JPH0526802A - 顕微鏡観察用恒温加湿槽 - Google Patents

顕微鏡観察用恒温加湿槽

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JPH0526802A
JPH0526802A JP20111791A JP20111791A JPH0526802A JP H0526802 A JPH0526802 A JP H0526802A JP 20111791 A JP20111791 A JP 20111791A JP 20111791 A JP20111791 A JP 20111791A JP H0526802 A JPH0526802 A JP H0526802A
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JP
Japan
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constant temperature
tank
humidifying
sample
sample chamber
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Application number
JP20111791A
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English (en)
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Yuji Ikuta
優司 生田
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NEC Corp
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 恒温加湿環境に保たれた試料を、試験環境を
変化させることなく長時間連続的に顕微鏡観察する。 【構成】 恒温加湿装置100からの加湿空気を恒温加
湿槽1の内部の試料室20に導入する。観察窓10には
恒温槽内壁の結露を防止するために発熱線をガラスに埋
め込む。このような構造によって、加湿試験を行いなが
ら試料の顕微鏡観察が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、温度および湿度を一定
条件にしたまま試料の顕微鏡観察を可能とする顕微鏡観
察用恒温加湿槽に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の恒温加湿槽は、加熱部、冷却部お
よび加湿部を持つ密閉槽で、この槽内に温度センサや湿
度センサを備えており、温湿度変化を検出し、これに応
じて加熱冷却あるいは加湿することで恒温加湿環境を作
り出している。従来の恒温加湿槽は恒温加湿部と恒温加
湿槽部が一体化した比較的大きな構造となっており、大
量の試料を恒温加湿環境に保持する点および精度よい環
境制御の点で優れている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記恒温加湿
部と恒温加湿槽部が一体化した密閉構造では、試験中の
試料の検査や観察を行う場合、密閉槽の一部に微小な穴
を設け、この穴より例えば電気信号ケーブルやマイクロ
スコープ等を挿入して行われる。しかし試料の微細部の
観察は、精度良い位置決めが困難で、また槽内のファン
などによる振動の問題もあり、一旦密閉槽外に試料を取
り出して行われている。従って観察においては一時的に
環境を変化させることになり、一定環境下での連続観察
はできない。本発明は、このような従来の事情に対処し
てなされたもので、一定の環境下で試料の外観拡大観察
を可能とする恒温加湿槽を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、内部に試料室
を備えた恒温加湿槽であって、結露防止手段を有する観
察窓と、槽外部から試料室に恒温加湿ガスを流入出する
手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡観察用恒温加湿
槽、および、内部に試料室を備えた恒温加湿槽であっ
て、結露防止手段を有する観察窓と、槽外部から試料室
に恒温加湿ガスを流入出する手段と、前記試料室の周囲
に恒温液または恒温ガスを循環する保温槽と、恒温加湿
槽外部から前記保温槽に恒温液または恒温ガスを流入出
する手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡観察用恒温
加湿槽である。また上記各発明においては、結露防止手
段として、発熱線を用いることを好適とする。
【0005】
【実施例】次に、本発明の実施例について詳述する。図
1は恒温加湿装置(湿気発生装置)100と恒温水槽
(温水槽)200および吸引ポンプ300を用いた時の
顕微鏡観察用恒温加湿槽の一実施例で、顕微鏡観察用恒
温加湿槽1は試料室20と試料室内部を観察する観察窓
10および試料室を一定温度に保つための保温槽30で
構成され、湿気発生装置100でつくられた恒温加湿ガ
ス、一般には恒温加湿空気はパイプ50を経て流入出口
21より試料室20へ供給される。このときの恒温加湿
空気を供給する駆動は流入出口22にパイプ51で接続
された吸引ポンプ300で行われる。図1では、吸引ポ
ンプ300より排出された恒温加湿空気は排出口302
よりそのまま大気に放出されるが、この排出口より再び
湿気発生装置100へ戻すことも可能である。一方、温
水槽200でつくられた温水はパイプ61を経て流入出
口31より保温槽30に入り、循環した後流入出口32
よりパイプ60を経て温水槽200へ戻る。この保温槽
30は試料室を一定温度に保ち、恒温加湿空気の温度と
湿度を一定にする目的で使用されるものであり、湿気発
生装置100の制御温度と同じ温度にすることが望まし
いが、例えば恒温加湿空気の設定温度が室温付近である
場合は保温槽30に温水を供給しなくともよいか、ある
いは保温槽30はなくともよい。観察窓10には結露防
止のため発熱線11が埋め込まれ、印加電圧を可変抵抗
器12で調節することで試料室20の温度湿度に対応で
きるようになっている。従って、本発明の顕微鏡観察用
恒温加湿槽は、湿気発生装置や温水槽あるいは吸引ポン
プと各種パイプで接続された構造であり、小型軽量化が
でき、一般に使用される顕微鏡による精度良い観察が可
能となる。
【0006】図2は温水の代わりに恒温加湿空気を保温
槽30に供給したときの実施例で、湿気発生装置100
でつくられた恒温加湿空気の一部は保温のためにも使用
される。即ち湿気発生装置100でつくられた恒温加湿
空気の一部は流入出口21より試料室20に入り、他方
は31の流入出口より保温槽30へ供給される。流入し
た恒温加湿空気で試料室のものは流入出口22から保温
槽内のものは流入出口32から、吸引ポンプ300によ
って排出される。この実施例では、試料室への恒温加湿
空気の流入量を調節できるように流量調節バルブ52が
パイプ51に取り付けられている。吸引ポンプ300よ
り排出された恒温加湿空気は再び湿気発生装置100へ
戻される。
【0007】図3は顕微鏡観察用恒温加湿槽1と湿気発
生装置100の距離が離れていたり、恒温加湿空気の設
定温度が高かったりして外気の影響を受け易い場合の実
施例で、この場合湿気発生装置100と試料室20を連
結するパイプ15は、図4の拡大部に示すようなものが
望ましい。このパイプは同心円柱の二重構造となってお
り、管57の管内を恒温加湿空気が移動し、その周りの
管58に、温水槽200でつくられた温水を55の流入
出口より供給する。温水は次に56の流入出口より流出
して保温槽30へ供給され、保温槽内を循環した後温水
槽200へ流入出口32より戻される。なお保温槽に供
給する媒体は、温水のみならず、図5に示したように恒
温加湿空気でもかまわない。この時は、パイプ15の外
側の管58には、湿気発生装置100で発生した加湿空
気が移動する。
【0008】図6は試料室20に試料35を入れ、リー
ド線38を接続したときの実施例である。試料35は試
料台36に押えネジ37で固定され、試料上の一部にリ
ード線38を接続し、これをパッキン付き穴39より外
部へ取り出している。このように電気信号ケーブルを試
料室内に導くことが出来るため、例えば温湿度測定のた
めのセンサなども試料室に取り付けることが可能とな
る。
【0009】図7は、結露防止手段として発熱線の代わ
りに、手動式のワイパー80を取り付けた時の実施例で
ある。ワイパー80は、支持棒81によって観測窓10
に取り付けられ、つまみ82を回すことで結露を除去す
る。但し長時間の連続観測では、結露する度に除去しな
くてはならず、作業効率がやや劣るが、機械的手段での
み結露を防止できる。
【0010】図8は、結露防止手段として、保温水を観
察窓内部に循環させた時の実施例である。この実施例の
場合、観察窓10は、サンドイッチ型の二重構造をして
いる。温水槽200で作られた温水は、パイプ61を通
り、一方は保温槽30に、もう一方は流入出口72から
保温槽71へと導かれ、観察窓保温槽70へ流れる。そ
の後流入出口73からパイプ60を経て、再び温水槽2
00へと戻る。この実施例の場合、観察窓10が厚くな
るため、拡大観察時に焦点深度を長くとる必要性が生
じ、高倍率での観察にはやや不向きである。また長時間
使用する際に、温水槽内の循環水の汚れや観察窓の汚染
に注意する必要がある。このように結露防止手段は幾つ
も考えられるが、観察物や装置に応じて設計すればよ
い。実用性の面では発熱線を用いた場合が最も合理的で
ある。
【0011】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の顕微鏡観
察用恒温加湿槽は、恒温加湿装置や温水槽あるいは吸引
ポンプとは基本的には独立した形態となっているので、
小型軽量化ができ、また恒温加湿装置や温水槽を限定す
ることなく、互換性の点で汎用性がある。また一般に使
用される顕微鏡などで試料の環境を変化させることなく
精度よい連続観察が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例による顕微鏡観察用恒温加湿
槽を使用したシステムの一例の構成図である。
【図2】本発明の一実施例による顕微鏡観察用恒温加湿
槽を使用したシステムの一例の構成図である。
【図3】本発明の一実施例による顕微鏡観察用恒温加湿
槽を使用したシステムの一例の構成図である。
【図4】図3のシステムで使用される接続管の拡大断面
図である。
【図5】本発明の一実施例による顕微鏡観察用恒温加湿
槽を使用したシステムの一例の構成図である。
【図6】本発明の一実施例による顕微鏡観察用恒温加湿
槽の断面図である。
【図7】本発明の一実施例による顕微鏡観察用恒温加湿
槽の断面図である。
【図8】本発明の一実施例による顕微鏡観察用恒温加湿
槽を使用したシステムの一例の構成図である。
【符号の説明】
1 顕微鏡観察用恒温加湿槽 10 観察窓 11 発熱線 12 可変抵抗器 15 パイプ 20 試料室 21,22 加湿空気流入出口 22 加湿空気流出 30,71 保温槽 31,72 保温水流
入口 32,73 保温水流出口 33 断熱材 35 試料 36 試料台 37 押えネジ 38 リード線 50 加湿空気導入管 51 加湿空気流出管 60,61 恒温水導入出管 70 観察窓保温槽 80 ワイパー 81 ワイパー支持棒 82 つまみ 100 恒温加湿装置 101 加湿空気取り出し口 200 恒温水槽 201,202 恒温水取り出し,取り込み口 300 吸水ポンプ 301 加湿空気吸引
口 302 加湿空気排出口

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部に試料室を備えた恒温加湿槽であっ
    て、結露防止手段を有する観察窓と、槽外部から試料室
    に恒温加湿ガスを流入出する手段とを備えたことを特徴
    とする顕微鏡観察用恒温加湿槽。
  2. 【請求項2】 内部に試料室を備えた恒温加湿槽であっ
    て、結露防止手段を有する観察窓と、槽外部から試料室
    に恒温加湿ガスを流入出する手段と、前記試料室の周囲
    に恒温液または恒温ガスを循環する保温槽と、恒温加湿
    槽外部から前記保温槽に恒温液または恒温ガスを流入出
    する手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡観察用恒温
    加湿槽。
  3. 【請求項3】 結露防止手段として発熱線を具備するこ
    とを特徴とする請求項1記載の顕微鏡観察用恒温加湿
    槽。
  4. 【請求項4】 結露防止手段として発熱線を具備するこ
    とを特徴とする請求項2記載の顕微鏡観察用恒温加湿
    槽。
JP20111791A 1991-07-17 1991-07-17 顕微鏡観察用恒温加湿槽 Pending JPH0526802A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7382532B2 (en) 2003-06-02 2008-06-03 Nikon Corporation Microscope system
JP2009174998A (ja) * 2008-01-24 2009-08-06 Bruker Axs Kk 湿度雰囲気用熱機械分析装置
KR20190083553A (ko) * 2018-01-04 2019-07-12 재연 성 극저온 실험 테스트 장치

Cited By (4)

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