JPH05258599A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Publication number
JPH05258599A
JPH05258599A JP3295362A JP29536291A JPH05258599A JP H05258599 A JPH05258599 A JP H05258599A JP 3295362 A JP3295362 A JP 3295362A JP 29536291 A JP29536291 A JP 29536291A JP H05258599 A JPH05258599 A JP H05258599A
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JP
Japan
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circuit
burn
signal
clock signal
input
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3295362A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsue Tagaya
充恵 多賀谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH05258599A publication Critical patent/JPH05258599A/en
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Abstract

PURPOSE:To apply a stress equal to a conventional stress on a unit bit without prolonging a burn-in time through the stress applied on the unit bit is decreased as a memory capacity is increased. CONSTITUTION:When a burn-in mode setting signal BTM is set to high level, by two 2 input logical AND circuits 2 and 3 and a logical OR circuit 4 to input the outputs of the circuits 2 and 3 as two inputs, a frequency is doubled by taking an exclusive-OR between a normal operating memory access clock signal CLK1 and a clock signal CLK2 which is used to a memory access at the time of a burn-in operation in a conventional semiconductor storage device. And a circuit, which outputs the signal as memory access clock signal CLK3 at the time of a burn-in, is provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICの製造工程におけるスクリーニング
として初期不良を取り除く目的や、ICの信頼性試験に
おける寿命試験の目的で、製品に高温・高電圧ストレス
を印加するバーンインを実施する。バーンインにはスタ
ティックバーンインとダイナミックバーンインの2通り
があるが、本発明の対象となるのは、製品を動作状態に
して行うダイナミックバーンインである。
2. Description of the Related Art Burn-in for applying high temperature / high voltage stress to a product is carried out for the purpose of removing an initial defect as a screening in an IC manufacturing process and for a life test in a reliability test of an IC. There are two types of burn-in, static burn-in and dynamic burn-in. The subject of the present invention is dynamic burn-in in which the product is in an operating state.

【0003】ダイナミックバーンイン実行時には、外部
より入力されたある一定サイクルのクロックをそのまま
利用して1ワード分のデータをアクセスする。ところが
この外部より入力されるクロックとしては、メモリの高
速化に関わらず常に一定のサイクルで使用しているの
で、最近の高速化されたメモリの実使用時の1ワード分
のデータのアクセス動作時間に対し、バーンイン時のア
クセス動作時間が10倍位になってきている。
When performing dynamic burn-in, one word of data is accessed using the clock of a certain fixed cycle input from the outside as it is. However, since the clock input from the outside is always used in a constant cycle regardless of the speedup of the memory, the access operation time of one word of data when the recent speeded up memory is actually used is used. On the other hand, the access operation time at the time of burn-in is about 10 times.

【0004】その上、近年メモリの大容量化されている
にも関わらずバーンインの実施時間は変わっていないの
で、実使用状態に比べバーンインによる単位ビット当り
にかかるストレスが軽減されている傾向にある。
Moreover, since the burn-in execution time has not changed in spite of the increase in the capacity of the memory in recent years, the stress applied to a unit bit by the burn-in tends to be reduced as compared with the actual use state. ..

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
半導体記憶装置におけるバーンインでは、メモリが更に
大容量化した場合、バーンイン実施時間を現状と同じま
まとすると単位ビット当りにかかるストレスが軽減され
るので、信頼性試験における寿命試験やスクリーニング
効果が望めなくなってしまう。また、仮に単位ビット当
りにかかるストレスを現状と同じままにするためには、
バーンイン実施時間を延長しなければならないという問
題点があった。
In the burn-in in the conventional semiconductor memory device as described above, when the capacity of the memory is further increased, if the burn-in execution time is kept the same as the current state, the stress applied per unit bit is reduced. Therefore, the life test and screening effect in the reliability test cannot be expected. Moreover, in order to keep the stress applied per unit bit as it is,
There was a problem that the burn-in implementation time had to be extended.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶装置
は、バーンインモードであるか否かを判定し、メモリア
クセスクロックの周波数を切り替える回路を有すること
を特徴としている。
The semiconductor memory device of the present invention is characterized in that it has a circuit for judging whether or not it is in the burn-in mode and switching the frequency of the memory access clock.

【0007】[0007]

【実施例】次に、本発明の最適な実施例について図面を
参照して説明する。図1(a)は本発明の第1の実施例
の構成を示すブロック図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an optimum embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1A is a block diagram showing the configuration of the first exemplary embodiment of the present invention.

【0008】図1(a)を参照すると、本実施例は、排
他的論理和回路1と、この排他的論理和回路1の出力信
号を1つの入力とする2入力の論理積回路2と、もう1
つの2入力論理積回路3と、これら2つの論理積回路2
および論理積回路3の出力信号を入力とする2入力論理
和回路4とからなっている。
Referring to FIG. 1A, in the present embodiment, an exclusive OR circuit 1 and a 2-input AND circuit 2 having an output signal of the exclusive OR circuit 1 as one input, Another one
Two 2-input AND circuit 3 and these two AND circuits 2
And a two-input logical sum circuit 4 which receives the output signal of the logical product circuit 3.

【0009】そして、排他的論理和回路1は、一方の入
力端がクロック信号入力端子5に接続されもう一方の入
力端がクロック信号入力端子6に接続されている。クロ
ック信号入力端子5には、メモリの通常動作時に用いら
れるメモリアクセス用外部クロック信号CLK1が入力
されており、クロック信号入力端子6には、チップの外
部から他のピンを介してバーンイン用のクロック信号C
LK2が入力されている。
The exclusive OR circuit 1 has one input terminal connected to the clock signal input terminal 5 and the other input terminal connected to the clock signal input terminal 6. An external clock signal CLK1 for memory access used during normal operation of the memory is input to the clock signal input terminal 5, and a clock for burn-in from outside the chip via another pin is input to the clock signal input terminal 6. Signal C
LK2 is input.

【0010】2入力論理積回路2は、一方の入力端が排
他的論理和回路1の出力端に接続され、もう一方の入力
端がテスト信号入力端子7に接続されている。このテス
ト信号入力端子7にはチップ上で発生されるバーンイン
モード設定信号BTMが入力される。このバーンインモ
ード設定信号BTMは従来の半導体記憶装置にも用いら
れているものであって、半導体記憶装置をバーンインす
る際には電源電圧を通常動作時より高くすることを利用
してこの電源電圧の変化を検知することによって、半導
体記憶装置が通常動作モードにあるか又はバーンインモ
ードにあるかを示すものである。本実施例では、通常動
作時にはバーンインモード設定信号BTMがロウレベル
になり、バーンイン時にはハイレベルになる。
In the 2-input logical product circuit 2, one input terminal is connected to the output terminal of the exclusive OR circuit 1, and the other input terminal is connected to the test signal input terminal 7. A burn-in mode setting signal BTM generated on the chip is input to the test signal input terminal 7. The burn-in mode setting signal BTM is also used in the conventional semiconductor memory device, and when the semiconductor memory device is burned in, the power source voltage is set higher than that in the normal operation so that the power source voltage The change is detected to indicate whether the semiconductor memory device is in the normal operation mode or the burn-in mode. In the present embodiment, the burn-in mode setting signal BTM becomes low level during normal operation and becomes high level during burn-in.

【0011】本実施例は、テスト信号入力端子7に入力
されるバーンインモード設定信号BTMのレベルによっ
てバーンインモードが否かを判定する。そして、バーン
インモードでない場合には、クロック入力信号端子5に
入力されるクロック信号CLK1をそのまま出力のクロ
ック信号CLK3としてメモリをアクセスする。一方、
バーンインモードである時には、クロック信号CLK1
とクロック信号CLK2との排他的論理和を取ることに
よって通常動作時に比べて周波数を高くしたクロック信
号CLK3を出力してメモリをアクセスする。本実施例
の場合は、以下に説明するように、メモリアクセス周波
数を2倍にしている。
In this embodiment, whether the burn-in mode is present or not is determined by the level of the burn-in mode setting signal BTM input to the test signal input terminal 7. When not in the burn-in mode, the memory is accessed by using the clock signal CLK1 input to the clock input signal terminal 5 as it is as the output clock signal CLK3. on the other hand,
When in the burn-in mode, the clock signal CLK1
And the clock signal CLK2 are exclusive-ORed to output the clock signal CLK3 having a frequency higher than that in the normal operation to access the memory. In the case of this embodiment, the memory access frequency is doubled as described below.

【0012】以下に、本実施例の回路動作について図1
(b)に示すタイミングチャートを用いて説明する。先
ず、バーンインモードである時には、バーンインモード
設定信号BTMがバイレベルになる。この結果、論理積
回路3は一方の入力端にロウレベルの信号が入力される
ことになるので、クロック信号CLK1の如何に関らず
必ずロウレベルの信号を出力する。一方、論理積回路2
は一方の入力端にハイレベルの信号が入力されることに
なるので、排他的論理和回路1の出力信号を論理和回路
4に伝送する。そして、論理和回路4は、一方の入力端
に論理積回路3からのロウレベル信号が入力されるの
で、論理積回路2の出力信号すなわち、クロック信号C
LK1とクロック信号CLK2との排他的論理和信号を
クロック信号CLK3として出力する。この時、図1
(b)に示すように、クロック信号CLK1とクロック
信号CLK2を、デューティファクタが1/2で同じで
あり周波数も同じであるようにして半パルス幅だけずれ
るように入力すると、クロック信号CLK2の2倍の周
波数のクロック信号CLK3が得られる。
The circuit operation of this embodiment will be described below with reference to FIG.
This will be described with reference to the timing chart shown in (b). First, in the burn-in mode, the burn-in mode setting signal BTM becomes bilevel. As a result, since the low-level signal is input to one input terminal of the AND circuit 3, the low-level signal is always output regardless of the clock signal CLK1. On the other hand, the AND circuit 2
Since a high-level signal is input to one of the input terminals, the output signal of the exclusive OR circuit 1 is transmitted to the OR circuit 4. Since the low-level signal from the AND circuit 3 is input to one input terminal of the OR circuit 4, the output signal of the AND circuit 2, that is, the clock signal C
An exclusive OR signal of LK1 and clock signal CLK2 is output as clock signal CLK3. At this time,
As shown in (b), when the clock signal CLK1 and the clock signal CLK2 are input so that they have the same duty factor of 1/2 and the same frequency and are deviated by a half pulse width, two clock signals CLK2 are input. A clock signal CLK3 having a doubled frequency is obtained.

【0013】一方、通常動作モードでは、バーンインモ
ード設定信号BTMがロウレベルになる。この結果、論
理積回路2は一方の入力端にロウレベルの信号が入力さ
れることになるので、排他的論理和回路1の出力信号の
如何に関らず必らずロウレベルの信号を出力する。一
方、論理積回路3は一方の入力端にハイレベルの信号が
入力されることになるので、クロック信号CLK1を論
理和回路4に伝送する。そして、論理和回路4は一方の
入力端に論理積回路2からのロウレベルが入力されるの
で、論理和回路3の出力信号すなわちクロック信号CL
K1をクロック信号CLK3として出力する。
On the other hand, in the normal operation mode, the burn-in mode setting signal BTM becomes low level. As a result, since the low-level signal is input to one of the input terminals of the AND circuit 2, the low-level signal is always output regardless of the output signal of the exclusive OR circuit 1. On the other hand, since the high-level signal is input to one input terminal of the logical product circuit 3, the logical product circuit 3 transmits the clock signal CLK1 to the logical sum circuit 4. Since the low level from the logical product circuit 2 is input to one input terminal of the logical sum circuit 4, the output signal of the logical sum circuit 3, that is, the clock signal CL.
K1 is output as the clock signal CLK3.

【0014】このように、本実施例によれば、バーンイ
ンモード設定信号BTMの電位レベルに応じてクロック
信号の周波数を切り替えて、クロック信号CLK1およ
びクロック信号CLK2よりも高い周波数でバーンイン
を実行することができる。
As described above, according to the present embodiment, the frequency of the clock signal is switched according to the potential level of the burn-in mode setting signal BTM, and the burn-in is executed at a higher frequency than the clock signals CLK1 and CLK2. You can

【0015】次に本発明の第2の実施例について述べ
る。図2(a)は、本発明の第2の実施例の構成を示す
ブロック図である。図2(a)を参照すると、本実施例
が第1の実施例と異なるのは論理積回路2の入力信号で
ある。本実施例においては、図1(a)における排他的
論理和回路1の出力信号の代りに発振回路8からのクロ
ック信号OSCが論理積回路2の入力端に入力されてい
るので、第1の実施例におけると同様の回路動作によっ
て、バーンインモード設定信号BTMの電位レベルに応
じて、クロック信号CLK1およびクロック信号OSC
のいずれか一方がクロック信号CLK3として出力され
る。従って、図2(b)に示すように、発振回路8から
のクロック信号OSCの周波数をクロック信号CLK1
の周波数よりも高いものにしておけば、バーンイン時の
クロック周波数を高くしてテストを効率的に実施するこ
とができる。ここで、半導体記憶装置には通常チップ上
に、メモリアクセス用の外部クロック信号CLK1より
も周波数の高いクロック信号を発生する発振回路が内蔵
されているので、この発振回路を利用すれば本発明の実
施のために特別に発振回路を設ける必要はなく、外部か
ら入力しなければならないクロック信号を減らすことが
できる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 2A is a block diagram showing the configuration of the second exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2A, the present embodiment differs from the first embodiment in the input signal of the AND circuit 2. In this embodiment, the clock signal OSC from the oscillation circuit 8 is input to the input terminal of the AND circuit 2 instead of the output signal of the exclusive OR circuit 1 in FIG. By the same circuit operation as in the embodiment, the clock signal CLK1 and the clock signal OSC are generated according to the potential level of the burn-in mode setting signal BTM.
One of the two is output as the clock signal CLK3. Therefore, as shown in FIG. 2B, the frequency of the clock signal OSC from the oscillation circuit 8 is set to the clock signal CLK1.
If it is set higher than the frequency of, the clock frequency during burn-in can be increased and the test can be efficiently performed. Here, since the semiconductor memory device usually has an oscillation circuit built-in on the chip for generating a clock signal having a frequency higher than the external clock signal CLK1 for memory access, if this oscillation circuit is used, the present invention can be used. It is not necessary to provide an oscillator circuit for implementation, and it is possible to reduce the number of clock signals that must be input from the outside.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体記
憶装置は、バーンインモード時にメモリアクセスクロッ
クの周波数を高い周波数に切り替えることによって外部
クロック1サイクル中に複数ワード分のデータをアクセ
スすることを可能にする回路を備えている。
As described above, the semiconductor memory device of the present invention can access data of a plurality of words during one cycle of the external clock by switching the frequency of the memory access clock to a high frequency in the burn-in mode. It has a circuit that enables it.

【0017】このことにより本発明によれば、メモリが
大容量化した場合でも、現状と同じバーンイン実施時間
で単位ビット当りに従来と同じストレスをかけることが
できる。
As a result, according to the present invention, even if the memory has a large capacity, the same stress can be applied to the unit bit per unit bit in the same burn-in execution time as the current state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】分図(a)は、本発明の第1の実施例の構成を
示すブロック図である。分図(b)は、分図(a)に示
す実施例の動作を説明するためのタイミングチャートを
示すである。
FIG. 1A is a block diagram showing a configuration of a first exemplary embodiment of the present invention. Diagram (b) is a timing chart for explaining the operation of the embodiment shown in diagram (a).

【図2】分図(a)は、本発明の第2の実施例の構成を
示すブロック図である。分図(b)は、分図(a)に示
す実施例の動作を説明するためのタイミングチャートを
示す図である。
FIG. 2A is a block diagram showing a configuration of a second exemplary embodiment of the present invention. Diagram (b) is a diagram showing a timing chart for explaining the operation of the embodiment shown in diagram (a).

【符号の説明】 1 排他的論理和回路 2,3 論理積回路 4 論理和回路 5,6 クロック信号入力端子 7 テスト信号入力端子 8 発振回路[Explanation of symbols] 1 exclusive OR circuit 2,3 AND circuit 4 logical OR circuit 5,6 clock signal input terminal 7 test signal input terminal 8 oscillator circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/10 481 8728−4M ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location H01L 27/10 481 8728-4M

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 バーンインモードであるか否かを判定
し、メモリアクセスクロックの周波数を切り替える回路
を有することを特徴とする半導体記憶装置。
1. A semiconductor memory device having a circuit for determining whether or not a burn-in mode is set and for switching a frequency of a memory access clock.
【請求項2】 バーンインモードおよび通常動作モード
に対応した電位レベルを有する二値制御信号と、外部か
ら入力される第1のクロック信号と、外部から入力され
る第2のクロック信号とを入力とし、 前記制御信号の電位レベルに応じて、前記第1のクロッ
ク信号と前記第2のクロック信号との排他的論理和信号
および前記第1のクロック信号のいずれか一方を選択し
て出力する回路を有することを特徴とする半導体記憶装
置。
2. A binary control signal having a potential level corresponding to a burn-in mode and a normal operation mode, a first clock signal input from the outside, and a second clock signal input from the outside as inputs. A circuit for selecting and outputting either one of the exclusive OR signal of the first clock signal and the second clock signal and the first clock signal in accordance with the potential level of the control signal. A semiconductor memory device having.
【請求項3】 外部から入力される第1のクロック信号
と、外部から外部から入力される第2のクロック信号と
を入力とする排他的論理和回路と、 前記排他的論理和回路の出力信号と、バーインモードお
よび通常動作モードに対応した電位レベルを有する二値
制御信号とを入力とする第1の論理積回路と、 前記第1のクロック信号と、前記制御信号の反転信号と
を入力とする第2の論理積回路と、 前記第1の論理積回路の出力信号と、前記第2の論理積
回路の出力信号とを入力とする論理和回路とからなる回
路を有することを特徴とする半導体記憶装置。
3. An exclusive OR circuit that receives a first clock signal input from the outside and a second clock signal input from the outside to the outside, and an output signal of the exclusive OR circuit. And a first AND circuit having a binary control signal having a potential level corresponding to the burn-in mode and the normal operation mode as inputs, the first clock signal, and an inverted signal of the control signal as inputs. And a second logical product circuit for inputting the output signal of the first logical product circuit and the output signal of the second logical product circuit. Semiconductor memory device.
【請求項4】 バーンインモードおよび通常動作モード
に対応した電位レベルを有する二値制御信号と、外部か
ら入力されるクロック信号と、内蔵された発振回路の出
力信号とを入力とし、 前記制御信号の電位レベルに応じて前記発振回路の出力
信号および前記クロック信号のいずれか一方を選択して
出力する回路を有することを特徴とする半導体記憶装
置。
4. A binary control signal having a potential level corresponding to a burn-in mode and a normal operation mode, a clock signal input from the outside, and an output signal of a built-in oscillation circuit are input, and the control signal A semiconductor memory device having a circuit for selecting and outputting either one of the output signal of the oscillation circuit and the clock signal according to a potential level.
【請求項5】 バーンインモードおよび通常動作モード
に対応した電位レベルを有する二値制御信号の反転信号
と、外部から入力されるクロック信号とを入力とする第
1の論理積回路と、 前記二値制御信号と、内蔵された発振回路の出力信号と
を入力とする第2の論理積回路と、 前記第1の論理積回路の出力信号と、前記第2の論理積
回路の出力信号とを入力とする論理和回路とからなる回
路を有することを特徴とする半導体記憶回路。
5. A first AND circuit which receives an inversion signal of a binary control signal having a potential level corresponding to a burn-in mode and a normal operation mode and a clock signal input from the outside, and the binary value. A second AND circuit that receives the control signal and the output signal of the built-in oscillation circuit, an output signal of the first AND circuit, and an output signal of the second AND circuit A semiconductor memory circuit having a circuit including a logical sum circuit having:
JP3295362A 1991-11-12 1991-11-12 Semiconductor storage device Withdrawn JPH05258599A (en)

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JP3295362A JPH05258599A (en) 1991-11-12 1991-11-12 Semiconductor storage device

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5708802A (en) * 1995-11-29 1998-01-13 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor memory device
US6967495B2 (en) 2002-04-05 2005-11-22 Fujitsu Limited Dynamic burn-in apparatus and adapter card for dynamic burn-in apparatus
US7023228B2 (en) 2001-09-26 2006-04-04 Fujitsu Limited Dynamic burn-in method and apparatus

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