路の屈折率を、
ガイド層に印加する電界を制御して変化させることによ
り、導波路間の結合係数を変化させて、2つの導波路間
の交差状態と非交差状態を実現する。また、分波器はリ
ング状導波路と入出力導波路を上記方向性結合器と同様
に多重量子井戸ガイド層中に形成させ、このガイド層に
電界を印加できるようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は光マトリックススイッ
チの構成要素となる方向性結合器と分波器に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図6は、応用物理学会 光学懇話会編
「光集積回路」p171に示された従来の反転△β型方
向性結合器の構成を示す斜視図である。図において、4
0a、40bはリッジ型導波路、5、60a、60b、
60c、60dはオーミック電極、8はn+GaAs 層、
9はnGaAs層である。2つのリッジ型導波路40a、
40bがnGaAs層9の内部に形成されている。
【0003】次に動作原理について説明する。まず説明
を簡単にするために、一対の電極60a、60bの間に
ある導波路についてのみ考える。電極60a、60bに
電圧が印加されていないとき、導波路40a、40bの
伝搬定数β1 とβ2 は等しいとする。導波路40aから
入射した光の導波路40bへの移行量は、導波路40
a、40b間の結合係数Kと、伝搬定数β1 とβ2 との
差△βの関数として与えられる。△β=β1−β2=0の
とき、素子長lが、L=π/2Kで定義される結合長L
の奇数倍に一致しているときに限り、導波路40aから
入射した光パワーは導波路40bへ100%移行でき
る。
【0004】一方、伝搬定数β1 とβ2 が一致していな
いときは、導波路40aに入射した光パワーはその一部
だけが導波路40bに移行できる。従って、電気光学的
に伝搬定数β1 とβ2 とを変化させることができれば、
実効的に導波路40a、40b間の結合状態を変化させ
ることになり、導波路40a、40bの両者間で交差状
態(一方の導波路から他方の導波路に光パワーが完全に
移行できる状態)と非交差状態(一方の導波路から他方
の導波路に光パワーが完く移行できない状態)を実現で
きることになる。
【0005】図7は、図6に示す反転△β型方向性結合
器の2つの導波路間を光パワーが移行する状態を示す特
性図である。図中横軸は素子長lを、縦軸は一方の導波
路における光パワーの最大値を1に規格化した量で示し
ている。この図からわかるように、素子長lが結合長L
の奇数倍に一致している場合だけ電極60a、60bに
印加する電圧が0で交差状態が実現される。一方、非交
差状態は素子長lが結合長Lの奇数倍に等しく、かつ△
β/K=3.4641(正確には12の平方根)となる
ように、電極60aと60bとの間に適当な電圧を印加
することによって得られる。すなわち、1対の電極を有
する方向性結合器で交差状態と非交差状態とを同一素子
で実現するためには、素子長lが結合長Lの奇数倍に正
確に一致している必要がある。
【0006】しかしながら、上述した構成の方向性結合
器を製作する場合には、厳密に伝搬定数β1 とβ2 を等
しく、かつ素子長lを結合長Lの奇数倍に等しくするこ
とは困難である。伝搬定数β1 とβ2 を等しくなるよう
に補正するには電極60aと60bとの間に印加する電
圧を調整することによって実現できる。しかし、素子長
lが結合長Lの奇数倍に等しくなるように補正すること
は困難である。この問題を解決する方法として、図6の
ように電極を2つあるいはそれ以上の組に分割して交互
に伝搬定数の差△βの極性を変える反転△β法が提案さ
れている。この場合、素子長は2組の電極の両端間の長
さになる。反転△β法では素子長lと結合長Lの関係を
L≦l≦3Lとし、電極に印加する電圧を2つ適当な値
とすることによって任意の素子長に対して、交差状態と
非交差状態を得ることができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の方向性結合器は
以上のように構成されているので、素子構成特に電極の
構成が複雑であった。また、全素子長が数mm程度の大
きなものとなる。従って、このような方向性結合器を組
合せて光マトリックススイッチを構成しようとする場
合、スイッチ本体が非常に大きなものとなり、実現し得
るマトリックスは低次元なものに限られるという問題が
あった。この発明は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、素子構成が簡単で、素子長も短く、
光マトリックススイッチの構成が容易な方向性結合器を
提供することを目的としており、さらにこの発明による
方向性結合器とリング共振器を組合わせた分波器を提供
することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる方向性
結合器は、2つの平行な導波路間のガイド層を多重量子
井戸層により構成して、このガイド層に電界を印加でき
るようにしたものである。さらにこの発明による分波器
は、リング状導波路と入出力導波路間のガイド層を多重
量子井戸層により構成し、このガイド層に電界を印加で
きるようにしたものである。
【0009】
【作用】この発明における方向性結合器は、2つの平行
な導波路間の多重量子井戸ガイド層の屈折率を、このガ
イド層に印加する電界を制御して変化させることによ
り、導波路間の結合係数を変化させて、2つの導波路間
の交差状態と非交差状態を実現する。またこの発明によ
る分波器は、リング状導波路と入出力導波路間の多重量
子井戸ガイド層の屈折率を、このガイド層に印加する電
圧を制御して変化させることにより、リング状導波路と
入出力導波路間の結合係数を変化させて、分波すべき波
長の光に対してリング状導波路と入出力導波路間の交差
状態を実現する。
【0010】
【実施例】
実施例1.図1はこの発明の一実施例を示す方向性結合
器の構成図であり、1はn+InPクラッド層、2はIn
P/In0.53Ga0.47As多重量子井戸ガイド層、3はn
InPクラッド層、4a,4bは多重量子井戸ガイド層
中に形成される2つのリッジ型導波路、5はオーミック
電極、6はリッジ型導波路4a、4bの間に設けられた
オーミック電極である。
【0011】図2は、図1に示す方向性結合器の特性説
明図であり、(a)は導波路の断面形状とこの方向性結
合器を構成する各層の屈折率を、(b)は多重量子井戸
ガイド層2の等価屈折率分布を、(c)は多重量子井戸
ガイド層2における光強度分布をそれぞれ示している。
【0012】簡単のためにTEモードの場合について考
える。図2(b)に示すようにガイド層2のうち、導波
路4a、4bの部分の等価屈折率はその他の部分に比べ
てΔne だけ大きくなっている。そして、導波路4a、
4bを伝搬する光強度分布は、図2(c)に示すように
導波路4a、4bのそれぞれの中心から離れるにしたが
って指数関数的に減衰する。図2(a)に示すように2
つの導波路4a、4bの幅をw、その間隔をgとする
と、2つの導波路4a、4bの間の結合係数Kの間には K∝exp(−γg)/w の関係がある。ここで、γは光の電界強度の減衰係数で
ある。この関係から、導波路の幅wとその間隔gが一定
であるとすると、減衰係数γの値を変えることによって
結合係数Kを変化させることができる。
【0013】図3は、多重量子井戸層の垂直方向に電界
を印加したときの屈折率の変化を示す特性図であり、I
nP/In0.53Ga0.47As多重量子井戸層の屈折率変化Δ
nを、量子井戸の幅7nm、入射光の波長1.55μm と
した場合について示したものである。電界強度Fを増加
させるに従って、屈折率の変化Δnは正の側に増加し、
最大値を経て減少しついで負の側に増加していく。この
実施例では、この正の屈折率変化を利用するものであ
る。すなわち、電極5、6間に適当な電圧を印加するこ
とによって、導波路4a、4b間の多重量子井戸層2の
屈折率を増加させる。これにより導波路4a、4bの等
価屈折率差Δne は減少し、導波路4の光閉じ込めは弱
まる。これは、図2(c)において減衰係数γが小さく
なることと等価である。従って、上で述べた関係式によ
り、結合係数が増加するとともに、結合長が減少する。
【0014】たとえばw=3μm、g=1μm、d=
0.25μm とするとΔne≒0.01だから、結合長L
は約400μmとなる。電極5、6間に電圧を印加する
ことにより、導波路4a、4b間の多重量子井戸層2の
屈折率を増加させて、 Δne≒0.005 とするとL≒
200μmとなる。従って、素子長lを400μmとす
ると、電圧を印加したとき非交差状態、電圧を印加しな
いとき交差状態が実現できる。実際には素子長lを計算
値どおりに製作することは困難であるため、実際にこの
実施例の方向性結合器を動作させる場合、素子長lが結
合長Lに等しくなるように、電極5、6間に適当な電圧
1 を印加することにより交差状態が実現できる。ま
た、l=2Lとなるように、電極5、6間に適当な電圧
2 を印加することにより非交差状態が実現できる。
【0015】実施例.2 なお、上記実施例では電極5、6としてオーミック電極
を用いたものを示したが、電極5、6はショットキー電
極としてもよく、上記実施例と同様の効果を奏する。
【0016】実施例.3 また、上記実施例では導波路の間にのみ電極を設けたも
のについて説明したが、2つの導波路の上に電極を設け
てもよい。図4は本発明の第3の実施例の方向性結合器
の構成図であり、導波路4a、4bの上に電極6a、6
bが設けられている。
【0017】この場合、電極6と電極5a、5bとの間
に電圧を印加することにより結合係数Kを制御し、電極
5と電極6a、6bの間に電圧を印加することにより導
波路4a、4bの伝搬定数β1 とβ2 の差△βを制御す
ることができる。交差状態は、素子長lが結合長Lの奇
数倍に一致するように電極5、6間に適当な電圧を印加
することによって得られる。また、非交差状態は△β/
K=3.4641(正確には12の平方根)となるよう
に、電極5と電極5a、5bとの間に適当な電圧を印加
することによって得られる。
【0018】実施例.4 さらに、上記第3の実施例においてクラッド層3として
用いたnInP の代りにpIn Pを用いてもよい。この
場合、多重量子井戸ガイド層にはビルトインポテンシャ
ルによる電界が印加されるため、電極5a、5b間の電
圧が0の状態で屈折率変化が起っているが、電極5a、
5b間に適当な電圧を印加することにより上記実施例と
同様の効果を奏する。
【0019】実施例.5 次に、本発明の分波器の一実施例を図について説明す
る。図5は本発明による分波器の構成を示す説明図であ
り、4a、4bは導波路、7はリング状導波路、6c、
6dはそれぞれ、リング状導波路7の一辺と導波路4
a、4b間に設けた電極である。ただし、リング状導波
路7と導波路4a、4bを構成する半導体薄膜の積層構
造は上記方向性結合器の場合と同様である。
【0020】リング状導波路7と入出力導波路4aある
いは4bとの結合に方向性結合器を用いている。リング
状導波路内を伝搬する光の実効的な波長をλg、リング
状導波路7のループ長をl、屈折率をnとすると、λg
=l/n なる関係が成立つとき、リング状導波路7は
共振器として機能する。このようにこの分波器は内部に
共振器を有していることから、高い波長選択性を有す
る。
【0021】入力導波路4aに入射した波長多重された
入力光のパワーをP0 、波長λg の光パワーをP1 とす
ると、リング状導波路7と入出力導波路4の伝搬定数が
等しく、かつ上の関係式を満たす波長λgの光信号のみ
が出力導波路4bから引出されて、他の信号光P2 は導
波路4aを通って次段に伝搬される。一方、図7におい
て説明したように、方向性結合器の素子長l、つまりリ
ング状導波路7の一辺と入出力導波路4が平行に配置さ
れている部分の長さが、結合長Lに等しいときのみ、入
力光のパワーP0 のうち全てのP1 が分波される。本発
明の分波器は、電極6a、6bに適当な電圧を印加する
ことによって、上記実施例の方向性結合器と同じ原理に
より、素子長lを結合長Lに等しくなるように調節する
ことができる。従って、素子長lの作製精度によらずに
分波すべき信号光を全て共振器内に移行することができ
る。
【0022】
【発明の効果】以上のように、この発明の方向性結合器
によれば、二つの導波路間のガイド層を多重量子井戸に
より、また、当ガイド層に電界を印加できるように構成
したので、ガイド層に印加する電界のみを制御すること
により、導波路間の交差状態と非交差状態を実現でき
る。さらに、素子長を結合長程度まで短くでき、また、
印加する電界のスイッチ時間はCR時定数で決るので、
早い応答速度が得られる効果がある。さらに、この発明
の分波器によれば、入出力導波路とリング状導波路間の
ガイド層を多重量子井戸により、また、当ガイド層に電
界を印加できるように構成したので、当ガイド層に印加
する電界を適当な値に調節することにより、素子長の作
製精度によらずに、高い光パワー移行効率と高い波長選
択性が同時に得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】この発明の一実施例における導波路断面の形状
および各層の屈折率(a)、導波路の等価屈折率分布
(b)および光強度分布(c)を示す説明図である。
【図3】この発明の一実施例における印加電界強度と屈
折率変化Δnの関係を示す特性図である。
【図4】この発明の他の実施例を示す構成図である。
【図5】この発明の一実施例を示す分波器の構成図であ
る。
【図6】従来の反転△β型方向性結合器の構成図であ
る。
【図7】従来の方向性結合器における2つの導波路間を
光パワーが移行する状態を示す特性図である。
【符号の説明】
1 n+InPクラッド層 2 多重量子井戸ガイド層 3 nInP クラッド層 4a、4b 導波路 5 電極 6、6a、6b、6c、6d 電極 7 リング状導波路
フロントページの続き (72)発明者 阿部 雄次 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社中央研究所内 (72)発明者 大石 敏之 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社中央研究所内 (72)発明者 後藤田 光伸 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社中央研究所内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板上に同じ導電型をもつ第1の
    半導体クラッド層、これと同じ導電型をもち、ド・ブロ
    イ波長程度の厚みの第1の半導体層と前記第1の半導体
    層よりバンドギャップの狭い第2の半導体層を交互に積
    層して構成された多重量子井戸ガイド層、さらに前記第
    1の半導体クラッド層と同じ導電型をもつ第2の半導体
    クラッド層を積層して構成されたリッジ型光導波路を2
    本平行に配置し、前記導波路間のガイド層に電界を印加
    できる手段を備えたことを特徴とする方向性結合器。
  2. 【請求項2】 半導体基板上に同じ導電型をもつ第1の
    半導体クラッド層、これと同じ導電型をもち、ド・ブロ
    イ波長程度の厚みの第1の半導体層と前記第1の半導体
    層よりバンドギャップの狭い第2の半導体層を交互に積
    層して構成された多重量子井戸ガイド層、さらに前記第
    1の半導体クラッド層と同じ導電型をもつ第2の半導体
    クラッド層を積層して構成された複数のリッジ型導波
    路、前記リッジ型光導波路とその1辺が平行になるよう
    に配置して構成されたリッジ型リング状光導波路、前記
    リッジ型導波路とリング状導波路の間のガイド層に電界
    を印加できる手段を備えたことを特徴とする方向性結合
    器。
JP18423691A 1991-07-24 1991-07-24 方向性結合器 Pending JPH0527273A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18423691A JPH0527273A (ja) 1991-07-24 1991-07-24 方向性結合器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18423691A JPH0527273A (ja) 1991-07-24 1991-07-24 方向性結合器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0527273A true JPH0527273A (ja) 1993-02-05

Family

ID=16149764

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18423691A Pending JPH0527273A (ja) 1991-07-24 1991-07-24 方向性結合器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0527273A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08195720A (ja) * 1995-01-13 1996-07-30 Okayama Univ ピルボックス型光共振器の波長選択フィルタ
JP2004170478A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 National Institute Of Advanced Industrial & Technology フォトニック結晶光リングデバイス
WO2023162181A1 (ja) * 2022-02-25 2023-08-31 日本電信電話株式会社 光リング変調器

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08195720A (ja) * 1995-01-13 1996-07-30 Okayama Univ ピルボックス型光共振器の波長選択フィルタ
JP2004170478A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 National Institute Of Advanced Industrial & Technology フォトニック結晶光リングデバイス
WO2023162181A1 (ja) * 2022-02-25 2023-08-31 日本電信電話株式会社 光リング変調器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3920314A (en) Mode conversion and mode separation branched dielectric waveguide element for light
US8396337B2 (en) Ring resonator based optical isolator and circulator
JP2007072433A (ja) 光集積素子及び光制御素子
WO2020228711A1 (en) Polarization independent photonic device having multimode component
JP2006284791A (ja) マルチモード干渉光カプラ
JP2007114222A (ja) 光制御素子
JP3272064B2 (ja) 4セクション光結合器
US3990775A (en) Thin-film optical waveguide
US5255334A (en) Directional coupler type optical device and a driving method therefor
US11474413B2 (en) Method for transposing the frequency of an optical signal by mixing a plurality of waves
US5163106A (en) Waveguide-type optical switch
JPH1184434A (ja) 光制御回路および動作方法
JPH03228032A (ja) 光方向性結合器
JPH0527273A (ja) 方向性結合器
US5103491A (en) Waveguide type optical circuit element
JP5467414B2 (ja) 光機能導波路
US20050094915A1 (en) Directional optical coupler
JP3084417B2 (ja) 光結合デバイス
JP2001177182A (ja) 外部共振器型半導体レーザおよび光導波路装置
Yajima Dielectric bypass waveguide mode order converter
JPH0353225A (ja) 半導体光変調器
JP3139009B2 (ja) 光スイッチ
JP2792306B2 (ja) 偏光分離素子
JP2994082B2 (ja) 方向性結合器型光機能素子
JP2994081B2 (ja) 方向性結合器型光機能素子