JPH05269425A - Rotary coating equipment - Google Patents
Rotary coating equipmentInfo
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- JPH05269425A JPH05269425A JP6728492A JP6728492A JPH05269425A JP H05269425 A JPH05269425 A JP H05269425A JP 6728492 A JP6728492 A JP 6728492A JP 6728492 A JP6728492 A JP 6728492A JP H05269425 A JPH05269425 A JP H05269425A
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は円盤状基板に紫外線硬化
型樹脂等の塗料をスピンコート法により塗布する回転塗
布装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spin coating apparatus for coating a disk-shaped substrate with a coating material such as an ultraviolet curable resin by a spin coating method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来知られている円盤状基板の樹脂被膜
方法は、例えば、光ディスクでは、グルーブと称される
溝が形成されたポリカーボネート樹脂、ポリメチルメタ
クリルレート樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオ
レフィン樹脂等の円盤状のプラスチック基板に、グルー
ブが形成された側とは反対側の面にハードコート剤と称
される紫外線硬化型樹脂をスピンコート法により回転塗
布してプラスチック基板全面に均一に行きわたらせた
後、紫外線を照射してハードコート膜を製膜する。2. Description of the Related Art Conventionally known resin coating methods for disk-shaped substrates are, for example, in an optical disc, a polycarbonate resin having grooves called grooves, polymethylmethacrylate resin, epoxy resin, amorphous polyolefin resin, etc. On the disk-shaped plastic substrate of No. 3, a UV-curable resin called a hard coating agent was spin-coated by a spin coating method on the side opposite to the side where the groove was formed, so that it was spread evenly over the entire surface of the plastic substrate. After that, ultraviolet rays are irradiated to form a hard coat film.
【０００３】次に真空蒸着法やスパッタ法等によりグル
ーブが形成された側に記録膜を製膜して光ディスクを作
製する。この光ディスクの記録膜形成面側に保護コート
剤と称される紫外線硬化型樹脂をスピンコート法により
回転塗布して光ディスク全面に保護膜を製膜していた。Next, a recording film is formed on the side where the groove is formed by a vacuum vapor deposition method, a sputtering method or the like to manufacture an optical disk. An ultraviolet curable resin called a protective coating agent was spin-coated on the recording film forming surface side of this optical disk by a spin coating method to form a protective film on the entire surface of the optical disk.
【０００４】また、コンパクトディスクでは予め所定の
情報信号が刻印された円盤状のプラスチック基板に、情
報信号が刻印されている側の面に真空蒸着法やスパッタ
法により反射膜を製膜して、この反射膜形成面側に保護
コート剤と称される紫外線硬化型樹脂をスピンコート法
により回転塗布してコンパクトディスク全面に保護膜を
製膜していた。Further, in the case of a compact disc, a reflective film is formed on a disk-shaped plastic substrate on which a predetermined information signal is preliminarily engraved by a vacuum deposition method or a sputtering method on the surface on which the information signal is engraved. An ultraviolet curable resin called a protective coating agent was spin-coated on the reflective film forming surface side by a spin coating method to form a protective film on the entire surface of the compact disc.
【０００５】このようにハードコート剤や保護コート剤
等の紫外線硬化型樹脂を円盤状基板にスピンコート法に
より回転塗布する場合には、円盤状基板を低速回転させ
ながら一つの塗布用ノズルを使用して樹脂を一定位置か
ら一定量円盤状基板に塗布した後、円盤状基板を高速回
転させて余分な紫外線硬化型樹脂を振り切って被膜を形
成していた。When spin-coating a UV-curable resin such as a hard coating agent or a protective coating agent on a disc-shaped substrate by spin coating, one coating nozzle is used while the disc-shaped substrate is rotated at a low speed. Then, a certain amount of the resin is applied from a certain position to the disc-shaped substrate, and then the disc-shaped substrate is rotated at a high speed to shake off the extra ultraviolet curable resin to form a film.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、一つの塗布用ノズルしか使用していないので、
紫外線硬化型樹脂を一定量塗布する時間とこれを円盤状
基板全面に行き渡らせるための回転時間が長くなってし
まい、その結果、製造時間が長くなるという問題点を有
していた。However, in this method, since only one coating nozzle is used,
There has been a problem that the time for applying a certain amount of the ultraviolet curable resin and the rotation time for spreading this over the entire surface of the disk-shaped substrate become long, resulting in a long manufacturing time.
【０００７】更に、一つの塗布用ノズルしか使用してい
ないので一定粘度の紫外線硬化型樹脂しか塗布できず、
円盤状基板の内周側と外周側で厚み分布を調整すること
もできなかった。Furthermore, since only one coating nozzle is used, only a UV curable resin having a constant viscosity can be coated,
It was not possible to adjust the thickness distribution on the inner peripheral side and the outer peripheral side of the disk-shaped substrate.
【０００８】本発明が解決しようとする課題は、円盤状
基板に紫外線硬化型樹脂等の塗料をスピンコート法によ
り塗布する回転塗布装置において、製造時間を短くして
生産性を向上させ、更に円盤状基板の内周側と外周側で
紫外線硬化型樹脂等の塗料に厚み分布を調整して塗布す
ることができるようにすることにある。The problem to be solved by the present invention is to shorten the manufacturing time and improve the productivity in a spin coating apparatus for coating a disk-shaped substrate with a coating material such as an ultraviolet curable resin by a spin coating method. The purpose is to make it possible to adjust the thickness distribution and apply it to a coating material such as an ultraviolet curable resin on the inner peripheral side and the outer peripheral side of the substrate.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、円盤状基板に塗料をスピンコート法によっ
て塗布する回転塗布装置において、塗布用ノズルが該円
盤状基板の半径方向に複数個直線上に配列されているこ
とを特徴とする回転塗布装置、及び、塗料の構成物が同
じで少なくとも２種類の液温に保温された塗料が各塗布
用ノズルから吐出可能な構造を有することを特徴とする
回転塗布装置を提供する。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is directed to a spin coating apparatus for coating a disk-shaped substrate with a spin coating method, in which a plurality of coating nozzles are provided in the radial direction of the disk-shaped substrate. A rotary coating device characterized by being arranged on a straight line, and a structure in which the coating composition is the same and at least two types of coating liquid that are kept warm can be discharged from each coating nozzle. A spin coating device is provided.
【００１０】本発明で使用する塗料は、スピンコート法
を適用できる塗料で有れば、熱硬化型塗料及び紫外線硬
化型塗料とも、特に制限なく使用することができるが、
光ディスクの分野の如き熱による基板等の変形が製品の
欠陥に直結する分野では、紫外線硬化型塗料を使用する
ことが望ましい。The coating material used in the present invention can be used without particular limitation as long as it is a coating material to which the spin coating method can be applied, both the thermosetting coating material and the ultraviolet curing coating material.
In the field where the deformation of the substrate due to heat is directly connected to the defect of the product such as the field of the optical disk, it is desirable to use the ultraviolet curable coating material.
【００１１】少なくとも２種類の液温に保温された塗料
が各塗布用ノズルから吐出可能な構造とするには、温度
コントロールか可能な少なくとも２種類の塗料タンクか
らバルブ操作により、目的とするノズルに塗料を供給す
る方法が挙げられる。なお、塗料タンクから塗布用ノズ
ルまでの配管系には、保温対策を施しておくことが望ま
しい。In order to have a structure in which the coating material kept at at least two kinds of liquid temperature can be discharged from each coating nozzle, the valve can be operated from at least two kinds of coating material tanks which can be temperature-controlled to the target nozzle. A method of supplying paint can be mentioned. In addition, it is desirable to take heat insulation measures in the piping system from the paint tank to the coating nozzle.
【００１２】[0012]
【作用】本発明によれば、円盤状基板に塗料をスピンコ
ート法により塗布する回転塗布装置において、塗布用ノ
ズルが円盤状基板の半径方向に複数個直線上に配列され
ているので、円盤状基板に一定量塗布するために円盤状
基板を低速回転させる場合、回転は一回転のみで良く、
また、この低速回転時に、すでに塗料が円盤状基板のほ
ぼ全面に行き渡っているので、所定の厚さにするための
高速回転の時間も短縮できる。更に、各ノズルから塗料
の構成物が同じで、液温が異なる塗料を吐出する構造と
することによって、粘度の異なる塗料を吐出することが
可能となり、その結果、円盤状基板の内周側と外周側に
おける塗料の広がり速度に差を付与することができるた
め、塗膜の厚み分布を調整することもできる。According to the present invention, in a spin coating apparatus for coating a disk-shaped substrate with a coating material by a spin coating method, a plurality of coating nozzles are arranged in a straight line in the radial direction of the disk-shaped substrate. When the disk-shaped substrate is rotated at a low speed to apply a fixed amount to the substrate, it only needs to rotate once.
Further, at the time of this low speed rotation, since the coating material has already spread over almost the entire surface of the disk-shaped substrate, the time for high speed rotation to achieve a predetermined thickness can be shortened. Further, by adopting a structure in which the composition of the paint is the same from each nozzle and the liquid temperature is different, it becomes possible to discharge the paints having different viscosities, and as a result, the inner peripheral side of the disk-shaped substrate Since it is possible to give a difference in the spreading speed of the coating material on the outer peripheral side, it is possible to adjust the thickness distribution of the coating film.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、実施例及び比較例を用いて本発明を更
に詳細に説明する。EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to examples and comparative examples.
【００１４】（実施例１）図１に示したように、半径４
３mmの円盤状基板である光ディスク１を記録膜２の形成
面側を上にしてターンテーブル３上に設置し、記録膜２
の形成面側を保護するために保護コート剤「ＳＤ−３０
１」（大日本インキ化学工業社製）４を塗布した。(Embodiment 1) As shown in FIG. 1, a radius of 4
The optical disk 1 which is a 3 mm disk-shaped substrate is placed on the turntable 3 with the surface on which the recording film 2 is formed facing up,
Protective coating agent "SD-30
1 "(manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) 4 was applied.
【００１５】この場合、図２に示したように、塗布用ノ
ズル５は、円盤状基板である光ディスク１の半径方向に
直線上に３mm間隔で内径２５mmから３７mmまで５点配置
されており、各ノズル径はいずれもφ０．８mmの同じ径
で、１．８kgf／cm2の圧力の圧縮空気で保護コート剤４
を押し出すように設定した。In this case, as shown in FIG. 2, the coating nozzles 5 are arranged in a straight line in the radial direction of the optical disk 1 which is a disk-shaped substrate at 5 points from an inner diameter of 25 mm to 37 mm at intervals of 3 mm. Nozzle diameter is the same diameter of φ0.8 mm, and protective coating agent 4 with compressed air of 1.8 kgf / cm 2 pressure.
Was set to extrude.
【００１６】次に、光ディスク１を６０ｒｐｍの低速回
転で１秒間だけ回転させることによって各ノズルから押
し出された保護コート剤４は、光ディスク１に塗布され
ると同時に広がって行くため、１秒間で塗布を終了して
も、ほぼ光ディスク全面に行き渡っている状態であっ
た。Next, the protective coating agent 4 extruded from each nozzle by rotating the optical disc 1 at a low speed of 60 rpm for 1 second spreads at the same time as it is coated on the optical disc 1 so that it is coated in 1 second. Even after finishing the above, it was in a state where it was almost spread over the entire surface of the optical disc.
【００１７】さらに、光ディスク１を６，０００ｒｐｍ
の高速回転で１秒間だけ回転させることによって余分な
保護コート剤を振り切り、その後、紫外線を照射するこ
とによって塗膜を硬化させて、所定の膜厚１４μｍの保
護コート層を形成した。Further, the optical disc 1 is set to 6,000 rpm.
Excessive protective coating agent was shaken off by rotating at high speed for 1 second, and then the coating film was cured by irradiation with ultraviolet rays to form a protective coating layer having a predetermined film thickness of 14 μm.
【００１８】（実施例２）図３に示したように、半径４
３mmの円盤状基板である光ディスク１を記録膜２の形成
面側を下にしてターンテーブル３上に設置し、記録膜２
の形成面側とは反対側の面にハードコート剤「ＥＸ−７
０４」（大日本インキ化学工業社製）６を塗布した。(Embodiment 2) As shown in FIG. 3, a radius of 4
The optical disc 1, which is a 3 mm disk-shaped substrate, is placed on the turntable 3 with the surface on which the recording film 2 is formed facing down.
Hard coating agent "EX-7
04 ”(manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) 6 was applied.
【００１９】この場合、図４に示したように、塗布用ノ
ズル７は、円盤状基板である光ディスク１の半径方向に
直線上に３mm間隔で内径２５mmから３７mmまで５点配置
されており、各ノズル径はいずれもφ０．５mmの同じ径
で、０．４kgf／cm2の圧力の圧縮空気でハードコート剤
６を押し出すように設定した。In this case, as shown in FIG. 4, the coating nozzles 7 are arranged in a straight line in the radial direction of the optical disc 1 which is a disk-shaped substrate at 5 points from an inner diameter of 25 mm to 37 mm at intervals of 3 mm. The nozzle diameters were all 0.5 mm and the same diameter, and the hard coat agent 6 was set to be extruded by compressed air having a pressure of 0.4 kgf / cm 2 .
【００２０】ただし、ハードコート剤の場合は、硬化収
縮により光ディスクのそり角が増大するため特に外周側
では内周側よりも薄くすることが好ましいので、塗料の
構成物は同じであって、ハードコート剤を外周側の２点
の塗布用ノズルから供給されるハードコート剤の液温を
２８℃に保温し、残りの３点の塗布用ノズルからは室温
（２３℃）のハードコート剤を夫々押し出した。However, in the case of a hard coating agent, since the warp angle of the optical disk increases due to curing shrinkage, it is preferable to make the thickness thinner on the outer peripheral side than on the inner peripheral side. The liquid temperature of the hard coating agent supplied from the two coating nozzles on the outer peripheral side is kept at 28 ° C, and the room temperature (23 ° C) hard coating agent is supplied from the remaining three coating nozzles. I pushed it out.
【００２１】次に、光ディスク１を６０ｒｐｍの低速回
転で１秒間だけ回転させることによって各ノズルから押
し出されたハードコート剤６は、光ディスク１に塗布さ
れると同時に広がって行くため、１秒間で塗布を終了し
ても、ほぼ光ディスク全面に行き渡っている状態であっ
た。Next, the hard coat agent 6 extruded from each nozzle by rotating the optical disk 1 at a low speed of 60 rpm for 1 second spreads at the same time as it is applied to the optical disk 1 and thus applied in 1 second. Even after finishing the above, it was in a state where it was almost spread over the entire surface of the optical disc.
【００２２】さらに、光ディスク１を６，０００ｒｐｍ
の高速回転で１秒間だけ回転させることによって余分な
ハードコート剤を振り切り、その後、紫外線を照射する
ことによって塗膜を硬化させて、ハードコート層を形成
した。得られたハードコート層は、内周側と外周側に塗
布したハードコート剤の液温が異なり、そのため粘度が
異なっているため、内周側の膜厚が６μｍ、外周側の膜
厚が３μｍであった。Further, the optical disc 1 is set to 6,000 rpm.
Excessive hard coat agent was shaken off by rotating at high speed for 1 second, and then the coating film was cured by irradiating with ultraviolet rays to form a hard coat layer. In the obtained hard coat layer, the liquid temperature of the hard coat agent applied to the inner peripheral side and the outer peripheral side are different, and therefore the viscosity is different. Therefore, the film thickness on the inner peripheral side is 6 μm and the film thickness on the outer peripheral side is 3 μm. Met.
【００２３】このようにして得られた光ディスクのそり
角は最大でも１．５mradであり、規格を十分に満足する
範囲であった。The warp angle of the thus-obtained optical disk was 1.5 mrad at the maximum, which was within the range that sufficiently satisfied the standard.
【００２４】（比較例１）図１に示したように、半径４
３mmの円盤状基板である光ディスク１を記録膜２の形成
面側を上にしてターンテーブル３上に設置し、記録膜２
の形成面側を保護するために保護コート剤「ＳＤ−３０
１」４を塗布した。(Comparative Example 1) As shown in FIG.
The optical disk 1 which is a 3 mm disk-shaped substrate is placed on the turntable 3 with the surface on which the recording film 2 is formed facing up,
Protective coating agent "SD-30
1 "4 was applied.
【００２５】この場合、図５に示したように、ノズル径
φ０．８mmの塗布用ノズル８は、光ディスク１の半径位
置２５mmに１つのみ配置されており、１．８kgf／cm2の
圧力の圧縮空気で保護コート剤４を押し出すように設定
した。In this case, as shown in FIG. 5, only one coating nozzle 8 having a nozzle diameter of φ0.8 mm is arranged at a radial position of 25 mm of the optical disc 1, and a pressure of 1.8 kgf / cm 2 is applied. The protective coating agent 4 was set to be extruded with compressed air.
【００２６】次に、光ディスク１を６０ｒｐｍの低速回
転で３秒間だけ回転させることによってノズルから押し
出された保護コート剤４は、光ディスク１に塗布される
と同時に広がって行くため、３秒間で塗布を終了した時
点で光ディスクの半分まで行き渡っている状態であっ
た。Next, the protective coating agent 4 extruded from the nozzle by rotating the optical disc 1 at a low speed of 60 rpm for 3 seconds spreads at the same time as being coated on the optical disc 1, so that the coating is performed in 3 seconds. By the time it was finished, it was in a state where it had spread to half of the optical disc.
【００２７】さらに、光ディスク全面に保護コート剤を
行き渡らせ、更に所定の膜厚１４μｍにすると共に、余
分な保護コート剤を振り切るために、６０００ｒｐｍの
高速回転で５秒間回転させる必要があった。Furthermore, it was necessary to spread the protective coating agent over the entire surface of the optical disk to obtain a predetermined film thickness of 14 μm, and to rotate the excess protective coating agent at a high speed of 6000 rpm for 5 seconds in order to shake it off.
【００２８】実施例１では高速回転に要する時間が１秒
間であったのと比較して、スピンコートに要する時間が
非常に長かった。In Example 1, the time required for spin coating was extremely long as compared with the time required for high speed rotation of 1 second.
【００２９】（比較例２）図３に示したように、半径４
３mmの円盤状基板である光ディスク１を記録膜２の形成
面側を下にしてターンテーブル３上に設置し、記録膜２
の形成面側とは反対側の面にハードコート剤「ＥＸ−７
０４」６を塗布した。(Comparative Example 2) As shown in FIG.
The optical disc 1, which is a 3 mm disk-shaped substrate, is placed on the turntable 3 with the surface on which the recording film 2 is formed facing down.
Hard coating agent "EX-7
04 "6 was applied.
【００３０】この場合、図６に示したように、ノズル径
φ０．５mmの塗布用ノズル９は、光ディスク１の半径位
置２５mmに１つのみ配置されており、０．４kgf／cm2の
圧力の圧縮空気でハードコート剤６を押し出すように設
定した。In this case, as shown in FIG. 6, only one coating nozzle 9 having a nozzle diameter of 0.5 mm is arranged at a radial position of 25 mm of the optical disk 1, and a coating pressure of 0.4 kgf / cm 2 is applied. The hard coat agent 6 was set to be extruded with compressed air.
【００３１】次に光ディスク１を６０ｒｐｍの低速回転
で３回転だけ回転させることによってノズルから押し出
されるハードコート剤６は、光ディスク１に塗布される
と同時に広がって行くため、３秒間で塗布を終了した時
点で光ディスクの半分まで行き渡っている状態であっ
た。Next, the hard coat agent 6 extruded from the nozzle by rotating the optical disc 1 at a low speed of 60 rpm for 3 revolutions spreads at the same time as being coated on the optical disc 1, so the coating is completed in 3 seconds. At the time, it was in a state where it was spread over half of the optical disk.
【００３２】さらに、光ディスク全面にハードコート剤
を行き渡らせると共に、余分なハードコート剤を振り切
るために、６０００ｒｐｍの高速回転で５秒間回転させ
る必要があった。Furthermore, in order to spread the hard coating agent over the entire surface of the optical disk and shake off the excess hard coating agent, it was necessary to rotate the optical disc at a high speed of 6000 rpm for 5 seconds.
【００３３】実施例２では高速回転に要する時間が１秒
間であったのと比較して、スピンコートに要する時間が
非常に長かった。In Example 2, the time required for high-speed rotation was 1 second, but the time required for spin coating was very long.
【００３４】得られた未硬化の塗膜に紫外線を照射して
硬化させて得られたハードコート層は、内周側の膜厚が
４μｍ、外周側の膜厚が６μｍであり、光ディスクのそ
り角が最大で、規格内の３．５mradであるが、実施例２
と比較して機械特性が悪かった。The hard coat layer obtained by irradiating the uncured coating film with ultraviolet rays to cure it has a film thickness of 4 μm on the inner peripheral side and a film thickness of 6 μm on the outer peripheral side. The maximum angle is 3.5 mrad within the standard, but the second embodiment is used.
The mechanical properties were worse than
【００３５】[0035]
【発明の効果】本発明の回転塗布装置は、塗布用ノズル
が円盤状基板の半径方向に複数個直線上に配列されてい
るので、円盤状基板に一定量塗布するために円盤状基板
を低速回転させる場合の回転は一回転のみで良く、また
この低速回転時にすでに塗料は円盤状基板全面にほぼ行
き渡っているので、高速回転により所定の厚さにする時
間も短縮できる。更に、各ノズルからは塗料の構成物は
同じであって液温が異なる塗料が吐出される構造とする
ことにより、円盤状基板の内周側と外周側で塗膜の厚み
に分布を持たせることもできる。The spin coating apparatus of the present invention has a plurality of coating nozzles arranged in a straight line in the radial direction of the disk-shaped substrate, so that the disk-shaped substrate can be coated at a low speed in order to apply a fixed amount to the disk-shaped substrate. In the case of rotation, only one rotation is required, and since the coating material has already spread almost all over the disk-shaped substrate at this low-speed rotation, the time required to achieve a predetermined thickness by high-speed rotation can be shortened. Further, by adopting a structure in which paints having the same paint composition but different liquid temperatures are discharged from each nozzle, the thickness of the coating film is distributed on the inner peripheral side and the outer peripheral side of the disk-shaped substrate. You can also
【図１】実施例１及び比較例１に示したスピンコート法
により円盤状基板である光ディスクに保護コート剤を塗
布する概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram of applying a protective coating agent onto an optical disc, which is a disk-shaped substrate, by the spin coating method shown in Example 1 and Comparative Example 1.
【図２】実施例１で使用した回転塗布装置の概念図であ
る。FIG. 2 is a conceptual diagram of a spin coating device used in Example 1.
【図３】実施例２及び比較例２に示したスピンコート法
により円盤状基板である光ディスクにハードコート剤を
塗布する概念図である。FIG. 3 is a conceptual diagram of applying a hard coating agent to an optical disk that is a disk-shaped substrate by the spin coating method shown in Example 2 and Comparative Example 2.
【図４】実施例２で使用した回転塗布装置の概念図であ
る。FIG. 4 is a conceptual diagram of a spin coating device used in Example 2.
【図５】比較例１で使用した従来の回転塗布装置の概念
図である。5 is a conceptual diagram of a conventional spin coating device used in Comparative Example 1. FIG.
【図６】比較例２で使用した従来の回転塗布装置の概念
図である。FIG. 6 is a conceptual diagram of a conventional spin coating device used in Comparative Example 2.
１ 光ディスク ２ 記録膜 ３ ターンテーブル ４ 保護コート剤 ５ 直線上に複数個配置された保護コート剤塗布用ノズ
ル ６ ハードコート剤 ７ 直線上に複数個配置されたハードコート剤塗布用ノ
ズル ８ １つのみの保護コート剤塗布用ノズル ９ １つのみのハードコート剤塗布用ノズル1 Optical disc 2 Recording film 3 Turntable 4 Protective coating agent 5 Multiple nozzles for coating protective coating agent on a straight line 6 Hard coating agent 7 Nozzle for coating multiple hard coating agents on a straight line 8 Only one Nozzle for application of protective coating agent 9 Nozzle for application of only one hard coating agent
Claims (2)
って塗布する回転塗布装置において、塗布用ノズルが該
円盤状基板の半径方向に複数個直線上に配列されている
ことを特徴とする回転塗布装置。1. A rotary coating apparatus for coating a disk-shaped substrate with a spin coating method, wherein a plurality of coating nozzles are arranged in a straight line in a radial direction of the disk-shaped substrate. apparatus.
の液温に保温された塗料が各塗布用ノズルから吐出可能
な構造を有することを特徴とする請求項１記載の回転塗
布装置。2. The spin coating apparatus according to claim 1, wherein the coating composition has the same composition and at least two types of coating liquids are kept at a liquid temperature and can be discharged from each coating nozzle.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6728492A JPH05269425A (en) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Rotary coating equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6728492A JPH05269425A (en) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Rotary coating equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05269425A true JPH05269425A (en) | 1993-10-19 |
Family
ID=13340527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6728492A Pending JPH05269425A (en) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | Rotary coating equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05269425A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09120165A (en) * | 1995-08-24 | 1997-05-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Treatment of substrate and apparatus therefor |
| US6025012A (en) * | 1995-09-20 | 2000-02-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for determining film thickness control conditions and discharging liquid to a rotating substrate |
| JP2009028662A (en) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Mazda Motor Corp | Joining method of workpiece |
| US20130216730A1 (en) * | 2010-10-25 | 2013-08-22 | Panasonic Corporation | Apparatus and method for manufacturing optical recording medium |
-
1992
- 1992-03-25 JP JP6728492A patent/JPH05269425A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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