JPH0521885A - Gas laser tube device - Google Patents
Gas laser tube deviceInfo
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- JPH0521885A JPH0521885A JP17376391A JP17376391A JPH0521885A JP H0521885 A JPH0521885 A JP H0521885A JP 17376391 A JP17376391 A JP 17376391A JP 17376391 A JP17376391 A JP 17376391A JP H0521885 A JPH0521885 A JP H0521885A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ガス・レーザ管装置
に係わり、とくにそのミラー傾き調整機構を備える装置
の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas laser tube device, and more particularly to an improvement of a device having a mirror tilt adjusting mechanism.
【0002】[0002]
【従来の技術】ガス・レーザ管装置は、一般的に図4に
示すような構成である。すなわち、ガス・レーザ管11は
支持枠12に固定され、放電路の両側に高反射ミラー13お
よび出力ミラー14が、各々ミラー固定板15,16 に固定さ
れている。そして、図示しない電源から付勢電力が供給
されるようになっている。動作において、付勢電力によ
ってレーザ媒質は励起され、光共振器を構成する高反射
ミラーと出力ミラーとで光を増幅する。光の一部は、出
力ミラーを通りレーザ光として取り出される。2. Description of the Related Art A gas laser tube apparatus is generally constructed as shown in FIG. That is, the gas laser tube 11 is fixed to the support frame 12, and the high reflection mirror 13 and the output mirror 14 are fixed to the mirror fixing plates 15 and 16 on both sides of the discharge path. The energizing power is supplied from a power source (not shown). In operation, the laser medium is excited by the energizing power, and the light is amplified by the high-reflection mirror and the output mirror that form the optical resonator. Part of the light passes through the output mirror and is extracted as laser light.
【0003】近来、レーザ光出力レベルの安定化、ある
いはレーザビームの放射方向の変動を抑制するため、出
力レーザ光の一部をビームスプリッタにより分岐する構
成のものが実用になっている。そのような装置において
は、分岐されたレーザ光は受光素子で光電変換され、対
応する出力電気信号が電源制御回路に伝送される。この
制御回路において放電電流の制御を行い、レーザ出力レ
ベルを一定に保つようになっている。Recently, in order to stabilize the output level of laser light or suppress fluctuations in the emission direction of the laser beam, a structure in which a part of the output laser light is split by a beam splitter has been put into practical use. In such an apparatus, the branched laser light is photoelectrically converted by the light receiving element, and the corresponding output electric signal is transmitted to the power supply control circuit. This control circuit controls the discharge current to keep the laser output level constant.
【0004】また、同図に点線15a で示すように、レー
ザ管から発生する熱等のために支持枠やミラー固定板が
変形して、各ミラーの傾きが変化してレーザ光出力レベ
ルの低下やレーザビーム放射方向の変動が生じる場合が
ある。このミラーの傾きを自動修正するため、少なくと
も一方のミラー固定板にミラー傾き調整用パルスモータ
を設け、ビームスプリッタにより分岐したレーザ光に対
応する出力電気信号でパルスモータを駆動制御して両ミ
ラーの平行度を制御するように構成した装置も知られて
いる。Further, as indicated by a dotted line 15a in the figure, the support frame and the mirror fixing plate are deformed by heat generated from the laser tube, and the inclination of each mirror is changed to lower the laser light output level. Or the laser beam emission direction may fluctuate. In order to automatically correct the tilt of the mirror, a mirror tilt adjusting pulse motor is provided on at least one of the mirror fixing plates, and the pulse motor is driven and controlled by the output electric signal corresponding to the laser beam branched by the beam splitter to control both mirrors. Devices that are configured to control the parallelism are also known.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、レーザ管の
放電電流を一定に保った状態で、光共振器を構成する一
対のミラーの光学的平行度に対するレーザ光出力レベル
の変化は、図5に示すような関係になる。すなわち、両
ミラーが完全に光学的に平行な位置0から、ミラーの平
行度が劣化すると、レーザ光出力レベルは急激に低下す
る特質がある。したがって、ミラーの平行度が僅かでも
変化するとレーザ光出力レベルが大きく変化するので、
ミラー傾き調整機構の追随が困難になり易い。そのた
め、レーザ光出力レベルやレーザビームの放射方向の変
動が十分抑制できない不都合がある。あるいはまた、付
勢電力の変動によるレーザ光出力レベルの変動と、ミラ
ーの平行度の変動による出力レベルの変動とを区別して
帰還制御することが困難になってしまう。この発明は、
以上のような不都合を解消してレーザ光出力レベルを安
定化できるガス・レーザ管装置を提供することを目的と
する。By the way, the change of the laser light output level with respect to the optical parallelism of the pair of mirrors forming the optical resonator is shown in FIG. 5 while the discharge current of the laser tube is kept constant. The relationship is as shown. That is, when the parallelism of the mirrors is deteriorated from the position 0 where both mirrors are completely optically parallel, the laser light output level is sharply lowered. Therefore, even if the parallelism of the mirror changes even slightly, the laser light output level changes greatly.
It is easy to follow the mirror tilt adjusting mechanism. Therefore, there is an inconvenience that variations in the laser light output level and the laser beam emission direction cannot be sufficiently suppressed. Alternatively, it becomes difficult to perform feedback control by discriminating between the fluctuation of the laser light output level due to the fluctuation of the biasing power and the fluctuation of the output level due to the fluctuation of the parallelism of the mirror. This invention
It is an object of the present invention to provide a gas laser tube device capable of stabilizing the laser light output level by eliminating the above inconvenience.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明は、レーザ光出
力を検出するとともにレーザ管の放電電流を検出し、こ
の放電電流に対応する信号をミラー傾き調整機構に伝
え、ミラーの傾きを僅かに変化させてもレーザ光出力が
あまり急激には変化せずレーザ管放電電流が最小となる
ようにミラーの傾きが自動調整されるように構成されて
なるガス・レーザ管装置である。According to the present invention, a laser light output is detected and a discharge current of a laser tube is detected, and a signal corresponding to the discharge current is transmitted to a mirror tilt adjusting mechanism to slightly tilt the mirror. It is a gas laser tube apparatus configured such that the tilt of the mirror is automatically adjusted so that the laser beam output does not change very rapidly even if it is changed and the laser tube discharge current is minimized.
【0007】[0007]
【作用】この発明によれば、ミラーの傾きがわずかに変
化してもレーザ光出力の変化が少なく、したがってミラ
ーの光学的平行度を最適状態に容易に追随制御でき、レ
ーザ光出力レベルを安定に維持することができる。According to the present invention, the laser light output changes little even if the tilt of the mirror slightly changes. Therefore, the optical parallelism of the mirror can be easily controlled to follow the optimum state, and the laser light output level can be stabilized. Can be maintained at.
【0008】[0008]
【実施例】以下、図面を参照してその実施例を説明す
る。なお、同一部分は同一符号であらわす。Embodiments will be described below with reference to the drawings. The same parts are denoted by the same reference numerals.
【0009】図1に示すガス・レーザ管装置は、次の構
成を有する。レーザ・ヘッド部17には、レーザ管11が収
容され、そのガス放電路を挟んで一方に高反射ミラー1
3、他方に出力ミラー14が配置されている。高反射ミラ
ー13は、パルスモータのようなミラー傾き調整機構21,2
2 により水平方向および垂直方向の傾きが調整されるよ
うになっている。また、レーザ管11の陽極にトリガ回路
部23が接続されている。出力レーザ光路上に、ビームス
プリッタ24が配置され、分岐光路上に光電変換素子25が
設置されている。電源部18では、商用電源26が整流回路
部27およびヒータ・トランス28に接続され、その出力が
レーザ管11の陰極に接続されている。整流回路部27の出
力は、電源安定化回路部29に供給され、さらに電源制御
回路部30に供給されている。この電源制御回路部30の出
力は、レーザ・ヘッド部17のトリガ回路部23、およびミ
ラー傾き制御部19のA−Dコンバータ31に供給されてい
る。光電変換素子25の出力信号は、比較回路部32に供給
され、その出力が電源制御回路部30に供給されるように
なっている。A−Dコンバータ31の出力は、中央制御部
33を経てミラー傾き制御機構を駆動する駆動制御部34に
供給されるようになっている。The gas laser tube device shown in FIG. 1 has the following configuration. A laser tube 11 is housed in the laser head portion 17, and a high reflection mirror 1 is provided on one side across the gas discharge path.
3, the output mirror 14 is arranged on the other side. The high-reflecting mirror 13 is a mirror tilt adjusting mechanism 21, 2 such as a pulse motor.
2 adjusts the tilt in the horizontal and vertical directions. Further, the trigger circuit section 23 is connected to the anode of the laser tube 11. A beam splitter 24 is arranged on the output laser optical path, and a photoelectric conversion element 25 is installed on the branch optical path. In the power supply unit 18, the commercial power supply 26 is connected to the rectifier circuit unit 27 and the heater transformer 28, and the output thereof is connected to the cathode of the laser tube 11. The output of the rectification circuit unit 27 is supplied to the power supply stabilization circuit unit 29 and further supplied to the power supply control circuit unit 30. The output of the power supply control circuit section 30 is supplied to the trigger circuit section 23 of the laser head section 17 and the AD converter 31 of the mirror tilt control section 19. The output signal of the photoelectric conversion element 25 is supplied to the comparison circuit section 32, and its output is supplied to the power supply control circuit section 30. The output of the A / D converter 31 is the central control unit.
It is adapted to be supplied to the drive control unit 34 which drives the mirror tilt control mechanism via 33.
【0010】さて、動作において、出力レーザ光の一部
がビームスプリッタ24で分岐され、光電変換素子25によ
って光電変換され、その出力電気信号が比較回路部32に
供給されて基準値信号と比較演算される。そしてその出
力信号が電源制御回路部30に伝えられる。この電源制御
回路部30では、レーザ光出力を安定に保つように放電電
流が制御されている。そこで、この電源制御回路部30で
は同時に放電電流がモニタされ、そのアナログ信号がミ
ラー傾き制御部19のA−Dコンバータ31に供給される。
そしてA−Dコンバータ31でディジタル信号に変換され
て中央制御部33に伝えられる。中央制御部33で基準値と
比較、演算処理され、その出力電気信号が駆動制御部34
に伝えられる。この駆動制御部34は、ミラー傾き調整機
構21,22を駆動する。これによりミラーの傾きが制御さ
れ、光共振器の光学的平行度が調整される。In operation, a part of the output laser light is split by the beam splitter 24, photoelectrically converted by the photoelectric conversion element 25, and the output electric signal is supplied to the comparison circuit section 32 for comparison calculation with the reference value signal. To be done. Then, the output signal is transmitted to the power supply control circuit unit 30. In the power supply control circuit unit 30, the discharge current is controlled so that the laser light output is kept stable. Therefore, the power supply control circuit section 30 simultaneously monitors the discharge current and supplies the analog signal to the A-D converter 31 of the mirror tilt control section 19.
Then, it is converted into a digital signal by the A / D converter 31 and transmitted to the central control unit 33. The central control unit 33 compares the calculated value with a reference value and performs an arithmetic process.
Be transmitted to. The drive control unit 34 drives the mirror tilt adjusting mechanisms 21 and 22. This controls the tilt of the mirror and adjusts the optical parallelism of the optical resonator.
【0011】中央制御部33では、レーザ管の放電電流が
最低となるミラーの傾き位置を探し出すように駆動制御
部34に制御信号を供給する。その理由は、図2に示すよ
うに、電源制御回路部30でレーザ光出力が一定となるよ
うに放電電流が制御されているため、両ミラーに傾きが
ない位置0で放電電流が最小となり、ミラーの傾きがあ
る程度の範囲Aではレーザ光出力レベルがほぼ一定とな
る特質を有するからである。したがって、ミラーの平行
度を放電電流が最低となる位置に一旦設定すれば、わず
かなミラーの傾きが生じてもレーザ光出力レベルは無視
できる程度に抑制することができる。このように、レー
ザ光出力がほぼ一定となるように放電電流が制御されて
いるため、ミラーの傾きの変化に対するレーザ光出力の
変動が鋭敏過ぎることがないため、ミラー傾き調整の追
随はより確実、容易である。The central control unit 33 supplies a control signal to the drive control unit 34 so as to find the tilt position of the mirror at which the discharge current of the laser tube becomes the minimum. The reason is that, as shown in FIG. 2, since the discharge current is controlled by the power supply control circuit unit 30 so that the laser light output becomes constant, the discharge current becomes minimum at the position 0 where there is no tilt between the two mirrors. This is because the laser light output level is substantially constant in the range A where the mirror tilt is to some extent. Therefore, once the parallelism of the mirror is set to the position where the discharge current is the minimum, the laser light output level can be suppressed to a negligible level even if a slight mirror tilt occurs. As described above, since the discharge current is controlled so that the laser light output is almost constant, the fluctuation of the laser light output with respect to the change of the tilt of the mirror does not become too sensitive. Is easy.
【0012】図3に示す実施例は、光電変換素子25によ
って光電変換された出力電気信号を電源部の比較回路部
32に供給するとともに、同時にミラー傾き制御部19のA
−Dコンバータ31を経て中央制御部33に供給するように
構成したものである。それによって、中央制御部33で放
電電流の大小の比較およびレーザ光出力レベルの大小の
比較をともに行ってミラーの傾きを制御するようになっ
ている。In the embodiment shown in FIG. 3, the output electric signal photoelectrically converted by the photoelectric conversion element 25 is used as a comparison circuit section of the power source section.
32 to the mirror tilt controller 19 at the same time
The configuration is such that it is supplied to the central control unit 33 via the -D converter 31. Thereby, the central controller 33 controls both the magnitude of the discharge current and the magnitude of the laser light output level to control the tilt of the mirror.
【0013】こうして、レーザ光出力を検出するととも
にレーザ管の放電電流を検出し、この放電電流に対応す
る信号をミラー傾き調整機構に伝え、ミラーの傾きを変
化させてもレーザ光出力がほぼ一定となる範囲でレーザ
管放電電流が最小となるようにミラーの傾きが自動調整
されるように構成されている。Thus, the laser light output is detected, the discharge current of the laser tube is detected, and a signal corresponding to this discharge current is transmitted to the mirror tilt adjusting mechanism so that the laser light output is substantially constant even if the tilt of the mirror is changed. The tilt of the mirror is automatically adjusted so that the discharge current of the laser tube is minimized in the range.
【0014】[0014]
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
ミラーの傾きがわずか変化してもレーザ光出力の変化が
少なく、したがってミラーの光学的平行度を最適状態に
容易に追随制御でき、レーザ光出力レベルを安定に維持
することができる。As described above, according to the present invention,
Even if the tilt of the mirror slightly changes, the change of the laser light output is small. Therefore, the optical parallelism of the mirror can be easily controlled to the optimum state, and the laser light output level can be stably maintained.
【図1】この発明の実施例を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
【図2】その動作特性図。FIG. 2 is a characteristic diagram of its operation.
【図3】この発明の他の実施例を示すブロック図。FIG. 3 is a block diagram showing another embodiment of the present invention.
【図4】一般的な装置を示す側面図。FIG. 4 is a side view showing a general device.
【図5】そのミラーの傾きとレーザ出力との関係を示す
動作特性図。FIG. 5 is an operation characteristic diagram showing the relationship between the tilt of the mirror and the laser output.
11…ガス・レーザ管、13…高反射ミラー、14…出力ミラ
ー、17…レーザ・ヘッド部、18…電源部、19…ミラー傾
き制御部、21,22 …ミラー傾き制御機構、25…光電変換
素子。11 ... Gas / laser tube, 13 ... High-reflecting mirror, 14 ... Output mirror, 17 ... Laser head section, 18 ... Power supply section, 19 ... Mirror tilt control section, 21, 22 ... Mirror tilt control mechanism, 25 ... Photoelectric conversion element.
Claims (1)
配置された高反射ミラー及び他方に配置された出力側ミ
ラー、これらミラーのうち少なくとも一方のミラーの傾
きを調整するミラー傾き調整機構、前記レーザ管に付勢
電力を供給する電源装置を備え、上記ガス・レーザ管の
レーザ光出力を検出してミラー傾き調整機構を制御する
構成のガス・レーザ管装置において、 上記レーザ光出力を検出するとともにレーザ管の放電電
流を検出し、該放電電流に対応する信号を上記ミラー傾
き調整機構に伝え、ミラーの傾きを変化させても前記レ
ーザ光出力がほぼ一定となる範囲で前記レーザ管放電電
流が最小となるようにミラーの傾きが自動調整されるよ
うに構成されてなることを特徴とするガス・レーザ管装
置。Claim: What is claimed is: 1. A high reflection mirror arranged on one side of the discharge path of the gas laser tube and an output side mirror arranged on the other side, and at least one of these mirrors is tilted. A gas / laser tube device having a structure for adjusting a mirror tilt adjusting mechanism and a power supply device for supplying energizing power to the laser tube, and controlling the mirror tilt adjusting mechanism by detecting a laser light output of the gas laser tube. The laser light output is detected and the discharge current of the laser tube is detected, and a signal corresponding to the discharge current is transmitted to the mirror tilt adjusting mechanism so that the laser light output is substantially constant even if the mirror tilt is changed. A gas laser tube apparatus, wherein the tilt of the mirror is automatically adjusted so that the laser tube discharge current is minimized within the range.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17376391A JPH0521885A (en) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | Gas laser tube device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17376391A JPH0521885A (en) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | Gas laser tube device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0521885A true JPH0521885A (en) | 1993-01-29 |
Family
ID=15966697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17376391A Pending JPH0521885A (en) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | Gas laser tube device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0521885A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6377601B1 (en) | 1999-02-04 | 2002-04-23 | Nec Corporation | Ion laser apparatus and mirror angle adjusting method therefor |
-
1991
- 1991-07-15 JP JP17376391A patent/JPH0521885A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6377601B1 (en) | 1999-02-04 | 2002-04-23 | Nec Corporation | Ion laser apparatus and mirror angle adjusting method therefor |
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