JPH05232151A - Circuit and method for setting voltage - Google Patents

Circuit and method for setting voltage

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JPH05232151A
JPH05232151A JP3239092A JP3239092A JPH05232151A JP H05232151 A JPH05232151 A JP H05232151A JP 3239092 A JP3239092 A JP 3239092A JP 3239092 A JP3239092 A JP 3239092A JP H05232151 A JPH05232151 A JP H05232151A
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JP
Japan
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voltage setting
pad
control
setting circuit
voltage
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JP3239092A
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Japanese (ja)
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Susumu Ozaki
進 小崎
Nobuo Satake
信夫 佐竹
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide the voltage setting circuit, which can shorten the time for a probe test without trimming the probe test and without deteoriorating the trimming accuracy with regard to a power-source setting circuit for supplying set voltages to circuits requiring highly accurate voltages. CONSTITUTION:In this circuit, (m) pieces ((m) is an arbitrary positive integer, e.g. m=4) of voltage setting ressitors R1-R4 are provided. Analog switches SW1-SW3 are connected to a part or all of (m) pieces of the voltage setting resistors R1-R3. The opening and closing states of the (N) pieces (n<=m, e.g. n=3) of the analog switches SW1-SW3 are determined with individual control signals. Controlling pads C-Pad 1 to C-pad 3 are connected to the signal lines. This circuit is constituted of these parts. Specified potentials are applied on the control pads C-Pad 1 to C-Pad 3. Thus, the voltage setting circuit is set.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は高精度の電圧を必要とす
る回路に対して設定電圧を供給する電源設定回路に係
り、特にトリミング精度を落とすことなくプローブテス
トの時間短縮を可能とした電圧設定回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power supply setting circuit for supplying a setting voltage to a circuit which requires a highly accurate voltage, and in particular, a voltage capable of shortening the probe test time without lowering trimming accuracy. Regarding the setting circuit.

【0002】近年の半導体装置は、高精度動作を実現す
るため基準電圧を正確に設定し、検出電圧や電流値を制
御することが要求されている。その為、半導体装置製造
後に特性をトリミング(合わせ込み)する必要がある。
In recent years, semiconductor devices are required to accurately set a reference voltage and control a detection voltage and a current value in order to realize highly accurate operation. Therefore, it is necessary to trim (adjust) the characteristics after manufacturing the semiconductor device.

【0003】[0003]

【従来の技術】従来のトリミングにおいては、ツェナー
ザップによる方法や、配線層のレーザカット方式が用い
られている。
2. Description of the Related Art In conventional trimming, a Zener zap method or a laser cutting method for a wiring layer is used.

【0004】図6(1)は、ツェナーザップ方式による
トリミングを説明する図である。この方法では、プロー
ブテストにおいて、スイッチSW1,SW2,及びSW
3のオン/オフにより、抵抗R1,R2,及びR3の接
続の(8通りの)組み合わせから、電圧VREF が最適な
設定値となる状態を選択し、その状態となるように、ス
イッチSWA,SWB,SWC,及びまたはSWDをオ
ンして、ツェナーダイオードZD1,ZD2,及びまた
はZD3に電流Iz を流して、ツェナーダイオードの両
端を短絡させることにより調整する。
FIG. 6A is a diagram for explaining trimming by the Zener zap method. In this method, the switches SW1, SW2, and SW are used in the probe test.
3 is turned on / off to select a state in which the voltage VREF has an optimum set value from the (8 ways) combinations of connections of the resistors R1, R2, and R3, and the switches SWA and SWB are set so as to be in that state. , SWC, and / or SWD are turned on, a current Iz is caused to flow through the Zener diodes ZD1, ZD2, and / or ZD3, and both ends of the Zener diodes are short-circuited for adjustment.

【0005】ところが、このツェナーザップ方式による
トリミングの場合、過電流を流すために高耐圧領域を形
成しなければならず、また、ザップ素子数+1(個)の
パッドが必要となっていた。
However, in the case of trimming by the Zener zap method, a high breakdown voltage region must be formed in order to allow an overcurrent to flow, and a zap element number + 1 (pad) is required.

【0006】また、図6(2)にレーザカット方式によ
るトリミングの説明図を示す。この方法は、プローブテ
ストにおいて、抵抗R1,R2,及びR3の接続の(8
通りの)組み合わせから、電圧VREF が最適な設定値と
なる状態を選択するものである。電圧VREF を測定し、
設定抵抗が小さい場合はレーザで配線層l1をカット
し、抵抗R1分を増やす、といった操作を、電圧VREF
を測定しながら設定電圧になるように配線層をカットし
ていき、抵抗を調整する。
FIG. 6 (2) is an explanatory diagram of trimming by the laser cutting method. In the probe test, this method is used for connecting the resistors R1, R2, and R3 (8
The state in which the voltage VREF has an optimum set value is selected from the combinations (as shown). Measure the voltage VREF,
When the set resistance is small, the laser is used to cut the wiring layer 11 and the resistance R1 is increased.
While measuring, cut the wiring layer to reach the set voltage and adjust the resistance.

【0007】このレーザカット方式による場合は、配線
層のレーザカットを行なう為の装置が必要であり、トリ
ミング時間が長くなってしまう。
In the case of this laser cutting method, a device for laser cutting the wiring layer is required, and the trimming time becomes long.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】従って、ツェナーザッ
プ方式では、ザップのビット数が増えるに伴ってパッド
数も増加し、チップ面積が大きくなるといった問題や、
また、ツェナー両端を確実に短絡するために、他の回路
へ影響を及ぼすという問題があった。また、レーザカッ
ト方式では、プローブテストに装置が無ければ実施不可
能である。
Therefore, in the Zener zap system, the number of pads increases as the number of bits of the zap increases, and the chip area increases.
Further, there is a problem that other circuits are affected because the both ends of the Zener are surely short-circuited. Further, the laser cutting method cannot be implemented without a device for the probe test.

【0009】本発明は、上記問題点を解決するもので、
プローブテストにおけるトリミングを行なわずに、トリ
ミング精度を落とすことなくプローブテストの時間短縮
を可能とした電圧設定回路を提供することを目的とす
る。
The present invention solves the above problems.
An object of the present invention is to provide a voltage setting circuit capable of shortening the probe test time without lowering the trimming accuracy without performing the trimming in the probe test.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第1の特徴の電圧設定回路は、図1に示す
如く、m個(mは任意の正整数;図1ではm=4)の電
圧設定抵抗R1〜R4と、前記m個の電圧設定抵抗の一
部または全てR1〜R3に並列に接続され、個別の制御
信号によりその開閉状態が定まるn個(n≦m;図1で
はn=3)のアナログスイッチSW1〜SW3と、前記
制御信号線に接続される制御用パッドC−Pad1〜C
−Pad3とを有して構成し、前記制御用パッドC−P
ad1〜C−Pad3に所定の電位を印加することによ
り、当該電圧設定回路の電圧を設定する。
In order to solve the above problems, the voltage setting circuit of the first feature of the present invention is, as shown in FIG. 1, m (m is an arbitrary positive integer; m in FIG. 1). = 4) voltage setting resistors R1 to R4 and some or all of the m voltage setting resistors R1 to R3 are connected in parallel, and the open / closed state thereof is determined by individual control signals (n ≦ m; 1, n = 3) analog switches SW1 to SW3 and control pads C-Pad1 to C connected to the control signal line.
-Pad 3 and the control pad CP
The voltage of the voltage setting circuit is set by applying a predetermined potential to ad1 to C-Pad3.

【0011】また、本発明の第2の特徴の電圧設定回路
は、図2に示す如く、m個(図2ではm=4)の電圧設
定抵抗R1〜R4と、前記m個の電圧設定抵抗の一部ま
たは全てR1〜R3に直列に接続され、個別の制御信号
によりその開閉状態が定まるn個(図2ではn=3)の
アナログスイッチSW1〜SW3と、前記制御信号線に
接続される制御用パッドC−Pad1〜C−Pad3と
を有して構成し、前記制御用パッドC−Pad1〜C−
Pad3に所定の電位を印加することにより、当該電圧
設定回路の電圧を設定する。
The voltage setting circuit of the second feature of the present invention, as shown in FIG. 2, includes m (m = 4 in FIG. 2) voltage setting resistors R1 to R4 and the m voltage setting resistors. Part or all of R1 to R3 are connected in series, and are connected to the control signal line and n (n = 3 in FIG. 2) analog switches SW1 to SW3 whose open / close states are determined by individual control signals. Control pads C-Pad1 to C-Pad3, and the control pads C-Pad1 to C-
The voltage of the voltage setting circuit is set by applying a predetermined potential to Pad3.

【0012】本発明の第3の特徴の電圧設定回路は、図
3(1)に示す如く、異なる電位を持つn個(図3
(1)ではn=4)の端子VA 〜VD と、前記n個の端
子VA 〜VD と当該電圧設定回路の出力端子VREF との
間に接続され、個別の制御信号ContA〜ContD
によりその開閉状態が定まるn個のアナログスイッチS
WA〜SWDと、前記制御信号線ContA〜Cont
Dに接続される制御用パッドC−Pad1〜C−Pad
4とを有して構成し、前記制御用パッドC−Pad1〜
C−Pad4に所定の電位を印加することにより、当該
電圧設定回路の電圧を設定する。
As shown in FIG. 3A, the voltage setting circuit of the third feature of the present invention has n potentials (FIG. 3) having different potentials.
In (1), n = 4) terminals VA to VD are connected between the n terminals VA to VD and the output terminal VREF of the voltage setting circuit, and individual control signals ContA to ContD.
N analog switches S whose open / closed state is determined by
WA to SWD and the control signal lines ContA to Cont
Control pads C-Pad 1 to C-Pad connected to D
4 and the control pad C-Pad1
The voltage of the voltage setting circuit is set by applying a predetermined potential to C-Pad 4.

【0013】本発明の第4の特徴の電圧設定回路は、図
3(1)に示す如く、請求項1、2、または3に記載の
電圧設定回路において、前記電圧設定回路は、前記n個
(図3(1)ではn=4)のアナログスイッチSWA〜
SWDとlog2 nより大きな最小の整数個(図3
(1)ではlog2 n=2)の制御用パッドC−Pad
1及びC−Pad2との間に、前記制御用パッドC−P
ad1及びC−Pad2の電位により前記1つまたは複
数の制御信号ContA,ContB,ContC,ま
たはContDをアクティブにする論理回路DECを有
して構成する。
A voltage setting circuit according to a fourth aspect of the present invention is the voltage setting circuit according to claim 1, 2 or 3 as shown in FIG. 3A, wherein the number of the voltage setting circuits is n. (N = 4 in FIG. 3A) analog switches SWA to
SWD and the smallest integer larger than log 2 n (see FIG.
In (1), log 2 n = 2) control pad C-Pad
1 and C-Pad2, the control pad CP
A logic circuit DEC that activates the one or more control signals ContA, ContB, ContC, or ContD by the potentials of ad1 and C-Pad2 is included.

【0014】本発明の第5の特徴の電圧設定回路は、図
1または図2に示す如く、請求項1、2、3、または4
に記載の電圧設定回路において、前記制御用パッドC−
Pad1〜C−Pad3が開放の場合、該制御用パッド
C−Pad1〜C−Pad3の電位はハイレベルに固定
されており、外部(リード=GND)からローレベルの
電位を供給することにより該制御用パッドC−Pad1
〜C−Pad3の電位をローレベルとして、前記アナロ
グスイッチSW1〜SW3の状態を設定する。
The voltage setting circuit according to the fifth feature of the present invention, as shown in FIG. 1 or FIG.
In the voltage setting circuit described in the paragraph C., the control pad C-
When Pads 1 to C-Pad 3 are open, the potentials of the control pads C-Pad 1 to C-Pad 3 are fixed at a high level, and the control is performed by supplying a low level potential from the outside (lead = GND). Pad C-Pad1
The potentials of C-Pad3 are set to low level to set the states of the analog switches SW1 to SW3.

【0015】本発明の第6の特徴の電圧設定回路は、図
1または図2に示す如く、請求項1、2、3、または4
に記載の電圧設定回路において、前記制御用パッドC−
Pad1〜C−Pad3が開放の場合、該制御用パッド
C−Pad1〜C−Pad3の電位はローレベルに固定
されており、外部(リード=Vcc)からハイレベルの
電位を供給することにより該制御用パッドC−Pad1
〜C−Pad3の電位をハイレベルとして、前記アナロ
グスイッチSW1〜SW3の状態を設定する。
The voltage setting circuit according to the sixth aspect of the present invention, as shown in FIG. 1 or FIG.
In the voltage setting circuit described in the paragraph C., the control pad C-
When Pad1 to C-Pad3 are open, the potentials of the control pads C-Pad1 to C-Pad3 are fixed at low level, and the control is performed by supplying a high level potential from the outside (lead = Vcc). Pad C-Pad1
The potential of C-Pad3 is set to a high level, and the states of the analog switches SW1 to SW3 are set.

【0016】また、本発明の第1の特徴の電圧設定回路
の電圧設定方法は、図4に示す如く、請求項1、2、
3、4、5、または6に記載の電圧設定回路の電圧設定
方法において、前記制御用パッドC−Padiの電位を
決定するための測定をプローブテストにより実施し、そ
の情報をウェハ内分布図形式で記憶し、前記分布図によ
り前記制御用パッドC−Padiの印加条件別にチップ
を区分して、組立工程における前記制御用パッドC−P
adiへの所定の配線を行なう。
The voltage setting method of the voltage setting circuit according to the first feature of the present invention is, as shown in FIG.
In the voltage setting method of the voltage setting circuit described in 3, 4, 5, or 6, measurement for determining the potential of the control pad C-Padi is performed by a probe test, and the information is in-wafer distribution map format. The control pad C-P in the assembling process is divided according to the application condition of the control pad C-Padi according to the distribution chart.
Make a predetermined wiring to adi.

【0017】また、本発明の第2の特徴の電圧設定回路
の電圧設定方法は、図5に示す如く、請求項1、2、
3、4、5、または6に記載の電圧設定回路の電圧設定
方法において、前記制御用パッドC−Padiの電位を
決定するための測定をプローブテストにより実施し、そ
の情報をチップ内の記録領域に機械的に(マーキングに
より)記録し、前記記録領域の情報により、組立工程に
おける前記制御用パッドC−Padiへの所定の配線を
行なう。
The voltage setting method of the voltage setting circuit according to the second feature of the present invention is, as shown in FIG.
In the voltage setting method of the voltage setting circuit described in 3, 4, 5, or 6, the measurement for determining the potential of the control pad C-Padi is performed by a probe test, and the information is recorded in a recording area in the chip. Is recorded mechanically (by marking) on the printed circuit board, and predetermined wiring is performed to the control pad C-Padi in the assembly process based on the information in the recording area.

【0018】本発明の第3の特徴の電圧設定回路の電圧
設定方法は、請求項7または8に記載の電圧設定回路の
電圧設定方法において、前記制御用パッドC−Padi
への配線は、電源電圧Vccと等電位のリードまたはス
テージとのボンディング(ワイヤーボンディング;TA
B)によって行なわれる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a voltage setting method of the voltage setting circuit according to claim 7 or 8, wherein the control pad C-Padi is used.
Is connected to a lead or stage having the same potential as the power supply voltage Vcc (wire bonding; TA
B).

【0019】更に、本発明の第4の特徴の電圧設定回路
の電圧設定方法は、請求項7または8に記載の電圧設定
回路の電圧設定方法において、前記制御用パッドへの配
線は、グランドGNDと等電位のリードまたはステージ
とのボンディング(ワイヤーボンディング;TAB)に
よって行なわれる。
Further, the voltage setting method of the voltage setting circuit according to the fourth aspect of the present invention is the voltage setting method of the voltage setting circuit according to claim 7 or 8, wherein the wiring to the control pad is ground GND. Is performed by bonding with a lead or a stage having the same electric potential (wire bonding; TAB).

【0020】[0020]

【作用】本発明の第1、第2、第5、及び第6の特徴の
電圧設定回路では、図1及び図2に示す如く、制御用パ
ッドC−Pad1,C−Pad2,及びまたはC−Pa
d3に所定の電位、例えばグランドGND電位を印加す
ることにより、n個(n=3)のアナログスイッチSW
1〜SW3の開閉状態を制御し、m個(m=4)の電圧
設定抵抗R1〜R4による合成抵抗値を変化させて、当
該電圧設定回路の電圧を設定するようにしている。
In the voltage setting circuit of the first, second, fifth, and sixth features of the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, the control pads C-Pad1, C-Pad2, and / or C-Pad are used. Pa
By applying a predetermined potential to d3, for example, a ground GND potential, n (n = 3) analog switches SW
The open / close states of 1 to SW3 are controlled, and the combined resistance value of the m (m = 4) voltage setting resistors R1 to R4 is changed to set the voltage of the voltage setting circuit.

【0021】従って、パッド数がより少なくなりチップ
面積を減少させることができ、また、他の回路へ影響を
及ぼすこともなく、プローブテストにおけるトリミング
を行なわずに、トリミング精度を落とすことなくプロー
ブテストの時間短縮が可能となる。
Therefore, the number of pads can be reduced, the chip area can be reduced, the other circuits are not affected, and the trimming accuracy is not lowered without performing trimming in the probe test. It is possible to shorten the time.

【0022】本発明の第3、第5、及び第6の特徴の電
圧設定回路では、図3(1)に示す如く、制御用パッド
C−Pad1,C−Pad2,C−Pad3,またはC
−Pad4に所定の電位、例えばVcc電位を印加する
ことにより、n個のアナログスイッチSWA,SWB,
SWC,及びSWDの開閉状態を制御し、電源VA を抵
抗R1〜R4によって分圧された電位を有するn個(n
=4)の端子VA ,VB ,VC ,及びVD の何れかの電
位を当該電圧設定回路の出力電位VREF として、当該電
圧設定回路の電圧を設定するようにしている。
In the voltage setting circuit of the third, fifth and sixth features of the present invention, as shown in FIG. 3 (1), the control pads C-Pad1, C-Pad2, C-Pad3 or C are used.
By applying a predetermined potential to -Pad4, for example, Vcc potential, n analog switches SWA, SWB,
Controlling the open / closed states of SWC and SWD, the power source VA is n (n) having a potential divided by resistors R1 to R4.
= 4), the potential of any one of the terminals VA, VB, VC, and VD is set as the output potential VREF of the voltage setting circuit, and the voltage of the voltage setting circuit is set.

【0023】従って、第1の特徴の電圧設定回路と同様
の効果を実現できる。本発明の第4、第5、及び第6の
特徴の電圧設定回路では、図3(1)に示す如く、lo
2 nより大きな最小の整数個(log2 4=2)の制
御用パッドC−Pad1及びまたはC−Pad2に所定
の電位、例えばVcc電位を印加して、論理回路DEC
により制御信号ContA,ContB,ContC,
及びまたはContDをアクティブにしてアナログスイ
ッチSWA,SWB,SWC,及びまたはSWDの開閉
状態を制御し、電源VA を抵抗R1〜R4によって分圧
された電位を有するn個(n=4)の端子VA ,VB ,
VC ,及びVD の何れかの電位を当該電圧設定回路の出
力電位VREF として、当該電圧設定回路の電圧を設定す
るようにしている。
Therefore, the same effect as that of the voltage setting circuit of the first characteristic can be realized. In the voltage setting circuit of the fourth, fifth and sixth aspects of the present invention, as shown in FIG.
A predetermined potential, for example, Vcc potential is applied to the minimum integer (log 2 4 = 2) control pads C-Pad 1 and / or C-Pad 2 larger than g 2 n to apply the logic circuit DEC.
Control signals ContA, ContB, ContC,
And / or ContD is activated to control the open / close state of the analog switches SWA, SWB, SWC, and / or SWD, and the power supply VA is n (n = 4) terminals VA having a potential divided by the resistors R1 to R4. , VB,
The voltage of the voltage setting circuit is set with the potential of either VC or VD as the output potential VREF of the voltage setting circuit.

【0024】従って、パッド数を更に少なくさせて、つ
まりlog2 n/n(図3(1)では2分の1)に減少
させて、チップ面積を減少させることができ、また、プ
ローブテストにおけるトリミングを行なわずに、トリミ
ング精度を落とすことなくプローブテストの時間短縮が
可能となる。
Therefore, the chip area can be reduced by further reducing the number of pads, that is, log 2 n / n (one half in FIG. 3A), and in the probe test. The probe test time can be reduced without trimming accuracy without trimming.

【0025】また、本発明の第1、第3及び第4の特徴
の電圧設定回路の電圧設定方法では、図4に示す如く、
制御用パッドC−Padiの電位を決定するための測定
をプローブテストにより実施し、その情報をウェハ内分
布図形式で記憶し、分布図により制御用パッドC−Pa
diの印加条件別にチップを区分して、組立工程におけ
る制御用パッドC−Padiへの所定の配線を行なうよ
うにしている。
Further, in the voltage setting method of the voltage setting circuit of the first, third and fourth features of the present invention, as shown in FIG.
The measurement for determining the electric potential of the control pad C-Padi is carried out by the probe test, and the information is stored in the distribution chart form within the wafer, and the control pad C-Pa is stored by the distribution chart.
The chips are divided according to the application condition of di, and a predetermined wiring to the control pad C-Padi in the assembly process is performed.

【0026】従って、本工程を半導体集積回路製造にお
ける自動化の一工程として組み込むことが可能となり、
半導体集積回路製造の時間短縮を実現できる。更に、本
発明の第2、第3及び第4の特徴の電圧設定回路の電圧
設定方法では、図5に示す如く、制御用パッドC−Pa
diの電位を決定するための測定をプローブテストによ
り実施し、その情報をチップ内の記録領域に機械的に
(マーキングにより)記録し、記録領域の情報により、
組立工程における制御用パッドC−Padiへの所定の
配線を行なうようにしている。
Therefore, this step can be incorporated as one step of automation in the semiconductor integrated circuit manufacturing,
It is possible to reduce the manufacturing time of semiconductor integrated circuits. Further, in the voltage setting method of the voltage setting circuit of the second, third and fourth characteristics of the present invention, as shown in FIG. 5, the control pad C-Pa is used.
The measurement for determining the potential of di is performed by a probe test, and the information is mechanically recorded (by marking) in a recording area in the chip, and the information in the recording area
Predetermined wiring is made to the control pad C-Padi in the assembly process.

【0027】従って、第1の特徴の電圧設定回路の電圧
設定方法と同様の効果を実現できる。
Therefore, the same effect as the voltage setting method of the voltage setting circuit of the first feature can be realized.

【0028】[0028]

【実施例】次に、本発明に係る実施例を図面に基づいて
説明する。 第1実施例 図1に本発明の第1実施例に係る電圧設定回路の構成図
を示す。同図において、図6(従来例)と重複する部分
には同一の符号を附す。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. First Embodiment FIG. 1 shows a block diagram of a voltage setting circuit according to a first embodiment of the present invention. In the figure, the same parts as those in FIG. 6 (conventional example) are designated by the same reference numerals.

【0029】本実施例の電圧設定回路は、電源Vccと
グランドGNDとの間に、電流源、電圧設定部、及び電
源VBGを構成し、電圧設定部は、4個の電圧設定抵抗R
1〜R4と、4個の電圧設定抵抗の一部R1〜R3に並
列に接続され、個別の制御信号によりその開閉状態が定
まる3個のアナログスイッチSW1〜SW3と、アナロ
グスイッチSW1〜SW3と電源Vcc間に接続される
電流源と、制御信号線に接続される制御用パッドC−P
ad1〜C−Pad3とから構成されている。
The voltage setting circuit of this embodiment comprises a current source, a voltage setting unit, and a power supply VBG between the power supply Vcc and the ground GND, and the voltage setting unit has four voltage setting resistors R.
1 to R4 and a part of four voltage setting resistors R1 to R3 in parallel, and three analog switches SW1 to SW3 whose open / closed states are determined by individual control signals, analog switches SW1 to SW3, and a power supply A current source connected between Vcc and a control pad CP connected to a control signal line
It is composed of ad1 to C-Pad3.

【0030】本実施例では、基準電圧VREF は、電圧V
BGと定電流IR による抵抗R1〜R4の電圧降下により
設定される。つまり、抵抗R1〜R4による合成抵抗値
を調整することで基準電圧VREF を調整することができ
る。
In the present embodiment, the reference voltage VREF is the voltage V
It is set by the voltage drop of resistors R1 to R4 due to BG and constant current IR. That is, the reference voltage VREF can be adjusted by adjusting the combined resistance value of the resistors R1 to R4.

【0031】合成抵抗値の調整は、アナログスイッチS
W1〜SW3のオン動作の組み合わせにより、抵抗値の
組み合わせを、R1+R2+R3+R4,R1+R2+
R4,R1+R3+R4,R2+R3+R4,R1+R
4,R2+R4,R3+R4,R4の8通りから選択す
ることで行なう。また、アナログスイッチSW1〜SW
3の開閉制御は、制御用パッドC−Pad1〜C−Pa
d3に、グランドGND電圧と等電位のリードからの配
線を施すことにより行なう。
The analog resistance S is adjusted by adjusting the combined resistance value.
Depending on the combination of the ON operations of W1 to SW3, the combination of resistance values is changed to R1 + R2 + R3 + R4, R1 + R2 +
R4, R1 + R3 + R4, R2 + R3 + R4, R1 + R
It is performed by selecting from 8 ways of 4, R2 + R4, R3 + R4 and R4. Also, analog switches SW1 to SW
The opening / closing control of No. 3 is performed by the control pads C-Pad1 to C-Pa.
This is done by providing a wiring from a lead having the same potential as the ground GND voltage to d3.

【0032】図1の場合、制御用パッドC−Pad2に
配線が施されグランドGND電圧が印加される。アナロ
グスイッチSW1〜SW3が、その制御信号がローレベ
ルとなる時オン動作となるスイッチであれば、アナログ
スイッチSW2がオン動作となり、合成抵抗R1+R3
+R4と電流IR による電圧降下により基準電圧VREF
が設定される。 第2実施例 図2に本発明の第2実施例に係る電圧設定回路の構成図
を示す。
In the case of FIG. 1, wiring is applied to the control pad C-Pad 2 and the ground GND voltage is applied. If the analog switches SW1 to SW3 are switches that are turned on when the control signal becomes a low level, the analog switch SW2 is turned on and the combined resistance R1 + R3.
Reference voltage VREF due to voltage drop due to + R4 and current IR
Is set. Second Embodiment FIG. 2 shows a block diagram of a voltage setting circuit according to a second embodiment of the present invention.

【0033】本実施例の電圧設定回路は、第1実施例の
電圧設定回路において、電圧設定抵抗R1〜R3を並列
に接続し、アナログスイッチSW1〜SW3を抵抗R1
〜R3にそれぞれ直列に接続した構成となっている。
The voltage setting circuit of this embodiment is the same as the voltage setting circuit of the first embodiment except that the voltage setting resistors R1 to R3 are connected in parallel and the analog switches SW1 to SW3 are connected to the resistor R1.
To R3 are connected in series.

【0034】本実施例では、第1実施例と同様に、基準
電圧VREF は電圧VBGと低電流IRによる抵抗R1〜R
4の電圧降下により設定される。図2の場合、制御用パ
ッドC−Pad2に配線が施されグランドGND電圧が
印加されており、アナログスイッチSW1〜SW3が、
その制御信号がローレベルとなる時オン動作となるスイ
ッチであれば、アナログスイッチSW2がオン動作とな
り、合成抵抗R1×R3/(R1+R3)+R4と電流
IR による電圧降下により基準電圧VREF が設定され
る。
In this embodiment, as in the first embodiment, the reference voltage VREF is the resistance R1 to R due to the voltage VBG and the low current IR.
It is set by the voltage drop of 4. In the case of FIG. 2, wiring is applied to the control pad C-Pad2 to apply the ground GND voltage, and the analog switches SW1 to SW3 are
If the control signal is a switch that is turned on when it becomes a low level, the analog switch SW2 is turned on, and the reference voltage VREF is set by the voltage drop due to the combined resistance R1 × R3 / (R1 + R3) + R4 and the current IR. ..

【0035】尚、第1及び第2の実施例では、制御用パ
ッドC−Pad1〜C−Pad3が開放の場合、制御用
パッドC−Pad1〜C−Pad3の電位はハイレベル
に固定され、リード(=GND)からローレベルの電位
を供給することにより制御用パッドC−Pad1〜C−
Pad3の電位をローレベルとして、アナログスイッチ
SW1〜SW3をオン動作させたが、これに限らず、例
えば次のようにすることも考えられる。
In the first and second embodiments, when the control pads C-Pad1 to C-Pad3 are open, the potentials of the control pads C-Pad1 to C-Pad3 are fixed at a high level and the leads are read. By supplying a low-level potential from (= GND), the control pads C-Pad1 to C-
Although the analog switches SW1 to SW3 are turned on by setting the potential of Pad3 to the low level, the present invention is not limited to this, and the following may be considered, for example.

【0036】即ち、制御用パッドC−Pad1〜C−P
ad3が開放の場合、制御用パッドC−Pad1〜C−
Pad3の電位はローレベルに固定され、リード(=V
cc)からハイレベルの電位を供給することにより制御
用パッドC−Pad1〜C−Pad3の電位をハイレベ
ルとして、アナログスイッチSW1〜SW3をオン動作
させる。 第3実施例 図3(1)に本発明の第3実施例に係る電圧設定回路の
構成図を示す。
That is, the control pads C-Pad1 to CP
When ad3 is open, control pads C-Pad1 to C-
The potential of Pad3 is fixed to the low level, and the lead (= V
By supplying a high level potential from cc), the potential of the control pads C-Pad1 to C-Pad3 is set to a high level and the analog switches SW1 to SW3 are turned on. Third Embodiment FIG. 3A shows the configuration of a voltage setting circuit according to the third embodiment of the present invention.

【0037】本実施例の電圧設定回路では、電源Vcc
とグランドGNDとの間に、電流源、電圧設定部、及び
電圧設定部に並列に接続される電源VBGとを有して構成
している。
In the voltage setting circuit of this embodiment, the power source Vcc
And a ground GND, a current source, a voltage setting unit, and a power supply VBG connected in parallel to the voltage setting unit.

【0038】電圧設定部は、4個の電圧設定抵抗R1〜
R4を直列接続したものを電源VAと並列に接続して、
電源VA を抵抗R1〜R4によって分圧された電位を有
する4個の端子VA ,VB ,VC ,及びVD の何れかの
電位を、当該電圧設定回路の出力電位VREF と4個の端
子VA ,VB ,VC ,及びVD の間に接続された4個の
アナログスイッチSWA,SWB,SWC,及びSWD
の開閉状態を制御して出力電圧VREF を設定するもので
ある。
The voltage setting section includes four voltage setting resistors R1 to R1.
Connect R4 in series with the power supply VA in parallel,
Any one of the four terminals VA, VB, VC, and VD having the potential obtained by dividing the power source VA by the resistors R1 to R4 is used as the output potential VREF of the voltage setting circuit and the four terminals VA and VB. , VC, and VD four analog switches SWA, SWB, SWC, and SWD
The output voltage VREF is set by controlling the open / closed state of.

【0039】アナログスイッチSWA,SWB,SW
C,及びSWDの開閉状態を制御する制御信号Cont
A,ContB,ContC,またはContDは、制
御用パッドC−Pad1及びC−Pad2からの信号を
入力として、図3(2)に示す真理値表の如く動作をす
るデコーダDECによって生成される。
Analog switches SWA, SWB, SW
Control signal Cont for controlling the open / closed state of C and SWD
A, ContB, ContC, or ContD is generated by the decoder DEC that operates according to the truth table shown in FIG. 3 (2) with the signals from the control pads C-Pad1 and C-Pad2 as inputs.

【0040】図3(1)の場合、制御用パッドC−Pa
d1に配線が施されてリード(Vcc)の電位が印加さ
れている。従って、アナログスイッチSWA〜SWD
が、その制御信号がローレベルとなる時オン動作となる
スイッチであれば、アナログスイッチSWBがオン動作
となり、端子VB の電位、即ちVA ×(R2+R3+R
4)/(R1+R2+R3+R4)の電位が基準電圧V
REF として設定される。
In the case of FIG. 3 (1), the control pad C-Pa
Wiring is applied to d1 and the potential of the lead (Vcc) is applied. Therefore, the analog switches SWA to SWD
However, if the switch is an on-operation when the control signal becomes low level, the analog switch SWB is on-operation and the potential of the terminal VB, that is, VA x (R2 + R3 + R).
4) / (R1 + R2 + R3 + R4) potential is the reference voltage V
Set as REF.

【0041】本実施例では、パッド数をlog2 n/n
(図3(1)では2分の1)に減少させることができ、
チップ面積をより減少させることが可能となる。 第4実施例 図4に本発明の第4実施例に係る電圧設定回路の電圧設
定方法の説明図を示す。
In this embodiment, the number of pads is set to log 2 n / n.
(It can be reduced to half in Fig. 3 (1)),
It is possible to further reduce the chip area. Fourth Embodiment FIG. 4 shows an explanatory diagram of a voltage setting method of a voltage setting circuit according to a fourth embodiment of the present invention.

【0042】上述の第1、第2、及び第3の実施例の電
圧設定回路においては、アナログスイッチSW1〜SW
3或いはSWA〜SWDの開閉状態を設定するために、
制御用パッドC−Pad1〜C−Pad3にリード(グ
ランドGNDまたはVcc)からの配線を施すが、何れ
の制御用パッドC−Padiに配線を施して信号を印加
するかは、プローブテストにおいて判断される。
In the voltage setting circuits of the above-mentioned first, second and third embodiments, the analog switches SW1 to SW are used.
3 or to set the open / closed state of SWA to SWD,
Wiring from the lead (ground GND or Vcc) is applied to the control pads C-Pad1 to C-Pad3. Which of the control pads C-Padi is applied with a signal is determined by the probe test. It

【0043】このプローブテストでは、制御用パッドC
−Padiに信号を印加して配線が成された場合と同じ
状態を設定し、その時の基準電圧VREF を測定し、目的
値に最も近い基準電圧VREF となる制御用パッドC−P
adiへの信号印加の組み合わせを確認する。
In this probe test, the control pad C
-Pad is set to the same state as when wiring is made by applying a signal, the reference voltage VREF at that time is measured, and the control pad C-P becomes the reference voltage VREF closest to the target value.
Check the combination of signal application to adi.

【0044】本実施例では、このように制御用パッドC
−Padiの電位を決定するための測定をプローブテス
トにより実施し、確認された情報に基づいて、チップ区
分として図4に示すようなウェハ内分布図を作成する。
例えば図4では、どの制御用パッドC−Padiも配線
しないチップをA、制御用パッドC−Pad1を配線す
るチップをB、制御用パッドC−Pad2を配線するチ
ップをC、制御用パッドC−Pad3を配線するチップ
をD、制御用パッドC−Pad1及び2を配線するチッ
プをE、制御用パッドC−Pad1及び3を配線するチ
ップをF、制御用パッドC−Pad2及び3を配線する
チップをG、制御用パッドC−Pad1、2、及び3を
配線するチップをH、不良とされたフェイルチップを×
といった記号で区別している。
In this embodiment, the control pad C is thus formed.
The measurement for determining the potential of -Padi is performed by the probe test, and based on the confirmed information, a distribution chart within a wafer as shown in FIG. 4 is created as a chip section.
For example, in FIG. 4, a chip in which no control pad C-Padi is wired is A, a chip in which the control pad C-Pad1 is wired is B, a chip in which the control pad C-Pad2 is wired is C, and a control pad C- The chip for wiring Pad3 is D, the chip for wiring control pads C-Pad1 and 2 is E, the chip for wiring control pads C-Pad1 and 3 is F, and the chip for wiring control pads C-Pad2 and 3 G, H for a chip for wiring the control pads C-Pad 1, 2, and 3 and X for a failed fail chip.
It is distinguished by such a symbol.

【0045】区別されたチップは、グループ毎に分けら
れ、それぞれウェハ内分布図に基づいた制御用パッドC
−Padiの印加条件に沿った組立工程により制御用パ
ッドC−Padiへの配線がなされる。
The distinguished chips are divided into groups, each of which is a control pad C based on the distribution map within the wafer.
Wiring to the control pad C-Pad i is performed by an assembly process according to the application condition of -Pad i.

【0046】従って、本工程を半導体集積回路製造にお
ける自動化の一工程として組み込むことが可能となり、
半導体集積回路製造の時間短縮を実現できる。 第5実施例 図5に本発明の第5実施例に係る電圧設定回路の電圧設
定方法の説明図を示す。
Therefore, it becomes possible to incorporate this step as an automated step in the semiconductor integrated circuit manufacturing,
It is possible to reduce the manufacturing time of semiconductor integrated circuits. Fifth Embodiment FIG. 5 shows an explanatory diagram of a voltage setting method of a voltage setting circuit according to a fifth embodiment of the present invention.

【0047】本実施例では、制御用パッドC−Padi
の電位を決定するための測定を、第4実施例と同様にプ
ローブテストにより実施し、確認された情報に基づい
て、図5(1)〜(4)に示すようにチップ内の記録領
域にマーキングによって記録し、マーキングの有無によ
り、組立工程における制御用パッドC−Padiへの所
定の配線を行なう。
In the present embodiment, the control pad C-Padi
The measurement for determining the electric potential of is carried out by the probe test as in the case of the fourth embodiment, and based on the confirmed information, the recording area in the chip is recorded as shown in FIGS. Recording is performed by marking, and predetermined wiring is performed to the control pad C-Padi in the assembly process depending on the presence or absence of the marking.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の電圧設定
回路によれば、制御用パッドに所定の電位を印加してア
ナログスイッチの開閉状態を制御し、電圧設定抵抗によ
る合成抵抗値を変化させて、当該電圧設定回路の電圧を
設定することとしたので、パッド数がより少なくなりチ
ップ面積を減少させることができ、また、他の回路へ影
響を及ぼすこともなく、プローブテストにおけるトリミ
ングを行なわずに、トリミング精度を落とすことなくプ
ローブテストの時間短縮が可能な電圧設定回路を提供す
ることができる。
As described above, according to the voltage setting circuit of the present invention, the open / closed state of the analog switch is controlled by applying a predetermined potential to the control pad, and the combined resistance value by the voltage setting resistor is changed. Since the voltage of the voltage setting circuit is set, the number of pads can be reduced and the chip area can be reduced, and trimming in the probe test can be performed without affecting other circuits. It is possible to provide a voltage setting circuit capable of shortening the probe test time without degrading trimming accuracy without performing the trimming.

【0049】また、本発明の電圧設定回路によれば、l
og2 nより大きな最小の整数個の制御用パッドに所定
の電位を印加して、論理回路により制御信号をアクティ
ブにしてアナログスイッチの開閉状態を制御し、電源を
抵抗によって分圧された電位を有するn個の端子の何れ
かの電位を当該電圧設定回路の出力電位として設定する
こととしたので、パッド数を更に少なくさせて、つまり
log2 n/nに減少させて、チップ面積を減少させる
ことができ、また、プローブテストにおけるトリミング
を行なわずに、トリミング精度を落とすことなくプロー
ブテストの時間短縮が可能な電圧設定回路を提供するこ
とができる。
Further, according to the voltage setting circuit of the present invention,
A predetermined potential is applied to a minimum integer number of control pads larger than og 2 n, the control signal is activated by the logic circuit to control the open / closed state of the analog switch, and the power supply is divided into potentials by a resistor. Since the potential of any of the n terminals that it has is set as the output potential of the voltage setting circuit, the number of pads is further reduced, that is, it is reduced to log 2 n / n, and the chip area is reduced. It is also possible to provide a voltage setting circuit that can shorten the time of the probe test without lowering the trimming accuracy without performing the trimming in the probe test.

【0050】また、本発明の電圧設定回路の電圧設定方
法では、制御用パッドの電位を決定するための測定をプ
ローブテストにより実施し、その情報をウェハ内分布図
形式で、またはチップ内の記録領域に機械的に(マーキ
ングにより)記憶し、分布図または記録領域の情報によ
り制御用パッドの印加条件別にチップを区分して、組立
工程における制御用パッドへの所定の配線を行なうこと
としたので、本工程を半導体集積回路製造における自動
化の一工程として組み込むことが可能となり、半導体集
積回路製造の時間短縮が可能な電圧設定回路の電圧設定
方法を提供することができる。
Further, in the voltage setting method of the voltage setting circuit of the present invention, the measurement for determining the potential of the control pad is carried out by the probe test, and the information is recorded in the distribution chart form on the wafer or in the chip. Since it is stored mechanically (by marking) in the area, the chip is divided according to the application condition of the control pad based on the distribution map or the information of the recording area, and the predetermined wiring to the control pad in the assembly process is performed. The present step can be incorporated as an automated step in semiconductor integrated circuit manufacturing, and it is possible to provide a voltage setting method for a voltage setting circuit capable of shortening the time for semiconductor integrated circuit manufacturing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例に係る電圧設定回路の構成
図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a voltage setting circuit according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施例に係る電圧設定回路の構成
図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of a voltage setting circuit according to a second embodiment of the present invention.

【図3】図3(1)は本発明の第3実施例に係る電圧設
定回路の構成図、図3(2)はデコーダの真理値表であ
る。
FIG. 3 (1) is a configuration diagram of a voltage setting circuit according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 3 (2) is a truth table of a decoder.

【図4】本発明の第4実施例に係る電圧設定回路の電圧
設定方法の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a voltage setting method of a voltage setting circuit according to a fourth embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第5実施例に係る電圧設定回路の電圧
設定方法の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a voltage setting method of the voltage setting circuit according to the fifth embodiment of the present invention.

【図6】図6(1)はツェナーザップ方式によるトリミ
ングの説明図、図6(2)はレーザカット方式によるト
リミングの説明図である。
FIG. 6 (1) is an explanatory diagram of trimming by a Zener zap system, and FIG. 6 (2) is an explanatory diagram of trimming by a laser cut system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

R1〜R4…電圧設定抵抗 SW1〜SW3,SWA〜SWD…アナログスイッチ C−Pad1〜C−Pad4…制御用パッド VA 〜VD …端子 VREF …電圧設定回路の出力電圧(端子)、(基準電
圧) ContA〜ContD…制御信号 DEC…論理回路(デコーダ) VBG…電圧 IR …定電流 Vcc…電源 GND…グランド A〜H,×…チップ区分 ZD1〜ZD3…ツェナーダイオード Iz …電流
R1 to R4 ... Voltage setting resistors SW1 to SW3, SWA to SWD ... Analog switches C-Pad1 to C-Pad4 ... Control pads VA to VD ... Terminal VREF ... Output voltage (terminal) of voltage setting circuit, (reference voltage) ContA ~ ContD ... Control signal DEC ... Logic circuit (decoder) VBG ... Voltage IR ... Constant current Vcc ... Power supply GND ... Ground A ... H, X ... Chip division ZD1 to ZD3 ... Zener diode Iz ... Current

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 m個(mは任意の正整数)の電圧設定抵
抗(R1〜R4)と、前記m個の電圧設定抵抗の一部ま
たは全てに並列に接続され、個別の制御信号によりその
開閉状態が定まるn個(n≦m)のスイッチ手段(SW
1〜SW3)と、制御用パッド(C−Pad1〜C−P
ad3)とを有し、 前記制御用パッド(C−Pad1〜C−Pad3)を介
して該スイッチ手段に制御信号となるに所定の電位を印
加することにより、当該電圧設定回路の電圧を設定する
ことを特徴とする電圧設定回路。
1. An m number (m is an arbitrary positive integer) voltage setting resistor (R1 to R4) and a part or all of the m voltage setting resistors are connected in parallel and are connected by individual control signals. N (n ≦ m) switch means (SW) whose open / closed state is determined
1 to SW3) and control pads (C-Pad 1 to C-P)
and ad3), and sets a voltage of the voltage setting circuit by applying a predetermined potential as a control signal to the switch means through the control pads (C-Pad1 to C-Pad3). A voltage setting circuit characterized in that
【請求項2】 m個の電圧設定抵抗(R1〜R4)と、
前記m個の電圧設定抵抗の一部または全てに直列に接続
され、個別の制御信号によりその開閉状態が定まるn個
のアナログスイッチ(SW1〜SW3)と、前記制御信
号線に接続される制御用パッド(C−Pad1〜C−P
ad3)とを有し、 前記制御用パッド(C−Pad1〜C−Pad3)に所
定の電位を印加することにより、当該電圧設定回路の電
圧を設定することを特徴とする電圧設定回路。
2. M voltage setting resistors (R1 to R4),
N analog switches (SW1 to SW3), which are connected in series to some or all of the m voltage setting resistors and whose open / closed states are determined by individual control signals, and for control connected to the control signal line Pad (C-Pad1 to CP
ad3), and the voltage of the voltage setting circuit is set by applying a predetermined potential to the control pads (C-Pad1 to C-Pad3).
【請求項3】 異なる電位を持つn個の端子(VA 〜V
D )と、前記n個の端子(VA 〜VD )と当該電圧設定
回路の出力端子(VREF )との間に接続され、個別の制
御信号(ContA〜ContD)によりその開閉状態
が定まるn個のアナログスイッチ(SWA〜SWD)
と、前記制御信号線に接続される制御用パッド(C−P
ad1〜C−Pad4)とを有し、 前記制御用パッド(C−Pad1〜C−Pad4)に所
定の電位を印加することにより、当該電圧設定回路の電
圧を設定することを特徴とする電圧設定回路。
3. N terminals (VA to V) having different potentials.
D) and the n terminals (VA to VD) and the output terminal (VREF) of the voltage setting circuit, and n open / close states are determined by individual control signals (ContA to ContD). Analog switch (SWA-SWD)
And a control pad (CP) connected to the control signal line.
ad1 to C-Pad4), and setting a voltage of the voltage setting circuit by applying a predetermined potential to the control pads (C-Pad1 to C-Pad4). circuit.
【請求項4】 前記電圧設定回路は、前記n個のアナロ
グスイッチ(SWA〜SWD)とlog2 nより大きな
最小の整数個の制御用パッド(C−Pad1及びC−P
ad2)との間に、前記制御用パッド(C−Pad1及
びC−Pad2)の電位により前記1つまたは複数の制
御信号(ContA,ContB,ContC,または
ContD)をアクティブにする論理回路(DEC)を
有することを特徴とする請求項1、2、または3に記載
の電圧設定回路。
4. The voltage setting circuit includes the n analog switches (SWA to SWD) and a minimum integer number of control pads (C-Pad1 and C-P) larger than log 2 n.
a logic circuit (DEC) that activates the one or more control signals (ContA, ContB, ContC, or ContD) according to the potential of the control pads (C-Pad1 and C-Pad2) between the ad2) and ad2). The voltage setting circuit according to claim 1, 2 or 3, further comprising:
【請求項5】 前記制御用パッド(C−Pad1〜C−
Pad3)が開放の場合、該制御用パッド(C−Pad
1〜C−Pad3)の電位はハイレベルに固定されてお
り、外部からローレベルの電位を供給することにより該
制御用パッド(C−Pad1〜C−Pad3)の電位を
ローレベルとして、前記アナログスイッチ(SW1〜S
W3)の状態を設定することを特徴とする請求項1、
2、3、または4に記載の電圧設定回路。
5. The control pads (C-Pad1 to C-)
Pad 3) is open, the control pad (C-Pad)
1 to C-Pad 3) are fixed to a high level, and the potential of the control pads (C-Pad 1 to C-Pad 3) is set to a low level by externally supplying a low level potential, and the analog Switch (SW1-S
2. The state of W3) is set.
The voltage setting circuit described in 2, 3, or 4.
【請求項6】 前記制御用パッド(C−Pad1〜C−
Pad3)が開放の場合、該制御用パッド(C−Pad
1〜C−Pad3)の電位はローレベルに固定されてお
り、外部からハイレベルの電位を供給することにより該
制御用パッド(C−Pad1〜C−Pad3)の電位を
ハイレベルとして、前記アナログスイッチ(SW1〜S
W3)の状態を設定することを特徴とする請求項1、
2、3、または4に記載の電圧設定回路。
6. The control pads (C-Pad1 to C-)
Pad 3) is open, the control pad (C-Pad)
1 to C-Pad 3) are fixed to a low level, and the potential of the control pads (C-Pad 1 to C-Pad 3) is set to a high level by supplying a high level potential from the outside, and the analog Switch (SW1-S
2. The state of W3) is set.
The voltage setting circuit described in 2, 3, or 4.
【請求項7】 請求項1、2、3、4、5、または6に
記載の電圧設定回路の電圧設定方法において、 前記制御用パッド(C−Padi)の電位を決定するた
めの測定をプローブテストにより実施し、その情報をウ
ェハ内分布図形式で記憶し、前記分布図により前記制御
用パッドの印加条件別にチップを区分して、組立工程に
おける前記制御用パッド(C−Padi)への所定の配
線を行なうことを特徴とする電圧設定回路の電圧設定方
法。
7. The voltage setting method for a voltage setting circuit according to claim 1, 2, 3, 4, 5, or 6, wherein a probe for measuring for determining the potential of the control pad (C-Padi) is used. It is carried out by a test, the information is stored in a distribution map format within a wafer, the chips are classified according to the application condition of the control pad according to the distribution map, and predetermined to the control pad (C-Padi) in the assembly process. A method of setting a voltage in a voltage setting circuit, characterized in that wiring is performed.
【請求項8】 請求項1、2、3、4、5、または6に
記載の電圧設定回路の電圧設定方法において、 前記制御用パッド(C−Padi)の電位を決定するた
めの測定をプローブテストにより実施し、その情報をチ
ップ内の記録領域に機械的に記録し、前記記録領域の情
報により、組立工程における前記制御用パッド(C−P
adi)への所定の配線を行なうことを特徴とする電圧
設定回路の電圧設定方法。
8. The voltage setting method for a voltage setting circuit according to claim 1, 2, 3, 4, 5, or 6, wherein a probe for measuring for determining the potential of the control pad (C-Padi) is used. The test is performed, the information is mechanically recorded in a recording area in the chip, and the control pad (CP) in the assembling process is determined by the information in the recording area.
adi) and a predetermined wiring to the voltage setting circuit of the voltage setting circuit.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6236547B1 (en) 1999-04-07 2001-05-22 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Zener zapping device and zener zapping method

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