JPH05241074A - 共焦点顕微鏡 - Google Patents
共焦点顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05241074A JPH05241074A JP4043400A JP4340092A JPH05241074A JP H05241074 A JPH05241074 A JP H05241074A JP 4043400 A JP4043400 A JP 4043400A JP 4340092 A JP4340092 A JP 4340092A JP H05241074 A JPH05241074 A JP H05241074A
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- Japan
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- pinhole
- optical axis
- confocal microscope
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 共焦点顕微鏡において、試料の結像点以外か
らの光を取り除いて検出できるようにして、光軸方向及
び光軸に垂直な方向の分解能を向上させる。 【構成】 試料面に共役に光軸にほぼ直交するピンホー
ル６を配置し、ピンホール６を通過した光量を検出する
ことにより試料面の像を得る共焦点顕微鏡において、光
軸に沿って別のピンホール８をピンホール６と両者の孔
が一致して交差するように配置して、光軸方向及び光軸
に垂直な方向の検出点Ｏｂ以外の隣接する試料点から出
た光を、これらピンホール６、８により遮って検出しな
いようにし、光軸方向及び光軸に垂直な方向の分解能を
向上させる。
らの光を取り除いて検出できるようにして、光軸方向及
び光軸に垂直な方向の分解能を向上させる。 【構成】 試料面に共役に光軸にほぼ直交するピンホー
ル６を配置し、ピンホール６を通過した光量を検出する
ことにより試料面の像を得る共焦点顕微鏡において、光
軸に沿って別のピンホール８をピンホール６と両者の孔
が一致して交差するように配置して、光軸方向及び光軸
に垂直な方向の検出点Ｏｂ以外の隣接する試料点から出
た光を、これらピンホール６、８により遮って検出しな
いようにし、光軸方向及び光軸に垂直な方向の分解能を
向上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡に関し、特に、
走査レーザ顕微鏡等に用いられる共焦点顕微鏡に関す
る。
走査レーザ顕微鏡等に用いられる共焦点顕微鏡に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】まず、共焦点顕微鏡の原理について、図
４の光路図を参照にして説明する。点光源１から出た光
は、ビームスプリッタ２で反射され、対物レンズ３を通
って焦点面（結像面）４にある試料５に点光源像として
結像される。試料５はこの点光源像によって照射され、
試料５の性質に応じて散乱、吸収、偏光、蛍光等が生じ
る。それらの光の中、焦点面４にある試料５から散乱、
反射され、対物レンズ３とビームスプリッタ２を通った
光は、ピンホール６面に試料像として結像する。ピンホ
ール６面上の試料像の中、ピンホール６上にある光束の
みがピンホール６を通過し、光検出器７に到達する。こ
のため、ピンホール６を相対的に走査して光検出器７か
ら得られる像は、ピンホール６がない場合の像に比較し
て分解能が高くなる。また、図４に示すような共焦点顕
微鏡は、通常の光学顕微鏡に比較して、光軸（ｚ軸）方
向の分解能が高いという特徴がある。この特徴を利用し
て、ｚ軸に垂直なｘ−ｙ平面で試料をスライスした像を
得ることができる（このようなスライスする機能は、一
般に、オプティカルセクショニングと呼ばれてい
る。）。このスライス像の１利用法として、ｚ軸方向に
一定の刻みで薄くスライスした像を多数取り込み、それ
らをコンピュータ処理することによって立体的な像を構
築するという利用方法がある。
４の光路図を参照にして説明する。点光源１から出た光
は、ビームスプリッタ２で反射され、対物レンズ３を通
って焦点面（結像面）４にある試料５に点光源像として
結像される。試料５はこの点光源像によって照射され、
試料５の性質に応じて散乱、吸収、偏光、蛍光等が生じ
る。それらの光の中、焦点面４にある試料５から散乱、
反射され、対物レンズ３とビームスプリッタ２を通った
光は、ピンホール６面に試料像として結像する。ピンホ
ール６面上の試料像の中、ピンホール６上にある光束の
みがピンホール６を通過し、光検出器７に到達する。こ
のため、ピンホール６を相対的に走査して光検出器７か
ら得られる像は、ピンホール６がない場合の像に比較し
て分解能が高くなる。また、図４に示すような共焦点顕
微鏡は、通常の光学顕微鏡に比較して、光軸（ｚ軸）方
向の分解能が高いという特徴がある。この特徴を利用し
て、ｚ軸に垂直なｘ−ｙ平面で試料をスライスした像を
得ることができる（このようなスライスする機能は、一
般に、オプティカルセクショニングと呼ばれてい
る。）。このスライス像の１利用法として、ｚ軸方向に
一定の刻みで薄くスライスした像を多数取り込み、それ
らをコンピュータ処理することによって立体的な像を構
築するという利用方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のオプティカルセ
クショニングを利用した立体像の構築の例では、どれだ
け正確な立体像が構築できるかは、ｘ−ｙ平面での分解
能に加え、ｚ軸方向の分解能に左右される。従来の共焦
点顕微鏡では、ｚ軸方向の分解能は高いとはいえ、下記
の理由（ａ）、（ｂ）で、正しい輝度像を得ることがで
きない。したがって、精度の高い立体像を得ようとする
と、充分な分解能でスライスすることができず、正しい
像を構築することができない場合が多い。
クショニングを利用した立体像の構築の例では、どれだ
け正確な立体像が構築できるかは、ｘ−ｙ平面での分解
能に加え、ｚ軸方向の分解能に左右される。従来の共焦
点顕微鏡では、ｚ軸方向の分解能は高いとはいえ、下記
の理由（ａ）、（ｂ）で、正しい輝度像を得ることがで
きない。したがって、精度の高い立体像を得ようとする
と、充分な分解能でスライスすることができず、正しい
像を構築することができない場合が多い。
【０００４】（ａ）従来の共焦点顕微鏡では、図５に示
すように、ｚ軸方向のピンホール６と共役な位置から外
れた点からの光も拾って検出するため、正しい輝度値が
得られない。すなわち、図５において、Ｆａ、Ｆｂ、Ｆ
ｃは、それぞれｚ軸上にある対象Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃ点の
投影像である。ｚ軸上のＦｂの投影点にピンホール６を
設置したとき、ｚ軸上のＦａ、Ｆｃ点へ結像する像の光
束の一部がピンホール６を通過する（通過光量はピンホ
ール６の径に比例）。このため、本来Ｆｂ点の光束のみ
をピンホール６で捉えたいのだが、Ｆａ、Ｆｃ点等への
光束の一部もＦｂ点の光束に加算されて検出されてしま
うので、それらの輝度が無視できない場合に、偽の輝度
を捉えてしまうことになり、正しい輝度値が得られな
い。
すように、ｚ軸方向のピンホール６と共役な位置から外
れた点からの光も拾って検出するため、正しい輝度値が
得られない。すなわち、図５において、Ｆａ、Ｆｂ、Ｆ
ｃは、それぞれｚ軸上にある対象Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃ点の
投影像である。ｚ軸上のＦｂの投影点にピンホール６を
設置したとき、ｚ軸上のＦａ、Ｆｃ点へ結像する像の光
束の一部がピンホール６を通過する（通過光量はピンホ
ール６の径に比例）。このため、本来Ｆｂ点の光束のみ
をピンホール６で捉えたいのだが、Ｆａ、Ｆｃ点等への
光束の一部もＦｂ点の光束に加算されて検出されてしま
うので、それらの輝度が無視できない場合に、偽の輝度
を捉えてしまうことになり、正しい輝度値が得られな
い。
【０００５】（ｂ）従来の共焦点顕微鏡では、図６に示
すように、ｘ−ｙ方向に外れた点からの光も拾いやすい
ため、正しい輝度が得られない。すなわち、図６におい
て、Ｆａ、Ｆｂ、Ｆｃは、それぞれ同一焦点面にある対
象Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃ点の投影像である。ｚ軸上のＦｂの
投影位置にピンホール６を設置したとき、ピンホール６
の径よりｚ軸に近い位置（内側）に合焦した点Ｆａ、Ｆ
ｃ点への光束は、その全部あるいは一部がピンホール６
を通過する。このため、本来Ｆｂ点への光束のみを捉え
たいのだが、Ｆａ、Ｆｃ点等への光束の一部もこれに加
算されてしまうので、それらの輝度が無視できない場合
に、偽の輝度を捉えてしまうことになり、正しい輝度値
が得られない。
すように、ｘ−ｙ方向に外れた点からの光も拾いやすい
ため、正しい輝度が得られない。すなわち、図６におい
て、Ｆａ、Ｆｂ、Ｆｃは、それぞれ同一焦点面にある対
象Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃ点の投影像である。ｚ軸上のＦｂの
投影位置にピンホール６を設置したとき、ピンホール６
の径よりｚ軸に近い位置（内側）に合焦した点Ｆａ、Ｆ
ｃ点への光束は、その全部あるいは一部がピンホール６
を通過する。このため、本来Ｆｂ点への光束のみを捉え
たいのだが、Ｆａ、Ｆｃ点等への光束の一部もこれに加
算されてしまうので、それらの輝度が無視できない場合
に、偽の輝度を捉えてしまうことになり、正しい輝度値
が得られない。
【０００６】また、従来技術では、共焦点顕微鏡の分解
能を向上させるために、主に光源の波長を短くするとい
う方法がとられている。しかし、この方法は、光源が高
価であったり、大きかったり、寿命が短かったり、ある
いは、光学系が高価になったりと、望ましくない点も多
い。
能を向上させるために、主に光源の波長を短くするとい
う方法がとられている。しかし、この方法は、光源が高
価であったり、大きかったり、寿命が短かったり、ある
いは、光学系が高価になったりと、望ましくない点も多
い。
【０００７】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、試料面に共役にピンホール又
はスリットを配置し、ピンホール又はスリットを通過し
た光量を検出することにより試料面の像を得る共焦点顕
微鏡において、試料の結像点以外からの光を取り除いて
検出できるようにして、光軸方向及び光軸に垂直な方向
の分解能を向上させることである。
ものであり、その目的は、試料面に共役にピンホール又
はスリットを配置し、ピンホール又はスリットを通過し
た光量を検出することにより試料面の像を得る共焦点顕
微鏡において、試料の結像点以外からの光を取り除いて
検出できるようにして、光軸方向及び光軸に垂直な方向
の分解能を向上させることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の共焦点顕微鏡は、試料面に共役に光軸にほぼ直交す
るピンホール又はスリットを配置し、前記ピンホール又
はスリットを通過した光量を検出することにより試料面
の像を得る共焦点顕微鏡において、光軸に沿って別のピ
ンホール又はスリットを前記ピンホール又はスリットと
両者の孔が一致して交差するように配置して、光軸方向
及び光軸に垂直な方向の分解能を向上させるようにした
ことを特徴とするものである。
明の共焦点顕微鏡は、試料面に共役に光軸にほぼ直交す
るピンホール又はスリットを配置し、前記ピンホール又
はスリットを通過した光量を検出することにより試料面
の像を得る共焦点顕微鏡において、光軸に沿って別のピ
ンホール又はスリットを前記ピンホール又はスリットと
両者の孔が一致して交差するように配置して、光軸方向
及び光軸に垂直な方向の分解能を向上させるようにした
ことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】本発明においては、光軸にほぼ直交して設けた
ピンホール又はスリットに加えて、光軸に沿って別のピ
ンホール又はスリットを第１のピンホール又はスリット
と両者の孔が一致して交差するように配置したので、光
軸方向及び光軸に垂直な方向の検出点以外の隣接する試
料点から出た光は、これらピンホール又はスリットによ
り遮られて検出されず、光軸方向及び光軸に垂直な方向
の分解能が向上する。
ピンホール又はスリットに加えて、光軸に沿って別のピ
ンホール又はスリットを第１のピンホール又はスリット
と両者の孔が一致して交差するように配置したので、光
軸方向及び光軸に垂直な方向の検出点以外の隣接する試
料点から出た光は、これらピンホール又はスリットによ
り遮られて検出されず、光軸方向及び光軸に垂直な方向
の分解能が向上する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の共焦点顕微鏡の実施例につい
て、図面を参照にして説明する。図１は、本発明による
共焦点顕微鏡の１実施例の模式的な光路図であり、特
に、ピンホール部分を拡大して示してある。本発明にお
いて、重要な点は、共焦点顕微鏡において、光検出器７
の前方に配置される本来のピンホール６以外に、このピ
ンホール６に直交して光軸に沿って設けられた別のピン
ホール８（図１中、黒塗の部分。アキシャルピンホール
という。）を設けることである。以下、本来のピンホー
ル６とアキシャルピンホール８とを総称してクロスピン
ホールと呼ぶことにする。
て、図面を参照にして説明する。図１は、本発明による
共焦点顕微鏡の１実施例の模式的な光路図であり、特
に、ピンホール部分を拡大して示してある。本発明にお
いて、重要な点は、共焦点顕微鏡において、光検出器７
の前方に配置される本来のピンホール６以外に、このピ
ンホール６に直交して光軸に沿って設けられた別のピン
ホール８（図１中、黒塗の部分。アキシャルピンホール
という。）を設けることである。以下、本来のピンホー
ル６とアキシャルピンホール８とを総称してクロスピン
ホールと呼ぶことにする。
【００１１】本発明による共焦点顕微鏡は、図１に示す
ように、対物レンズ３、光検出器７、光検出器７の前で
図示しない試料と共役な位置に光軸（ｚ軸）に垂直に配
置されたピンホール６、ピンホール６に直交して光軸に
沿って設けられたアキシャルピンホール８等からなり、
試料照明用の点光源、ビームスプリッタ、走査機構等は
図示が省略されている。図に示すように、Ｆａ、Ｆｂ、
Ｆｃは、それぞれｚ軸上にある対象Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃ点
の投影像点であり、ｚ軸上のＦｂの投影点にクロスピン
ホールの中心点（両ピンホール６、８の孔が位置する
点）が設置されているものとする。
ように、対物レンズ３、光検出器７、光検出器７の前で
図示しない試料と共役な位置に光軸（ｚ軸）に垂直に配
置されたピンホール６、ピンホール６に直交して光軸に
沿って設けられたアキシャルピンホール８等からなり、
試料照明用の点光源、ビームスプリッタ、走査機構等は
図示が省略されている。図に示すように、Ｆａ、Ｆｂ、
Ｆｃは、それぞれｚ軸上にある対象Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃ点
の投影像点であり、ｚ軸上のＦｂの投影点にクロスピン
ホールの中心点（両ピンホール６、８の孔が位置する
点）が設置されているものとする。
【００１２】この時、Ｆａ、Ｆｃへ結んだ像は、クロス
ピンホールの衝立部（アキシャルピンホール８部分）で
遮られて（図中、点線）、光検出器７には全く届かな
い。このようにして、本来取り込みたいＦｂ点の光束の
みを選択的に取り込んで検出することができる。この時
のｚ軸方向の分解能は、ｚ軸方向クロスピンホール径Ｚ
δに依存する。すなわち、Ｚδが小さい程、ｚ軸方向の
分解能がよくなる（ただし、Ｚδを小さくすると、衝立
部（アキシャルピンホール８）の厚みを薄くしない限
り、検出光量が減少する。衝立部を薄くするにも限界が
あるから、衝立部の厚さと、Ｚδ、光検出器７の感度が
ｚ軸方向の分解能を左右することになる。）。
ピンホールの衝立部（アキシャルピンホール８部分）で
遮られて（図中、点線）、光検出器７には全く届かな
い。このようにして、本来取り込みたいＦｂ点の光束の
みを選択的に取り込んで検出することができる。この時
のｚ軸方向の分解能は、ｚ軸方向クロスピンホール径Ｚ
δに依存する。すなわち、Ｚδが小さい程、ｚ軸方向の
分解能がよくなる（ただし、Ｚδを小さくすると、衝立
部（アキシャルピンホール８）の厚みを薄くしない限
り、検出光量が減少する。衝立部を薄くするにも限界が
あるから、衝立部の厚さと、Ｚδ、光検出器７の感度が
ｚ軸方向の分解能を左右することになる。）。
【００１３】クロスピンホールについては、その表面を
適当に加工、表面処理、干渉吸収膜のコーティング等を
して、ピンホールの孔以外の表面に当たった光線を全て
吸収して、散乱あるいは反射により光検出器７へ光を導
かないように作製する必要がある。
適当に加工、表面処理、干渉吸収膜のコーティング等を
して、ピンホールの孔以外の表面に当たった光線を全て
吸収して、散乱あるいは反射により光検出器７へ光を導
かないように作製する必要がある。
【００１４】図１は、クロスピンホールによるｚ軸方向
の分解能の向上について説明しているが、図１と同様な
図２を参照にして、ｘ−ｙ方向の分解能の向上について
説明する。この図２の場合、Ｆａ、Ｆｂ、Ｆｃは、それ
ぞれ同一焦点面にある対象Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃの投影像点
であり、ｚ軸上のＦｂの投影点にクロスピンホールの中
心点を設置したとする。また、クロスピンホールのｚ軸
上の衝立部は充分長く対物レンズ３近くまで届いている
ものとする。この時、Ｆａ、Ｆｃ点へ結像するために対
物レンズ３を通過してくる光束の半分は、クロスピンホ
ールの衝立部（アキシャルピンホール８）により遮られ
て（図中、点線）、光検出器７には達しない。このた
め、光検出器７に本来取り込みたいＦｂ点以外への光束
を減ずることができ、相対的に、ｘ−ｙ平面における分
解能を向上させることができる。
の分解能の向上について説明しているが、図１と同様な
図２を参照にして、ｘ−ｙ方向の分解能の向上について
説明する。この図２の場合、Ｆａ、Ｆｂ、Ｆｃは、それ
ぞれ同一焦点面にある対象Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃの投影像点
であり、ｚ軸上のＦｂの投影点にクロスピンホールの中
心点を設置したとする。また、クロスピンホールのｚ軸
上の衝立部は充分長く対物レンズ３近くまで届いている
ものとする。この時、Ｆａ、Ｆｃ点へ結像するために対
物レンズ３を通過してくる光束の半分は、クロスピンホ
ールの衝立部（アキシャルピンホール８）により遮られ
て（図中、点線）、光検出器７には達しない。このた
め、光検出器７に本来取り込みたいＦｂ点以外への光束
を減ずることができ、相対的に、ｘ−ｙ平面における分
解能を向上させることができる。
【００１５】ところで、以上の実施例においては、アキ
シャルピンホール８は、薄い板に微小な孔を設けてなる
ものを考えていたが、図３に示すように、クロスピンホ
ールの中心点を中心にｚ軸方向上下に断面が増大するく
さび形あるいは円錐形のクロスピンホール８′を用いる
ようにしてもよい。
シャルピンホール８は、薄い板に微小な孔を設けてなる
ものを考えていたが、図３に示すように、クロスピンホ
ールの中心点を中心にｚ軸方向上下に断面が増大するく
さび形あるいは円錐形のクロスピンホール８′を用いる
ようにしてもよい。
【００１６】以上の実施例では、光検出器の前に配置す
る光束制限部材としてピンホールを考えていたが、その
代わりにスリットを用いる共焦点顕微鏡が知られてい
る。この場合は、アキシャルピンホールの代わりに、光
軸に沿って別のスリットを用い、両者のスリットが結像
点で交差するように配置することにより、上記と同様
に、光軸方向及び光軸に垂直な方向の分解能を向上させ
ることができる。
る光束制限部材としてピンホールを考えていたが、その
代わりにスリットを用いる共焦点顕微鏡が知られてい
る。この場合は、アキシャルピンホールの代わりに、光
軸に沿って別のスリットを用い、両者のスリットが結像
点で交差するように配置することにより、上記と同様
に、光軸方向及び光軸に垂直な方向の分解能を向上させ
ることができる。
【００１７】以上、本発明の共焦点顕微鏡を実施例に基
づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定さ
れず種々の変形が可能である。また、本発明は、走査レ
ーザ顕微鏡に限らす、白色光を用いる従来の走査顕微鏡
にも適用できる。なお、クロスピンホールは、屈折、全
反射、回折、干渉等の光学的性質を利用して実現するこ
とも可能である。
づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定さ
れず種々の変形が可能である。また、本発明は、走査レ
ーザ顕微鏡に限らす、白色光を用いる従来の走査顕微鏡
にも適用できる。なお、クロスピンホールは、屈折、全
反射、回折、干渉等の光学的性質を利用して実現するこ
とも可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の共焦点顕微鏡によると、光軸にほぼ直交して設けたピ
ンホール又はスリットに加えて、光軸に沿って別のピン
ホール又はスリットを第１のピンホール又はスリットと
両者の孔が一致して交差するように配置したので、光軸
方向及び光軸に垂直な方向の検出点以外の隣接する試料
点から出た光は、これらピンホール又はスリットにより
遮られて検出されず、光軸方向及び光軸に垂直な方向の
分解能が向上する。
の共焦点顕微鏡によると、光軸にほぼ直交して設けたピ
ンホール又はスリットに加えて、光軸に沿って別のピン
ホール又はスリットを第１のピンホール又はスリットと
両者の孔が一致して交差するように配置したので、光軸
方向及び光軸に垂直な方向の検出点以外の隣接する試料
点から出た光は、これらピンホール又はスリットにより
遮られて検出されず、光軸方向及び光軸に垂直な方向の
分解能が向上する。
【図１】本発明による共焦点顕微鏡の１実施例の模式的
な光路図である。
な光路図である。
【図２】光軸に垂直な方向の分解能の向上を説明するた
めの図１と同様な図である。
めの図１と同様な図である。
【図３】別の実施例の模式的な光路図である。
【図４】従来の共焦点顕微鏡の原理を説明するための光
路図である。
路図である。
【図５】従来の共焦点顕微鏡の光軸方向非合焦点からの
影響を説明するための図である。
影響を説明するための図である。
【図６】従来の共焦点顕微鏡の光軸垂直方向合焦点から
の影響を説明するための図である。
の影響を説明するための図である。
１…点光源 ２…ビームスプリッタ ３…対物レンズ ４…焦点面（結像面） ５…試料 ６…ピンホール ７…光検出器 ８、８′…アキシャルピンホール
Claims (1)
- 【請求項１】 試料面に共役に光軸にほぼ直交するピン
ホール又はスリットを配置し、前記ピンホール又はスリ
ットを通過した光量を検出することにより試料面の像を
得る共焦点顕微鏡において、光軸に沿って別のピンホー
ル又はスリットを前記ピンホール又はスリットと両者の
孔が一致して交差するように配置して、光軸方向及び光
軸に垂直な方向の分解能を向上させるようにしたことを
特徴とする共焦点顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4340092A JP2959689B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 共焦点顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4340092A JP2959689B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 共焦点顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05241074A true JPH05241074A (ja) | 1993-09-21 |
| JP2959689B2 JP2959689B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=12662729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4340092A Expired - Fee Related JP2959689B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 共焦点顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2959689B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003500692A (ja) * | 1999-05-19 | 2003-01-07 | カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 蛍光層の感知を主目的とする走査装置 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4340092A patent/JP2959689B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003500692A (ja) * | 1999-05-19 | 2003-01-07 | カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 蛍光層の感知を主目的とする走査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2959689B2 (ja) | 1999-10-06 |
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