JPH05223865A - 試料解析用電気抵抗測定方法及びその測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電気抵抗の測定を高い精度で良好に行えると
ともに、電気抵抗の測定に当たり、共通の基盤に基づき
種々のデータを同時性をもって得、そして得られるデー
タの有効利用を図り、資料の解析の一体化を実現する。 【構成】 試料１２の測定範囲のＸ−Ｙ方向位置に基づ
き資料１２をＸ−Ｙ方向に移動させながら試料１２の測
定範囲のＸ−Ｙ方向位置に対する試料１２の測定範囲の
表面のＺ方向の高さ位置を非接触で測定して形状データ
を得る。次に、得られた形状データに基づき資料１２を
Ｘ−Ｙ方向に移動させながら電気抵抗測定用測定端子４
０を試料１２の表面に向けて往復動させて資料１２の表
面を圧接して圧接点での電気抵抗を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、試料の表面解析等に用
いられる試料解析用電気抵抗測定方法及びその測定装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】試料が、例えばスイッチの接点等である
場合、その摩耗解析等にあっては、実体観察、形状測
定、電気抵抗の測定、面分析等が行われている。

【０００３】ここで、電気抵抗の測定は、従来、まず、
試料の表面において電気抵抗を測定しようとする測定点
を目視で見出し、その後、測定点に電気抵抗計用測定端
子を圧接し一定の接触圧を掛けて行っていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
電気抵抗の測定では、測定点が測定端子により圧接され
て接触圧を受けるので、試料の表面は、測定点において
傷付けられて破壊状態とされる。

【０００５】従って、同一試料で複数の測定点が求めら
れる場合、特に試料が小さいと、測定点間が近すぎて、
すでに測定されて破壊されている測定点を再度測定する
恐れがある。また、測定端子が各測定点に及ぼす接触圧
を一定にするのは容易でない。

【０００６】そこで、測定端子を基台に対してＺ方向に
昇降可能とするとともに、試料を載せたテーブルを基台
に対してＸ−Ｙ方向に移動可能とし、試料の各測定点を
測定端子の降下位置に順次移動させて測定点を重複させ
ないようにするとともに、測定端子を予め設定された所
定のストロークでもって下降させ、その所定のストロー
クに相当する所定の接触圧を測定点に掛けるようにする
ことが考えられる。

【０００７】しかしながら、図１３に示すように、測定
点が、試料１４０の表面の外形縁にあって試料の表面に
段差があるような部位（同図にＣで示す）に位置し、あ
るいは、試料１４０の表面に付着物１４２があってその
付着物１４２との境で段差があるような部位（同図にＤ
で示す）に位置し、更には、付着物１４２自体に段差が
あってそのような段差部位（同図にＥで示す）に位置す
る場合には、すなわち試料の表面に急激な形状変化があ
るような部位に位置する場合には、測定を的確に行うこ
とは難しく、精度の高い測定結果が得られない。

【０００８】また、付着物が存在しているような場合、
あるいは試料の表面が測定端子の降下方向に対して傾斜
しているような場合には、それらを原因として測定端子
のストローク長さが所定のストローク長さと異なり、従
って、試料が受ける接触圧も異なることになる。これに
より、測定環境が変わり、精度の高い測定結果が得られ
ないこととなる。

【０００９】一方、電気抵抗の測定は、実体観察、形状
測定等とは全く別個に行われているが、試料の解析は、
一体的に行え、種々のデータを共通の基盤から同時性を
もって得て、データの有効利用を図れるのが好ましい。

【００１０】本発明は、上記事情に鑑み、電気抵抗の測
定を高い精度で良好に行えるとともに、電気抵抗の測定
に当たり、共通の基盤に基づき種々のデータを同時性を
もって得、そして得られるデータの有効利用を図ること
ができ、ひいては試料の解析の一体化を実現する試料解
析用電気抵抗測定方法及びその測定装置を提供すること
を目的とする。

【００１１】また、本発明は、上記目的に加えて、電気
抵抗測定用測定端子の接触圧を測定範囲全体に渡って一
定に保持して電気抵抗の測定精度を高める試料解析用電
気抵抗測定方法及びその測定装置を提供することを目的
とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、試料の表面に沿って直交するＸ−Ｙ方向
に試料を移動させながら試料のＸ−Ｙ方向位置に対する
試料の表面のＸ−Ｙ方向と直交するＺ方向の高さ位置を
非接触で測定する形状測定を行い、該形状測定により測
定された資料のＸ−Ｙ方向位置に対する試料の表面のＺ
方向の高さ位置に基づき試料をＸ−Ｙ方向に移動させな
がら電気抵抗測定用測定端子を試料の表面に向けて往復
動させて試料の表面を圧接して圧接点での電気抵抗を測
定する試料解析用電気抵抗測定方法を提案するものであ
る。

【００１３】上記方法においては、前記試料の表面を圧
接して圧接点での電気抵抗を測定する際、形状測定によ
り測定された資料のＸ−Ｙ方向位置に対する試料の表面
のＺ方向の高さ位置に基づき試料をＺ方向にも移動させ
Ｚ方向の移動によって得られるストローク長さでもって
電気抵抗計用測定端子を往復動させてなる方法が提案さ
れる。

【００１４】また、本発明は、試料の表面に沿って直交
するＸ−Ｙ方向に試料を移動可能とする試料移動手段
と、試料のＸ−Ｙ方向の移動に伴い試料のＸ−Ｙ方向位
置に対する試料の表面のＸ−Ｙ方向と直交するＺ方向の
高さ位置を非接触で測定して形状測定を行う高さ位置検
出手段と、該高さ位置検出手段により測定される資料の
Ｘ−Ｙ方向位置に対する試料の表面のＺ方向の高さ位置
に基づき試料のＸ−Ｙ方向の移動に伴い測定端子が試料
の表面に向けて往復動して試料の表面を圧接して圧接点
における電気抵抗の測定を行う電気抵抗測定手段と、を
備えたことを特徴とする試料解析用電気抵抗測定装置を
提案するものである。

【００１５】上記構成においては、前記試料移動手段
は、Ｚ方向にも試料を移動可能とされ、前記電気抵抗測
定手段は、高さ位置検出手段により測定される試料のＸ
−Ｙ方向位置に対する資料の表面のＺ方向の高さ位置に
基づき試料がＺ方向にも移動するのに伴いＺ方向の移動
によって得られるストローク長さでもって測定端子が往
復動されてなる構成のものが提案される。

【００１６】

【作用】試料解析用電気抵抗測定方法によれば、まず、
試料のＸ−Ｙ方向の移動により、試料のＸ−Ｙ方向位置
に対する資料の表面のＸ−Ｙ方向と直交するＺ方向の高
さ位置が非接触で測定される。これにより、資料の測定
範囲全体に渡って試料のＸ−Ｙ方向位置に対する資料の
表面のＺ方向の高さ位置が３次元的な形状データとして
得られる。

【００１７】次に、形状測定によって測定された上記形
状データに基づき試料がＸ−Ｙ方向に移動しながら、電
気抵抗測定用接触端子が資料の表面に向けて往復動して
圧接する。これにより、圧接点で電気抵抗の測定が行な
われ、試料の測定範囲全体に渡って測定範囲のＸ−Ｙ方
向位置に対する電気抵抗の電気抵抗データが得られる。

【００１８】ここで、試料の表面で急激な形状変化があ
るような部位では、測定端子を往復動させず、そこでの
電気抵抗の測定を避け、あるいは、急激な形状変化があ
るような部位でも測定はするものの、測定範囲全体に渡
る電気抵抗データから、その部位での電気抵抗データを
後で排除することができる。

【００１９】また、試料の表面に付着物が存在していた
り試料の表面が測定端子の降下方向に対して傾斜してい
たりしてＺ方向の高さ位置が所定の高さ位置と異なる場
合に、そのようなＺ方向の高さ位置が所定の高さ位置と
異なる部位でも、同様に、電気抵抗の測定を避け、ある
いは、測定点での電気抵抗データを排除することができ
る。

【００２０】このように、電気抵抗データが上記形状デ
ータに従って評価され、これゆえに高精度で良好な電気
抵抗の測定が可能となる。

【００２１】また、試料のＸ−Ｙ方向位置を共通の基盤
として形状データ、電気抵抗データの種々のデータが同
時性をもって得られ、そして形状データが電気抵抗測定
に利用されてデータの有効利用が図られる。ひいては、
資料の解析の一体化が実現される。

【００２２】なお、形状測定及び電気抵抗測定にあって
は、常に試料側を移動させるので、形状測定における試
料のＸ−Ｙ方向位置が電気抵抗の測定における試料のＸ
−Ｙ方向位置と正確に対応位置され、資料のＸ−Ｙ方向
の位置の共通化が一層確保され、良好なデータが得られ
る。

【００２３】更に、前記試料の表面を圧接して圧接点で
の電気抵抗を測定する際、形状測定により測定された資
料のＸ−Ｙ方向位置に対する試料の表面のＺ方向の高さ
位置に基づき試料をＺ方向にも移動させＺ方向の移動に
よって得られるストローク長さでもって電気抵抗計用測
定端子を往復動させてなる方法では、所定の荷重が得ら
れる所定のストローク長さに相当するＺ方向の所定の高
さ位置を予め設定しておき、そして、形状データに基づ
き、試料の表面に付着物が存在していたり試料の表面が
測定端子の往復動方向に対して傾斜していたりしてＺ方
向の高さ位置が所定の高さ位置と異なる場合に、測定端
子の圧接点においてＺ方向の高さ位置を所定の高さ位置
になるように試料をＺ方向に移動させて測定端子を往復
動させれば、測定範囲全体に渡り、測定端子のストロー
ク長さが一定となって測定端子の接触圧が一定に保持さ
れ、精度の高い測定結果が得られる。

【００２４】また、試料解析用電気抵抗測定装置によれ
ば、上記の試料分析用電気抵抗測定方法が良好に実施さ
れ、かつ、試料の解析にあたり、装置が一体化され、操
作が容易となり、製造コストも低減される。

【００２５】

【実施例】本発明に係る試料解析用電気抵抗装置の一実
施例を図１乃至図１２に基づき詳細に説明する。

【００２６】図１に示すように、基台１０上には、試料
１２を載置するテーブル１４が水平に配設されている。
テーブル１４は、水平面に沿って直交するＸ−Ｙ方向に
移動可能とされるとともに、Ｘ−Ｙ方向と直交するＺ方
向にも移動可能とされ、試料１２をＸ−Ｙ−Ｚ方向のい
ずれの方向にも移動できる試料移動手段を構成する。な
お、図１中、１１は、テーブル１４をＸ方向に移動させ
る駆動部であり、１３は、テーブル１４と共にＸ方向に
移動しそしてテーブル１４をＹ方向に移動させる駆動部
であり、また１５は、駆動部１３を載置固定する台板１
７の下面を支持してテーブル１４をＺ方向に移動させる
駆動部である。

【００２７】また、テーブル１４は、１５０ｍｍ×１５
０ｍｍ程度の移動領域１６内でＸ−Ｙ方向に移動でき、
移動領域１６は、図２に一点鎖線で十字状に臨界して示
すように田の字状に４分割され、セット区域１８、実体
観察区域２０、形状測定区域２２、電気抵抗測定区域２
４で構成されている。そしてテーブル１４は、それらセ
ット区域１８、実体観察区域２０、形状測定区域２２、
電気抵抗測定区域２４の各区域に、例えば、図２に矢印
Ａで示す半時計方向に巡って移動できるとともに、各区
域においては、数１０ｍｍ程度Ｘ−Ｙ方向に移動可能と
なっている。

【００２８】なお、図１には、試料１２として、銅ある
いは銅合金で形成されたスイッチ用の接点が示されてい
る。この接点は、幅が数ｍｍ程度の大きさで、両端が脚
状に曲げられた平板で形成されている。

【００２９】一方、基台１０上には、図１に示すよう
に、視覚手段を構成するビデオカメラ２６、高さ位置検
出手段を構成するレーザー変位計２８、電気抵抗測定用
測定端子３０が取り付けられ、ビデオカメラ２６は実体
観察区域２０に、レーザー変位計２８は形状測定区画２
２に、測定端子３０は電気抵抗測定区域２４にそれぞれ
対応して上方に位置されている。また、基台１０上に
は、ＣＲＴ３２を備えたコンピュータ３４が設けられ、
コンピュータ３４には、ビデオカメラ２６、レーザー変
位計２８、測定端子３０が接続されており、更に、テー
ブル１４の移動がコンピュータ３４を介して制御され、
それらは、キーボード３６によって操作されるようにな
っている。

【００３０】なお、ビデオカメラ２６、レーザー変位計
２８、測定端子３０の各取り付け位置は、テーブル１４
のＸ−Ｙ−Ｚ方向の原点に対して固定されている。従っ
て、例えば、テーブル１４が実体観察区域２０に位置す
る場合にテーブル１４のＸ−Ｙ−Ｚ方向位置がわかれ
ば、そのテーブル１４のＸ−Ｙ−Ｚ方向位置に基づきテ
ーブル１４を移動させて、テーブル１４のＸ−Ｙ−Ｚ方
向位置をレーザー変位計２８、測定端子３０に対応位置
させることが可能である。これは、テーブル１４に載置
された試料１２についても同様である。

【００３１】実体観察区域２０に対応するビデオカメラ
２６によれば、試料１２が拡大されてＣＲＴ３２に映し
出される。ＣＲＴ３２で試料１２を見ながら、テーブル
１４を実体観察区域２０においてＸ−Ｙ方向に適当に移
動することにより、試料１２の表面に対して測定範囲を
決めることができる。

【００３２】形状測定区域２２に対応するレーザー変位
計２８によれば、実体観察によって決められた試料１２
の測定範囲のＸ−Ｙ方向位置に基づいてテーブル１６を
実体観察区域２０においてＸ−Ｙ方向に移動することに
より（すなわち、試料１２の測定範囲のＸ−Ｙ方向位置
をレーザー変位計２８に対応位置させて）、試料１２の
測定範囲のＸ−Ｙ方向位置に対する試料１２の測定範囲
の表面のＺ方向の高さ位置が、試料１２の測定範囲の表
面と非接触の状態で測定される。これにより、試料１２
の測定範囲全体に渡って試料１２の測定範囲のＸ−Ｙ方
向位置に対する試料１２の測定範囲の表面のＺ方向の高
さ位置が３次元的な形状データとして得られて記憶さ
れ、ＣＲＴ３２に画面表示される。なお、レーザー変位
計２８には、図３に示すように、Ｚ方向に沿って、例え
ば、十ｍｍ程度の測定限界領域Ｂが有り、測定限界領域
外では、測定ができない。従って、資料１２の表面の測
定範囲が、その測定限界領域内に入るようにセットされ
る。また、レーザー変位計２８で測定される形状測定精
度は、μｍのレベルである。

【００３３】電気抵抗測定区域２４に対応位置する測定
端子３０は、図４に示すように、他の３本の端子と協働
して電気抵抗測定手段を構成する。すなわち、合計４本
の針状の端子で多点測定を行うようになっている。測定
端子３０を除く３端子のうち、２端子３８、３８は、試
料１２に電圧を印加し、１端子４２は試料１２の電気抵
抗を測定するようにしてある。測定端子３０は、テーブ
ル１４に対して昇降して、Ｚ方向に往復動し、試料１２
の表面を圧接して所定の接触圧を試料１２の表面に及ぼ
し、その圧接点（測定点）において電気抵抗が測定され
るようになっている。また、測定端子３０を除く他の３
端子３８、４２は、電気抵抗の測定の際に邪魔とならな
い資料１２の隅部に接続される。

【００３４】この測定端子３０によれば、上記形状デー
タに基づき、ないし形状測定によって測定された試料１
２の測定範囲のＸ−Ｙ位置に対する試料１２の測定範囲
の表面のＺ方向の高さ位置に基づいてテーブル１４が電
気抵抗測定区域２４においてＸ−Ｙ方向に移動する（す
なわち、試料１２の測定範囲のＸ−Ｙ方向位置を測定端
子３０に対応位置させる）のに伴い、試料１２の測定範
囲全体に渡り各測定点で接触端子３０が試料１２の測定
範囲の表面に向けて昇降する。なお、測定端子３０の昇
降は、サーボモータ等を用いて駆動される。

【００３５】ここで、測定端子３０は、その接触圧が所
定値を得るように、それに相当する所定のストローク長
さが予め設定されている。測定点において、試料１２の
表面のＺ方向の高さ位置が所定のストローク長さを得る
ことができないような場合には、すなわちＺ方向の高さ
位置が所定のストローク長さに相当する所定の高さ位置
と異なるような場合には、上記形状データに基づいて、
試料１２がＸ−Ｙ方向に移動するとともに、各測定点で
は、テーブル１４がＺ方向に移動し（すなわち、試料１
２の測定範囲のＸ−Ｙ方向位置が測定端子３０に対応位
置し、かつ測定点におけるＺ方向の高さ位置と所定の高
さ位置とが一致し）て、所定のストローク長さが得られ
るようになっている。なお、測定端子３０は、例えば、
１ｍΩ〜数１００ｍΩの範囲で電気抵抗の測定が可能で
ある。

【００３６】このように構成された試料解析用電気抵抗
測定装置では、次のようにして電気抵抗の測定が行われ
る。

【００３７】以下、図５のフローシートに従って説明す
る。ステップ１００では、セット区域１８においてテー
ブル１６に試料１２が載置される。

【００３８】ステップ１０２では、テーブル１６が、セ
ット区域１８から実体観察区域２０に送られる。

【００３９】ステップ１０４では、試料１２をＣＲＴ３
２で見ながら、ビデオカメラ２６の拡大率、焦点を調整
し、例えば、数１０倍程度に拡大することが行われる。

【００４０】ステップ１０６では、実体観察区域２０に
おいて、テーブル１４をＸ−Ｙ方向に移動して、試料１
２の位置合わせが行なわれる。

【００４１】ステップ１０８では、試料１２の位置合わ
せが適正であるか否かが判断され、適正である場合に
は、次のステップ１１０が実行され、試料１２の位置合
わせが適正でない場合には、ステップ１０６に戻って試
料１２の位置合わせが再度行われる。例えば、ＣＲＴ３
２で、図６に示す位置から図７に示す位置に試料１２を
移動して試料１２の表面に測定範囲が決められる。な
お、ここでは、試料１２の表面の全体が測定範囲となっ
ている。

【００４２】ステップ１１０では、実体観察像が取り込
まれ、測定範囲のＸ−Ｙ方向位置が記憶される。

【００４３】このステップ１１０で実体観察が終了す
る。次に、形状測定が行われる。

【００４４】まず、ステップ１１２では、形状測定条件
が決められる。すなわち、レーザー変位計２８で測定し
ようとする測定ライン５０のピッチが決められ、また、
測定ライン５０の長さ、及び数も決められる。

【００４５】ステップ１１４では、図８に示すように、
測定ライン５０が試料１２と共にＣＲＴ３２に画面表示
される。

【００４６】ステップ１１６では、画面表示された測定
ライン５０が適正であるか否かが判断され、適正であれ
ば、次のステップ１１８が実行され、不適正であれば、
ステップ１１２に戻って形状測定条件が再度決められ
る。

【００４７】ステップ１１８では、形状測定が実施され
る。すなわち、テーブル１６を実体観察区域２０から形
状測定区域２２に送り、測定ライン５０をレーザー変位
計２８に対応位置させるようにテーブル１４をＸ−Ｙ方
向に移動することにより、測定ライン５０に沿って、試
料１２の測定範囲の表面のＺ方向の高さ位置が測定され
る。

【００４８】ステップ１２０では、測定ライン５０に沿
って測定されたＺ方向の高さ位置より、測定ライン５０
の長さが適正であるか否かが判断され、適正である場合
には、ステップ１２２が実行され、測定ラインが、例え
ば、試料１２の外方に延び、測定範囲から逸脱している
ような不適正な場合には、ステップ１２４が実行された
後、ステップ１２２が実行される。

【００４９】ステップ１２４では、測定ライン５０が測
定範囲から逸脱している場合、図９に示すように逸脱部
分の除かれた測定ライン５２がＣＲＴ３２に画面表示さ
れ、その測定ライン５２に沿って測定範囲が３次元的な
形状データとして記憶される。

【００５０】以上で形状測定が終了し、以下、電気抵抗
測定が行われる。ステップ１２２では、データ処理が行
われる。すなわち、上記形状測定で得られた形状データ
から、測定点が、試料１２の表面の外形縁を避け、ある
いは、付着物との境界を避け、更には、付着物自体に存
在する段差部位を避け、すなわち試料の表面に急激な形
状変化があるような場合にその急激な形状変化がある部
位を避けるように、測定ライン５２に沿って電気抵抗を
測定する各測定点５４の位置が決められる。例えば、急
激な形状変化のある部位Ｃ（図１３で説明すれば）から
所定の距離だけ避けて測定点が決められる。決められた
測定点５４は、図１０に示すように、ＣＲＴ３２に画面
表示される。

【００５１】ステップ１２６では、まず、電気抵抗測定
が実施される。すなわち、テーブル１４を電気抵抗測定
区域２４に送り、各測定点５４を測定端子３０に対応位
置させるようにテーブル１４をＸ−Ｙ方向に移動する。
そして、各測定点５４では、試料１２の測定範囲の表面
の高さ位置に基づいて試料１２がＺ方向に移動して得ら
れる所定のストローク長さでもって、測定端子３０が試
料１２の表面に向けて昇降し、試料１２の表面を圧接す
る。

【００５２】このようにして各測定点で電気抵抗が測定
され、試料１２の測定範囲の全体に渡って電気抵抗デー
タが得られて記憶され、ＣＲＴ３２には、図１１に示す
ように、電気抵抗データが等高線５６となって処理され
て表示される。

【００５３】以上で、電気抵抗測定が終了する。最後
に、ステップ１２８では、実体観察により決められた試
料１２の測定範囲（試料１２の表面の全体）、形状測定
において決められた測定ライン５０、電気抵抗測定によ
り得られた等高線５６が、総合結果として、図１１に示
すように、４分割されたＣＲＴ３２の各分割画面のう
ち、３つの分割画面にそれぞれ同時に表示される。

【００５４】上記の電気抵抗の測定にあっては、各測定
点５４で、試料１２のＺ方向の移動によって測定端子３
０が所定のストローク長さを得ることにより、試料１２
の表面に付着物が存在していたり試料１２の表面が測定
端子３０の降下方向に対して傾斜していたりして形状デ
ータから得られるＺ方向の高さ位置が所定の高さ位置と
異なる場合にも、試料１２の測定範囲全体に渡り、測定
端子３０の接触圧が一定に保持され、精度の高い測定結
果が得られる。

【００５５】なお、試料１２の表面で急激な形状変化が
あるような場合にその急激な形状変化のある部位では、
測定端子３０を往復動させず、そこでの電気抵抗の測定
を避けるようにする他に、一様その部位でも測定を行
い、測定範囲全体に渡って得られた電気抵抗データか
ら、急激な形状変化のある部位に位置する測定点での電
気抵抗データを後で排除することもできる。

【００５６】また、測定点において、試料１２の表面に
付着物が存在していたり試料１２の表面が測定端子３０
の降下方向に対して傾斜していたりして形状データから
得られるＺ方向の高さ位置が所定の高さ位置と異なる場
合にも、同様に、その測定点での電気抵抗の測定を避
け、あるいは、その測定点での電気抵抗データを後で排
除することができる。この場合には、試料１２はＺ方向
の移動を行なわなくてもよい。

【００５７】このように、電気抵抗データは上記形状デ
ータに従って評価され、これゆえに高精度で良好な電気
抵抗の測定が可能となる。

【００５８】また、試料１２のＸ−Ｙ方向位置を共通の
基盤として実体観察が行われ、形状データ、電気抵抗デ
ータの種々のデータが同時性をもって得られ、そして形
状データが電気抵抗測定に利用されてデータの有効利用
が図られる。ひいては、資料の解析の一体化が実現され
る。

【００５９】なお、実体観察、形状測定、電気抵抗測定
においては、常にテーブル１４を移動させ、ビデオカメ
ラ２６、レーザー変位計２８及び測定端子３０を固定し
ているので、実体観察により決められた測定範囲のＸ−
Ｙ方向位置をレーザー変位計２８及び測定端子３０にも
正確に対応位置させることができ、試料１２の測定範囲
のＸ−Ｙ方向の位置の共通化が一層確保され、良好なデ
ータが得られる。また、装置が一体化され、操作が容易
となり、製造コストも低減される。

【００６０】更に、実体観察、形状測定、電気抵抗測定
の後、再度、実体観察、形状測定を行えば、測定端子３
０の接触圧とダメージ（痕跡）とにより、試料１２の表
面の硬さの情報が得られる。また、実体観察、形状測
定、電気抵抗測定に加えて、赤外面分析を組み合わせる
ことも可能である。この場合には、例えば、セット区域
１８を、赤外面分析区域とし、それによって得られる赤
外面分析の結果は、図１２で、残部の分割画面に表示す
ることが可能である。

【００６１】以上、実施例について本発明を説明した
が、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、
種々の変更が可能である。例えば、上記実施例では、試
料１２として、スイッチの接点を挙げているが、半導体
等のものや、その他、電気抵抗を測定するものであれば
適用可能である。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１又は３記
載の本発明に係る試料解析用電気抵抗測定方法及びその
測定装置によれば、電気抵抗の測定が高い精度で良好に
行われるとともに、電気抵抗の測定に当たり、共通の基
盤に基づき種々のデータが同時性をもって得られ、そし
て得られるデータの有効利用を図ることができ、ひいて
は試料の解析の一体化が実現される。

【００６３】また、請求項２又は４記載の本発明に係る
試料解析用電気抵抗測定方法及びその測定装置によれ
ば、上記効果に加えて、電気抵抗測定用測定端子の接触
圧が測定範囲全体に渡って一定に保持されて電気抵抗の
測定精度が高められる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る試料解析用電気抵抗測定装置の一
実施例を示す斜視図である。

【図２】図１の試料解析用電気抵抗測定装置のテーブル
の移動領域を示す平面図である。

【図３】図１の試料解析用電気抵抗測定装置のレーザー
変位計の測定領域限界を示す正面図である。

【図４】図１の試料解析用電気抵抗測定装置の電気抵抗
測定用測定端子による測定状態を示す斜視図である。

【図５】図１の試料解析用電気抵抗測定装置による電気
抵抗の測定を示すフローチャートである。

【図６】測定範囲がまだ決められていない試料がＣＲＴ
に画面表示された状態を示す図である。

【図７】測定範囲が決められた試料がＣＲＴに画面表示
された状態を示す図である。

【図８】測定ラインがＣＲＴに画面表示された状態を示
す図である。

【図９】形状データの得られた測定ラインがＣＲＴに画
面表示された状態を示す図である。

【図１０】測定点がＣＲＴに画面表示された状態を示す
図である。

【図１１】電気抵抗データが等高線でＣＲＴに画面表示
された状態を示す図である。

【図１２】総合結果がＣＲＴに画面表示された状態を示
す図である。

【図１３】試料における急激な形状変化を示す正面図で
ある。

【符号の説明】 １２ 試料 １４ テーブル（試料移動手段） ２８ レーザー変位計（高さ位置検出手段） ３０ 電気抵抗計用測定端子

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料の表面に沿って直交するＸ−Ｙ方向
   に試料を移動させながら試料のＸ−Ｙ方向位置に対する
   試料の表面のＸ−Ｙ方向と直交するＺ方向の高さ位置を
   非接触で測定する形状測定を行い、該形状測定により測
   定された資料のＸ−Ｙ方向位置に対する試料の表面のＺ
   方向の高さ位置に基づき試料をＸ−Ｙ方向に移動させな
   がら電気抵抗測定用測定端子を試料の表面に向けて往復
   動させて試料の表面を圧接して圧接点での電気抵抗を測
   定する試料解析用電気抵抗測定方法。
2. 【請求項２】 前記試料の表面を圧接して圧接点での電
   気抵抗を測定する際、形状測定により測定された資料の
   Ｘ−Ｙ方向位置に対する試料の表面のＺ方向の高さ位置
   に基づき試料をＺ方向にも移動させＺ方向の移動によっ
   て得られるストローク長さでもって電気抵抗測定用測定
   端子を往復動させてなる請求項１記載の試料解析用電気
   抵抗測定方法。
3. 【請求項３】 試料の表面に沿って直交するＸ−Ｙ方向
   に試料を移動可能とする試料移動手段と、試料のＸ−Ｙ
   方向の移動に伴い試料のＸ−Ｙ方向位置に対する試料の
   表面のＸ−Ｙ方向と直交するＺ方向の高さ位置を非接触
   で測定して形状測定を行う高さ位置検出手段と、該高さ
   位置検出手段により測定される資料のＸ−Ｙ方向位置に
   対する試料の表面のＺ方向の高さ位置に基づき試料のＸ
   −Ｙ方向の移動に伴い測定端子が試料の表面に向けて往
   復動して試料の表面を圧接して圧接点における電気抵抗
   の測定を行う電気抵抗測定手段と、を備えたことを特徴
   とする試料解析用電気抵抗測定装置。
4. 【請求項４】 前記試料移動手段は、Ｚ方向にも試料を
   移動可能とされ、前記電気抵抗測定手段は、高さ位置検
   出手段により測定される試料のＸ−Ｙ方向位置に対する
   資料の表面のＺ方向の高さ位置に基づき試料がＺ方向に
   も移動するのに伴いＺ方向の移動によって得られるスト
   ローク長さでもって測定端子が往復動されてなる請求項
   ３記載の試料解析用電気抵抗測定装置。