JPH0523083U - 物体表面での流体による圧力分布検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 物体表面での流体の圧力分布の計測を高精度
でかつ取扱いを容易に行なえるようにする。 【構成】 圧力分布検出器１０は、フレキシブルで薄い
基盤１２上に薄型の圧力センサ１４を所定のピッチで直
線状に並べて構成されている。各圧力センサ１４からは
リード線１６が引き出されている。この圧力分布検出器
１０を被計測物の表面に貼り付けて流体を流すことによ
り、容易に圧力分布を検出することができる。圧力セン
サ１４は薄型なので流体の流れを乱さず、高精度のの検
出ができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、物体表面での流体による圧力分布を計測するための検出器に関し 、取扱いが容易でかつ高精度に圧力分布の計測ができるようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】

飛行機の翼、風車の羽根、ポンプの羽根等を設計する場合、その表面での流体 による圧力分布の計測が行なわれる。従来においてはこのような圧力分布の計測 を行なう場合、独立した圧力センサを複数個被計測物の表面に並べて計測を行な っていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来の圧力分布測定では、複数の圧力センサを並べて配列するのに手間が かかっていた。また、単品の圧力センサは同じ種類であっても製造誤差により品 物ごとに検出特性が微妙に異なるため、高精度な圧力分布の計測を行なうことが できなかった。また、従来の圧力センサは、体積が大きいため、これを被計測物 の表面に個々に取り付けて計測を行なうと、この圧力センサ自体が流体の流れを 乱して圧力分布を乱すため、高精度な検出を行なうことができなかった。 この考案は、上述の点に鑑みてなされたもので、取扱いを容易にするとともに 物体表面での流体による圧力分布を高精度で検出することができるようにした物 体表面での流体による圧力分布検出器を提供しようとするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

この考案は、フレキシブルでかつ薄い基板と、この基板に適宜の間隔でかつ略 々非突出状態で固定配列されてなる複数の圧力センサと、これら圧力センサから それぞれ引き出されたリード線とを具備してなるものである。

【０００５】

【作用】 この考案によれば、フレキシブルな基板上に複数の圧力センサを配列したので 、これを被計測物表面に取付けることにより、容易に圧力分布の計測を行なうこ とができる。また、基板がフレキシブルであるので、被計測物の表面が曲面でも 取り付けることができる。また、基盤が薄くかつ圧力センサが略々非突出状態で 基盤に配列されているので、流体の流れを乱すことがなく、高精度に圧力分布を 計測することができる。また、圧力センサを例えば半導体製造技術を用いて基盤 上に形成すれば圧力センサ間の特性のばらつきが少なくなり、高精度な圧力分布 の計測を行なうことができる。

【０００６】

【実施例】

（実施例１） この考案の一実施例を図１に示す。この圧力分布検出器１０は、カプトン（ポ リイミド）フィルム等のフレキシブルで薄い基盤１２上に薄型の圧力センサ１４ を所定のピッチで直線状に並べて構成されている。各圧力センサ１４からはリー ド線１６が引き出されている。

【０００７】 圧力センサ１４は例えば半導体製造技術を利用して、図２に示すような公知の 集積化容量型圧力センサ等で構成することができ、これにより特性のばらつきが 少なく圧力センサ１４が得られる。

【０００８】 基盤１２に対する圧力センサ１４の取付けは、例えば図３に示すように、基盤 １２上に圧力センサ１４を貼り付けたり、図４に示すように基盤１２上に圧力セ ンサ１４を貼り付けた上にさらに基盤１８で圧力センサ１４の回りを覆うように して、基盤２０中に圧力センサ１４を埋め込むことができる。圧力センサ１４は 薄型なので、図３、図４のいずれの構成においても、圧力センサ１４は略々非突 出状態であり、流体中に置いた場合に流体の流れはあまり乱されない。特に図４ のように埋め込み形にすれば、流体の乱れはほとんど生じない。 なお、圧力センサ１４とリード線１６との接合は、例えば図３中に拡大して示 すように、リード線１６を基盤１２上にプリント配線し、圧力センサ１４の端子 とリード線１６との間にワイヤ２２をボンディングして接合することができる。

【０００９】 図１の圧力分布検出器１０の使用状況の一例を図５に示す。これは、飛行機の 翼等の被計測物２４の表面に圧力分布検出器１０を流体の流れ２６に沿って貼り 付け、これに流体を流した時の各圧力センサ１４の検出出力をリード線１６を介 して取出すようにしたものである。これによれば、被計測物２４の表面における 流体の流れ２６に沿った方向の圧力分布を計測することができる。この場合、圧 力センサ１４は非突出状態なので、流体の流れ２６を乱さず、圧力分布を高精度 に検出することができる。圧力分布検出器１０の配置を９０°変えれば、流体の 流れ２６に対し直角な方向の圧力分布を検出することができる。

【００１０】 （実施例２） この考案の他の実施例を図６に示す。この圧力分布検出器１０は、カプトン（ ポリイミド）フィルム等のフレキシブルで薄い基盤１２上に薄型の圧力センサ１ ４を所定のピッチで直線状に並べたものを互いに直交する方向に配列したもので ある。各圧力センサ１４からはリード線１６が引き出されている。これによれば 、流体の圧力分布を２次元的に検出することができる。

【００１１】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、フレキシブルな基板上に複数の圧力 センサを配列したので、これを被計測物表面に取付けることにより、容易に圧力 分布の計測を行なうことができる。また、基板がフレキシブルであるので、被計 測物の表面が曲面でも取り付けることができる。また、基盤が薄くかつ圧力セン サが略々非突出状態で基盤に配列されているので、流体の流れを乱すことがなく 、高精度に圧力分布を計測することができる。また、圧力センサを例えば半導体 製造技術を用いて基盤上に形成すれば圧力センサ間の特性のばらつきが少なくな り、高精度な圧力分布の計測を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１の圧力センサの具体例を示す正面図および
断面図である。

【図３】図１における基盤１２に対する圧力センサ１４
の取付構造の一例を示す斜視図および圧力センサ１４の
端子とリード線１６との接合構造の一例を示す拡大斜視
図である。

【図４】図１における基盤１２に対する圧力センサ１４
の取付構造の他の例を示す斜視図である。

【図５】図１の圧力分布検出器１０の使用状況を示す斜
視図である。

【図６】この考案の他の実施例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０ 圧力分布検出器 １２ 基盤 １４ 圧力センサ １６ リード線 ２４ 被計測物（物体） ２６ 流体の流れ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】フレキシブルでかつ薄い基板と、 この基板に適宜の間隔でかつ略々非突出状態で固定配列
   されてなる複数の圧力センサと、 これら圧力センサからそれぞれ引き出されたリード線と
   を具備してなる物体表面での流体による圧力分布検出
   器。