JPH05231980A - Multipurpose airtight apparatus - Google Patents
Multipurpose airtight apparatusInfo
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- JPH05231980A JPH05231980A JP5549891A JP5549891A JPH05231980A JP H05231980 A JPH05231980 A JP H05231980A JP 5549891 A JP5549891 A JP 5549891A JP 5549891 A JP5549891 A JP 5549891A JP H05231980 A JPH05231980 A JP H05231980A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は多目的気密装置に係り、
特にヘリウム等の検査流体による漏洩検査、真空乾燥及
びパージ等に使用する、新規な多目的気密装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multipurpose airtight device,
In particular, the present invention relates to a novel multipurpose airtight device used for leak inspection with a test fluid such as helium, vacuum drying and purging.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、この種の気密装置1としては、例
えば、図4に示されているような構成のものが知られて
いる。図示されているように、リング状に形成された基
台2上には、複数の密閉容器3が載置されている。各密
閉容器3は、例えば上下に分割可能に形成され、それぞ
れの内部にワークを収納するようになっている。また、
上記リング状の基台2の中心位置には、ロータリーバル
ブ4が設けられており、各密閉容器3には該ロータリー
バルブ4に臨むように、それぞれノズル5が取り付けら
れている。各ノズル5は、上記ロータリーバルブ4から
放射線状に延出されたスプールパイプ6とそれぞれ接続
され、これらの系は各接続部においてシールされ気密的
に保持されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an airtight device 1 of this type, one having a structure as shown in FIG. 4, for example, has been known. As shown in the figure, a plurality of closed containers 3 are placed on a base 2 formed in a ring shape. Each closed container 3 is formed, for example, so that it can be divided into upper and lower parts, and accommodates a work in each of them. Also,
A rotary valve 4 is provided at the center of the ring-shaped base 2, and a nozzle 5 is attached to each closed container 3 so as to face the rotary valve 4. Each nozzle 5 is connected to a spool pipe 6 extending radially from the rotary valve 4, and these systems are hermetically sealed and sealed at each connection.
【0003】上記ロータリーバルブ4は、例えば図5に
示されているように、固定フランジ7と回転フランジ8
とを当接させ、該回転フランジ8を回転させて、これに
形成された弧状溝9を、上記固定フランジ7に形成され
た弧状溝10と連通させることにより、流体を給排する
ようになっている。The rotary valve 4 has a fixed flange 7 and a rotary flange 8 as shown in FIG. 5, for example.
Are contacted with each other, the rotary flange 8 is rotated, and the arcuate groove 9 formed in the rotary flange 8 is communicated with the arcuate groove 10 formed in the fixed flange 7, thereby supplying and discharging the fluid. ing.
【0004】従って、一台のロータリーバルブ4の周り
に複数の密閉容器3を配置し、各密閉容器3に流体を給
排するため、上記固定フランジ7及び回転フランジ8
に、上記密閉容器3の数に相当する複数の弧状溝(図示
せず)が同芯円状に多重に形成されている。Therefore, a plurality of closed containers 3 are arranged around one rotary valve 4, and fluid is supplied to and discharged from each closed container 3, so that the fixed flange 7 and the rotary flange 8 are provided.
In addition, a plurality of arc-shaped grooves (not shown) corresponding to the number of the closed containers 3 are formed in multiple concentric circles.
【0005】このように構成された気密装置1を使用し
て例えばワークの漏洩検査を行う場合、各密閉容器3内
にヘリウム等の検査流体を充填したワークを収納してお
き、上記ロータリーバルブ4の固定フランジ7或いは回
転フランジ8に排気装置11を接続して、該ロータリー
バルブ4を介して各密閉容器3内を高真空にし、該ロー
タリーバルブ4に接続したディテクタ(図示せず)で、
上記ワークに充填された検査流体の漏洩の有無を検出し
ていた。For example, when leak inspection of a work is performed using the airtight device 1 configured as described above, the work filled with a test fluid such as helium is stored in each closed container 3, and the rotary valve 4 is used. The exhaust device 11 is connected to the fixed flange 7 or the rotary flange 8 of the above, the inside of each closed container 3 is made into a high vacuum through the rotary valve 4, and a detector (not shown) connected to the rotary valve 4
The presence or absence of leakage of the inspection fluid filled in the work was detected.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の気密
装置1にあっては、一台のロータリーバルブ4を介して
複数の密閉容器3に流体を給排しているため、ヘリウム
等の検査流体によりワークの漏洩検査を行う際、装置全
体を漏洩検査装置として使用しなければならず、一部の
密閉容器3をワークの真空乾燥及びパージ等の他の目的
に使用することはできなかった。By the way, in the conventional airtight device 1, since the fluid is supplied to and discharged from the plurality of closed containers 3 through the single rotary valve 4, the test fluid such as helium is used. Therefore, when performing the leakage inspection of the work, the entire apparatus must be used as a leakage inspection apparatus, and some of the closed containers 3 cannot be used for other purposes such as vacuum drying and purging of the work.
【0007】また、一台のロータリーバルブ4によって
複数の密閉容器3に流体を給排するには、上記固定フラ
ンジ7及び回転フランジ8に、複数の弧状溝を同芯円状
に多重に形成しなければならないので、ロータリーバル
ブ4及びその周りの配管の構造が複雑になるという問題
があった。In addition, in order to supply and discharge the fluid to and from the plurality of closed containers 3 by one rotary valve 4, a plurality of arcuate grooves are concentrically formed in the fixed flange 7 and the rotary flange 8. Therefore, there is a problem that the structure of the rotary valve 4 and the pipes around it are complicated.
【0008】本発明の目的は、上記課題に鑑み、複雑な
構造のロータリーバルブを使用することなく、簡単な操
作で、ヘリウム等の検査流体による漏洩検査、真空乾燥
及びパージ等に、多目的に使用することができる気密装
置を提供するにある。In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a versatile use for leak inspection by a test fluid such as helium, vacuum drying and purging with a simple operation without using a rotary valve having a complicated structure. It is to provide an airtight device that can be.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明に係
る多目的気密装置によれば、ワークを収納すべく分割可
能に形成された少なくとも一つの密閉容器と、この密閉
容器に進退自在に取り付けられ、外部に進出したときに
開放し内部に後退したときに閉成する少なくとも一つの
弁体と、この弁体を覆うように上記密閉容器に気密的に
当接される連通ノズルを備えた少なくとも一つの密閉中
継ユニットと、この中継ユニット内から上記連通ノズル
内へ進退自在に設けられ、上記弁体に係合してこれを開
放させるためのチャッキング装置と、上記中継ユニット
に取り付けられた少なくとも一つの給排ノズルとからな
り、該給排ノズルに上記ワーク内に充填した検査流体の
漏洩を検出するためのリークディテクタ、上記密閉容器
及び中継ユニット内を真空引するための排気装置及び上
記密閉容器と中継ユニット内をパージするためのパージ
ラインを接続することにより、達成される。According to the multi-purpose airtight device of the present invention, at least one hermetically-sealed container which is dividable so as to accommodate a work, and attached to the hermetically-sealed container so as to be movable back and forth. At least one valve element which is opened when it is advanced to the outside and closed when it is retracted to the inside, and at least a communication nozzle which is airtightly contacted with the closed container so as to cover the valve element. One closed relay unit, a chucking device that is provided so as to be able to advance and retract from inside the relay unit into the communication nozzle, and that is for engaging with the valve body to open it, and at least attached to the relay unit. A leak detector for detecting a leak of the inspection fluid filled in the work at the supply / discharge nozzle, the sealed container, and the relay unit. The by connecting the purge line for evacuating device and purging the closed container with the relay unit for vacuum pull is achieved.
【0010】[0010]
【作用】上記構成によれば、密閉容器を分割して、その
内部にワークを収納し、この密閉容器に、これに取り付
けられた弁体を覆うように密閉中継ユニットの連通ノズ
ルを気密的に当接させる。この状態で、上記中継ユニッ
ト内から連通ノズル内へチャッキング装置を進出させ、
このチャッキング装置を上記弁体に係合して、これを進
出させ開放させる。これにより、密閉容器の内部と中継
ユニットの内部とは連通される。According to the above construction, the closed container is divided and the work is housed therein, and the communication nozzle of the closed relay unit is hermetically sealed in the closed container so as to cover the valve body attached thereto. Abut. In this state, the chucking device is advanced from the relay unit into the communication nozzle,
The chucking device is engaged with the valve body to advance and open it. As a result, the inside of the closed container and the inside of the relay unit are communicated with each other.
【0011】従って、上記中継ユニットの給排ノズル
に、ワーク内に充填した検査流体の漏洩を検出するため
のリークディテクタ、密閉容器及び中継ユニット内を真
空引するための排気装置、及び密閉容器及び中継ユニッ
ト内をパージするためのパージライン等を接続すれば、
上記中継ユニットの連通ノズルを密閉容器に気密的に当
接させ、上記チャッキング装置で弁体を開放するだけの
簡単な操作で、それぞれの目的に応じた作業を行うこと
ができることになる。Therefore, a leak detector for detecting the leakage of the inspection fluid filled in the work, a closed container, an exhaust device for evacuating the inside of the relay unit, and a closed container for the supply / discharge nozzle of the relay unit. If you connect a purge line etc. to purge the inside of the relay unit,
The operation according to each purpose can be performed by a simple operation of airtightly contacting the communication nozzle of the relay unit with the closed container and opening the valve body with the chucking device.
【0012】[0012]
【実施例】以下、本発明に係る多目的気密装置の好適な
一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of the multipurpose airtight device according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
【0013】図1は本発明に係る多目的気密装置の系統
図を示すものであり、図2はその要部を示す平面図であ
る。図示されているように、無端状の基台20上には、
複数の密閉容器21が載置されており、この無端状の基
台20はこれら密閉容器21を載置したまま回転移動す
るように駆動手段(図示せず)を備えている。各密閉容
器21は両端が閉塞された円筒体を呈しており、ワーク
Wを収納すべく、上部容器21aと下部容器21bとに
分割可能に形成されている。これら上部容器21aと下
部容器21bとの接続部には、シールパッキン22が介
設されており、これらが一体化されたときに密閉される
ようになっている。本実施例にあっては、上記密閉容器
21を両端が閉塞された円筒体にて形成されているが、
これに限らず、例えば中空直方体等の他の形状に形成し
ても良い。また、密閉容器21は必ずしも上下方向に分
割可能に形成する必要はなく、一体化したときに密閉さ
れれば横方向に分割可能に形成しても良い。FIG. 1 is a system diagram of a multipurpose airtight device according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing the main part thereof. As shown, on the endless base 20,
A plurality of closed containers 21 are placed, and the endless base 20 is provided with a drive means (not shown) so as to rotate and move with the closed containers 21 placed. Each closed container 21 has a cylindrical body with both ends closed, and is formed so as to be capable of being divided into an upper container 21a and a lower container 21b in order to accommodate a work W. A seal packing 22 is provided at a connecting portion between the upper container 21a and the lower container 21b so as to be hermetically sealed when they are integrated. In the present embodiment, the closed container 21 is formed of a cylindrical body whose both ends are closed.
The shape is not limited to this, and may be formed in other shapes such as a hollow rectangular parallelepiped. Further, the closed container 21 does not necessarily have to be formed so as to be vertically dividable, but may be formed so as to be horizontally dividable if it is hermetically sealed when integrated.
【0014】さらに、各上部容器21aには、上記密閉
容器21を分割あるいは一体化させるための昇降手段2
3がそれぞれ備えられており、この昇降手段23は上記
無端状の基台20の回転移動と共回りするように、これ
に支持されている。この昇降手段23は、本実施例にあ
っては、例えば、油圧あるいは空気圧等の圧力流体によ
り駆動される第1のシリンダ装置24によって構成され
ている。このシリンダ装置24は、第1の流体給排ライ
ン25a,25bを介して圧力ポンプ26に接続されて
いる。この第1の流体給排ライン25a,25bには、
圧力流体の給排を切り換えるための第1の切換弁27が
介設されており、該第1の切換弁27には流体貯留タン
ク64が接続されている。本実施例にあっては、上記昇
降手段23をシリンダ装置24にて形成したが、これに
限らず、例えば、ボールネジとナット等の機構を採用し
ても良く、また上記密閉容器21に昇降手段24を備え
ないで、作業性は劣るが天井クレーン等を使用しても良
い。Further, each upper container 21a has an elevating means 2 for dividing or integrating the closed container 21.
3 are provided respectively, and the elevating means 23 are supported by the endless base 20 so as to rotate together with the rotational movement of the endless base 20. In the present embodiment, the elevating means 23 is constituted by, for example, a first cylinder device 24 driven by a pressure fluid such as hydraulic pressure or pneumatic pressure. The cylinder device 24 is connected to a pressure pump 26 via first fluid supply / discharge lines 25a and 25b. In the first fluid supply / discharge lines 25a and 25b,
A first switching valve 27 for switching between supply and discharge of pressure fluid is provided, and a fluid storage tank 64 is connected to the first switching valve 27. In the present embodiment, the elevating means 23 is formed by the cylinder device 24, but the invention is not limited to this, and a mechanism such as a ball screw and a nut may be adopted. It is possible to use an overhead crane or the like without providing 24, although the workability is poor.
【0015】また、各下部容器21bの側壁には、二つ
の弁体28が進退自在にそれぞれ取り付けられている。
弁体28は一端が閉塞された円筒体にて形成され、その
閉塞部28aは円板状を呈し、円筒部28bからその径
方向外方に張り出しており、その中心部にはノブ部28
cがその軸方向外方に突き出して形成されている。ま
た、上記弁体28の円筒部28bには、その軸方向に沿
って数条のスリット(図示せず)が切り込まれている。
そして、この弁体28は上記下部容器21bに形成され
た弁体取付ノズル29内に挿入され、該弁体28の円筒
部28bにはコイルスプリング30が外装されている。
このコイルスプリング30は上記弁体28の開口端部2
8dと弁体取付ノズル29との間に圧縮状態で介設され
ている。さらに、上記弁体28の閉塞部28bの上記弁
体取付ノズル29と当接する部分にはOリング等のシー
ルパッキン31が設けられており、上記コイルスプリン
グ30の伸長により上記弁体取付ノズル29の平面部2
9aに付勢され、上記密閉容器21内をシールするよう
になっている。即ち、上記弁体28はコイルスプリング
30により進退自在に取り付けられ、これが弁体取付ノ
ズル29から外部へ進出したときに、その円筒部28b
に切り込まれたスリットにより上記密閉容器21の内部
が外部と連通されて開放され、該弁体28が弁体取付ノ
ズル29の内部に後退したときに、その閉塞部28bに
設けられたシールパッキン31が弁体取付ノズル29の
平面部29aに付勢されて閉成されるようになってい
る。本実施例にあっては、上記弁体28を下部容器21
bの側壁に取り付けたが、上記上部容器21aに取り付
けても良い。また、上記密閉容器21には、必ずしも二
つの弁体28を取り付ける必要はなく、少なくとも一つ
の弁体28が取り付けられていれば良い。Two valve bodies 28 are attached to the side walls of each lower container 21b so as to be movable back and forth.
The valve body 28 is formed of a cylindrical body whose one end is closed, and the closed portion 28a has a disk shape, and protrudes radially outward from the cylindrical portion 28b, and the knob portion 28 is provided at the center thereof.
c is formed so as to project outward in the axial direction. Further, a plurality of slits (not shown) are cut along the axial direction of the cylindrical portion 28b of the valve body 28.
The valve body 28 is inserted into a valve body mounting nozzle 29 formed in the lower container 21b, and a coil spring 30 is externally mounted on a cylindrical portion 28b of the valve body 28.
The coil spring 30 is provided at the opening end 2 of the valve body 28.
It is interposed in a compressed state between 8d and the valve body mounting nozzle 29. Further, a seal packing 31 such as an O-ring is provided in a portion of the closing portion 28b of the valve body 28 that comes into contact with the valve body mounting nozzle 29, and the extension of the coil spring 30 causes the valve body mounting nozzle 29 to move. Plane part 2
9a is urged to seal the inside of the closed container 21. That is, the valve body 28 is attached by a coil spring 30 so as to be able to move back and forth.
When the valve body 28 is retracted into the valve body mounting nozzle 29, the seal packing provided in the closed portion 28b is opened when the inside of the airtight container 21 is opened by being communicated with the outside by the slit cut in the inside. 31 is biased by the flat surface portion 29a of the valve body mounting nozzle 29 to be closed. In this embodiment, the valve body 28 is attached to the lower container 21.
Although it is attached to the side wall of b, it may be attached to the upper container 21a. Further, it is not always necessary to attach the two valve bodies 28 to the closed container 21, and it is sufficient that at least one valve body 28 is attached.
【0016】そして、上記無端状の基台20の周りに
は、複数の中継ユニット32が設けられている。この中
継ユニット32のユニット本体32aは直方体状のケー
シングによって形成されており、その密閉容器21に臨
んだ側壁には中継ユニット32と密閉容器21とを接続
するための連通ノズル33が備えられている。この連通
ノズル33の先端部側の内径は、上記密閉容器21に取
り付けた弁体28の閉塞部28bの外径よりも大きく形
成されている。さらに、上記連通ノズル33の平面部3
3aには、Oリング等のシールパッキン34が設けられ
ており、上記弁体取付ノズル29の平面部29aに気密
的に当接するようになっている。A plurality of relay units 32 are provided around the endless base 20. The unit body 32a of the relay unit 32 is formed of a rectangular parallelepiped casing, and a side wall facing the closed container 21 is provided with a communication nozzle 33 for connecting the relay unit 32 and the closed container 21. .. The inner diameter of the communication nozzle 33 on the tip end side is formed to be larger than the outer diameter of the closed portion 28b of the valve body 28 attached to the closed container 21. Further, the flat surface portion 3 of the communication nozzle 33.
The 3a is provided with a seal packing 34 such as an O-ring so as to be in airtight contact with the flat surface portion 29a of the valve body mounting nozzle 29.
【0017】また、この中継ユニット32内には、弁体
28に係合してこれを開放させるためのチャッキング装
置35が設けられている。このチャッキング装置35
は、上記ユニット本体32aに支持された円筒状のロッ
ドガイド36内に設けられており、該ロッドガイド36
は上記連通ノズル33と同軸上で気密的に接続されてい
る。即ち、連通ノズル33及びロッドガイド36は上記
ユニット本体32aを直状に貫通しており、これらのユ
ニット本体32aへの取り付けはシールパッキン37,
38を介してなされている。Further, inside the relay unit 32, a chucking device 35 for engaging with the valve element 28 and opening it is provided. This chucking device 35
Is provided in a cylindrical rod guide 36 supported by the unit body 32a.
Are airtightly connected coaxially with the communication nozzle 33. That is, the communication nozzle 33 and the rod guide 36 directly penetrate the unit body 32a, and the seal packing 37,
It is done through 38.
【0018】チャッキング装置35は、上記ロッドガイ
ド36内に挿通されるチャックロッド39と、該チャッ
クロッド39の上記連通ノズル33側の端部に取り付け
られたチャック40と、他端部に取り付けられた第2の
シリンダ装置41とから主になっている。このシリンダ
装置41は、例えば油圧あるいは空気圧等の圧力流体に
より駆動されるようになっており、上記ユニット本体3
2aにフレーム41aによって支持固定されている。こ
のシリンダ装置41は、第2の流体給排ライン42a,
42bを介して前記圧力ポンプ26に接続されている。
この第2の流体給排ライン42a,42bには、圧力流
体の給排を切り換えるための第2の切換弁43が介設さ
れており、該第2の切換弁43は前記流体貯留タンク6
4に接続されている。The chucking device 35 is attached to the chuck rod 39 inserted into the rod guide 36, the chuck 40 attached to the end of the chuck rod 39 on the communicating nozzle 33 side, and the other end. And a second cylinder device 41. The cylinder device 41 is adapted to be driven by a pressure fluid such as hydraulic pressure or air pressure.
It is supported and fixed to the frame 2a by a frame 41a. The cylinder device 41 includes a second fluid supply / discharge line 42a,
It is connected to the pressure pump 26 via 42b.
A second switching valve 43 for switching the supply and discharge of the pressure fluid is interposed in the second fluid supply / discharge lines 42a and 42b, and the second switching valve 43 is provided in the fluid storage tank 6
4 is connected.
【0019】第2のシリンダ装置41への圧力流体の給
排により上記チャックロッド39が上記ロッドガイド3
6内を進退して、これにより上記チャック40の爪40
aが開閉するようになっている。具体的には、チャック
40の爪40a同士の間には、コイルスプリング44が
介設されており、このコイルスプリング44により爪4
0aが開く方向に付勢されている。また、各爪40aの
外側にはテーパ部40bが形成され、上記チャックロッ
ド39が上記ロッドガイド36内を進出したときに、上
記爪40aがそのテーパ部40bに案内されて上記連通
ノズル33の拡径部33bまで達すると、チャック40
が開くようになっている。一方、チャックロッド39が
ロッドガイド36内に後退すると、上記爪40aがその
テーパ部40bに案内されて連通ノズル33の縮径部3
3cまで達することにより、コイルスプリング44を圧
縮して、上記チャック40が閉じるようになっている。
尚、ロッドガイド36にはシールパッキン45が二重に
設けられ、上記チャックロッド39を気密的に支承する
ようになっている。By supplying / discharging the pressurized fluid to / from the second cylinder device 41, the chuck rod 39 is moved by the rod guide 3.
6 moves back and forth, so that the claw 40 of the chuck 40 is
a is designed to open and close. Specifically, a coil spring 44 is interposed between the claws 40 a of the chuck 40, and the coil spring 44 causes the claw 4 to move.
0a is biased in the opening direction. Further, a tapered portion 40b is formed on the outer side of each claw 40a, and when the chuck rod 39 advances in the rod guide 36, the claw 40a is guided by the tapered portion 40b to expand the communication nozzle 33. When reaching the diameter portion 33b, the chuck 40
Is designed to open. On the other hand, when the chuck rod 39 retracts into the rod guide 36, the claw 40a is guided by the tapered portion 40b and the reduced diameter portion 3 of the communicating nozzle 33.
By reaching 3c, the coil spring 44 is compressed and the chuck 40 is closed.
A double seal packing 45 is provided on the rod guide 36 to support the chuck rod 39 in an airtight manner.
【0020】ユニット本体32aは、上記密閉容器21
に臨んで中継ユニット32を往復移動させるための移動
基台46上に載置されている。この移動基台46には、
第3のシリンダ装置47が備えられており、このシリン
ダ装置47は、例えば、油圧あるいは空気圧等の圧力流
体により駆動されるようになっいる。このシリンダ装置
47は、第3の流体給排ライン48a,48bを介して
前記圧力ポンプ26に接続されている。この第3の流体
給排ライン48a,48bには、圧力流体の給排を切り
換えるための第3の切換弁49が介設されており、該第
3の切換弁49は前記流体貯留タンク64に接続されて
いる。この第3のシリンダ装置47への圧力流体の給排
により上記移動基台46が中継ユニット32を載置して
往復移動し、往動したときに、上記中継ユニット32に
備えられた連通ノズル33の平面部33aが上記密閉容
器21に備えられた弁体取付ノズル29の平面部29a
と当接し、上記連通ノズル33の平面部33aに設けら
れたシールパッキン34によりこれらの間の気密性が維
持されるようになっている。The unit body 32a is the closed container 21.
The relay unit 32 is mounted on a moving base 46 for reciprocating. On this moving base 46,
A third cylinder device 47 is provided, and the cylinder device 47 is driven by a pressure fluid such as hydraulic pressure or pneumatic pressure. The cylinder device 47 is connected to the pressure pump 26 via third fluid supply / discharge lines 48a and 48b. A third switching valve 49 for switching the supply and discharge of the pressure fluid is interposed in the third fluid supply / discharge lines 48a, 48b, and the third switching valve 49 is connected to the fluid storage tank 64. It is connected. By supplying / discharging the pressure fluid to / from the third cylinder device 47, the moving base 46 reciprocates with the relay unit 32 mounted thereon, and when it moves forward, the communication nozzle 33 provided in the relay unit 32. Plane portion 33a of the valve body attachment nozzle 29 provided in the closed container 21
The seal packing 34 provided on the flat surface portion 33a of the communication nozzle 33 maintains the airtightness therebetween.
【0021】さらに、中継ユニット32のユニット本体
32aには、給排ノズル50が取り付けられ、この給排
ノズルは50は上記ロッドガイド36に気密的に接続さ
れている。この給排ノズル50には、ティーズ等の配管
フィッティング(図示せず)を介して、漏洩検査ライン
51、真空引ライン52及びパージライン53が接続さ
れている。Further, a supply / discharge nozzle 50 is attached to the unit main body 32a of the relay unit 32, and the supply / discharge nozzle 50 is hermetically connected to the rod guide 36. A leak inspection line 51, a vacuum drawing line 52, and a purge line 53 are connected to the supply / discharge nozzle 50 via piping fittings (not shown) such as teeth.
【0022】漏洩検査ライン51には、第4の切換弁5
4を介してリークディテクタ55が接続されており、予
め前記ワークW内に充填した検査流体の漏洩を検出する
ようになっている。また、上記真空引ライン52の給排
ノズル50側の接続部には、ゲートバルブ56が介設さ
れ、該真空引ライン52は上記密閉容器21及び中継ユ
ニット32内を真空引するための排気装置57に接続さ
れている。さらに、この真空引ライン52は、上記排気
装置57の手前で分岐され、第5の切換弁58を介設し
た補助パージライン52aが接続されている。そして、
上記ゲートバルブ56には、第4の流体給排ライン59
a,59bを介して前記圧力ポンプ26に接続されてい
る。この第5の流体給排ライン59a,59bには、圧
力流体の給排を切り換えるための第6の切換弁60が介
設されており、該第6の切換弁60は前記流体貯留タン
ク64に接続されている。尚、上記ゲートバルブ56に
は、その内部圧力を検出するための検出ゲージ61が備
えられている。さらに、上記パージライン53は、上記
密閉容器21及び中継ユニット32内をパージするため
のラインであり、第7の切換弁62が介設されている。
上記第4の切換弁54、ゲートバルブ56及び第7の切
換弁62を開閉動作させることにより、ヘリウム等の検
査流体による漏洩検査、真空乾燥又はパージのいずれか
の操作が選択できるものである。本実施例にあっては、
一つの給排ノズル50に配管フィッティングを介して、
漏洩検査ライン51、真空引ライン52及びパージライ
ン53を接続したが、上記中継ユニット32に三つの給
排ノズル50を取り付けて、それぞれに漏洩検査ライン
51、真空引ライン52及びパージライン53を接続し
ても良い。そして、その他の目的に使用するラインを給
排ノズル50に接続する場合も同様である。In the leakage inspection line 51, the fourth switching valve 5
A leak detector 55 is connected via 4 to detect the leak of the inspection fluid filled in the work W in advance. In addition, a gate valve 56 is provided at a connection portion of the evacuation line 52 on the side of the supply / discharge nozzle 50, and the evacuation line 52 evacuates the inside of the closed container 21 and the relay unit 32. It is connected to 57. Further, the vacuum drawing line 52 is branched before the exhaust device 57, and is connected to an auxiliary purge line 52a provided with a fifth switching valve 58. And
The gate valve 56 has a fourth fluid supply / discharge line 59.
It is connected to the pressure pump 26 via a and 59b. A sixth switching valve 60 for switching the supply and discharge of the pressure fluid is interposed in the fifth fluid supply / discharge lines 59a and 59b, and the sixth switching valve 60 is connected to the fluid storage tank 64. It is connected. The gate valve 56 is provided with a detection gauge 61 for detecting the internal pressure of the gate valve 56. Further, the purge line 53 is a line for purging the inside of the closed container 21 and the relay unit 32, and the seventh switching valve 62 is interposed.
By opening / closing the fourth switching valve 54, the gate valve 56, and the seventh switching valve 62, it is possible to select any one of a leak inspection by a test fluid such as helium, a vacuum drying operation, and a purge operation. In this embodiment,
Via one pipe fitting to one supply / discharge nozzle 50,
The leak inspection line 51, the vacuum drawing line 52, and the purge line 53 are connected, but three feed / discharge nozzles 50 are attached to the relay unit 32, and the leak inspection line 51, the vacuum drawing line 52, and the purge line 53 are connected to each. You may. The same applies when a line used for other purposes is connected to the supply / discharge nozzle 50.
【0023】尚、本実施例にあっては、図2に示すよう
に密閉容器21を載置して回転移動する無端状の基台2
0の周りに適宜数のマニュプレータ63が設けられてい
る。このマニュプレータ63は、密閉容器21に二つの
弁体28が進退自在に取り付けられているので、いずれ
か一方の弁体28のノブ部28cを把持して引っ張るこ
とにより、該密閉容器21内をパージするときなどに使
用するものである。In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the endless base 2 on which the closed container 21 is placed and which is rotationally moved.
An appropriate number of manipulators 63 are provided around 0. In this manipulator 63, the two valve bodies 28 are attached to the airtight container 21 so that they can move back and forth. Therefore, by grasping and pulling the knob portion 28c of one of the valve bodies 28, the inside of the airtight container 21 is purged. It is used when doing.
【0024】次に、上記第1の実施例における作用を述
べる。上述したように、回転移動する無端状の基台20
上には複数の密閉容器21が載置されており、その周り
には所定数の中継ユニット32が備えられている。上記
密閉容器21は回転移動されることにより、順次、中継
ユニット32に近接あるいは離間されることになる。一
方、中継ユニット32は、上記密閉容器21に臨んで往
復移動する移動基台46上に載置されており、この密閉
容器21に近接あるいは離間されることになる。即ち、
作業対象となる密閉容器21が回転移動して上記中継ユ
ニット32の前に位置されたときに、上記無端状の基台
20を一時停止させる。Next, the operation of the first embodiment will be described. As described above, the endless base 20 that rotates and moves.
A plurality of closed containers 21 are placed on the top, and a predetermined number of relay units 32 are provided around them. The closed container 21 is sequentially moved toward and away from the relay unit 32 by being rotationally moved. On the other hand, the relay unit 32 is placed on the movable base 46 that reciprocates while facing the closed container 21, and is placed close to or separated from the closed container 21. That is,
When the closed container 21 to be worked is rotated and positioned in front of the relay unit 32, the endless base 20 is temporarily stopped.
【0025】この状態で、本実施例の多目的気密装置の
運転は、例えば、図3に示すフローチャートに従ってな
される。先ず、上記昇降手段23としての第1のシリン
ダ装置24に第1の切換弁27を操作して上記第1の流
体供給ライン25a,25bから圧力流体を給排し、上
部容器21aを上昇させて密閉容器21を上下に分割
し、その内部にワークWを収納する。そして、上記第1
の切換弁27を切り換えて上記第1の流体供給ライン2
5a,25bから圧力流体を逆給排し、上部容器21a
を下降させて密閉容器21を一体化する(図中、ステッ
プA)。In this state, the operation of the multipurpose airtight device of this embodiment is performed, for example, according to the flow chart shown in FIG. First, by operating the first switching valve 27 in the first cylinder device 24 as the elevating means 23, the pressure fluid is supplied and discharged from the first fluid supply lines 25a and 25b, and the upper container 21a is raised. The airtight container 21 is divided into an upper part and a lower part, and the work W is housed inside thereof. And the first
The switching valve 27 of the first fluid supply line 2
The pressure fluid is reversely supplied and discharged from 5a and 25b, and the upper container 21a
Is lowered to integrate the closed container 21 (step A in the figure).
【0026】次に、上記第3のシリンダ装置47に第3
の切換弁49を操作して上記第3の流体給排ライン48
a,48bから圧力流体を給排し、移動基台46を往動
移動させ、これに載置された中継ユニット32を作業対
象となる密閉容器21に近接させる。そして、中継ユニ
ット32に備えられた連通ノズル33の平面部33a
を、上記密閉容器21に備えられた弁体取付ノズル29
の平面部29aに当接させる。このとき、連通ノズル3
3は上記弁体取付ノズル29内に挿通された弁体28を
覆うように、該弁体取付ノズル29に当接されている。
上記連通ノズル33の平面部33aにはシールパッキン
34が設けられているので、これにより上記連通ノズル
33と弁体取付ノズル29との間の気密性が維持される
ものである(図中ステップB)。Next, the third cylinder device 47 is provided with a third
The switching valve 49 of the third fluid supply / discharge line 48 is operated.
The pressure fluid is supplied and discharged from a and 48b, the moving base 46 is moved forward, and the relay unit 32 placed on this is brought close to the closed container 21 to be worked. Then, the flat surface portion 33a of the communication nozzle 33 provided in the relay unit 32.
Is a valve body mounting nozzle 29 provided in the closed container 21.
It is brought into contact with the flat surface portion 29a. At this time, the communication nozzle 3
Reference numeral 3 is in contact with the valve body mounting nozzle 29 so as to cover the valve body 28 inserted through the valve body mounting nozzle 29.
Since the seal packing 34 is provided on the flat surface portion 33a of the communication nozzle 33, the airtightness between the communication nozzle 33 and the valve body mounting nozzle 29 is maintained by this (step B in the figure). ).
【0027】この状態で、上記チャッキング装置35の
第2のシリンダ装置41に第2の切換弁43を操作して
上記第2の流体供給ライン42a,42bから圧力流体
を給排し、上記ロッドガイド36内からチャックロッド
39を進出させ、これにより上記チャック40の爪40
aを上記密閉容器21の弁体28に向かって進出させる
と共に、コイルスプリング44の付勢力でこれを開かせ
る。そして、上記第2の切換弁43を切り換えて、第2
のシリンダ装置41に上記第2の流体供給ライン42
a,42bから圧力流体を逆に給排し、上記ロッドガイ
ド36内にチャックロッド39を後退させ、これにより
上記チャック40の爪40aで弁体28を係合して引っ
張り、これを開放させる。このとき、弁体28の円筒部
28bに外装されたコイルスプリング30は圧縮状態に
なっている。この弁体28の円筒部28bにはスリット
が形成されているので、上記密閉容器21の内部と中継
容器32の内部とは連通されることになる。In this state, the second switching valve 43 is operated in the second cylinder device 41 of the chucking device 35 to supply and discharge the pressure fluid from the second fluid supply lines 42a, 42b, and the rod. The chuck rod 39 is advanced from the inside of the guide 36, whereby the claws 40 of the chuck 40 are moved.
A is advanced toward the valve body 28 of the closed container 21 and is opened by the biasing force of the coil spring 44. Then, the second switching valve 43 is switched to the second switching valve 43.
To the cylinder device 41 of the second fluid supply line 42
The pressure fluid is supplied and exhausted from a and 42b in reverse, and the chuck rod 39 is retracted into the rod guide 36, whereby the claw 40a of the chuck 40 engages and pulls the valve element 28 to release it. At this time, the coil spring 30 mounted on the cylindrical portion 28b of the valve body 28 is in a compressed state. Since a slit is formed in the cylindrical portion 28b of the valve body 28, the inside of the closed container 21 and the inside of the relay container 32 are communicated with each other.
【0028】次に、上記パージライン53の第7の切換
弁62を開放して、該パージライン53により上記中継
ユニット32を介して上記密閉容器21内を洗浄する
(図中ステップC)。このとき、上記漏洩検査ライン5
1の第4の切換弁54と、上記真空引ライン52のゲー
トバルブ56とは閉成されている。Next, the seventh switching valve 62 of the purge line 53 is opened, and the inside of the closed container 21 is cleaned by the purge line 53 via the relay unit 32 (step C in the figure). At this time, the leak inspection line 5
The fourth switching valve 54 of No. 1 and the gate valve 56 of the evacuation line 52 are closed.
【0029】または、上記真空引ライン52のゲートバ
ルブ56を開放して、該真空引ライン52の排気装置5
7により上記中継ユニット32を介して上記密閉容器2
1内に収納されたワークWの真空乾燥を行う(図中、ス
テップD)。このとき、上記パージライン53の第7の
切換弁62と上記漏洩検査ライン51の第4の切換弁5
4とは閉成されている。そして、ワークWの真空乾燥の
完了後、真空引ライン52から分岐された補助パージラ
イン52aの第5の切換弁58を開放して、上記密閉容
器21内をパージする。Alternatively, the gate valve 56 of the evacuation line 52 is opened and the evacuation device 5 of the evacuation line 52 is opened.
7 through the relay unit 32, the closed container 2
Vacuum drying of the work W stored in 1 is performed (step D in the figure). At this time, the seventh switching valve 62 of the purge line 53 and the fourth switching valve 5 of the leakage inspection line 51.
4 is closed. Then, after the vacuum drying of the work W is completed, the fifth switching valve 58 of the auxiliary purge line 52a branched from the vacuum drawing line 52 is opened to purge the inside of the closed container 21.
【0030】または、密閉容器21内のワークWにヘリ
ウム等の検査流体を充填し(図中、ステップE)、上記
真空引ライン52のゲートバルブ56を開放して、該真
空引ライン52の排気装置57により上記中継ユニット
32を介して密閉容器21内を真空雰囲気にした後(図
中、ステップF)、上記漏洩検査ライン51の第4の切
換弁54を開放して、密閉容器21内の漏れ試料をチャ
ージする(図中、ステップG)。次に、上記漏洩検査ラ
イン51のリークディテクタ55により、上記ワークW
の漏洩検査の合否を判定する(図中、ステップH)。そ
の後、上記パージライン53の第7の切換弁62を開放
して、上記密閉容器21及び中継ユニット32内のガス
排気を行うか(図中、ステップI)、或いは送気クリー
ニングを行った後(図中、ステップJ)、上記ワークW
の合否判定に基づき選別搬出を行うものである(図中、
ステップK)。Alternatively, the work W in the closed container 21 is filled with a test fluid such as helium (step E in the figure), the gate valve 56 of the vacuum drawing line 52 is opened, and the vacuum drawing line 52 is evacuated. After the inside of the closed container 21 is made into a vacuum atmosphere by the device 57 via the relay unit 32 (step F in the drawing), the fourth switching valve 54 of the leak inspection line 51 is opened to open the inside of the closed container 21. Charge the leak sample (step G in the figure). Next, the workpiece W is leaked by the leak detector 55 of the leak inspection line 51.
It is determined whether or not the leakage inspection is successful (step H in the figure). After that, the seventh switching valve 62 of the purge line 53 is opened to evacuate the gas in the closed container 21 and the relay unit 32 (step I in the drawing) or after performing air supply cleaning ( In the figure, step J), the above work W
Based on the pass / fail judgment of
Step K).
【0031】このように、上記第4の切換弁54、ゲー
トバルブ56及び第7の切換弁62を開閉動作させるこ
とにより、ヘリウム等の検査流体による漏洩検査、真空
乾燥又はパージのいずれかの操作が選択できるものであ
る。As described above, by opening and closing the fourth switching valve 54, the gate valve 56 and the seventh switching valve 62, any operation of leak inspection by a test fluid such as helium, vacuum drying or purging is performed. Can be selected.
【0032】従って、上記中継ユニット32の給排ノズ
ル50に、上記ワークW内に充填した検査流体の漏洩を
検出するためのリークディテクタ55、上記密閉容器2
1及び中継ユニット32内を真空引するための排気装置
57、及び密閉容器21と中継ユニット32内をパージ
するためのパージライン53等を接続すれば、上記中継
ユニット32の連通ノズル33を密閉容器21の弁体取
付ノズル29に気密的に当接させ、上記チャッキング装
置35で弁体28のノブ部28cを引っ張り、これを開
放するだけの簡単な操作で、それぞれの目的に応じた作
業を行うことができることになる。Accordingly, the leak detector 55 for detecting the leak of the inspection fluid filled in the work W, the supply / discharge nozzle 50 of the relay unit 32, and the closed container 2 are described.
If the exhaust device 57 for evacuating the inside of the relay unit 32 and the relay unit 32, and the purge line 53 for purging the inside of the relay unit 32 and the closed container 21 are connected, the communication nozzle 33 of the relay unit 32 is closed. 21 is airtightly brought into contact with the valve body mounting nozzle 29, and the chucking device 35 pulls the knob portion 28c of the valve body 28 to open it. You will be able to do it.
【0033】このように本実施例にあっては、中継ユニ
ット32を組み込むことにより、多種、多量生産に対応
することができ、単一工程が単純化されるため、装置の
トラブルが少なく、装置のメンテナンスが容易であるの
で、仮にトラブルが生じても短時間の停止で復旧でき、
稼動時間を向上させることができる。As described above, according to the present embodiment, by incorporating the relay unit 32, it is possible to cope with various types and mass production, and since a single process is simplified, there are few troubles of the apparatus and the apparatus is small. Maintenance is easy, so even if a problem occurs, you can recover with a short outage,
The operating time can be improved.
【0034】尚、本実施例にあっては、密閉容器21及
び中継ユニット32をそれぞれ複数個備えているが、基
本的にはそれぞれが少なくとも一つあれば、多目的気密
装置として成立することは言うまでもない。In the present embodiment, a plurality of closed containers 21 and a plurality of relay units 32 are provided, but it is needless to say that basically at least one of them is a multipurpose airtight device. Yes.
【0035】[0035]
【発明の効果】以上述べたように、本発明の多目的気密
装置によれば、複雑な構造のロータリーバルブを使用す
ることなく、簡単な操作で、ヘリウム等の検査流体によ
る漏洩検査、真空乾燥及びパージ等の、多目的に使用す
ることができる、という優れた効果を発揮する。As described above, according to the multi-purpose airtight device of the present invention, the leak inspection by the inspection fluid such as helium, the vacuum drying and the simple operation can be performed without using the rotary valve having the complicated structure. It has an excellent effect that it can be used for multiple purposes such as purging.
【図1】本発明に係る多目的気密装置の一実施例を示す
系統図である。FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment of a multipurpose airtight device according to the present invention.
【図2】本発明に係る多目的気密装置の要部を示す平面
図である。FIG. 2 is a plan view showing a main part of a multipurpose airtight device according to the present invention.
【図3】本発明に係る多目的気密装置の運転の一例を示
すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing an example of operation of the multipurpose airtight device according to the present invention.
【図4】従来の気密装置を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a conventional airtight device.
【図5】従来の気密装置に使用しているロータリーバル
ブを示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a rotary valve used in a conventional airtight device.
20・・・無端状の基台、 21・・・密閉容器、 W・・・ワーク、 21a・・・上部容器、 21b・・・下部容器、 22・・・シールパッキン、 23・・・昇降手段、 24・・・第1のシリンダ装置、 25a,25b・・・第1の流体給排ライン、 26・・・圧力ポンプ、 27・・・第1の切換弁、 64・・・流体貯留タンク、 28・・・弁体、 28a・・・弁体の閉塞部、 28b・・・弁体の円筒部、 28c・・・弁体のノブ部、 29・・・弁体取付ノズル、 29a・・・弁体取付ノズルの平面部、 30・・・コイルスプリング、 31・・・シールパッキン、 32・・・中継ユニット、 32a・・・ユニット本体、 33・・・連通ノズル、 33a・・・連通ノズルの平面部、 34・・・シールパッキン、 35・・・チャッキング装置、 36・・・ロッドガイド、 37,38・・・シールパッキン、 39・・・チャックロッド、 40・・・チャック、 41・・・第2のシリンダ装置、 42a,42b・・・第2の流体給排ライン、 43・・・第2の切換弁、 40a・・・チャックの爪、 40b・・・爪のテーパ部、 44・・・コイルスプリング、 45・・・シールパッキン、 46・・・移動基台、 47・・・第3のシリンダ装置、 48a,48b・・・第3の流体給排ライン、 49・・・第3の切換弁、 50・・・給排ノズル、 51・・・漏洩検査ライン、 52・・・真空引ライン、 53・・・パージライン、 54・・・第4の切換弁、 55・・・リークディテクタ、 56・・・ゲートバルブ、 57・・・排気装置、 58・・・第5の切換弁、 59a,59b・・・第4の流体給排ライン、 60・・・第6の切換弁、 61・・・検出ゲージ、 62・・・第7の切換弁、 63・・・マニュプレータ。 20 ... Endless base, 21 ... Closed container, W ... Work, 21a ... Upper container, 21b ... Lower container, 22 ... Seal packing, 23 ... Lifting means , 24 ... First cylinder device, 25a, 25b ... First fluid supply / discharge line, 26 ... Pressure pump, 27 ... First switching valve, 64 ... Fluid storage tank, 28 ... Valve body, 28a ... Valve body closed portion, 28b ... Valve body cylindrical portion, 28c ... Valve body knob portion, 29 ... Valve body mounting nozzle, 29a ... Flat part of valve body mounting nozzle, 30 ... Coil spring, 31 ... Seal packing, 32 ... Relay unit, 32a ... Unit body, 33 ... Communication nozzle, 33a ... Communication nozzle Flat part, 34 ... Seal packing, 35 ... Chuck King device, 36 ... Rod guide, 37, 38 ... Seal packing, 39 ... Chuck rod, 40 ... Chuck, 41 ... Second cylinder device, 42a, 42b ... Second Fluid supply / discharge line, 43 ... Second switching valve, 40a ... Claw of chuck, 40b ... Tapered portion of claw, 44 ... Coil spring, 45 ... Seal packing, 46 ... -Movement base, 47 ... Third cylinder device, 48a, 48b ... Third fluid supply / discharge line, 49 ... Third switching valve, 50 ... Supply / discharge nozzle, 51 ...・ Leakage inspection line, 52 ... Vacuuming line, 53 ... Purge line, 54 ... Fourth switching valve, 55 ... Leak detector, 56 ... Gate valve, 57 ... Exhaust device , 58 ... Fifth switching valve, 5 9a, 59b ... Fourth fluid supply / discharge line, 60 ... Sixth switching valve, 61 ... Detection gauge, 62 ... Seventh switching valve, 63 ... Manipulator.
Claims (8)
た、少なくとも一つの密閉容器と、 該密閉容器に進退自在に取り付けられ、外部に進出した
ときに開放し内部に後退したときに閉成する、少なくと
も一つの弁体と、 該弁体を覆うように上記密閉容器に気密的に当接される
連通ノズルを備えた、少なくとも一つの密閉中継ユニッ
トと、 該中継ユニット内から上記連通ノズル内へ進退自在に設
けられ、上記弁体に係合してこれを開放させるためのチ
ャッキング装置と、 上記中継ユニットに取り付けられた、少なくとも一つの
給排ノズルと、からなることを特徴とする、多目的気密
装置。1. At least one hermetically sealed container formed so as to accommodate a work, and attached to the hermetically sealed container so as to be capable of advancing and retreating, and opened when advancing to the outside and closed when retracting to the inside. At least one valve body, and at least one hermetic relay unit including a communication nozzle that is in airtight contact with the hermetically sealed container so as to cover the valve body, and from the relay unit to the communication nozzle. A chucking device that is provided so as to move back and forth to engage with and open the valve body, and at least one supply / discharge nozzle attached to the relay unit. Multipurpose airtight device.
接あるいは離間される移動基台上に載置されていること
を特徴とする、請求項1に記載の多目的気密装置。2. The multipurpose airtight device according to claim 1, wherein the hermetically sealed container is mounted on a moving base that is close to or separated from the relay unit.
接あるいは離間される移動基台上に載置されていること
を特徴とする、請求項1または請求項2に記載の多目的
気密装置。3. The multipurpose airtight device according to claim 1, wherein the relay unit is mounted on a moving base that is close to or away from the closed container.
体化させるための昇降手段が備えられていることを特徴
とする、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の多目
的気密装置。4. The multipurpose airtight device according to claim 1, wherein the airtight container is provided with an elevating means for dividing or integrating the airtight container.
した検査流体の漏洩を検出するためのリークディテクタ
が接続されることを特徴とする、請求項1乃至請求項4
のいずれかに記載の多目的気密装置。5. The leak detector for detecting a leak of a test fluid filled in the work is connected to the supply / discharge nozzle.
The multipurpose airtight device according to any one of 1.
継ユニット内を真空引するための排気装置が接続される
ことを特徴とする、請求項1乃至請求項5のいずれかに
記載の多目的気密装置。6. The multipurpose object according to claim 1, wherein an exhaust device for evacuating the airtight container and the relay unit is connected to the supply / discharge nozzle. Airtight device.
継ユニット内をパージするためのパージラインが接続さ
れることを特徴とする、請求項1乃至請求項6のいずれ
かに記載の多目的気密装置。7. The multipurpose hermetic seal according to claim 1, wherein a purge line for purging the inside of the closed container and the relay unit is connected to the supply / discharge nozzle. apparatus.
の密閉容器と、 これら複数の密閉容器を載置して回転移動させるための
無端状の基台と、 各密閉容器に備えられこれを分割あるいは一体化させる
ための昇降手段と、 各密閉容器に進退自在に設けられ、外部に進出したとき
に開放し内部に後退したときに閉成する、少なくとも一
つの弁体と、 該弁体を覆うように上記密閉容器に気密的に当接される
連通ノズルを備えた所定数の密閉中継ユニットと、 該中継ユニットを載置してこれを上記密閉容器に臨んで
往復移動させるための進退基台と、 上記中継ユニット内から上記連通ノズル内へ進退自在に
設けられ、上記弁体に係合してこれを開放させるための
チャッキング装置と、 上記中継ユニットに取り付けられた給排ノズルと、 該給排ノズルを介して接続された、上記ワーク内に充填
した検査流体の漏洩を検出するためのリークディテクタ
と、 上記密閉容器及び中継ユニット内を真空引するための排
気装置及び上記密閉容器と中継ユニット内をパージする
ためのパージラインと、からなることを特徴とする、多
目的気密装置。8. A plurality of divisible hermetic containers for housing a work, an endless base for placing and rotating the plurality of hermetic containers, and a hermetic container provided in each hermetic container. Elevating means for dividing or integrating, and at least one valve element that is provided in each closed container so as to be able to move forward and backward and that is opened when entering the outside and closed when retracting inside, and the valve element A predetermined number of hermetic relay units equipped with communication nozzles that are airtightly contacted with the hermetically-sealed container so as to cover them, and an advancing / retreating base for mounting the relay units and reciprocally moving the hermetically-sealed container facing the hermetically-sealed container. A stand, a chucking device that is provided so as to be able to move back and forth from inside the relay unit into the communication nozzle, and that engages with the valve element to open it; a supply / discharge nozzle attached to the relay unit; The supply and discharge Leak detector for detecting leakage of the inspection fluid filled in the work, an exhaust device for evacuating the airtight container and the relay unit, and the airtight container and the relay unit connected through A multi-purpose airtight device comprising: a purge line for purging the air.
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1991
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JP2005515426A (en) * | 2002-01-18 | 2005-05-26 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Leak test method and leak test apparatus |
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