JPH05248407A - Control method and device for linear actuator - Google Patents

Control method and device for linear actuator

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Publication number
JPH05248407A
JPH05248407A JP4557292A JP4557292A JPH05248407A JP H05248407 A JPH05248407 A JP H05248407A JP 4557292 A JP4557292 A JP 4557292A JP 4557292 A JP4557292 A JP 4557292A JP H05248407 A JPH05248407 A JP H05248407A
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JP
Japan
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yoke
signal
center
current
detent force
Prior art date
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Application number
JP4557292A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Mizuno
勉 水野
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Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH05248407A publication Critical patent/JPH05248407A/en
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Abstract

PURPOSE:To carry out precise positioning control by compensating a feedback signal as a compensating current for detent force which is static thrust at zero ampere of an exciting signal at the time of adding an output shaft displacement detecting signal as a feedback signal to the exciting signal. CONSTITUTION:A detent force compensating circuit 19 inputs a displacement signal of an output shaft 13 from a differential transformer 15 to a detent force compensating function circuit 2 as a displacement feedback signal (b). The displacement feedback signal (b) output from the detent force compensating function circuit 21 compensates for the detent force as a detent force compensating current signal (b1), and the signal (b1) and a current command signal (a1) are added by an adder 25 and input to a current amplifier circuit 25. The output current of the current amplifier circuit 25 is input as an exciting current (a2) to coils 9A, 9B of a linear actuator 1. The exciting current (a2) shows a smooth characteristic in the distribution of thrust. Accordingly, high speed and high performance positioning control can be conducted.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、油圧または空気圧直動
バルブ(油空圧直動バルブ)等に使用され、高速で、高
応答で、高性能で前記油空圧直動バルブ等を制御し得る
ニアアクチュエータの制御方法および装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used for hydraulic or pneumatic direct acting valves (hydraulic / pneumatic direct acting valves), etc., and controls the hydraulic / pneumatic direct acting valves etc. at high speed, with high response and high performance. The present invention relates to a method and apparatus for controlling a near actuator that can be used.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、リニアアクチュエータは、油空圧
直動バルブ用アクチュエータとして使用され、ヨーク内
に対向してセンタヨークを設け、このセンタヨークにそ
れぞれコイルを巻回し、前記センタヨークと直交し前記
ヨーク内に対向して中央磁極を設け、この中央磁極の間
に介在し、かつ前記センタヨークとの間を変位自在な可
動子を設けるものである。
2. Description of the Related Art Conventionally, linear actuators have been used as actuators for hydraulic / pneumatic direct-acting valves. Center yokes are provided in the yoke so as to face each other. Central magnetic poles are provided so as to face each other in the yoke, and a movable element that is interposed between the central magnetic poles and is displaceable between the central magnetic poles is provided.

【0003】この可動子の前記センタヨークに対向する
両側面にそれぞれ永久磁石を装着し、一端が前記センタ
ヨークを貫通して、例えば油空圧直動バルブに連結され
る出力軸を前記可動子に設け、前記コイルへの励磁電流
により、前記油空圧直動バルブ等への推力を制御するも
のである。
Permanent magnets are mounted on both side surfaces of the mover facing the center yoke, and one end of the mover penetrates the center yoke, and an output shaft connected to, for example, a hydraulic / pneumatic direct-acting valve is connected to the mover. It is provided for controlling the thrust to the hydraulic / pneumatic direct-acting valve and the like by the exciting current to the coil.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図6は従来
のリニアアクチュエータの静推力特性を示す。図におい
てコイルに流す励磁電流をパラメータとして表わすと、
静推力分布は正の傾斜を有し、不安定な系である。この
ために、このリニアアクチュエータにより油空圧バルブ
の駆動用として使用する際に、精密な油空圧バルブ制御
は困難であった。なお、この励磁電流の零アンペアにお
ける静推力をディテント力という。
By the way, FIG. 6 shows static thrust characteristics of a conventional linear actuator. In the figure, when the exciting current flowing in the coil is expressed as a parameter,
The static thrust distribution has a positive slope and is an unstable system. Therefore, it is difficult to perform precise hydraulic / pneumatic valve control when the linear actuator is used for driving the hydraulic / pneumatic valve. The static thrust force at zero ampere of the exciting current is called detent force.

【0005】本発明の目的は、上記問題点を改善するた
めに、静推力特性が平坦な特性となり、精密な位置決め
制御が可能となるリニアアクチュエータの制御方法およ
び装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a linear actuator control method and apparatus which have a flat static thrust characteristic to enable precise positioning control in order to solve the above problems.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ヨーク内に対向して設けられたセンタヨ
ークと、このセンタヨークにそれぞれ巻回されたコイル
と、前記センタヨークと直交し前記ヨーク内に対向して
設けられた中央磁極と、この中央磁極の間に介在し前記
センタヨークとの間を変位自在に設けられた可動子と、
前記センタヨークに対向する前記可動子の両側面にそれ
ぞれ貼付された永久磁石と、前記可動子に設けられ一端
が前記センタヨーク内を貫通し前記コイルへの励磁電流
により制御される出力軸とを有するリニアアクチュエー
タであって、前記出力軸の変位を検出する変位検出信号
をフィードバック信号として前記励磁信号に加算する際
に、前記励磁信号の零アンペアにおける静推力であるデ
ィテント力を補償する補償電流として前記フィードバッ
ク信号が補償されることを特徴とするリニアアクチュエ
ータの制御方法である。
In order to achieve the above object, the present invention is directed to a center yoke provided in the yoke so as to face each other, a coil wound around the center yoke, and the center yoke. Central magnetic poles that are orthogonal to each other and are provided to face each other in the yoke, and a mover that is interposed between the central magnetic poles and that is movable between the central yoke and the center yoke.
Permanent magnets attached to both side surfaces of the mover facing the center yoke, and an output shaft provided at the mover and having one end penetrating through the center yoke and controlled by an exciting current to the coil. A linear actuator having, as a compensation current for compensating a detent force, which is a static thrust force at zero ampere of the excitation signal, when a displacement detection signal for detecting the displacement of the output shaft is added to the excitation signal as a feedback signal. A method of controlling a linear actuator, wherein the feedback signal is compensated.

【0007】また、本発明は、ヨーク内に対向して設け
られたセンタヨークと、このセンタヨークにそれぞれ巻
回されたコイルと、前記センタヨークと直交し前記ヨー
ク内に対向して設けられた中央磁極と、この中央磁極の
間に介在し前記センタヨークとの間を変位自在に設けら
れた可動子と、前記センタヨークに対向する前記可動子
の両側面にそれぞれ貼付された永久磁石と、前記可動子
に設けられ一端が前記センタヨーク内を貫通し前記コイ
ルへの励磁電流により制御される出力軸とを有するリニ
アアクチュエータであって、前記出力軸の変位を検出す
る変位検出信号をフィードバック信号として前記励磁信
号に加算する際に、前記励磁信号の零アンペアにおける
静推力であるディテント力を補償する補償電流として前
記フィードバック信号が補償されるディテント力補償回
路を備えることを特徴とするリニアアクチュエータの制
御装置である。
Further, according to the present invention, a center yoke provided in the yoke so as to face each other, a coil wound around each of the center yokes, and a coil orthogonal to the center yoke and provided in the yoke so as to face each other. A center magnetic pole, a mover interposed between the center magnetic pole and displaceable between the center yoke, and permanent magnets attached to both side surfaces of the mover facing the center yoke, A linear actuator having an output shaft provided at the mover and having one end penetrating the inside of the center yoke and being controlled by an exciting current to the coil, wherein a displacement detection signal for detecting displacement of the output shaft is fed back as a feedback signal. As the compensation current for compensating for the detent force, which is the static thrust force at zero ampere of the excitation signal, is added to the excitation signal as the feedback current No. is a control system for a linear actuator, characterized in that it comprises a detent force compensation circuit to be compensated.

【0008】[0008]

【作用】本発明のリニアアクチュエータの制御方法およ
び装置を採用することにより、出力軸の変位を検出する
変位検出信号をフィードバック信号として励磁信号に加
算する際に、前記励磁信号の零アンペアにおける静推力
であるディテント力を補償する補償電流として前記フィ
ードバック信号を補償することによって、静推力特性が
平坦な特性となり、精密な位置決め制御が可能である。
By adopting the linear actuator control method and apparatus of the present invention, when the displacement detection signal for detecting the displacement of the output shaft is added as a feedback signal to the excitation signal, the static thrust force at zero ampere of the excitation signal is obtained. By compensating the feedback signal as a compensating current for compensating the detent force, the static thrust characteristic becomes flat and precise positioning control is possible.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて、詳
細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0010】図4は本発明が実施されたリニアアクチュ
エータの概略構成図、図5は図4のA部拡大図を示す。
図4および図5において、リニアアクチュエータ1は、
主としてヨーク3および可動子5から構成されている。
FIG. 4 is a schematic diagram of a linear actuator embodying the present invention, and FIG. 5 is an enlarged view of a portion A of FIG.
In FIGS. 4 and 5, the linear actuator 1 is
It is mainly composed of a yoke 3 and a mover 5.

【0011】ヨーク3は、多数のコアーを積層してな
り、ヨーク3内に対向して設けられたセンタヨーク7
A,7Bと、センタヨーク7A,7Bに直交し互いに対
向して設けられた中央電極8A,8Bと、センタヨーク
7A,7Bにそれぞれ巻回されたコイル9A,9Bとか
らなる。
The yoke 3 is formed by laminating a large number of cores, and a center yoke 7 is provided inside the yoke 3 so as to face each other.
A, 7B, center electrodes 8A, 8B provided orthogonal to the center yokes 7A, 7B and facing each other, and coils 9A, 9B wound around the center yokes 7A, 7B, respectively.

【0012】また、可動子5は、中央電極8A,8Bの
間に介在し、センタヨーク7A,7Bとの間を変位自在
に設けられ、この可動子5の両側面に前記センタヨーク
7A,7Bに対向してそれぞれ固着された永久磁石11
A,11Bと、この可動子5に直結されセンタヨーク7
A,7B内を移動自在に貫通する出力軸13とからな
る。この出力軸13の一端が図示されない油空圧バルブ
のスプールに連結され、他端がヨーク3の外側に設けら
れた差動トランス15内にあるものとする。
The mover 5 is interposed between the center electrodes 8A and 8B and is provided so as to be displaceable between the center yokes 7A and 7B. The center yokes 7A and 7B are provided on both side surfaces of the mover 5. Permanent magnets 11 fixed to face each other
A, 11B and a center yoke 7 directly connected to the mover 5
And an output shaft 13 that movably penetrates through the inside of A and 7B. It is assumed that one end of the output shaft 13 is connected to a spool of a hydraulic / pneumatic valve (not shown) and the other end is inside a differential transformer 15 provided outside the yoke 3.

【0013】リニアアクチュエータ1は、コイル9A,
9Bへの励磁電流を制御することによって、永久磁石1
1A,11Bとセンタヨーク7A,7Bとの間に発生す
る吸引力と反発力である推力Fによる変位Xによって、
前記油空圧バルブを制御することができる。
The linear actuator 1 includes a coil 9A,
By controlling the exciting current to 9B, the permanent magnet 1
1A, 11B and the center yoke 7A, 7B between the attraction force and the thrust force F is a repulsive force generated by the displacement X,
The hydraulic / pneumatic valve can be controlled.

【0014】この際、差動トランス15によって、出力
軸13の変位が検出され、前記油空圧バルブの制御装置
(図1)へフィードバックされるものとする。なお、出
力軸用リニアベアリング17がヨーク3内に設けられ、
出力軸13の変位を円滑にする。
At this time, the displacement of the output shaft 13 is detected by the differential transformer 15 and is fed back to the control device (FIG. 1) of the hydraulic / pneumatic valve. In addition, the output shaft linear bearing 17 is provided in the yoke 3,
Smooth the displacement of the output shaft 13.

【0015】次に、図1は本発明の一実施例であるディ
テント力補償回路のブロック図を示す。図においてディ
テント力補償回路19は、差動トランス15からの出力
軸13の変位信号を変位フィードバック信号bとして、
ディテント力補償関数回路21に入力する。
Next, FIG. 1 shows a block diagram of a detent force compensation circuit which is an embodiment of the present invention. In the figure, the detent force compensation circuit 19 uses the displacement signal of the output shaft 13 from the differential transformer 15 as the displacement feedback signal b,
Input to the detent force compensation function circuit 21.

【0016】このディテント力補償関数回路21より出
力される変位フィードバック信号bがディテント力補償
電流信号b1 としてディテント力を補償して、電流指令
信号a1 とが加算器25にて加算され、電流アンプ回路
25に入力される。この電流アンプ回路25の出力電流
がリニアアクチュエータ1のコイル9A,9Bへの励磁
(駆動)電流a2 として入力される。この励磁電流a2
は図2に示すように推力分布が平滑な特性を示してい
る。
The displacement feedback signal b output from the detent force compensation function circuit 21 compensates the detent force as a detent force compensation current signal b1 and the current command signal a1 is added by the adder 25, and the current amplifier circuit is obtained. 25 is input. The output current of the current amplifier circuit 25 is input to the coils 9A and 9B of the linear actuator 1 as an exciting (driving) current a2. This exciting current a2
Shows a characteristic that the thrust distribution is smooth as shown in FIG.

【0017】次に、図3は本発明によるリニアアクチュ
エータの油空圧バルブの制御回路のブロック図を示す。
図においてリニアアクチュエータ制御回路は、速度フィ
ールドバックと、変位フィールドバックとを有する制御
系であって、速度フィードバック内側ループにディテン
ト力補償回路19が挿入されている。
Next, FIG. 3 shows a block diagram of a control circuit for a hydraulic / pneumatic valve of a linear actuator according to the present invention.
In the figure, the linear actuator control circuit is a control system having a velocity field back and a displacement field back, and a detent force compensation circuit 19 is inserted in the velocity feedback inner loop.

【0018】油空圧バルブ27のスプールへの開度指令
信号aは、比較器29により差動トランス15の変位フ
ィールドバック信号bと比較された後、位置アンプ回路
31にて増幅される。
The opening command signal a to the spool of the hydraulic / pneumatic valve 27 is compared with the displacement field back signal b of the differential transformer 15 by the comparator 29, and then amplified by the position amplifier circuit 31.

【0019】この位置アンプ回路31より出力する電流
指令信号a0 は、変位フィールドバック信号bが微分器
33により、速度フィールドバック信号b2 に変換され
た後、比較器35により比較され速度アンプ回路37に
より増幅される。
The current command signal a0 output from the position amplifier circuit 31 is converted into the velocity field back signal b2 by the differentiator 33 from the displacement field back signal b and then compared by the comparator 35 and compared by the velocity amplifier circuit 37. Is amplified.

【0020】速度アンプ回路37で増幅されて出力する
電流指令信号a1 は、ディテント力補償回路19の加算
器39に入力され、ディテント力を図2に示すような平
坦で安定した特性を有する励磁電流a2 として、リニア
アクチュエータ1のコイル9A,9Bに入力し、油空圧
バルブ27への高速度で、高性能な位置決め精度が向上
し、高速、高性能な位置決め制御が可能である。
The current command signal a1 amplified and output by the speed amplifier circuit 37 is input to the adder 39 of the detent force compensating circuit 19 and the detent force is an exciting current having a flat and stable characteristic as shown in FIG. It is input to the coils 9A and 9B of the linear actuator 1 as a2, and at high speed to the hydraulic / pneumatic valve 27, high-performance positioning accuracy is improved, and high-speed and high-performance positioning control is possible.

【0021】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、適宜の設計的変更を行うことにより、他
の態様においても実施することが可能である。
The present invention is not limited to the above embodiments, but can be implemented in other modes by making appropriate design changes.

【0022】[0022]

【発明の効果】上述の説明ですでに明らかなように、本
発明のリニアアクチュエータの制御方法および装置は、
出力軸の変位を検出する変位検出信号をフィードバック
信号として励磁信号に加算する際に、前記励磁信号の零
アンペアにおける静推力であるディテント力を補償する
補償電流として前記フィードバック信号を補償すること
によって、従来技術の問題点が有効に解決され、静推力
特性が平坦な特性となり、高速、高性能な位置決め制御
が可能である。
As is apparent from the above description, the linear actuator control method and apparatus of the present invention are:
When adding the displacement detection signal for detecting the displacement of the output shaft to the excitation signal as a feedback signal, by compensating the feedback signal as a compensation current for compensating for the detent force, which is the static thrust at zero ampere of the excitation signal, The problems of the conventional technology are effectively solved, the static thrust characteristics become flat, and high-speed and high-performance positioning control is possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であるディテント力補償回路
のブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram of a detent force compensation circuit that is an embodiment of the present invention.

【図2】ディテント力を補償した場合の静推力特性線図
である。
FIG. 2 is a static thrust force characteristic diagram when detent force is compensated.

【図3】本発明によるリニアアクチュエータの油空圧バ
ルブの制御回路のブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram of a control circuit of a hydraulic / pneumatic valve of a linear actuator according to the present invention.

【図4】本発明が実施されたリニアアクチュエータの概
略構成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a linear actuator in which the present invention is implemented.

【図5】図3のA部拡大図である。5 is an enlarged view of part A of FIG.

【図6】従来のリニアアクチュエータの静推力特性線図
である。
FIG. 6 is a static thrust characteristic diagram of a conventional linear actuator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リニアアクチュエータ 3 ヨーク 5 可動子 7A,7B センタヨーク 9A,9B コイル 11A,11B 永久磁石 13 出力軸 15 差動トランス 19 ディテント力補償回路 21 ディテント力補償関数回路 25 電流アンプ回路 27 油空圧バルブ 1 linear actuator 3 yoke 5 mover 7A, 7B center yoke 9A, 9B coil 11A, 11B permanent magnet 13 output shaft 15 differential transformer 19 detent force compensation circuit 21 detent force compensation function circuit 25 current amplifier circuit 27 hydraulic / pneumatic valve

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【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年5月28日[Submission date] May 28, 1993

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0011[Correction target item name] 0011

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0011】ヨーク3は、多数のコアーを積層してな
り、ヨーク3内に対向して設けられたセンタヨーク7
A,7Bと、センタヨーク7A,7Bに直交し互いに対
向して設けられた中央磁極8A,8Bと、センタヨーク
7A,7Bにそれぞれ巻回されたコイル9A,9Bとか
らなる。
The yoke 3 is formed by laminating a large number of cores, and a center yoke 7 is provided inside the yoke 3 so as to face each other.
A, 7B, center magnetic poles 8A, 8B provided orthogonal to the center yokes 7A, 7B and facing each other, and coils 9A, 9B wound around the center yokes 7A, 7B, respectively.

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0012[Correction target item name] 0012

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0012】また、可動子5は、中央磁極8A,8Bの
間に介在し、センタヨーク7A,7Bとの間を変位自在
に設けられ、この可動子5の両側面に前記センタヨーク
7A,7Bに対向してそれぞれ固着された永久磁石11
A,11Bと、この可動子5に直結されセンタヨーク7
A,7B内を移動自在に貫通する出力軸13とからな
る。この出力軸13の一端が図示されない油空圧バルブ
のスプールに連結され、他端がヨーク3の外側に設けら
れた差動トランス15内にあるものとする。
The mover 5 is interposed between the central magnetic poles 8A and 8B and is displaceably provided between the mover 5 and the center yokes 7A and 7B. The center yokes 7A and 7B are provided on both side surfaces of the mover 5. Permanent magnets 11 fixed to face each other
A, 11B and a center yoke 7 directly connected to the mover 5
And an output shaft 13 that movably penetrates through the inside of A and 7B. It is assumed that one end of the output shaft 13 is connected to a spool of a hydraulic / pneumatic valve (not shown) and the other end is inside a differential transformer 15 provided outside the yoke 3.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0019[Name of item to be corrected] 0019

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0019】この位置アンプ回路31より出力する速度
指令信号a0 は、変位フィールドバック信号bが微分器
33により、速度フィールドバック信号b2 に変換され
た後、比較器35により比較され速度アンプ回路37に
より増幅される。
Speed output from this position amplifier circuit 31
The command signal a0 is converted into the velocity field back signal b2 by the differentiator 33 from the displacement field back signal b, and then compared by the comparator 35 and amplified by the velocity amplifier circuit 37.

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図1[Name of item to be corrected] Figure 1

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図1】 [Figure 1]

【手続補正5】[Procedure Amendment 5]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図3[Name of item to be corrected] Figure 3

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図3】 [Figure 3]

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ヨーク内に対向して設けられたセンタヨ
ークと、このセンタヨークにそれぞれ巻回されたコイル
と、前記センタヨークと直交し前記ヨーク内に対向して
設けられた中央磁極と、この中央磁極の間に介在し前記
センタヨークとの間を変位自在に設けられた可動子と、
前記センタヨークに対向する前記可動子の両側面にそれ
ぞれ貼付された永久磁石と、前記可動子に設けられ一端
が前記センタヨーク内を貫通し前記コイルへの励磁電流
により制御される出力軸とを有するリニアアクチュエー
タであって、前記出力軸の変位を検出する変位検出信号
をフィードバック信号として前記励磁信号に加算する際
に、前記励磁信号の零アンペアにおける静推力であるデ
ィテント力を補償する補償電流として前記フィードバッ
ク信号が補償されることを特徴とするリニアアクチュエ
ータの制御方法。
1. A center yoke provided in the yoke so as to face each other, a coil wound around each of the center yokes, and a central magnetic pole provided orthogonally to the center yoke so as to face the inside of the yoke. A mover interposed between the central magnetic poles and displaceable between the central yoke and the center yoke;
Permanent magnets attached to both side surfaces of the mover facing the center yoke, and an output shaft provided at the mover and having one end penetrating through the center yoke and controlled by an exciting current to the coil. A linear actuator having, as a compensation current for compensating a detent force, which is a static thrust force at zero ampere of the excitation signal, when a displacement detection signal for detecting the displacement of the output shaft is added to the excitation signal as a feedback signal. A method of controlling a linear actuator, wherein the feedback signal is compensated.
【請求項2】 ヨーク内に対向して設けられたセンタヨ
ークと、このセンタヨークにそれぞれ巻回されたコイル
と、前記センタヨークと直交し前記ヨーク内に対向して
設けられた中央磁極と、この中央磁極の間に介在し前記
センタヨークとの間を変位自在に設けられた可動子と、
前記センタヨークに対向する前記可動子の両側面にそれ
ぞれ貼付された永久磁石と、前記可動子に設けられ一端
が前記センタヨーク内を貫通し前記コイルへの励磁電流
により制御される出力軸とを有するリニアアクチュエー
タであって、前記出力軸の変位を検出する変位検出信号
をフィードバック信号として前記励磁信号に加算する際
に、前記励磁信号の零アンペアにおける静推力であるデ
ィテント力を補償する補償電流として前記フィードバッ
ク信号が補償されるディテント力補償回路を備えること
を特徴とするリニアアクチュエータの制御装置。
2. A center yoke provided so as to face each other in the yoke, a coil wound around each of the center yokes, and a central magnetic pole provided so as to be orthogonal to the center yoke and face each other in the yoke. A mover interposed between the central magnetic poles and displaceable between the central yoke and the center yoke;
Permanent magnets attached to both side surfaces of the mover facing the center yoke, and an output shaft provided at the mover and having one end penetrating through the center yoke and controlled by an exciting current to the coil. A linear actuator having, as a compensation current for compensating a detent force, which is a static thrust force at zero ampere of the excitation signal, when a displacement detection signal for detecting the displacement of the output shaft is added to the excitation signal as a feedback signal. A linear actuator control device comprising a detent force compensating circuit for compensating the feedback signal.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009122954A1 (en) 2008-04-02 2009-10-08 日産自動車株式会社 Electrically-powered actuator driving control apparatus and driving control method and vehicle having electrically-powered actuator driving control apparatus
EP2262102A1 (en) * 2008-04-02 2010-12-15 Nissan Motor Company Limited Electrically-powered actuator driving control apparatus and driving control method and vehicle having electrically-powered actuator driving control apparatus
EP2262102A4 (en) * 2008-04-02 2012-03-07 Nissan Motor Electrically-powered actuator driving control apparatus and driving control method and vehicle having electrically-powered actuator driving control apparatus
US8447468B2 (en) 2008-04-02 2013-05-21 Nissan Motor Co., Ltd. Electrically-powered actuator driving control apparatus and driving control method and vehicle having electrically-powered actuator driving control apparatus

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