JPH05234157A - Electron beam recording and reproducing device - Google Patents

Electron beam recording and reproducing device

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Publication number
JPH05234157A
JPH05234157A JP3047392A JP3047392A JPH05234157A JP H05234157 A JPH05234157 A JP H05234157A JP 3047392 A JP3047392 A JP 3047392A JP 3047392 A JP3047392 A JP 3047392A JP H05234157 A JPH05234157 A JP H05234157A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
electron beam
magnetic thin
recording
reproducing
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3047392A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuyuki Goto
康之 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPH05234157A publication Critical patent/JPH05234157A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide an electron beam recording and reproducing device increasing remarkably recording capacity per unit area. CONSTITUTION:A reproducing electron beam source 10 emitting an electron beam is set on the reproducing part A of the electron beam recording and reproducing device. A vertical magnetized thin film 12 moving in the direction of the arrow in the figure is arranged with a fixed inclination downward the reproducing electron beam source 10. An electromagnetic lens 14 controlling the electron beam outgoing from the reproducing electron beam source 10 and transmitting through the vertical magnetic thin film 12, a screen 16 projecting the transmitting electron beam controlled by the electromagnetic lens 14 and a photoelectric tube 18 detecting the contrast of an electronic transmission image projected on the screen 16 are provided further downward the vertical magnetic thin film 12.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は電子線記録再生装置に係
り、特にコンピュータ用の大型外部記憶装置等に用いら
れる電子線記録再生装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron beam recording / reproducing apparatus, and more particularly to an electron beam recording / reproducing apparatus used in a large external storage device for a computer.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、コンピュータ用の大型外部記憶装
置等に用いられる記録再生装置として最も普及している
のは、磁気ディスク装置である。この磁気ディスク装置
においては、磁気ヘッドにより情報の記録・再生を行っ
ている。また、最近においては、光磁気ディスク装置も
用いられるようになり、この装置ではレーザ光線により
記録・再生を行っている。
2. Description of the Related Art At present, a magnetic disk device is the most popular as a recording / reproducing device used for a large external storage device for a computer. In this magnetic disk device, information is recorded / reproduced by a magnetic head. Further, recently, a magneto-optical disk device has also come to be used, and in this device, recording / reproducing is performed by a laser beam.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、磁気ヘッドを
用いた場合、通常、1μm×10μmの記録・再生領域
が必要である。また、レーザ光線を用いた場合でも、レ
ーザ光線の波長に規定されて1μmφ程度の記録・再生
領域が必要である。従って、いずれの方法を用いても、
その記録密度は1μm平方程度となり、これ以上に記録
密度を増加させることは従来技術では難しい。
However, when a magnetic head is used, a recording / reproducing area of 1 μm × 10 μm is usually required. Even when a laser beam is used, a recording / reproducing area of about 1 μmφ is required depending on the wavelength of the laser beam. Therefore, whichever method is used,
The recording density is about 1 μm square, and it is difficult to increase the recording density further by the conventional technique.

【0004】そこで本発明は、単位面積当たりの記憶容
量を大幅に増加することができる電子線記録再生装置を
提供することを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide an electron beam recording / reproducing apparatus capable of greatly increasing the storage capacity per unit area.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題は、情報が磁気
情報として書き込まれた磁性薄膜と、前記磁性薄膜に電
子線を照射する電子源と、前記電子源から前記磁性薄膜
に照射され、前記磁性薄膜の内部磁場によって偏向され
透過した電子線を検知して、前記磁性薄膜に書き込まれ
た情報を読み出す検知器とを有することを特徴とする電
子線記録再生装置によって達成される。
Means for Solving the Problems The problems described above include: a magnetic thin film in which information is written as magnetic information; an electron source for irradiating the magnetic thin film with an electron beam; and a magnetic thin film irradiated by the electron source to the magnetic thin film. An electron beam recording / reproducing apparatus having a detector for detecting an electron beam deflected and transmitted by an internal magnetic field of the magnetic thin film and reading information written in the magnetic thin film.

【0006】また、上記の電子線記録再生装置におい
て、前記電子源から前記磁性薄膜に照射される電子線を
制御する電磁レンズと、前記磁性薄膜に所定の磁場を印
加するマグネットとを有し、前記電磁レンズによって制
御された電子線を前記磁性薄膜に照射し、前記磁性薄膜
の温度を上昇させると共に、前記マグネットによって前
記磁性薄膜に所定の磁場を印加して、前記磁性薄膜に磁
気情報を書き込むことを特徴とする電子線記録再生装置
によって達成される。
Further, in the above-mentioned electron beam recording / reproducing apparatus, it has an electromagnetic lens for controlling an electron beam applied to the magnetic thin film from the electron source, and a magnet for applying a predetermined magnetic field to the magnetic thin film, The magnetic thin film is irradiated with an electron beam controlled by the electromagnetic lens to raise the temperature of the magnetic thin film, and a predetermined magnetic field is applied to the magnetic thin film by the magnet to write magnetic information to the magnetic thin film. This is achieved by an electron beam recording / reproducing device characterized in that

【0007】また、上記の電子線記録再生装置におい
て、前記磁性薄膜に電子線を照射する記録用電子源と、
前記記録用電子源から前記磁性薄膜に照射される電子線
を制御する電磁レンズと、前記磁性薄膜に所定の磁場を
印加するマグネットとを有し、前記電磁レンズによって
制御された電子線を前記磁性薄膜に照射して、前記磁性
薄膜の温度を上昇させると共に、前記マグネットによっ
て前記磁性薄膜に所定の磁場を印加して、前記磁性薄膜
に磁気情報を書き込むことを特徴とする電子線記録再生
装置によって達成される。
In the above electron beam recording / reproducing apparatus, a recording electron source for irradiating the magnetic thin film with an electron beam,
An electromagnetic lens that controls an electron beam emitted from the recording electron source to the magnetic thin film and a magnet that applies a predetermined magnetic field to the magnetic thin film are provided. By irradiating a thin film to raise the temperature of the magnetic thin film and applying a predetermined magnetic field to the magnetic thin film by the magnet to write magnetic information to the magnetic thin film. To be achieved.

【0008】また、上記の電子線記録再生装置におい
て、前記磁性薄膜が、ディスク状であることを特徴とす
る電子線記録再生装置によって達成される。また、上記
の電子線記録再生装置において、前記磁性薄膜が、テー
プ状であることを特徴とする電子線記録再生装置によっ
て達成される。
Further, in the above-mentioned electron beam recording / reproducing apparatus, the magnetic thin film is disk-shaped, which is achieved. Further, in the above-mentioned electron beam recording / reproducing apparatus, the magnetic thin film has a tape shape, which is achieved by the electron beam recording / reproducing apparatus.

【0009】[0009]

【作用】本発明は、薄膜状媒体である磁性薄膜に磁気情
報を記録することは従来の磁気ディスク装置や光磁気デ
ィスク装置と同じであるが、その磁気情報の記録・再生
にはレーザ光線よりも短波長の電子ビームを用い、且
つ、ローレンツ力による電子線の偏向現象を利用して磁
気情報の再生しているため、現在の磁気ディスク装置や
光磁気ディスク装置に比べてその記録密度を向上させる
ことができる。
According to the present invention, recording magnetic information on a magnetic thin film which is a thin film medium is the same as that of a conventional magnetic disk device or a magneto-optical disk device. Also uses a short-wavelength electron beam and uses the electron beam deflection phenomenon due to Lorentz force to reproduce magnetic information, so the recording density is improved compared to current magnetic disk devices and magneto-optical disk devices. Can be made

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明を図示する実施例に基づいて具
体的に説明する。図1は本発明の第1の実施例による電
子線記録再生装置を示す概略図である。電子線記録再生
装置の再生部Aには、電子線を発射する再生用電子源1
0が設置されている。この再生用電子源10下方に、図
中の矢印方向に移動する垂直磁性薄膜12が一定の傾斜
をもって配置されている。この垂直磁性薄膜12として
は、例えば上下を保護膜に挟まれたTbTeCo膜等が
用いられる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below based on illustrated embodiments. 1 is a schematic diagram showing an electron beam recording / reproducing apparatus according to a first embodiment of the present invention. The reproducing unit A of the electron beam recording / reproducing apparatus has a reproducing electron source 1 for emitting an electron beam.
0 is set. Below the reproducing electron source 10, a perpendicular magnetic thin film 12 that moves in the direction of the arrow in the drawing is arranged with a certain inclination. As the perpendicular magnetic thin film 12, for example, a TbTeCo film whose upper and lower sides are sandwiched by protective films is used.

【0011】また、垂直磁性薄膜12の更に下方には、
再生用電子源10から照射されて垂直磁性薄膜12を透
過した電子線を制御する電磁レンズ14と、この電磁レ
ンズ14によって制御された透過電子線を投影するスク
リーン16と、このスクリーン16に投影された電子透
過像のコントラストを検知する光電管18とがそれぞれ
設けられている。
Further, below the perpendicular magnetic thin film 12,
An electromagnetic lens 14 for controlling the electron beam emitted from the reproducing electron source 10 and transmitted through the perpendicular magnetic thin film 12, a screen 16 for projecting the transmitted electron beam controlled by the electromagnetic lens 14, and a screen 16 for projecting on the screen 16. And a photocell 18 for detecting the contrast of the electron transmission image.

【0012】更に、電子線記録再生装置の記録部Bに
は、記録用電子源20が設置されている。そして記録用
電子源20とその下方の垂直磁性薄膜12との間には、
記録用電子源20から発射され、磁性薄膜12に照射す
る電子線を制御する電磁レンズ22と、垂直磁性薄膜1
2に所定の磁場を印加するマグネット24とがそれぞれ
設けられている。
Further, a recording electron source 20 is installed in the recording section B of the electron beam recording / reproducing apparatus. And, between the recording electron source 20 and the perpendicular magnetic thin film 12 therebelow,
The electromagnetic lens 22 for controlling the electron beam emitted from the recording electron source 20 and irradiating the magnetic thin film 12, and the perpendicular magnetic thin film 1
2 and a magnet 24 for applying a predetermined magnetic field.

【0013】なお、電子線記録再生装置の再生部A及び
記録部Bは、共に真空に保持され、電子線の散乱等が生
じないようになっている。次に、動作を説明する。電子
線記録再生装置の記録部Bにおける記録動作は、光磁気
ディスク装置においてレーザ光照射を用いる場合と原理
的には同じであるが、レーザ光の代わりにレーザ光より
短波長の電子線を用いる点に特徴がある。
The reproducing section A and the recording section B of the electron beam recording / reproducing apparatus are both kept in a vacuum so that electron beam scattering or the like does not occur. Next, the operation will be described. The recording operation in the recording section B of the electron beam recording / reproducing apparatus is basically the same as the case of using laser light irradiation in the magneto-optical disk device, but an electron beam having a shorter wavelength than the laser light is used instead of the laser light. The point is characteristic.

【0014】即ち、記録用電子源20から電子線を垂直
磁性薄膜12に向けて発射する。この電子線を電磁レン
ズ22によって制御し、1μmφより小さいスポット状
に垂直磁性薄膜12を照射する。この電子線の照射によ
って発生する熱で垂直磁性薄膜12の温度をキュリー温
度Tc付近まで上昇させて、垂直磁性薄膜12の保磁力
Hcを小さくすると共に、マグネット24によって所定
の磁場を印加し、情報を磁気情報として書き込む。こう
して、図2(a)に示されるように、例えば下向きの磁
区がランダムに並んでいる垂直磁性薄膜12に、1μm
φより小さいスポット状の上向きの磁区26に情報を記
録していく。
That is, an electron beam is emitted from the recording electron source 20 toward the perpendicular magnetic thin film 12. This electron beam is controlled by the electromagnetic lens 22 to irradiate the perpendicular magnetic thin film 12 in a spot shape smaller than 1 μmφ. The heat generated by the irradiation of the electron beam raises the temperature of the perpendicular magnetic thin film 12 to near the Curie temperature Tc to reduce the coercive force Hc of the perpendicular magnetic thin film 12, and a predetermined magnetic field is applied by the magnet 24 to Is written as magnetic information. Thus, as shown in FIG. 2A, for example, 1 μm is applied to the perpendicular magnetic thin film 12 in which downward magnetic domains are randomly arranged.
Information is recorded in the upward magnetic domain 26 in a spot shape smaller than φ.

【0015】他方、電子線記録再生装置の再生部Aにお
ける再生動作は、電荷が磁界中を運動する際に生じるロ
ーレンツ力を原理とし、磁気情報が書き込まれた磁区に
照射された電子線がローレンツ力によって偏向される現
象を利用している点に特徴がある。即ち、再生用電子源
10から電子線を垂直磁性薄膜12に照射する。このと
き、垂直磁性薄膜12は、電子線の照射方向に対して一
定の傾斜をもって配置されているため、図2(b)に示
されるように、磁気情報が書き込まれた上向きの磁区2
6には、水平方向の磁化成分Iyが存在する。
On the other hand, the reproducing operation in the reproducing section A of the electron beam recording / reproducing apparatus is based on the Lorentz force generated when the electric charge moves in the magnetic field, and the electron beam irradiated on the magnetic domain in which the magnetic information is written is Lorentz. It is characterized in that it utilizes the phenomenon of being deflected by force. That is, the perpendicular magnetic thin film 12 is irradiated with an electron beam from the reproducing electron source 10. At this time, since the perpendicular magnetic thin film 12 is arranged with a certain inclination with respect to the electron beam irradiation direction, as shown in FIG. 2B, the upward magnetic domain 2 in which magnetic information is written.
6 has a horizontal magnetization component Iy.

【0016】従って、図3に示されるように、再生用電
子源10から電子線が、垂直磁性薄膜12の磁区26を
透過する際、電子線の進行方向に垂直な磁界を受けて、
ローレンツ力が働く。なお、図中には垂直磁性薄膜12
中の水平方向の磁化成分Iyのみを表示してある。そし
てこのローレンツ力によって偏向された電子線の強度
を、垂直磁性薄膜12下方に設けた電磁レンズ14によ
り、更に下方に設けたスクリーン16に投影する。この
とき、電磁レンズ14を制御して、スクリーン16上の
電子透過像は、レンズの前方焦点28の強度分布とす
る。この像は、焦点ずれを起こした状態のいわゆるロー
レンツ像となり、従って電子線のローレンツ力によるコ
ントラストを得ることができる。このコントラストは、
磁区26の厚さtと水平方向の磁化成分Iyとの積に比
例する。そしてこのコントラストによる磁区像を、スク
リーン16下方の光電管18により検知し、時系列の電
気信号として読み出す。こうして、磁区26に書き込ま
れた情報を再生する。
Therefore, as shown in FIG. 3, when the electron beam from the reproducing electron source 10 passes through the magnetic domain 26 of the perpendicular magnetic thin film 12, it receives a magnetic field perpendicular to the traveling direction of the electron beam,
Lorentz force works. In the figure, the perpendicular magnetic thin film 12
Only the horizontal magnetization component Iy is shown. Then, the intensity of the electron beam deflected by the Lorentz force is projected on the screen 16 provided further below by the electromagnetic lens 14 provided below the perpendicular magnetic thin film 12. At this time, the electromagnetic lens 14 is controlled so that the electron transmission image on the screen 16 has the intensity distribution of the front focus 28 of the lens. This image becomes a so-called Lorentz image in a state where defocus occurs, so that the contrast due to the Lorentz force of the electron beam can be obtained. This contrast is
It is proportional to the product of the thickness t of the magnetic domain 26 and the horizontal magnetization component Iy. Then, the magnetic domain image based on this contrast is detected by the photoelectric tube 18 below the screen 16 and read out as a time-series electric signal. Thus, the information written in the magnetic domain 26 is reproduced.

【0017】このように、本実施例によれば、記録部B
において、レーザ光より短波長の電子線を用いて垂直磁
性薄膜12を照射して、磁区26を記録するため、その
磁区26を1μmφより小さいスポット状にすることが
できる。このため、現在の磁気ディスク装置や光磁気デ
ィスク装置に比べてその記録密度を100倍以上に向上
させることができる。
As described above, according to this embodiment, the recording unit B
In the above, since the magnetic domain 26 is recorded by irradiating the perpendicular magnetic thin film 12 with an electron beam having a shorter wavelength than the laser light, the magnetic domain 26 can be made into a spot shape smaller than 1 μmφ. Therefore, the recording density can be improved 100 times or more as compared with the current magnetic disk device or magneto-optical disk device.

【0018】また、再生部Aにおいて、磁気情報が書き
込まれた磁区26に照射された電子線がローレンツ力に
よって偏向される現象を利用するという新たな再生原理
を用いて、高密度に記録された情報を再生することがで
きる。なお、上記第1の実施例においては、その再生部
A及び記録部Bにおいてそれぞれ電子線を用いる場合に
ついて述べたが、例えばその記録部Bにおいて、垂直磁
性薄膜12上方にレーザと、このレーザから発振された
レーザ光を制御するレンズと、垂直磁性薄膜12に所定
の磁場を印加するマグネット24とをそれぞれ設置し
て、従来の光磁気ディスク装置と同様の記録部を構成し
てのよい。
Further, in the reproducing section A, high density recording is performed by using a new reproducing principle of utilizing a phenomenon in which the electron beam applied to the magnetic domain 26 in which magnetic information is written is deflected by Lorentz force. Information can be played back. In the first embodiment described above, the electron beam is used in each of the reproducing section A and the recording section B, but for example, in the recording section B, a laser is provided above the perpendicular magnetic thin film 12 and the laser is used. A lens that controls the oscillated laser light and a magnet 24 that applies a predetermined magnetic field to the perpendicular magnetic thin film 12 may be installed to configure a recording unit similar to the conventional magneto-optical disk device.

【0019】そしてこのことは、従来の方法で記録した
磁性薄膜であっても、上記第1の実施例による再生方法
を用いることができることを意味する。従って、上記第
1の実施例における再生部Aのみを分離して、電子線再
生専用装置として使用することも可能である。また、再
生部Aにおいて、透過電子線のローレンツ像を投影する
スクリーン16を設けているが、このスクリーン16は
必ずしも設ける必要がなく、ローレンツ力によって偏向
された透過電子線によるコントラストを直接に光電管1
8により検知してもよい。
This means that even the magnetic thin film recorded by the conventional method can use the reproducing method according to the first embodiment. Therefore, it is possible to separate only the reproducing section A in the first embodiment and use it as an electron beam reproducing apparatus. Further, although the screen 16 for projecting the Lorentz image of the transmitted electron beam is provided in the reproducing unit A, this screen 16 is not necessarily provided, and the contrast due to the transmitted electron beam deflected by the Lorentz force is directly provided to the photoelectric tube 1.
It may be detected by 8.

【0020】次に、本発明の第2の実施例による電子線
記録再生装置を、図4に示す概略図を用いて説明する。
なお、上記図1に示す電子線記録再生装置と同一の構成
要素には同一の符号を付して説明を省略する。本実施例
は、上記図1に示す電子線記録再生装置の再生部Aと記
録部Bとを合体して記録再生部Cをなし、1個の電子源
で記録と再生との両方を行うことができる点に特徴があ
る。
Next, an electron beam recording / reproducing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the schematic diagram shown in FIG.
Note that the same components as those of the electron beam recording / reproducing apparatus shown in FIG. In this embodiment, the reproducing section A and the recording section B of the electron beam recording / reproducing apparatus shown in FIG. 1 are combined to form a recording / reproducing section C, and both recording and reproducing are performed by one electron source. The feature is that you can

【0021】即ち、記録再生部Cには、電子線を発射す
る記録再生用電子源30が設置されている。そしてこの
記録再生用電子源30下方には、垂直磁性薄膜12が一
定の傾斜をもって配置されている。また、垂直磁性薄膜
12の更に下方には、記録再生用電子源30から照射さ
れて垂直磁性薄膜12を透過した電子線を制御する電磁
レンズ14と、この電磁レンズ14によって制御された
透過電子線を投影するスクリーン16と、このスクリー
ン16に投影された電子透過像のコントラストを検知す
る光電管18とがそれぞれ設けられている。
That is, the recording / reproducing section C is provided with a recording / reproducing electron source 30 for emitting an electron beam. The perpendicular magnetic thin film 12 is disposed below the recording / reproducing electron source 30 with a certain inclination. Further, below the perpendicular magnetic thin film 12, an electromagnetic lens 14 for controlling an electron beam emitted from the recording / reproducing electron source 30 and transmitted through the perpendicular magnetic thin film 12, and a transmitted electron beam controlled by the electromagnetic lens 14. A screen 16 for projecting the image and a photoelectric tube 18 for detecting the contrast of the electron transmission image projected on the screen 16 are respectively provided.

【0022】更に、記録再生用電子源30とその下方の
垂直磁性薄膜12との間には、記録再生用電子源30か
ら発射され、磁性薄膜12照射する電子線を制御する電
磁レンズ22と、垂直磁性薄膜12に所定の磁場を印加
するマグネット24とがそれぞれ設けられている。この
ように、本実施例によれば、上記第1の実施例における
再生用電子源10及び記録用電子源20を兼ね備えた記
録再生用電子源30を用いることにより、1ヘッドの電
子線記録再生装置が実現され、上記第1の実施例による
電子線記録再生装置と同様に動作し、同様の効果を奏す
ることができる。
Further, between the recording / reproducing electron source 30 and the perpendicular magnetic thin film 12 therebelow, there is provided an electromagnetic lens 22 for controlling the electron beam emitted from the recording / reproducing electron source 30 to irradiate the magnetic thin film 12. The perpendicular magnetic thin film 12 is provided with a magnet 24 for applying a predetermined magnetic field. As described above, according to the present embodiment, by using the recording / reproducing electron source 30 having the reproducing electron source 10 and the recording electron source 20 in the first embodiment, the electron beam recording / reproducing of one head is performed. The device is realized, operates in the same manner as the electron beam recording / reproducing device according to the first embodiment, and has the same effect.

【0023】次に、本発明の第3の実施例による電子線
記録再生装置を、図5に示す概略図を用いて説明する。
なお、上記図1に示す電子線記録再生装置と同一の構成
要素には同一の符号を付して説明を省略する。本実施例
は、電子線記録再生装置に使用する記録媒体がディスク
(円盤)状になっている点に特徴がある。
Next, an electron beam recording / reproducing apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the schematic diagram shown in FIG.
Note that the same components as those of the electron beam recording / reproducing apparatus shown in FIG. The present embodiment is characterized in that the recording medium used in the electron beam recording / reproducing apparatus has a disk (disk) shape.

【0024】例えば上下を保護膜に挟まれた厚さ50n
mのTbTeCo膜からなるディスク状の垂直磁性薄膜
12a上方に、再生部Aの再生用電子源10が設置され
ている。また、垂直磁性薄膜12a下方には、再生用電
子源10から照射されて垂直磁性薄膜12aを透過した
電子線を制御する電磁レンズ14と、この電磁レンズ1
4によって制御された透過電子線を投影するスクリーン
16と、このスクリーン16に投影された電子透過像の
コントラストを検知する光電管18とがそれぞれ設けら
れている。なお、記録部Bは、その図示を省略する。
For example, a thickness of 50 n sandwiched between the upper and lower protective films
The reproducing electron source 10 of the reproducing section A is installed above the disk-shaped perpendicular magnetic thin film 12a made of the TbTeCo film of m. Below the perpendicular magnetic thin film 12a, an electromagnetic lens 14 for controlling an electron beam emitted from the reproducing electron source 10 and transmitted through the perpendicular magnetic thin film 12a, and the electromagnetic lens 1
A screen 16 for projecting a transmission electron beam controlled by 4 and a photoelectric tube 18 for detecting the contrast of the electron transmission image projected on the screen 16 are provided. The recording unit B is not shown.

【0025】そしてディスク状の垂直磁性薄膜12a
は、回転モータ32によって回転される。また、この回
転モータ32を支持する支持台34は、送りねじ36に
よって図中の矢印のように水平方向に移動させられ、こ
の送りねじ36は、水平駆動モータ38によって回転さ
れる。こうして、回転モータ32、その支持台34、送
りねじ36及び水平駆動モータ38からなる駆動部Dに
より、ディスク状の垂直磁性薄膜12aは、回転しなが
ら水平方向に移動する。
The disk-shaped perpendicular magnetic thin film 12a
Is rotated by the rotation motor 32. Further, the support base 34 that supports the rotation motor 32 is moved horizontally by the feed screw 36 as indicated by the arrow in the figure, and the feed screw 36 is rotated by the horizontal drive motor 38. In this way, the disk-shaped perpendicular magnetic thin film 12a moves in the horizontal direction while rotating by the drive unit D including the rotary motor 32, its support 34, the feed screw 36, and the horizontal drive motor 38.

【0026】また、ディスク状の垂直磁性薄膜12aに
は、図6(a)の断面図及び図6(b)の平面図に示さ
れるように、例えばCuからなる支持材40が間隔d≦
1μmをおいてメッシュ状に設けられている。この支持
材40は、上下を保護膜に挟まれた厚さ50nmのTb
TeCo膜からなるディスク状の垂直磁性薄膜12aを
保持するためのものであり、この支持第40上に記録す
ることはできない。このように本実施例によれば、記録
媒体としてディスク状の垂直磁性薄膜12aを使用し、
この垂直磁性薄膜12aを回転、移動させる駆動部Cを
設けることにより、ディスク状の垂直磁性薄膜12a全
域に1μm以下の磁区を記録し、再生することができ
る。
As shown in the cross-sectional view of FIG. 6A and the plan view of FIG. 6B, the disc-shaped perpendicular magnetic thin film 12a is provided with a support member 40 made of, for example, Cu with an interval d ≦.
It is provided in a mesh shape with a gap of 1 μm. The support member 40 is made of Tb having a thickness of 50 nm, which is sandwiched between protective films.
This is for holding the disc-shaped perpendicular magnetic thin film 12a made of the TeCo film, and cannot be recorded on the support 40. Thus, according to this embodiment, the disk-shaped perpendicular magnetic thin film 12a is used as the recording medium,
By providing the drive unit C for rotating and moving the perpendicular magnetic thin film 12a, magnetic domains of 1 μm or less can be recorded and reproduced in the entire area of the disk-shaped perpendicular magnetic thin film 12a.

【0027】なお、本実施例においては、ディスク状の
垂直磁性薄膜12aを回転、移動させる駆動部Cを設け
たが、その代わりに、ディスク状の垂直磁性薄膜12a
は回転させるだけで、再生用電子源10、電磁レンズ1
4、スクリーン16及び光電管18からなる再生部Aを
一体として水平方向に移動させる駆動部を設けてもよ
い。
In this embodiment, the drive unit C for rotating and moving the disk-shaped perpendicular magnetic thin film 12a is provided, but instead, the disk-shaped perpendicular magnetic thin film 12a.
The electron source for reproduction 10 and the electromagnetic lens 1 are simply rotated.
4, a drive unit for moving the reproducing unit A including the screen 16 and the photoelectric tube 18 in the horizontal direction may be provided.

【0028】次に、本発明の第4の実施例による電子線
記録再生装置を、図7に示す概略図を用いて説明する。
なお、上記図1に示す電子線記録再生装置と同一の構成
要素には同一の符号を付して説明を省略する。本実施例
は、電子線記録再生装置に使用する記録媒体がテープ状
になっている点に特徴がある。
Next, an electron beam recording / reproducing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the schematic diagram shown in FIG.
Note that the same components as those of the electron beam recording / reproducing apparatus shown in FIG. The present embodiment is characterized in that the recording medium used in the electron beam recording / reproducing apparatus has a tape shape.

【0029】テープ状の垂直磁性薄膜12b上方に、再
生部Aの再生用電子源10が設置されている。また、再
生用電子源10とテープ状の垂直磁性薄膜12bとの間
には、再生用電子源10から発射された電子線を制御す
るコンデンサ42が設けられている。従って、このコン
デンサ42により、磁性薄膜12bを照射する電子線
は、テープ状の磁性薄膜12bの移動方向と直角に磁性
薄膜12bを走査することができる。
The reproducing electron source 10 of the reproducing section A is installed above the tape-shaped perpendicular magnetic thin film 12b. Further, a capacitor 42 for controlling the electron beam emitted from the reproducing electron source 10 is provided between the reproducing electron source 10 and the tape-shaped perpendicular magnetic thin film 12b. Therefore, with this capacitor 42, the electron beam irradiating the magnetic thin film 12b can scan the magnetic thin film 12b at right angles to the moving direction of the tape-shaped magnetic thin film 12b.

【0030】更に、垂直磁性薄膜12b下方には、再生
用電子源10から照射されて垂直磁性薄膜12bを透過
した電子線を制御する電磁レンズ14と、この電磁レン
ズ14によって制御された透過電子線を投影するスクリ
ーン16と、このスクリーン16に投影された電子透過
像のコントラストを検知する光電管18とがそれぞれ設
けられている。なお、記録部Bは、その図示を省略す
る。
Below the perpendicular magnetic thin film 12b, an electromagnetic lens 14 for controlling an electron beam irradiated from the reproducing electron source 10 and transmitted through the perpendicular magnetic thin film 12b, and a transmitted electron beam controlled by the electromagnetic lens 14 are provided. A screen 16 for projecting the image and a photoelectric tube 18 for detecting the contrast of the electron transmission image projected on the screen 16 are respectively provided. The recording unit B is not shown.

【0031】そしてテープ状の垂直磁性薄膜12bは、
供給側リール44から巻取側リール46へと、図中の矢
印方向に移動する。このように本実施例によれば、記録
媒体としてテープ状の垂直磁性薄膜12bを使用し、こ
の垂直磁性薄膜12bを供給側リール44から巻取側リ
ール46へと移動させると共に、この移動方向と直角に
電子線を走査させることにより、テープ状の垂直磁性薄
膜12b全域に1μm以下の磁区を記録し、再生するこ
とができる。
The tape-shaped perpendicular magnetic thin film 12b is
It moves in the direction of the arrow in the drawing from the supply side reel 44 to the winding side reel 46. As described above, according to the present embodiment, the tape-shaped perpendicular magnetic thin film 12b is used as the recording medium, and the perpendicular magnetic thin film 12b is moved from the supply side reel 44 to the winding side reel 46 and at the same time as the moving direction. By scanning the electron beam at a right angle, a magnetic domain of 1 μm or less can be recorded and reproduced in the entire area of the tape-shaped perpendicular magnetic thin film 12b.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、情報が磁
気情報として書き込まれた磁性薄膜と、この磁性薄膜に
電子線を照射する電子源とを有し、この電子源から照射
され、磁性薄膜の内部磁場によって偏向された電子線を
検知器によって検知することにより、ローレンツ力によ
る電子線の偏向現象を利用した新たな再生原理を用い
て、磁性薄膜に書き込まれた情報を読み出すことができ
る。
As described above, according to the present invention, it has a magnetic thin film in which information is written as magnetic information and an electron source for irradiating the magnetic thin film with an electron beam. By detecting the electron beam deflected by the internal magnetic field of the magnetic thin film with a detector, it is possible to read the information written in the magnetic thin film using a new reproducing principle utilizing the electron beam deflection phenomenon due to the Lorentz force. it can.

【0033】また、電磁レンズによって制御した電子源
からの電子線を磁性薄膜に照射し、磁性薄膜の温度を上
昇させると共に、マグネットによって前記磁性薄膜に所
定の磁場を印加して、前記磁性薄膜に磁気情報を書き込
む機能を組み合わせることにより、レーザ光線を用いた
光磁気ディスク装置等よりも記録密度を向上させること
ができる。
Further, the magnetic thin film is irradiated with an electron beam from an electron source controlled by an electromagnetic lens to raise the temperature of the magnetic thin film, and a predetermined magnetic field is applied to the magnetic thin film by a magnet to apply the magnetic thin film to the magnetic thin film. By combining the function of writing magnetic information, the recording density can be improved as compared with a magneto-optical disk device using a laser beam.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例による電子線記録再生装
置を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing an electron beam recording / reproducing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の電子線記録再生装置に使用される垂直磁
性薄膜及び磁気情報が書き込まれた磁区を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing perpendicular magnetic thin films used in the electron beam recording / reproducing apparatus of FIG. 1 and magnetic domains in which magnetic information is written.

【図3】図1の電子線記録再生装置における再生動作を
説明するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining a reproducing operation in the electron beam recording / reproducing apparatus of FIG.

【図4】本発明の第2の実施例による電子線記録再生装
置を示す概略図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing an electron beam recording / reproducing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施例による電子線記録再生装
置を示す概略図である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing an electron beam recording / reproducing apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図6】図5の電子線記録再生装置に使用される垂直磁
性薄膜を示す図である。
6 is a diagram showing a perpendicular magnetic thin film used in the electron beam recording / reproducing apparatus of FIG.

【図7】本発明の第4の実施例による電子線記録再生装
置を示す概略図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing an electron beam recording / reproducing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…再生用電子源 12…垂直磁性薄膜 14…電磁レンズ 16…スクリーン 18…光電管 20…記録用電子源 22…電磁レンズ 24…マグネット 26…磁区 28…レンズの前方焦点 30…記録再生用電子源 12a…ディスク状の垂直磁性薄膜 32…回転モータ 34…支持台 36…送りねじ 38…水平駆動モータ 40…支持材 12b…テープ状の垂直磁性薄膜 42…コンデンサ 44…供給側リール 46…巻取側リール A…再生部 B…記録部 C…記録再生部 D…駆動部 10 ... Electron source for reproduction 12 ... Perpendicular magnetic thin film 14 ... Electromagnetic lens 16 ... Screen 18 ... Photoelectric tube 20 ... Electron source for recording 22 ... Electromagnetic lens 24 ... Magnet 26 ... Magnetic domain 28 ... Front focus of lens 30 ... Electron source for recording / reproduction 12a ... Disc-shaped perpendicular magnetic thin film 32 ... Rotation motor 34 ... Support base 36 ... Feed screw 38 ... Horizontal drive motor 40 ... Support material 12b ... Tape-shaped perpendicular magnetic thin film 42 ... Capacitor 44 ... Supply side reel 46 ... Winding side Reel A ... Playback unit B ... Recording unit C ... Recording / playback unit D ... Drive unit

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 情報が磁気情報として書き込まれた磁性
薄膜と、 前記磁性薄膜に電子線を照射する電子源と、 前記電子源から前記磁性薄膜に照射され、前記磁性薄膜
の内部磁場によって偏向され透過した電子線を検知し
て、前記磁性薄膜に書き込まれた情報を読み出す検知器
とを有することを特徴とする電子線記録再生装置。
1. A magnetic thin film in which information is written as magnetic information, an electron source for irradiating the magnetic thin film with an electron beam, and the magnetic thin film is irradiated from the electron source and deflected by an internal magnetic field of the magnetic thin film. An electron beam recording / reproducing apparatus comprising: a detector that detects a transmitted electron beam and reads out information written in the magnetic thin film.
【請求項2】 請求項1記載の電子線記録再生装置にお
いて、 前記電子源から前記磁性薄膜に照射される電子線を制御
する電磁レンズと、 前記磁性薄膜に所定の磁場を印加するマグネットとを有
し、 前記電磁レンズによって制御された電子線を前記磁性薄
膜に照射し、前記磁性薄膜の温度を上昇させると共に、
前記マグネットによって前記磁性薄膜に所定の磁場を印
加して、前記磁性薄膜に磁気情報を書き込むことを特徴
とする電子線記録再生装置。
2. The electron beam recording / reproducing apparatus according to claim 1, further comprising: an electromagnetic lens that controls an electron beam emitted from the electron source to the magnetic thin film; and a magnet that applies a predetermined magnetic field to the magnetic thin film. Having, irradiating the magnetic thin film with an electron beam controlled by the electromagnetic lens, and raising the temperature of the magnetic thin film,
An electron beam recording / reproducing apparatus, wherein a predetermined magnetic field is applied to the magnetic thin film by the magnet to write magnetic information in the magnetic thin film.
【請求項3】 請求項1記載の電子線記録再生装置にお
いて、 前記磁性薄膜に電子線を照射する記録用電子源と、 前記記録用電子源から前記磁性薄膜に照射される電子線
を制御する電磁レンズと、 前記磁性薄膜に所定の磁場を印加するマグネットとを有
し、 前記電磁レンズによって制御された電子線を前記磁性薄
膜に照射して、前記磁性薄膜の温度を上昇させると共
に、前記マグネットによって前記磁性薄膜に所定の磁場
を印加して、前記磁性薄膜に磁気情報を書き込むことを
特徴とする電子線記録再生装置。
3. The electron beam recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein a recording electron source that irradiates the magnetic thin film with an electron beam, and an electron beam that irradiates the magnetic thin film from the recording electron source are controlled. An electromagnetic lens and a magnet for applying a predetermined magnetic field to the magnetic thin film, and the magnetic thin film is irradiated with an electron beam controlled by the electromagnetic lens to raise the temperature of the magnetic thin film and the magnet. An electron beam recording / reproducing apparatus, characterized in that a predetermined magnetic field is applied to the magnetic thin film to write magnetic information in the magnetic thin film.
【請求項4】 請求項1乃至3のいずれかに記載の電子
線記録再生装置において、 前記磁性薄膜が、ディスク状であることを特徴とする電
子線記録再生装置。
4. The electron beam recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the magnetic thin film has a disk shape.
【請求項5】 請求項1乃至3のいずれかに記載の電子
線記録再生装置において、 前記磁性薄膜が、テープ状であることを特徴とする電子
線記録再生装置。
5. The electron beam recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the magnetic thin film has a tape shape.
JP3047392A 1992-02-18 1992-02-18 Electron beam recording and reproducing device Withdrawn JPH05234157A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100478488B1 (en) * 2002-12-05 2005-03-29 동부아남반도체 주식회사 Semiconductor device and fabrication method thereof

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