JPH05224189A - Production of scattering type liquid crystal display device of active matrix driving system - Google Patents

Production of scattering type liquid crystal display device of active matrix driving system

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Publication number
JPH05224189A
JPH05224189A JP2954892A JP2954892A JPH05224189A JP H05224189 A JPH05224189 A JP H05224189A JP 2954892 A JP2954892 A JP 2954892A JP 2954892 A JP2954892 A JP 2954892A JP H05224189 A JPH05224189 A JP H05224189A
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JP
Japan
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liquid crystal
substrate
display device
film
tft
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Application number
JP2954892A
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Japanese (ja)
Inventor
Takatoshi Kira
隆敏 吉良
Masahiro Adachi
昌浩 足立
Makoto Oue
誠 大植
Shinji Shimada
伸二 島田
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain the liquid crystal display device which is stable in performance by preventing remaining of parts which are not polymerized by non-irradiation or insufficient irradiation with UV rays at the time of forming an active matrix liquid crystal display element by synthesizing a monomer or oligomer by irradiation with UV rays and dispersing liquid crystal molecules into a polymer. CONSTITUTION:A liquid crystal material mixture 119 is held between a TFT substrate 111 formed with TFTs 112 and picture element electrodes 113 and a counter substrate 114 having a counter electrode 116 and is sealed by a sealing resin 117. The liquid crystal material mixture 119 is then irradiated with the UV rays for polymn. from the counter substrate 114 side to polymerize the monomer or oligomer in the mixture and to disperse the liquid crystal into the resulted network structure. A transparent plate having a microlens array 1 corresponding one to one to the respective picture element electrodes and a polarizing film 2 is so adhered by an adhesive 11 to the above-mentioned substrate in such a manner that the centers of the picture element electrodes 113 and the respective centers of the microlenses 1 come onto the straight lines perpendicular to the respective planes.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】アクテイブマトリックス駆動方式
散乱型液晶表示装置の製造方法、特にTFTを用いたア
クテイブマトリックス駆動方式と、ポリマー分散型液晶
層による散乱モードを組み合わせた液晶表示装置の製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an active matrix driving type scattering type liquid crystal display device, and more particularly to a manufacturing method of a liquid crystal display device combining an active matrix driving type using a TFT and a scattering mode by a polymer dispersion type liquid crystal layer.

【0002】[0002]

【従来の技術】まずポリマー分散型液晶を用いた従来の
TFT−LCDの構造について説明する。図8の平面図
(a)及び、平面図中P−P’の断面図(b)に示すよ
うに、ガラス基板70上に、TFT71及び画素電極7
2をマトリックス状に設け、TFTを動作させる走査電
極線73及び、信号電極74を配線し、TFT基板を構
成する。そしてこのTFT基板上にパッシベーション膜
75を設ける。平面図ではパッシベーション膜75は省
略してある。なお図中76はゲート絶縁膜、77は非ド
ープアモルファスシリコン膜、78はn+ アモルファス
シリコン膜、79はソース電極、80はドレイン電極で
ある。
2. Description of the Related Art First, the structure of a conventional TFT-LCD using a polymer dispersed liquid crystal will be described. As shown in the plan view (a) of FIG. 8 and the cross-sectional view (b) of P-P ′ in the plan view, the TFT 71 and the pixel electrode 7 are formed on the glass substrate 70.
2 are provided in a matrix, and the scanning electrode lines 73 for operating the TFTs and the signal electrodes 74 are wired to form a TFT substrate. Then, a passivation film 75 is provided on this TFT substrate. The passivation film 75 is omitted in the plan view. In the figure, 76 is a gate insulating film, 77 is an undoped amorphous silicon film, 78 is an n + amorphous silicon film, 79 is a source electrode, and 80 is a drain electrode.

【0003】前記の走査電極及び、信号電極は、TFT
基板のエッジ部、つまり画面外周辺に電極端子である島
状パターンに配線され、その部分でドライバーICと接
続される。図9を参照して、81は走査電極端子、82
は信号電極端子、83は後で述べる対向電極端子であ
る。また、対向基板側は、図10の平面図(a)及び、
平面図中P−P’の断面図(b)に示すように、ガラス
基板90上にクロム膜をスパッタリング法で成膜した
後、斜線で示すパターン91にパターニングする。これ
は、TFT基板からの漏れ光を遮断する役目がある。9
2はTFT基板の両画素電極に対応する開口部で、この
部分が有効表示部となる。さらにこの上にITO膜93
を画面全体に形成し、対向電極とする。
The scanning electrodes and the signal electrodes are TFTs.
Wiring is performed in an island pattern, which is an electrode terminal, on the edge portion of the substrate, that is, around the outside of the screen, and the wiring is connected to the driver IC. Referring to FIG. 9, 81 is a scan electrode terminal, 82
Is a signal electrode terminal, and 83 is a counter electrode terminal described later. In addition, the counter substrate side is a plan view (a) of FIG.
As shown in the cross-sectional view (b) of P-P 'in the plan view, a chromium film is formed on the glass substrate 90 by a sputtering method, and then patterned into a pattern 91 indicated by diagonal lines. This has the role of blocking the leakage light from the TFT substrate. 9
Reference numeral 2 is an opening corresponding to both pixel electrodes of the TFT substrate, and this portion serves as an effective display portion. Further on this, the ITO film 93
Is formed on the entire screen to serve as a counter electrode.

【0004】近年、ソース及びゲート電極上まで絶縁膜
を介して、画素電極を広げた構造のTFT−LCDが考
案されているが、いずれの場合においてもアモルファス
シリコンを半導体として利用したTFT−LCDにおい
ては、TFTのチャンネル上に光が照射された場合、T
FTの電気的特性が変化するためTFTのーチャンネル
上を遮光する方法が必要となる。
In recent years, a TFT-LCD having a structure in which a pixel electrode is spread over the source and gate electrodes via an insulating film has been devised. In any case, a TFT-LCD using amorphous silicon as a semiconductor is used. When the light is emitted onto the TFT channel,
Since the electrical characteristics of the FT change, a method of shielding the upper channel of the TFT from light is necessary.

【0005】図11を参照して、対向基板101の周囲
に直径10μmのプラスチックビーズを混入した熱硬化
性のシール樹脂102をスクリーン印刷の手法を用いて
設け、先に述べたTFT基板103と真空中で貼り合わ
せた。この際、対向基板の四隅には導電性樹脂104を
設け、対向基板のITO膜とTFT基板の対向電極用電
極線105が接続されるようにする貼り合わせ後、加熱
処理を行い、シール樹脂を硬化させて、液晶パネルを完
成させる。
Referring to FIG. 11, a thermosetting seal resin 102 mixed with plastic beads having a diameter of 10 μm is provided around the counter substrate 101 by a screen printing method, and the TFT substrate 103 and the vacuum substrate described above are provided. I stuck it inside. At this time, the conductive resin 104 is provided at the four corners of the counter substrate, and after bonding so that the ITO film of the counter substrate and the electrode line 105 for the counter electrode of the TFT substrate are connected, heat treatment is performed to remove the sealing resin. The liquid crystal panel is completed by curing.

【0006】断面図を図12に示す。117はシール樹
脂である。両基板の間にはスペーサとしてプラスチック
ビーズ118を配置し、一定の厚さの空隙を基板間に形
成する。この空隙に光重合性をもつ、ポリマーのモノマ
ーあるいはオリゴマーと液晶材料の混合物119を注入
し、封止する。111はTFT基板、112はTFT、
113は画素電極、120はパッシベーション膜、11
4は対向基板、115は遮光膜、116は対向電極であ
る。
A cross-sectional view is shown in FIG. 117 is a sealing resin. Plastic beads 118 are arranged as spacers between the substrates to form a gap having a constant thickness between the substrates. A mixture 119 of a polymer monomer or oligomer having a photopolymerizable property and a liquid crystal material is injected into this void and sealed. 111 is a TFT substrate, 112 is a TFT,
113 is a pixel electrode, 120 is a passivation film, 11
4 is a counter substrate, 115 is a light-shielding film, and 116 is a counter electrode.

【0007】次にこの液晶パネルに紫外線を照射して、
ポリマーのモノマーあるいはオリゴマーを重合させる。
この重合によって、ポリマーと液晶が相分離反応する。
この時、図13に示すように液晶相122を構成する液
晶分子123はポリマー化合物124の網目構造中に分
散し、界面125に沿って配向する。この配向方向は規
制されないからパネル内における液晶分子の配向はラン
ダムとなりパネルに入射する光を散乱する。なお121
は透明電極である。
Next, the liquid crystal panel is irradiated with ultraviolet rays,
Polymerize a polymer monomer or oligomer.
By this polymerization, the polymer and the liquid crystal undergo a phase separation reaction.
At this time, as shown in FIG. 13, the liquid crystal molecules 123 constituting the liquid crystal phase 122 are dispersed in the network structure of the polymer compound 124 and aligned along the interface 125. Since this orientation direction is not regulated, the orientation of liquid crystal molecules in the panel becomes random and scatters the light incident on the panel. 121
Is a transparent electrode.

【0008】そしてこの液晶パネルの走査電極線及び、
信号電極線、対向電極線それぞれ対応する電極端子にド
ライバーICを実装し、駆動回路に接続する。パネルの
駆動法について簡単に説明する。走査電極線に最上段か
ら順次、パルス信号を入力し、それぞれの走査電極線上
のTFTを動作させる。この動作タイミングに合わせて
信号電極から映像信号を入力すると、それぞれのTFT
に接続された画素電極と、それに向かい合う対向電極の
間に電圧が印加される。液晶相に電圧が印加されると、
図14に示すように、液晶分子が電界方向に配向するた
め、光の散乱作用が減少し透明となる。この透明状態と
電圧無印加時の散乱状態を印加電圧で制御することによ
り画像表示を行っている。
The scan electrode lines of this liquid crystal panel and
A driver IC is mounted on the electrode terminal corresponding to each of the signal electrode line and the counter electrode line and connected to the drive circuit. The driving method of the panel will be briefly described. Pulse signals are sequentially input to the scan electrode lines from the uppermost stage to operate the TFTs on the respective scan electrode lines. When a video signal is input from the signal electrode at this operation timing, each TFT
A voltage is applied between the pixel electrode connected to the pixel electrode and the counter electrode facing it. When a voltage is applied to the liquid crystal phase,
As shown in FIG. 14, since the liquid crystal molecules are aligned in the direction of the electric field, the scattering effect of light is reduced and the liquid crystal becomes transparent. An image is displayed by controlling the transparent state and the scattering state when no voltage is applied by the applied voltage.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記の液晶パネル製造
工程においては、紫外線をパネルに照射することで、ポ
リマーのモノマーあるいはオリゴマーを重合させる工程
がある。従来のアクテイブマトリクスパネルでは、対向
基板側から紫外線を照射すると、遮光パターン(図8参
照)が入射光を遮断する。従って、従来のアクテイブマ
トリクス駆動方式によるポリマー分散型液晶表示装置で
は、パネル内部に重合するための紫外線が照射されない
部分があり、その部分のモノマーあるいはオリゴマーは
重合されない。
In the above-mentioned liquid crystal panel manufacturing process, there is a process of polymerizing the monomer or oligomer of the polymer by irradiating the panel with ultraviolet rays. In the conventional active matrix panel, when ultraviolet rays are irradiated from the counter substrate side, the light shielding pattern (see FIG. 8) blocks the incident light. Therefore, in the conventional active matrix driving type polymer dispersion type liquid crystal display device, there is a portion inside the panel which is not irradiated with ultraviolet rays for polymerization, and the monomer or oligomer in that portion is not polymerized.

【0010】この重合されない部分は液晶表示装置の非
表示部となるが、液晶表示装置の使用時間の経過と共
に、未重合物質が表示部に拡散して、表示部の電気光学
特性が変化する。従って、表示品位の信頼性に問題があ
った。
This non-polymerized portion becomes a non-display portion of the liquid crystal display device, but with the passage of time of use of the liquid crystal display device, the unpolymerized substance diffuses into the display portion, and the electro-optical characteristics of the display portion change. Therefore, there is a problem in reliability of display quality.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明は、複数の絶縁
性基板における一方の基板上に、走査電極を形成し、前
記走査電極の上に複数のアレイが形成された薄膜トラン
ジスター(TFT)基板を設置し、その上にパターン化
した信号電極線を設け、TFTを介して前記信号電極線
より電圧を印加される画素電極を設置し、前記画素電極
の上にパッシベーション膜を被覆し、他方の基板上に対
向電極を設け、この対向電極を設けた基板と前記TFT
基板の間に光重合性をもつポリマーのモノマーがアクリ
ル系材料またはエポキシ系材料、またはそのオリゴマー
と、液晶材料との混合物を注入し、対向電極の基板側か
ら光照射してポリマー分散型液晶層を形成することを特
徴とするアクテイブマトリックス駆動方式散乱型液晶表
示装置の製造方法に関する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a thin film transistor (TFT) substrate in which a scanning electrode is formed on one of a plurality of insulating substrates and a plurality of arrays are formed on the scanning electrode. Is provided, a patterned signal electrode line is provided on the pixel electrode, a pixel electrode to which a voltage is applied from the signal electrode line through the TFT is provided, and a passivation film is coated on the pixel electrode. A counter electrode is provided on a substrate, and the substrate provided with the counter electrode and the TFT
A polymer-dispersed liquid crystal layer is prepared by injecting a mixture of a liquid crystal material with an acrylic material or epoxy material or its oligomer having a photopolymerizable polymer monomer between the substrates and irradiating light from the substrate side of the counter electrode. The present invention relates to a method for manufacturing an active matrix driving type scattering type liquid crystal display device, which comprises:

【0012】本発明のTFTパネルの製造工程を図を追
って説明する。図4から図7はTFTアレイの平面図
(a)及び平面図中P−P’の断面図(b)を工程に沿
って順次示したものであり、この図を参照して説明す
る。なお補助容量並びに補助容量電極線等、本発明に直
接関係しない部分は省略している。まず、図4を参照し
て、ガラス基板30上にタンタルの薄膜をスパッタリン
グ法で形成して、フォトリソグラフの手法を用いて走査
電極31を形成する。
The manufacturing process of the TFT panel of the present invention will be described with reference to the drawings. 4 to 7 are a plan view (a) of the TFT array and a sectional view (b) of P-P 'in the plan view, which are sequentially shown along the process, and will be described with reference to this drawing. Note that parts such as the auxiliary capacitor and the auxiliary capacitor electrode line which are not directly related to the present invention are omitted. First, referring to FIG. 4, a thin film of tantalum is formed on a glass substrate 30 by a sputtering method, and a scanning electrode 31 is formed by using a photolithographic method.

【0013】ここで、基板は前記ガラスの他に石英など
が挙げられ、好適にはガラスが適用できる。走査電極素
材としては、前記タンタルの他にアルミ、クロム等が好
適に適用される。次に図5を参照して、ゲート絶縁膜で
ある窒化シリコン膜41、非ドープアモルファスシリコ
ン膜42、及びn+ アモルファスシリコン膜43を順次
プラズマCVD法により形成し、両アモルファスシリコ
ン膜を島状にパターニングする。
Here, examples of the substrate include quartz in addition to the above-mentioned glass, and glass can be preferably applied. As the scanning electrode material, aluminum, chromium or the like is preferably applied in addition to the tantalum. Next, referring to FIG. 5, a silicon nitride film 41 that is a gate insulating film, an undoped amorphous silicon film 42, and an n + amorphous silicon film 43 are sequentially formed by a plasma CVD method, and both amorphous silicon films are formed into island shapes. Pattern.

【0014】次に図6を参照して、信号電極、すなわち
ソースバスライン試料であるチタン膜51をスパッタリ
ング法で成膜し、そしてn+ シリコン膜と共にパターン
化して信号電極線を形成する。次に図7のTFTアレイ
の平面図(a)及び平面図中P−P’の断面図(b)を
参照して、ITO膜をスパッタリング法により成膜し、
画素電極61としてパターン化する。そして、窒化シリ
コン膜を画面全体に形成し、パッシベーション膜62と
する。
Next, referring to FIG. 6, a signal electrode, that is, a titanium film 51 which is a source bus line sample is formed by a sputtering method, and is patterned together with an n + silicon film to form a signal electrode line. Next, referring to the plan view (a) of the TFT array of FIG. 7 and the cross-sectional view (b) of P-P 'in the plan view, an ITO film is formed by a sputtering method,
The pixel electrode 61 is patterned. Then, a silicon nitride film is formed on the entire screen to form the passivation film 62.

【0015】TFTは前記アモルファスシリコン系の他
に、ポリシリコン系などが挙げられる。なお、パッシベ
ーション膜は、ここで用いた窒化シリコン膜に限らず、
酸化シリコン膜、あるいはポリイミド膜等の高分子樹脂
膜でもよい。対向基板側には、まずガラス基板上にIT
Oをスパッタリング法で成膜し、対向電極とする。遮光
膜は形成しない。
As the TFT, in addition to the amorphous silicon type, a polysilicon type or the like can be cited. The passivation film is not limited to the silicon nitride film used here,
It may be a polymer resin film such as a silicon oxide film or a polyimide film. On the opposite substrate side, IT is first placed on the glass substrate.
A film of O is formed by a sputtering method to form a counter electrode. No light-shielding film is formed.

【0016】対向基板材料としては前記ITO膜の他に
酸化スズや酸化インジウムが適用されるが、ITO膜が
好適である。このようにして作製した対向基板とTFT
基板を、直径約10μmのプラステチックビーズを間に
挟んでシール樹脂を用いて貼り合わせる。その後、予め
シール樹脂パターンの一部を開口して設けた注入口か
ら、紫外線等の光による重合性をもつモノマーまたはオ
リゴマーと液晶材料の混合物を注入し、注入口を樹脂に
より封止する。
As the counter substrate material, tin oxide or indium oxide is applied in addition to the ITO film, and the ITO film is preferable. Counter substrate and TFT manufactured in this way
The substrates are attached to each other with a sealing resin sandwiching plastic beads having a diameter of about 10 μm. Then, a mixture of a monomer or oligomer and a liquid crystal material, which are polymerizable by light such as ultraviolet rays, is injected from an injection port which is formed by opening a part of the seal resin pattern in advance, and the injection port is sealed with resin.

【0017】注入後、紫外線等の光を対向基板側から照
射し、モノマーあるいはオリゴマーを重合させ、ポリマ
ー分散型液晶層を形成する。ここで、紫外線等の光によ
る重合性をもつモノマーまたはオリゴマーはアクリル系
材料、エポキシ系材料等が挙げられ、好適にはアクリル
系材料が適用される。また、液晶材料としてはシアノフ
ェニルシクロヘキサン系、シアノビフェニル系、フッ素
系、トラン系などが挙げられる。
After the injection, light such as ultraviolet rays is irradiated from the counter substrate side to polymerize the monomer or oligomer to form a polymer dispersion type liquid crystal layer. Here, examples of the monomer or oligomer having a polymerizable property by light such as ultraviolet rays include acrylic materials and epoxy materials, and acrylic materials are preferably applied. Further, examples of the liquid crystal material include cyanophenylcyclohexane-based, cyanobiphenyl-based, fluorine-based, and tolan-based materials.

【0018】次に、図1に示すように、対向基板上にマ
イクロレンズアレイ1を接着剤11を用いてマイクロレ
ンズの中心が画素電極の所定の位置に対応するように貼
り付け、照射された平行光が画素電極に集光し、TFT
のチャンネル上に直接光が照射されないようにする。こ
の後は、従来法と同じように駆動用ICと駆動用回路に
より液晶表示装置に画像表示を行う。
Next, as shown in FIG. 1, the microlens array 1 was attached on the counter substrate with an adhesive 11 so that the center of the microlens corresponded to a predetermined position of the pixel electrode and irradiated. Parallel light is focused on the pixel electrode, and TFT
Avoid direct light on the channel. After that, the image is displayed on the liquid crystal display device by the driving IC and the driving circuit as in the conventional method.

【0019】さらに好適な条件としては、図1に示すよ
うに、対向基板上にマイクロレンズアレイ1を接着剤1
1を用いてマイクロレンズの中心が画素電極の所定の位
置に対応するように貼り付け、照射された平行光が画素
電極に集光し、TFTのチャンネル上に直接光が照射さ
れないようにする。この時マイクロレンズの大きさは絵
素ピッチの大きさにするのが適当である。また接着剤と
してはロックタイト(350)、スリーボンド(300
0シリーズ)、ソニーケミカル(17A,19A)など
が挙げられる。
As a further preferable condition, as shown in FIG. 1, the microlens array 1 is provided on the counter substrate with the adhesive 1.
1 is attached so that the center of the microlens corresponds to a predetermined position of the pixel electrode, and the irradiated parallel light is focused on the pixel electrode so that the light is not directly irradiated onto the channel of the TFT. At this time, it is appropriate to set the size of the microlens to the size of the pixel pitch. As adhesives, Loctite (350), Three Bond (300
0 series), Sony Chemical (17A, 19A), etc.

【0020】さらに図2に示すように、フォトリソグラ
フの手法を用いて前記マイクロレンズアレイ1に遮光膜
2を形成することも好適である。この時、膜の材料はク
ロム、アルミ、チタン、モリブデン、タンタルの金属
膜、またはカーボンブラックあるいは黒色顔料を混入し
たアクリル系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂等
の黒色樹脂膜などが挙げられる。
Further, as shown in FIG. 2, it is also preferable to form the light shielding film 2 on the microlens array 1 by using a photolithographic method. At this time, examples of the material of the film include a metal film of chromium, aluminum, titanium, molybdenum, and tantalum, or a black resin film such as an acrylic resin, a polyimide resin, or a polyamide resin mixed with carbon black or a black pigment.

【0021】マイクロレンズの位置設定としては、図3
に示すように、対向基板上にマイクロレンズアレイ1を
接着剤11を用いてマイクロレンズの中心が画素電極の
所定の位置に対応するように貼り付けるが、この時マイ
クロレンズのレンズ間の間隙部がTFTのチャンネル上
に直接照射されないようにする。これはレンズ間の間隙
部では入射光が直接透過または散乱して透過し、レンズ
によって集光されないことがある為である。
The position of the microlens is set as shown in FIG.
As shown in FIG. 3, the microlens array 1 is attached to the counter substrate with an adhesive 11 so that the center of the microlens corresponds to a predetermined position of the pixel electrode. Is not directly illuminated on the TFT channel. This is because the incident light may be directly transmitted or scattered and transmitted in the gap between the lenses, and may not be condensed by the lenses.

【0022】さらにマイクロレンズを適用せず、同様効
果を得る方法として、図15に示すようにクロムで遮光
膜301を形成した遮光膜基板300に、熱硬化シール
樹脂302をスクリーン印刷し、対向基板側から貼り合
わせる方法を提案する。遮光膜の材質及び厚さは前記マ
イクロレンズの場合と同様の条件が適用可能である。
As a method of obtaining the same effect without applying a microlens, a thermosetting sealing resin 302 is screen-printed on a light-shielding film substrate 300 having a light-shielding film 301 formed of chromium as shown in FIG. We suggest a method of pasting from the side. As for the material and thickness of the light-shielding film, the same conditions as in the case of the microlens can be applied.

【0023】この際、遮光膜によってTFT基板上の絵
素電極以外の場所が遮光されるように貼り合わせる位置
を定める。ついで、加熱処理を行うことによりシール樹
脂を硬化させ、液晶パネルを完成する。完成後の液晶パ
ネルの構造の概略を図16の平面図(a)及び、平面図
中P−P’の断面図(b)に示す。
At this time, the bonding position is determined so that the light-shielding film shields light from the area other than the pixel electrodes on the TFT substrate. Then, heat treatment is performed to cure the seal resin and complete the liquid crystal panel. An outline of the structure of the completed liquid crystal panel is shown in a plan view (a) of FIG. 16 and a cross-sectional view (b) of P-P 'in the plan view.

【0024】この方法の特徴は、遮光膜301を対向基
板上に成膜せず、遮光膜基板300上に成膜し、液晶層
を成膜した後に貼り合わせることにある。
The feature of this method is that the light-shielding film 301 is not formed on the counter substrate but is formed on the light-shielding film substrate 300, and the liquid crystal layer is formed and then bonded.

【0025】[0025]

【作用】上記の手段を用いることにより、パネル内の未
重合残存物質をほぼ無くすことができ、その結果、表示
品位が高く、信頼性の良いアクテイブマトリクス駆動方
式液晶表示装置を提供することができる。
By using the above means, it is possible to substantially eliminate unpolymerized residual substances in the panel, and as a result, it is possible to provide an active matrix drive type liquid crystal display device having high display quality and high reliability. ..

【0026】[0026]

【実施例】【Example】

実施例1 本発明のTFTパネルの製造工程を説明する。前記の図
4から図7までは製造工程について、図1は完成したパ
ネルの平面図と断面図の概略である。図4から図7はT
FTアレイの平面図(a)及び平面図中P−P’の断面
図(b)を工程に沿って順次示したものであり、この図
を参照して説明する。なお補助容量並びに補助容量電極
線等、本発明に直接関係しない部分は省略している。ま
ず、図4を参照して、ガラス基板30上にタンタルの薄
膜をスパッタリング法で形成して、フォトリソグラフの
手法を用いて走査電極31を形成する。
Example 1 The manufacturing process of the TFT panel of the present invention will be described. 4 to 7 show the manufacturing process, and FIG. 1 is a schematic plan view and sectional view of the completed panel. 4 to 7 show T
A plan view (a) of the FT array and a cross-sectional view (b) of P-P 'in the plan view are sequentially shown along the process, and will be described with reference to this figure. Note that parts such as the auxiliary capacitor and the auxiliary capacitor electrode line which are not directly related to the present invention are omitted. First, referring to FIG. 4, a thin film of tantalum is formed on a glass substrate 30 by a sputtering method, and a scanning electrode 31 is formed by using a photolithographic method.

【0027】次に図5を参照して、ゲート絶縁膜である
窒化シリコン膜41、非ドープアモルファスシリコン膜
42、及びn+ アモルファスシリコン膜43を順次プラ
ズマCVD法により形成し、両アモルファスシリコン膜
を島状にパターニングする。次に図6を参照して、信号
電極、すなわちソースバスライン試料であるチタン膜5
1をスパッタリング法で形成し、そしてn+ シリコン膜
と共にパターン化して信号電極線を形成する。
Next, referring to FIG. 5, a silicon nitride film 41 which is a gate insulating film, an undoped amorphous silicon film 42, and an n + amorphous silicon film 43 are sequentially formed by a plasma CVD method, and both amorphous silicon films are formed. Pattern in an island shape. Next, referring to FIG. 6, a signal electrode, that is, a titanium film 5 as a source bus line sample.
1 is formed by a sputtering method and is patterned together with an n + silicon film to form a signal electrode line.

【0028】次に図7のTFTアレイの平面図(a)及
び平面図中P−P’の断面図(b)を参照して、ITO
膜をスパッタリング法により成膜し、画素電極61とし
てパターン化する。そして、窒化シリコン膜を画面全体
に形成し、パッシベーション膜62とする。対向基板側
には、まずガラス基板上にITOをスパッタリング法で
成膜し、対向電極とする。遮光膜は形成しない。
Next, referring to the plan view (a) of the TFT array of FIG. 7 and the cross-sectional view (b) of P-P 'in the plan view, the ITO is shown.
A film is formed by a sputtering method and patterned as the pixel electrode 61. Then, a silicon nitride film is formed on the entire screen to form the passivation film 62. On the counter substrate side, ITO is first deposited on the glass substrate by a sputtering method to form a counter electrode. No light-shielding film is formed.

【0029】このようにして作製した対向基板とTFT
基板を、直径10μmのプラステチックビーズを間に挟
んでシール樹脂を用いて貼り合わせる。その後、予めシ
ール樹脂パターンの一部を開口して設けた注入口から、
紫外線による重合性をもつポリマー(アクリル系)のモ
ノマーと液晶材料(シアノフェニルシクロヘキサン系)
の混合物を注入し、注入口を樹脂により封止する。
The counter substrate and the TFT manufactured in this way
The substrates are attached to each other with a sealing resin, with plastic beads having a diameter of 10 μm interposed therebetween. Then, from the injection port provided by opening a part of the seal resin pattern in advance,
UV-polymerizable polymer (acrylic) monomer and liquid crystal material (cyanophenylcyclohexane)
The mixture is injected and the injection port is sealed with resin.

【0030】注入後、紫外線を対向基板側から照射し、
モノマーを重合させ、ポリマー分散型液晶層を形成す
る。次に、図1に示すように、対向基板上にマイクロレ
ンズアレイ1を接着剤11を用いてマイクロレンズの中
心が画素電極の所定の位置に対応するように貼り付け、
照射された平行光が画素電極に集光し、TFTのチャン
ネル上に直接光が照射されないようにする。
After the injection, ultraviolet rays are irradiated from the side of the counter substrate,
The monomer is polymerized to form a polymer dispersed liquid crystal layer. Next, as shown in FIG. 1, the microlens array 1 is attached onto the counter substrate using an adhesive 11 so that the center of the microlens corresponds to a predetermined position of the pixel electrode.
The irradiated parallel light is condensed on the pixel electrode so that the light is not directly irradiated on the channel of the TFT.

【0031】この後は、従来法と同じように駆動用IC
と駆動用回路により液晶表示装置に画像表示を行う。つ
いで、本実施例の製造方法による表示装置と従来法によ
るものの表示部の電気光学特性を比較した。初期におい
ては両者に大差は認められなかったが、1000時間経
過後は本発明の表示装置の特性が著しく良好な結果を示
した。これは従来法の表示装置では、液晶表示装置の使
用時間の経過と共に、未重合物質が表示部に拡散して、
表示部の電気光学特性が変化したものと考えられる。
After that, the driving IC is used as in the conventional method.
And the driving circuit displays an image on the liquid crystal display device. Next, the electro-optical characteristics of the display device manufactured by the manufacturing method of this embodiment and the display device manufactured by the conventional method were compared. In the initial stage, no great difference was found between the two, but after 1000 hours, the display device of the present invention showed remarkably good results. In the conventional display device, this is because the unpolymerized substance diffuses into the display portion as the liquid crystal display device is used.
It is considered that the electro-optical characteristics of the display part have changed.

【0032】実施例2 実施例2のTFTパネルの製造工程は、マイクロレンズ
アレイを貼りつける工程までは、実施例1と同様に行っ
た。ついで、図2に示すように、フォトリソグラフの手
法を用いて前記マイクロレンズアレイ1に遮光膜2を形
成する。この時、膜の材料はクロムで、膜厚さは約13
00Åであった。
Example 2 The manufacturing process of the TFT panel of Example 2 was the same as that of Example 1 up to the step of attaching the microlens array. Then, as shown in FIG. 2, a light shielding film 2 is formed on the microlens array 1 by using a photolithographic method. At this time, the material of the film is chrome, and the film thickness is about 13
It was 00Å.

【0033】この後は、従来法と同じように駆動用IC
と駆動用回路により液晶表示装置に画像表示を行った。
ついで、本実施例の製造方法による表示装置と従来法に
よるものの表示部の電気光学特性を比較した。実施例1
と同様に、初期においては両者に大差は認められなかっ
たが、1000時間の経過後は本発明の表示装置の特性
が著しく良好な結果を示した。これは従来法の表示装置
では、液晶表示装置の使用時間の経過と共に、未重合物
質が表示部に拡散して、表示部の電気光学特性が変化し
たものと考えられる。
After that, the driving IC is used as in the conventional method.
And the driving circuit displayed an image on the liquid crystal display device.
Next, the electro-optical characteristics of the display device manufactured by the manufacturing method of this embodiment and the display device manufactured by the conventional method were compared. Example 1
Similarly to the above, a large difference was not found between the two in the initial stage, but after 1000 hours, the display device of the present invention showed remarkably good characteristics. It is considered that this is because, in the display device of the conventional method, the unpolymerized substance diffused into the display portion with the lapse of time of use of the liquid crystal display device, and the electro-optical characteristics of the display portion changed.

【0034】実施例3 実施例3のTFTパネルの製造工程は、ポリマー分散型
液晶層を形成する工程までは、実施例1と同様に行っ
た。次に、図3に示すように、対向基板上にマイクロレ
ンズアレイ1を接着剤11を用いてマイクロレンズの中
心が画素電極の所定の位置に対応するように貼り付ける
が、この時マイクロレンズのレンズ間の間隙部がTFT
のチャンネル上に直接照射されないようにする。これは
レンズ間の間隙部では入射光が直接透過または散乱して
透過し、レンズによって集光されないことがある為であ
る。
Example 3 The steps of manufacturing the TFT panel of Example 3 were performed in the same manner as in Example 1 up to the step of forming the polymer dispersed liquid crystal layer. Next, as shown in FIG. 3, the microlens array 1 is attached to the counter substrate with an adhesive 11 so that the center of the microlens corresponds to a predetermined position of the pixel electrode. The gap between the lenses is the TFT
Avoid being directly illuminated on the channel. This is because the incident light may be directly transmitted or scattered and transmitted in the gap between the lenses, and may not be condensed by the lenses.

【0035】この後は、従来法と同じように駆動用IC
と駆動用回路により液晶表示装置に画像表示を行った。
ついで、本実施例の製造方法による表示装置と従来法に
よるものの表示部の電気光学特性を比較した。実施例1
と同様に、初期においては両者に大差は認められなかっ
たが、1000時間の経過後は本発明の表示装置の特性
が著しく良好な結果を示した。これは従来法の表示装置
では、液晶表示装置の使用時間の経過と共に、未重合物
質が表示部に拡散して、表示部の電気光学特性が変化し
たものと考えられる。
After that, the driving IC is used as in the conventional method.
And the driving circuit displayed an image on the liquid crystal display device.
Next, the electro-optical characteristics of the display device manufactured by the manufacturing method of this embodiment and the display device manufactured by the conventional method were compared. Example 1
Similarly to the above, a large difference was not found between the two in the initial stage, but after 1000 hours, the display device of the present invention showed remarkably good characteristics. It is considered that this is because, in the display device of the conventional method, the unpolymerized substance diffused into the display portion with the lapse of time of use of the liquid crystal display device, and the electro-optical characteristics of the display portion changed.

【0036】実施例4 実施例4のTFTパネルの製造工程は、ポリマー分散型
液晶層を形成する工程までは、実施例1と同様に行っ
た。次に、図15に示すようにクロムで遮光膜301を
形成した遮光膜基板300に、熱硬化シール樹脂302
をスクリーン印刷し、対向基板側から貼り合わせる。こ
の際、遮光膜によってTFT基板上の絵素電極以外の場
所が遮光されるように貼り合わせる位置を定める。
Example 4 The manufacturing steps of the TFT panel of Example 4 were performed in the same manner as in Example 1 up to the step of forming the polymer dispersed liquid crystal layer. Next, as shown in FIG. 15, a thermosetting sealing resin 302 is applied to the light-shielding film substrate 300 on which the light-shielding film 301 is formed of chromium.
Is screen-printed and bonded from the counter substrate side. At this time, the bonding position is determined such that the light-shielding film shields light from the area other than the pixel electrodes on the TFT substrate.

【0037】ついで、加熱処理を行うことによりシール
樹脂を硬化させ、液晶パネルを完成する。完成後の液晶
パネルの構造の概略を図16の平面図(a)及び、平面
図中P−P’の断面図(b)に示す。この実施例の特徴
は、遮光膜301を対向基板上に成膜せず、遮光膜基板
300上に成膜し、液晶層を成膜した後に貼り合わせる
ことにある。
Then, heat treatment is carried out to cure the sealing resin to complete the liquid crystal panel. An outline of the structure of the completed liquid crystal panel is shown in a plan view (a) of FIG. 16 and a cross-sectional view (b) of P-P 'in the plan view. The feature of this embodiment is that the light shielding film 301 is not formed on the counter substrate but is formed on the light shielding film substrate 300, and the liquid crystal layer is formed and then bonded.

【0038】この後は、従来法と同じように駆動用IC
と駆動用回路により液晶表示装置に画像表示を行った。
ついで、本実施例の製造方法による表示装置と従来法に
よるものの表示部の電気光学特性を比較した。実施例1
と同様に、初期においては両者に大差は認められなかっ
たが、1000時間の経過後は本発明の表示装置の特性
が著しく良好な結果を示した。これは従来法の表示装置
では、液晶表示装置の使用時間の経過と共に、未重合物
質が表示部に拡散して、表示部の電気光学特性が変化し
たものと考えられる。
After that, the driving IC is used as in the conventional method.
And the driving circuit displayed an image on the liquid crystal display device.
Next, the electro-optical characteristics of the display device manufactured by the manufacturing method of this embodiment and the display device manufactured by the conventional method were compared. Example 1
Similarly to the above, a large difference was not found between the two in the initial stage, but after 1000 hours, the display device of the present invention showed remarkably good characteristics. It is considered that, in the display device of the conventional method, the unpolymerized substance diffused into the display portion with the passage of time of use of the liquid crystal display device, and the electro-optical characteristics of the display portion changed.

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明は、従来法では達成できなかっ
た、高品位画像で、高信頼性で表示できるアクテイブマ
トリクス駆動方式散乱型液晶表示装置を提供できた。
The present invention can provide an active matrix drive type scattering type liquid crystal display device capable of displaying a high quality image with high reliability, which cannot be achieved by the conventional method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例における表示装置の構成概略図
である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a display device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例における表示装置の構成概略図
である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a display device in an example of the present invention.

【図3】本発明の実施例における表示装置の構成概略図
である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a display device in an example of the present invention.

【図4】本発明の実施例における液晶表示装置の製造工
程を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施例における液晶表示装置の製造工
程を説明する図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施例における液晶表示装置の製造工
程を説明する図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device in the example of the present invention.

【図7】本発明の実施例における液晶表示装置の製造工
程を説明する図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device in the example of the present invention.

【図8】従来の液晶表示装置の製造工程を説明する図で
ある。
FIG. 8 is a diagram illustrating a manufacturing process of a conventional liquid crystal display device.

【図9】従来の液晶表示装置の走査電極端子の配置状態
を説明する図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating an arrangement state of scan electrode terminals of a conventional liquid crystal display device.

【図10】従来の液晶表示装置の遮蔽膜状の基板部を説
明する図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a shielding film-shaped substrate portion of a conventional liquid crystal display device.

【図11】従来の液晶表示装置のTFT基板と対向電極
の貼あわせを説明する図である。
FIG. 11 is a diagram for explaining the pasting of a TFT substrate and a counter electrode of a conventional liquid crystal display device.

【図12】従来の液晶表示装置の貼合わせを説明する図
である。
FIG. 12 is a diagram illustrating the pasting of a conventional liquid crystal display device.

【図13】ポリマー分散型液晶モードの動作原理を説明
する図である。
FIG. 13 is a diagram illustrating an operating principle of a polymer dispersion type liquid crystal mode.

【図14】ポリマー分散型液晶モードの動作原理を説明
する図である。
FIG. 14 is a diagram illustrating an operation principle of a polymer dispersion type liquid crystal mode.

【図15】本発明の実施例における液晶表示装置の電極
パターンを説明する図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating an electrode pattern of a liquid crystal display device according to an example of the present invention.

【図16】本発明の実施例における表示装置の構成概略
図である。
FIG. 16 is a schematic configuration diagram of a display device in an example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 マイクロレンズアレイ 2、115、301 遮光膜 11 接着剤 30、70、90 ガラス基板 31、73 走査電極 41 窒化シリコン膜 42、77 非ドープアモルファスシリコン膜 43、78 n+ アモルファスシリコン膜 51 チタン膜 61、72、113 画素電極 62、75、120 パッシベーション膜 71、112 TFT 74 信号電極 76 ゲート絶縁膜 79 ソース電極 80 ドレイン電極 81 走査電極端子 82 信号電極端子 83 対向電極端子 91 パターン 92 有効表示部 93 ITO膜 101、114 対向基板 102、117 シール樹脂 103、111 TFT基板 104 導電性樹脂 105 対向電極用電極線 116 対向電極 118 プラスチックビーズ 119 液晶材料の混合物 121 透明電極 122 液晶相 123 液晶分子 124 ポリマー化合物 125 界面 300 遮光膜基板 302 熱硬化シール樹脂1 Microlens Array 2, 115, 301 Light-shielding Film 11 Adhesive 30, 70, 90 Glass Substrate 31, 73 Scanning Electrode 41 Silicon Nitride Film 42, 77 Undoped Amorphous Silicon Film 43, 78 n + Amorphous Silicon Film 51 Titanium Film 61 , 72, 113 Pixel electrodes 62, 75, 120 Passivation film 71, 112 TFT 74 Signal electrode 76 Gate insulating film 79 Source electrode 80 Drain electrode 81 Scan electrode terminal 82 Signal electrode terminal 83 Counter electrode terminal 91 Pattern 92 Effective display area 93 ITO Membrane 101, 114 Counter substrate 102, 117 Seal resin 103, 111 TFT substrate 104 Conductive resin 105 Counter electrode electrode wire 116 Counter electrode 118 Plastic beads 119 Liquid crystal material mixture 121 Transparent electrode 122 Liquid crystal phase 23 liquid crystal molecules 124 polymeric compound 125 interface 300 light shielding film substrate 302 thermosetting sealing resin

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島田 伸二 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Shinji Shimada 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の絶縁性基板における一方の基板上
に、走査電極を形成し、前記走査電極の上に複数のアレ
イが形成された薄膜トランジスター(TFT)基板を設
置し、その上にパターン化した信号電極線を設け、TF
Tを介して前記信号電極線より電圧を印加される画素電
極を設置し、前記画素電極の上にパッシベーション膜を
被覆し、他方の基板上に対向電極を設け、この対向電極
を設けた基板と前記TFT基板の間に光重合性をもつポ
リマーのモノマーがアクリル系材料またはエポキシ系材
料、またはそのオリゴマーと、液晶材料との混合物を注
入し、対向電極の基板側から光照射してポリマー分散型
液晶層を形成することを特徴とするアクテイブマトリッ
クス駆動方式散乱型液晶表示装置の製造方法。
1. A thin film transistor (TFT) substrate having scan electrodes formed on one of a plurality of insulating substrates and having a plurality of arrays formed on the scan electrodes, and a pattern formed thereon. TF
A pixel electrode to which a voltage is applied from the signal electrode line via T is provided, a passivation film is covered on the pixel electrode, and a counter electrode is provided on the other substrate, and a substrate provided with the counter electrode is provided. A monomer of a photopolymerizable polymer having a photopolymerizable property is injected into the TFT substrate, and a mixture of an acrylic material or an epoxy material or an oligomer thereof and a liquid crystal material is injected, and light is irradiated from the substrate side of the counter electrode to disperse the polymer. A method of manufacturing an active matrix driving type scattering liquid crystal display device, which comprises forming a liquid crystal layer.
【請求項2】 対向電極を設けた基板上に、TFTアレ
イの形成された基板のそれぞれの画素電極に対応するよ
うマイクロレンズが形成されたマイクロレンズアレイを
設けることを特徴とする請求項1項に記載された製造方
法。
2. A microlens array, in which microlenses are formed so as to correspond to respective pixel electrodes of the substrate on which the TFT array is formed, is provided on the substrate on which the counter electrodes are provided. The manufacturing method described in.
【請求項3】 マイクロレンズアレイ上に遮光膜がパタ
ーニングされている請求項2項に記載された製造方法。
3. The manufacturing method according to claim 2, wherein the light-shielding film is patterned on the microlens array.
【請求項4】 マイクロレンズとマイクロレンズの間隙
部がTFTのチャンネルの垂線上からはずれ、かつレン
ズの中心が画素電極の略中心付近にくるように貼りつけ
ることを特徴とする請求項2〜3項のいずれかの項に記
載された製造方法。
4. The microlenses are attached so that the gaps between the microlenses deviate from the vertical line of the channel of the TFT, and the centers of the lenses are close to the approximate centers of the pixel electrodes. The manufacturing method described in any one of the items.
【請求項5】 対向電極の基板の電極とは反対側の表面
に遮光膜を設けることを特徴とする請求項1項に記載さ
れた製造方法。
5. The manufacturing method according to claim 1, wherein a light-shielding film is provided on the surface of the counter electrode opposite to the electrode of the substrate.
【請求項6】 遮蔽膜がクロム、アルミ、チタン、モリ
ブデン、タンタルの金属膜およびカーボンブラック、黒
色顔料を混入したアクリル系樹脂または、ポリイミド樹
脂の黒色樹脂膜より選ばれた膜である請求項5項に記載
された製造方法。
6. The shielding film is a film selected from metal films of chromium, aluminum, titanium, molybdenum and tantalum and carbon black, an acrylic resin mixed with a black pigment, or a black resin film of a polyimide resin. The manufacturing method described in the section.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4814106A (en) * 1986-05-27 1989-03-21 General Chemical Corporation Manufacture of a basic metal hydroxysulfate complex in solid form

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