JPH0526818A

JPH0526818A - 表面特性評価方法及び装置

Info

Publication number: JPH0526818A
Application number: JP17699591A
Authority: JP
Inventors: Noriji Ooishi; 則司大石
Original assignee: Mitsubishi Rayon Co Ltd
Current assignee: Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date: 1991-07-17
Filing date: 1991-07-17
Publication date: 1993-02-02

Abstract

(57)【要約】【構成】表面特性評価装置は、光源１と、この光を平
行度の高い照明光とするレンズ３と、照明光を被測定面
に線分状に集束し、反射光を再び通過させて近似平行光
にするシリンドリカルレンズ４と、入射照明光と分けて
取り出すビームスプリッター２と、分離した光を垂直な
線分状に集束するシリンドリカルレンズ６と、集束位置
に置かれた集束線分と斜めに交わる辺を有するアパチャ
ーのマスク７と、アパチャーの透過光を投影可視化する
ビデオカメラ９とを有する。【効果】塗装面や樹脂成型物などの反射性表面のうね
りを、直接外観に影響する斜度の情報として簡便にグラ
フ化することが可能になり、得られた斜度の情報を積分
（和分）することによって、表面の形状を求めることも
可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、塗装面やプラスチック
成型物の表面の鏡面特性を評価する方法および装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】塗装面やプラスチック成型品の美しさ、
艶感、光沢などは、これらの表面に存在するわずかなう
ねり、微小なへこみや凸部、しわなどによって大きく左
右されている。

【０００３】これら表面の非平滑によって表れる表面の
特性を評価することは、より美しい塗装や成型品を開発
する上で重要であり、実際に数々の評価法が従来より使
われている。

【０００４】例えば表面の外観を評価するものとしては
光沢計や写像性測定機などがある。

【０００５】一方直接表面形状を測定するものとしては
接触・非接触表面荒さ計やレーザー干渉計を使った平面
度検査器などがある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記外観評価装置は反
射光の角度分布やスリットや格子の像を写したときの鮮
明さを測定するものであるが、これらの外観評価手法で
は表面の形状に関する直接的な情報が得られないため、
良否の判断はできてもその理由の解析にはあまり役立た
ないという欠点がある。

【０００７】また上記表面形状測定装置によって表面の
形状はかなりの精度で知ることができるが、実際にこれ
らの情報を外観特性に定量的に結び付けるのは意外に簡
単でない。これはこれらの測定器が面の高さを測定して
いるのに対し、外観は面の傾斜（高さの微分）によって
反射光の角度が変わることに起因しているためであると
考えられる。

【０００８】塗装面を例にとって言えば、一般に面上に
はいくつかの異なる原因による異質な凹凸が存在し、数
ミリの波長の緩やかなうねりから、直径０．１ミリ以下
の小さなくぼみ、さらに小さなサイズの凹凸が共存して
いる。これらの凹凸の外観に与える影響度は、凹凸の大
きさではなく傾斜の大きさに依存するため、波長の短い
成分は僅かな振幅でも外観に影響を与え、波長0.1ミリ
の凹凸は波長１ミリの凹凸の1/10の振幅で同等の影響を
与える。このような事情で、形状測定の結果を外観に結
びつけるためには、測定にはかなり大きなダイナミック
レンジ（１０³〜１０⁴）が必要とされ、またある程度広
い範囲（数ミリ以上）での測定が必要とされるが、この
ような測定はいささか困難である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
表面特性評価方法は、被測定面のうねりに起因する傾斜
を測定する方法であり、レーザー光や、白熱電球、クセ
ノンランプなどの点光源とレンズあるいは放物面鏡との
組み合わせによって作られる平行度の高い照明光を、シ
リンドリカルレンズや円筒凹面鏡などによって被測定面
に直線状に集束した後、被測定面からの反射光をレン
ズ、曲面鏡（シリンドリカルレンズ及び円筒面鏡を含
む）のいずれかないしは組み合わせによる集束光学系に
よって該集束線分の長手方向に垂直な線分状に集束し、
更に集束位置に置かれた集束線分と斜めに交わる辺（本
明細書において、辺は曲線でも良い）を有するアパチャ
ーを通過した光を、撮像素子ないしは写真乾板（フィル
ムを含む）、スクリーン等の可視化手段に投影し、可視
化することによって、被測定面の平滑性を評価するもの
である。

【００１０】なお該アパチャーと可視化手段の間に必要
に応じて設けられたシリンドリカルレンズないし円筒面
鏡を含む投影手段で投影することができる。

【００１１】また本発明請求項２から５記載の装置は、
請求項１の評価法を実現するためのものを示したもの
で、請求項２記載の表面特性評価装置は、レーザー光源
あるいは白熱電球、クセノンランプなどの点光源とレン
ズあるいは放物面鏡との組み合わせによる平行度の高い
照明光源と、該照明光を被測定面に線分状に集束するシ
リンドリカルレンズあるいは円筒凹面鏡と、被測定面か
らの反射光を該集束線分の長手方向に垂直な線分状に集
束する、レンズ、曲面鏡（シリンドリカルレンズ及び円
筒面鏡を含む）のいずれかないしは組み合わせによる集
束手段と、更に集束位置に置かれた集束線分と斜めに交
わる辺（曲線でも良い）を有するアパチャーと、該アパ
チャーの透過光を投影可視化する撮像素子ないしは写真
乾板（フィルム）、スクリーン等の可視化手段とを有す
るものである。

【００１２】次に請求項３記載の表面特性評価装置は、
レーザー光源あるいは白熱電球、クセノンランプなどの
点光源とレンズあるいは放物面鏡との組み合わせによる
平行度の高い照明光源と、該照明光を被測定面に線分状
に集束し、反射光を再び通過させて近似平行光にするシ
リンドリカルレンズあるいは円筒凹面鏡と、該近似平行
光の一部を入射照明光と分けて取り出すビームスプリッ
ターと、更に分離した光を該集束線分（ビームスプリッ
ターで偏向している場合は集束線分の鏡像）の長手方向
に垂直な線分状に集束する、レンズ、曲面鏡（シリンド
リカルレンズ及び円筒面鏡を含む）のいずれかないしは
組み合わせによる集束手段と、更に集束位置に置かれた
集束線分と斜めに交わる辺（曲線でも良い）を有するア
パチャーと、該アパチャーの透過光を投影可視化する撮
像素子ないしは写真乾板（フィルム）、スクリーン等の
可視化手段とを有するものである。

【００１３】さらに請求項４記載の表面特性評価装置
は、白熱電球、クセノンランプなどの点光源と、この光
を平行度の高い照明光とするレンズあるいは放物面鏡
と、該照明光を被測定面に線分状に集束し、反射光を再
び通過させて近似平行光にするシリンドリカルレンズあ
るいは円筒凹面鏡と、該近似平行光が先のレンズあるい
は放物面鏡を通った後、一部を入射照明光と分けて取り
出すビームスプリッターと、更に分離した光を該集束線
分（ビームスプリッターで偏向している場合は集束線分
の鏡像）の長手方向に垂直な線分状に集束するため、母
線が該線分に平行ないしは垂直になるように置かれたシ
リンドリカルレンズないしは円筒面鏡、更に集束位置に
置かれた集束線分と斜めに交わる辺（曲線でも良い）を
有するアパチャーと、該アパチャーの透過光を投影可視
化する撮像素子ないしは写真乾板（フィルム）、スクリ
ーン等の可視化手段とを有するものである。

【００１４】なおこの発明の表面特性評価装置におい
て、アパチャーと可視化手段の間には、必要に応じてシ
リンドリカルレンズないし円筒面鏡を含む投影手段が設
けられる。

【００１５】加えて請求項５の表面特性評価装置は、請
求項２から４に使われるアパチャーの好ましい形態を与
えるもので、集束線分と斜めに交わる辺を有する図形に
加えて、集束線分と垂直に交わるスリットを少なくとも
一つ有するアパチャーを使ったものである。

【００１６】

【作用】図２１，２２，２３を使って本発明請求項２の
作用を説明する。同図は本発明請求項２による表面特性
評価装置の実施例であり、図２１は斜視図、図２２，２
３は平面図である。

【００１７】電球１の光は凸レンズ２２によって平行光
に近い光線に変えられ、さらにシリンドリカルレンズ２
３で試料５の表面に線分状に集束される。表面からの反
射光はシリンドリカルレンズ２４で受けられアパチャー
を有するマスク７上でｚ方向に所定の幅を持つように伝
えられる。シリンドリカルレンズ２４とマスク７の間に
はシリンドリカルレンズ２５があるが、図２２に示すよ
うに２５はｚ方向にレンズ作用を持たないから、２４の
作用のみによってこの幅は決まる。一方ｘｙ面内ではシ
リンドリカルレンズ２３，２４はレンズ作用を持たず、
近似平行光のまま２５に達し、２５のレンズ作用でマス
ク７上に集束される。

【００１８】図１０(a)(b)(c)はアパチャー１８を持つ
マスク７の例である。試料からの反射光は１７のように
線分状に集束される。試料面が十分平滑であれば１７の
ｙ方向の幅ｗは以下の式で表される。ｗ＝Ｓ（ｆ₂₅／ｆ₂₂）・・・なおここでＳは電球１のフィラメントサイズ、ｆ₂₅，ｆ
₂₂はそれぞれレンズ２５，２２の焦点距離を示す。

【００１９】図２４は試料５の表面で光線が反射する様
子を示している。試料面にうねりがあるとき、(b)に示
すように試料面の垂線とｙ（ｙ’）軸を含む面内で基準
平面（試料面の凹凸を均した平面）より角度θだけ傾い
た場所で反射した光は同面内で２θだけ反射方向を変
え、ｘｙ面内でｘ軸より２θcosφ（これは、θが０と
近似でき、本発明はθが１０^-2以下の僅かなうねりを測
定対象としているから）だけ傾いてシリンドリカルレン
ズ２５に向かうことになり、従ってこの反射光によるマ
スク７上の線分像１７はｙ方向に２θｆ₂₅cosφだけ基
準平面のものからずれることになる。線分像１７とアパ
チャー１８が重なった部分の光がビデオカメラ９の撮像
素子上に投影されるが、１８は斜辺を有するため１７の
ｙ方向の移動がｚ方向の光線位置の変化を与えることに
なる。さらに図２４の点線で示したように、試料上のｙ
座標はシリンドリカルレンズ２５によって撮像素子上に
結像投影されるため、撮像素子上にはｙ座標が試料上の
ｙ座標に対応し、各ｙ座標位置の傾斜によってｚ方向に
明部の位置や幅が異なる映像すなわち傾度の位置変化を
示すグラフが得られる。

【００２０】例えば図１０(a)(b)(c)の各アパチャーに
よって得られる斜度グラフは図１８(a)(b)(c)のように
なる。ただしアパチャー上に得られる線分像１７の幅ｗ
が十分小さくない場合に、(c)のアパチャーでは得られ
るグラフは図１９(a)のようになり分かりずらい。あら
かじめｗの大きさが予測できる場合は図１１のように二
つの三角窓１８の間にｗだけ隙間を開ければ図１８(c)
のグラフが得られる。更に好ましくは二つの三角窓を別
々の板に形成し、その間隔を調整できるようにすれば良
い。また二つの三角窓に異なる色を付ける（色フィルタ
ーとする）ことによって、図１９(b)のように正の部分
と負の部分を色分けしたグラフを得ることもできる。

【００２１】本実施例では図２２に示すようにシリンド
リカルレンズ８によってアパチャーのｚ座標の像が撮像
素子上に結ばれるため明部と暗部の境が明瞭な像が得ら
れる。８が無い場合にはシリンドリカルレンズ２４によ
って規制された光線によるアパチャーの影として像が得
られるが、点光源１の大きさに起因するぼけを生じるた
め、像の明部と暗部の境はやや曖昧になる。ただ図２２
の電球１とレンズ２２による光源部を、レーザー光源と
ビームエクスパンダーによる極めて平行度の高い光源に
置き変えれば、シリンドリカルレンズ８が無くても明瞭
さの差がほとんどない像を得ることができる。

【００２２】次に図４，５，６の実施例を使って請求項
３の作用を説明する。

【００２３】本実施例ではガスレーザー１２とビームエ
クスパンダー１０を光源部に使っている。ここではビー
ムスプリッター２を導入したことにより、図２２の装置
中のシリンドリカルレンズ２３，２４を一つのシリンド
リカルレンズ４で兼ねることができ、さらに図２０に示
すように、図２４(C)におけるφをゼロにすることがで
きるため、試料の位置合わせが楽になる。この意味で実
用性が高いがビームスプリーターによる照明光のロスが
大きいため、光源の明るさに余裕がなければならない。

【００２４】本実施例ではレーザーを光源としたためシ
リンドリカルレンズ１３は無くても像の質の面では問題
ないが、１３の焦点距離と位置を工夫して拡大・縮小の
効果を持たせることができ、これによって斜度の測定感
度を変えることができるため、この意味で１３を導入す
る事は有効である。

【００２５】さらに図１，２，３の実施例を使って請求
項４の作用を説明する。

【００２６】本実施例では、ビームスプリッター２がレ
ンズ３と電球１の間に置かれ、レンズ３の集束作用をア
パチャー上への集束に部分的に利用している。シリンド
リカルレンズ６によってｚ方向とｘ方向の集束位置をず
らし、アパチャー上で線分状に集束するようにしてある
が、図３に示すようにｚ方向にもレンズ３の集束作用が
利いているため図４のようにｚ方向の集束をしないもの
に比べ像の明るさを増す効果がある。同様の機能を請求
項３に従ってビームスプリッターの位置をシリンドリカ
ルレンズ４とレンズ３の間に置く構成では、レンズある
いはシリンドリカルレンズを一枚余計に使わなければな
らない。すなわち請求項４は部品数を増やさずに明るさ
を増す光学系を構成することを可能にするものである。

【００２７】すでに述べたように本発明ではアパチャー
の形状を変えることによって様々な表現を持つグラフを
得ることができる。請求項５は得られるグラフに目盛り
線を入れることによって見やすくするものである。実際
には図１２のように集束線分１７に垂直なスリット１９
を設ければよく、これによって図１９（ｃ）のようにグ
ラフ上に目盛り線２１が得られる。スリット１９をアパ
チャー１８と異なる色にすれば、シグナルと区別しやす
くなる。

【００２８】本評価装置の測定感度は、光学系の構成と
撮像素子のサイズ（写真の場合は引き延ばし倍率）によ
って決まる。例えば図２１〜２３の装置では、先に述べ
たとうり基準平面からθだけ傾いた面の反射光によるマ
スク７上の線分像１７はｙ方向に２θｆ₂₅cosφだけ基
準平面のそれからずれる。このときアパチャー１８の斜
辺と線分像１７の交わるｚ座標は２θｆ₂₅cosφtanαだ
け基準平面のそれと異なり、シリンドリカルレンズ８に
よって投影される倍率をＭとすれば、最終的に撮像素子
上のｚ座標のずれは２Ｍθｆ₂₅cosφtanαとなる。

【００２９】これらの要素の中で光学系の再調整を必要
とせずに、容易に変更できる部分はアパチャーの斜辺の
傾斜角αである。従ってαの異なるアパチャーを数種類
用意して、これらを交換しつつ感度調節をすれば良い。

【００３０】以上のように本評価装置の測定感度は計算
によって容易に求められるが、実際に曲律半径が知れて
いる球面レンズやシリンドリカルレンズ面などによって
測定の確度、精度を確認しておくと良い。

【００３１】

【実施例】すでに上げた通り図２１，２２，２３は本発
明請求項２の実施例、図４，５，６は請求項３の実施
例、図１，２，３は請求項４の実施例であり、全て請求
項１の評価方法を実現した実施例でもある。

【００３２】更に図７，８，９は本発明請求項４の他の
実施例である。ここでマスク７はレンズ３から焦点距離
だけ離れて置かれており、シリンドリカル凹レンズ１４
でｚ方向の結像位置を変えて７上の線分像を得ている。
またレンズ３だけではｘ（ｙ）方向の像が得られないた
め、レンズ１６を加えて像を得ている。本構成では１６
と３はタンデムで使われているためｘ（ｙ）方向の像倍
率はｆ₁₆／ｆ₃である。一方ｚ方向にはシリンドリカル
レンズ１５とレンズ１６の二枚のレンズによってアパチ
ャー位置の像が撮像素子上に得られる。

【００３３】なお、ここでシリンドリカル凹レンズ１４
の代わりに凸のシリンドリカルレンズを使用することも
可能であるが、その場合には１５，１６のｚ方向の幅が
十分広い（アパチャー幅の２〜３倍以上）ことが必要と
される。

【００３４】次に本発明に使われるアパチャーの例を挙
げる。図１３，図１４は斜辺が曲線であるアパチャーの
例で請求項５のアパチャーである。図１３のように上に
凸の曲線としては対数関数が有効であり、斜度の測定レ
ンジを広くとれる利点がある。一方図１４のように下に
凸の曲線としては二次曲線が有効で、得られる斜度グラ
フの明部の面積が斜度の標準偏差を表すことになる。

【００３５】また図１５は図１０(b)のアパチャーに目
盛り線用のスリットを入れた請求項５のアパチャーの例
である。

【００３６】加えて図１６は図１２と図１３のアパチャ
ーによるグラフを同時に得ようとするものである。

【００３７】さらに図１７は図１８(c)の明部と暗部が
反転したグラフを得るものである。

【００３８】以上の実施例では、レンズとシリンドリカ
ルレンズを光線の集束や投影に用いたものを挙げたが、
これらは同様の機能を有する曲面鏡に置き換えることが
可能である。

【００３９】図２５は図１，図７のシリンドリカルレン
ズ４を円筒凹面鏡２６に置き換えた部分斜視図である
が、色収差を持たない点でシリンドリカルレンズより有
利である。この円筒凹面鏡のカーブは試料５上に焦点を
持つ放物線であれば理想的である。

【００４０】また図２６は図２３のレンズ２２を放物面
鏡２７で置き換えた部分平面図である。同様に色収差を
持たない特徴を持つ。

【００４１】本発明の表面特性評価装置では、試料表面
に集束される線分が有限の幅を持ち、この幅が本測定の
ｚ方向の解像度を決める。図４の装置のようにレーザー
を光源に使う場合にはこの幅は数μｍ程度に狭くできる
が、光源に電球を使う場合にはフィラメントのサイズが
１mm程度であるためあまり狭くはできない。例えば図１
の装置では集束幅がＳ×ｆ₄／ｆ₃となるから、Ｓ＝１m
m，ｆ₄＝２０mm，ｆ₃＝２００mmの場合線分幅は０．１m
mである。Ｓ，ｆ₄，ｆ₃を変えたり、図２７のようにピ
ンホール２９を使って絞った光を光源とすることによ
り、さらに線分幅を狭めることは可能であるが、現実的
には数十μｍが限界である。

【００４２】以上説明した実施例の装置では、一次元の
斜度情報しか得られないが、二次元の情報を得たい場合
には試料５を測定線分と垂直な方向に移動させる装置
と、画像情報を高速で取りこみ、解析、記憶する画像処
理装置を組み合わせれば良い。

【００４３】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の表面特性評
価方法および装置によって、塗装面や樹脂成型物などの
反射性表面のうねりを、直接外観に影響する斜度の情報
として簡便にグラフ化することが可能になった。さらに
得られた斜度の情報を積分（和分）することによって、
表面の形状を求めることも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明請求項４による表面特性評価装置の斜視
図である。

【図２】本発明請求項４による表面特性評価装置のカメ
ラ側の光路を示した部分平面図である。なお実際にはビ
ームスプリッター２の位置で光路は折れ曲がっている
が、分かりやすくするため直進しているように記した。
図３も同様である。

【図３】本発明請求項４による表面特性評価装置のカメ
ラ側の光路を示した部分平面図である。

【図４】本発明請求項３による表面特性評価装置の斜視
図である。

【図５】本発明請求項３による表面特性評価装置のカメ
ラ側の光路を示した部分平面図である。

【図６】本発明請求項３による表面特性評価装置のカメ
ラ側の光路を示した部分平面図である。

【図７】本発明請求項４による表面特性評価装置の斜視
図である。

【図８】本発明請求項４による表面特性評価装置のカメ
ラ側の光路を示した部分平面図である。なお実際にはビ
ームスプリッター２の位置で光路は折れ曲がっている
が、分かりやすくするため直進しているように記した。
図９も同様である。

【図９】本発明請求項４による表面特性評価装置のカメ
ラ側の光路を示した部分平面図である。

【図１０】本発明による表面特性評価装置に使われるア
パチャー例の平面図である。

【図１１】本発明による表面特性評価装置に使われるア
パチャーの例の平面図である。

【図１２】本発明請求項５による表面特性評価装置に使
われるアパチャーの例の平面図である。

【図１３】本発明請求項５による表面特性評価装置に使
われるアパチャーの例の平面図である。

【図１４】本発明請求項５による表面特性評価装置に使
われるアパチャーの例の平面図である。

【図１５】本発明請求項５による表面特性評価装置に使
われるアパチャーの例の平面図である。

【図１６】本発明請求項５による表面特性評価装置に使
われるアパチャーの例の平面図である。

【図１７】本発明による表面特性評価装置に使われるア
パチャーの例の平面図である。

【図１８】本発明による表面特性評価装置で得られる一
例の斜度グラフである。

【図１９】本発明による表面特性評価装置で得られる一
例の斜度グラフである。

【図２０】本発明の斜度測定原理の説明図である。

【図２１】本発明請求項２による表面特性評価装置の斜
視図である。

【図２２】本発明請求項２による表面特性評価装置の光
路を示した平面図である。

【図２３】本発明請求項２による表面特性評価装置のカ
メラ側の光路を示した部分平面図である。

【図２４】本発明の斜度測定原理の説明図である。

【図２５】本発明請求項３，４による表面特性評価装置
の部分斜視図である。

【図２６】本発明による表面特性評価装置の部分平面図
である。

【図２７】本発明の表面特性評価装置の光源部分の改良
例の斜視図である。

【符号の説明】

１光源（電球）２ビームスプリッター３凸レンズ４シリンドリカルレンズ５試料６シリンドリカルレンズ７マスク８シリンドリカルレンズ９ビデオカメラ１０ビームエクスパンダー１１シリンドリカルレンズ１２レーザー１３シリンドリカルレンズ１４シリンドリカルレンズ（凹）１５シリンドリカルレンズ１６凸レンズ１７線分像１８アパチャー１９スリット２０シグナル（色付き）２１目盛り線２２凸レンズ２３シリンドリカルレンズ２４シリンドリカルレンズ２５シリンドリカルレンズ２６円筒凹面鏡２７放物面鏡２８凸レンズ２９ピンホール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】点光源とレンズあるいは放物面鏡との組
み合わせによって作られる平行度の高い照明光を、被測
定面に直線状に集束した後、被測定面からの反射光を集
束光学系によって該集束線分の長手方向に垂直な線分状
に集束し、更に集束位置に置かれた集束線分と斜めに交
わる辺を有するアパチャーを通過した光を、可視化手段
に投影し、可視化することによって、被測定面の平滑性
を評価する表面特性評価方法。
【請求項２】点光源とレンズあるいは放物面鏡との組
み合わせによる平行度の高い照明光源と、該照明光を被
測定面に線分状に集束するシリンドリカルレンズあるい
は円筒凹面鏡と、被測定面からの反射光を該集束線分の
長手方向に垂直な線分状に集束する集束手段と、更に集
束位置に置かれた集束線分と斜めに交わる辺を有するア
パチャーと、該アパチャーの透過光を投影可視化する可
視化手段とを有する表面特性評価装置。
【請求項３】点光源とレンズあるいは放物面鏡との組
み合わせによる平行度の高い照明光源と、該照明光を被
測定面に線分状に集束し、反射光を再び通過させて近似
平行光にするシリンドリカルレンズあるいは円筒凹面鏡
と、該近似平行光の一部を入射照明光と分けて取り出す
ビームスプリッターと、更に分離した光を該集束線分ま
たはビームスプリッターで偏向している場合の集束線分
の鏡像の長手方向に垂直な線分状に集束する集束手段
と、更に集束位置に置かれた集束線分と斜めに交わる辺
を有するアパチャーと、該アパチャーの透過光を投影可
視化する可視化手段とを有する表面特性評価装置。
【請求項４】点光源と、この光を平行度の高い照明光
とするレンズあるいは放物面鏡と、該照明光を被測定面
に線分状に集束し、反射光を再び通過させて近似平行光
にするシリンドリカルレンズあるいは円筒凹面鏡と、該
近似平行光が先のレンズあるいは放物面鏡を通った後、
一部を入射照明光と分けて取り出すビームスプリッター
と、更に分離した光を該集束線分またはビームスプリッ
ターで偏向している場合の集束線分の鏡像の長手方向に
垂直な線分状に集束する、母線が該線分に平行ないしは
垂直になるように置かれたシリンドリカルレンズないし
は円筒面鏡と、集束位置に置かれた集束線分と斜めに交
わる辺を有するアパチャーと、該アパチャーの透過光を
投影可視化する可視化手段とを有する表面特性評価装
置。
【請求項５】上記アパチャーが集束線分と斜めに交わ
る辺を有する図形に加えて、集束線分と垂直に交わるス
リットを少なくとも一つ有することを特徴とする、請求
項２〜４に記載の表面特性評価装置。
【請求項６】前記アパチャーと可視化手段の間には、必
要に応じてシリンドリカルレンズないし円筒面鏡を含む
投影手段を設けることを特徴とする、請求項２〜５に記
載の表面特性評価装置。