JPH0521513A - Film carrier semiconductor device - Google Patents

Film carrier semiconductor device

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JPH0521513A
JPH0521513A JP17078591A JP17078591A JPH0521513A JP H0521513 A JPH0521513 A JP H0521513A JP 17078591 A JP17078591 A JP 17078591A JP 17078591 A JP17078591 A JP 17078591A JP H0521513 A JPH0521513 A JP H0521513A
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Abstract

PURPOSE:To reduce the fluctuation of the length and bent position of leads by providing positioning holes through a film carrier tape as semiconductor chip positioning references. CONSTITUTION:After inner leads of semiconductor chips 2 are bonded to a film carrier tape 1, positioning holes 14 are formed through the tape 1. When the holes 14 are formed, a camera 15 for recognition finds the central positions of the chips 2 and an X-Y table 17 moves a metallic mold 16 to a prescribed position on the basis of the data about the central positions of the chips 2. The central positions of the chips 2 can be easily found by catching the silhouette images of the chips 2 formed by irradiating the chips 2 with light from the bottom of the tape 1 with the camera 15. Thereafter, outer leads of the chips 2 are cut or bent by using the holes 14 as positional references when the outer leads are bonded to a mounting substrate.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フィルムキャリア半導
体装置に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a film carrier semiconductor device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のフィルムキャリア半導体装置の構
造について、その製造方法と関連ずけて説明する。図4
は、従来のフィルムキャリア半導体装置の外観を示す平
面図である。図4を参照すると、このフィルムキャリア
半導体装置は以下のようにして作られる。
2. Description of the Related Art The structure of a conventional film carrier semiconductor device will be described in connection with its manufacturing method. Figure 4
FIG. 6 is a plan view showing the appearance of a conventional film carrier semiconductor device. Referring to FIG. 4, this film carrier semiconductor device is manufactured as follows.

【0003】先ず、フィルムキャリアテープ1と半導体
チップ2とを準備する。フィルムキャリアテープ1に
は、2つの開口(スプロケットホール3およびデバイス
ホール4)とリード5が設けられている。リード5は、
一方の端がデバイスホール4に飛び出し、もう一方の端
には電気選別パッド6が設けられている。このリード5
は、フィルムキャリアテープ1のベースとなる絶縁フィ
ルム上に、例えば、銅などの金属箔を積載し、この金属
箔をエッチングなどにより所定の形状にパターン化して
得たものである。スプロケットホール3はフィルムキャ
リアテープ1を搬送するためのものであり、更に、後の
工程でリード5を所定の長さに切断し折り曲げ加工する
際の位置決めにも用いられる。デバイスホール4は、半
導体チップ2を収納するための開口である。
First, the film carrier tape 1 and the semiconductor chip 2 are prepared. The film carrier tape 1 has two openings (sprocket hole 3 and device hole 4) and leads 5. Lead 5
One end protrudes into the device hole 4, and the other end is provided with an electric selection pad 6. This lead 5
Is obtained by laminating a metal foil such as copper on an insulating film serving as a base of the film carrier tape 1, and patterning the metal foil into a predetermined shape by etching or the like. The sprocket hole 3 is for carrying the film carrier tape 1, and is also used for positioning when the lead 5 is cut into a predetermined length and bent in a later step. The device hole 4 is an opening for housing the semiconductor chip 2.

【0004】次に、リード5のデバイスホール4に飛び
出した部分と、半導体チップ2の電極(図示せず)に設
けられているバンプ(図示せず)とを位置合わせして、
熱圧着法あるいは共晶法などによりインナーリードボン
ディングする。
Then, the portion of the lead 5 protruding into the device hole 4 and the bump (not shown) provided on the electrode (not shown) of the semiconductor chip 2 are aligned with each other,
Inner lead bonding is performed by a thermocompression bonding method or a eutectic method.

【0005】その後、フィルムキャリアテープの状態
で、電気選別パッド6に接触子(図示せず)をあてて電
気選別やバイアス試験を行ない良品を選別してフィルム
キャリア半導体装置を完成する。
Then, in the state of the film carrier tape, a contactor (not shown) is applied to the electric selection pad 6 to perform electric selection and bias test to select non-defective products and complete the film carrier semiconductor device.

【0006】次に、上述のようなフィルムキャリア半導
体装置を実装基板に実装する方法について説明する。フ
ィルムキャリア半導体装置を実装する場合には、大略下
記の2段階のステップによって実装する。リード5を
切断し、半導体チップ2をフィルムキャリアテープ1か
ら切り離し てリード5の折り曲げを行なう。
Next, a method for mounting the above film carrier semiconductor device on a mounting substrate will be described. When a film carrier semiconductor device is mounted, it is generally mounted in the following two steps. The lead 5 is cut, the semiconductor chip 2 is separated from the film carrier tape 1, and the lead 5 is bent.

【0007】図5は、このリード5の切断・折り曲げ方
法を説明するための図である。先ず、フィルムキャリア
テープ1のスプロケットホール3に位置決め用ピン7を
挿入して位置の基準とする。そして、リード切断・曲げ
上刃8とリード切断下刃9とでリード5を所定の長さに
押し切る。この時同時に、リード曲げ下刃10によっ
て、リード5が下向きに折り曲げられる。個片にされ
たリード付き半導体チップ2を実装基板に固着し、リー
ド5をアウ ターリードボンディングする。
FIG. 5 is a diagram for explaining a method of cutting / bending the lead 5. First, the positioning pin 7 is inserted into the sprocket hole 3 of the film carrier tape 1 and used as a position reference. Then, the lead cutting / bending upper blade 8 and the lead cutting lower blade 9 push the lead 5 to a predetermined length. At the same time, the lead 5 is bent downward by the lead bending lower blade 10. The individual semiconductor chip 2 with leads is fixed to a mounting substrate, and the leads 5 are outer lead bonded.

【0008】図6はこの時の状態を示すための断面図で
ある。先ず、リード付き半導体チップ2を、プリント配
線板などの実装基板11に接着剤12などで固着する。
FIG. 6 is a sectional view showing the state at this time. First, the leaded semiconductor chip 2 is fixed to a mounting substrate 11 such as a printed wiring board with an adhesive 12 or the like.

【0009】次に、実装基板11上のボンディングパッ
ド13とリード5とをアウターリードボンディングす
る。
Next, the bonding pad 13 on the mounting substrate 11 and the lead 5 are outer lead bonded.

【0010】以上説明したフイルムキャリア半導体装置
は、リード5の数には関係なく一度でボンディングする
ことができるので、実装スピードが速い、又、フィルム
キャリアテープを使用しているため、作業を自動化する
ことが容易であるなどの利点を持っている。
Since the film carrier semiconductor device described above can be bonded at one time regardless of the number of leads 5, the mounting speed is fast, and since the film carrier tape is used, the work is automated. It has advantages such as being easy.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のフィル
ムキャリア半導体装置には、実装の際に、実装基板11
のボンディングパッド13の位置と、リード付き半導体
チップ2のリード5の位置とが必らずしも良く一致せ
ず、そのため接続の信頼性が損なわれることがあるとい
う欠点がある。以下にその説明を行なう。
The above-mentioned conventional film carrier semiconductor device is mounted on the mounting substrate 11 at the time of mounting.
The position of the bonding pad 13 and the position of the lead 5 of the leaded semiconductor chip 2 do not always match well, which may impair the reliability of the connection. The description will be given below.

【0012】フィルムキャリア半導体装置を実装基板に
アウターリードボンディングする際には、フイルムキャ
リアテープ1のスプロケットホール3を位置決めの基準
として、リード5の切断・折り曲げが行なわれる。ここ
で、スプロケットホール3の位置と、半導体チップ2の
位置との間の位置ずれについて考えると、この位置ずれ
は、下記の2つのずれが重なったものとなっている。
スプロケットホール3の位置とリード5のパターンとの
間のずれ。
When the film carrier semiconductor device is outer lead bonded to the mounting substrate, the leads 5 are cut and bent using the sprocket holes 3 of the film carrier tape 1 as a positioning reference. Here, considering the positional deviation between the position of the sprocket hole 3 and the position of the semiconductor chip 2, this positional deviation is a combination of the following two deviations.
Misalignment between sprocket hole 3 position and lead 5 pattern.

【0013】このずれは、フィルムキャリアテープ製造
の過程で発生するものであって、約50〜100μmの
大きさである。リード5のパターンと半導体チップ2
の位置のずれ。
This deviation occurs in the process of manufacturing the film carrier tape and has a size of about 50 to 100 μm. Lead 5 pattern and semiconductor chip 2
Misalignment.

【0014】このずれは、半導体チップ2をフィルムキ
ャリアテープ1にインナーリードボンディングする時に
発生するものであって、約50μmの大きさである。
This deviation occurs when the semiconductor chip 2 is inner lead bonded to the film carrier tape 1 and has a size of about 50 μm.

【0015】すなわち、従来のフィルムキャリア半導体
装置においては、スプロケットホール3の位置と半導体
チップ2の位置との間には、最大150μm程度のずれ
があることになる。
That is, in the conventional film carrier semiconductor device, there is a maximum deviation of about 150 μm between the position of the sprocket hole 3 and the position of the semiconductor chip 2.

【0016】このため、リード切断・折り曲げ後の段階
においては、各リードの長さや曲げ位置にばらつきが生
じていることになり、例えば、リードが長すぎて、実装
基板のボンディングパッドからはみだし、はなはだしい
場合には、他のボンディングパッドとショートしてしま
うことがある。あるいは、リードが短かすぎて、ボンデ
ィングパッドとの間の接着力が十分でないというような
ことが起る。
Therefore, in the stage after the cutting and bending of the leads, the lengths and bending positions of the leads are varied. For example, the leads are too long and stick out from the bonding pad of the mounting board, and are too long. In some cases, it may short-circuit with another bonding pad. Alternatively, the lead may be too short and the adhesive force with the bonding pad may not be sufficient.

【0017】本発明は、上述のような従来のフィルムキ
ャリア半導体装置の問題点に鑑みてなされたものであっ
て、リードの長さのばらつき及び折り曲げ位置のばらつ
きが従来のものよりも少ないフィルムキャリア半導体装
置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the problems of the conventional film carrier semiconductor device as described above, and has less variation in lead length and bending position than in the conventional film carrier. It is an object to provide a semiconductor device.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明のフィルムキャリ
ア半導体装置は、少なくとも、搬送用スプロケットホー
ルと、半導体チップが入るデバイスホールと、このデバ
イスホールに一端が突出したリードとを有するフィルム
キャリアテープの、リードの突出部に半導体チップが接
続されている構造のフィルムキャリア半導体装置であっ
て、上述のフィルムキャリアテープに、半導体チップの
位置を基準として設けられた位置決め用ホールを有する
ことを特徴としている。
A film carrier semiconductor device according to the present invention is a film carrier tape having at least a carrier sprocket hole, a device hole into which a semiconductor chip is inserted, and a lead whose one end projects into the device hole. A film carrier semiconductor device having a structure in which a semiconductor chip is connected to a projecting portion of a lead, characterized in that the film carrier tape has a positioning hole provided with the position of the semiconductor chip as a reference. ..

【0019】[0019]

【実施例】次に、本発明の最適な実施例について、図面
を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施例に
よるフィルムキャリア半導体装置の平面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an optimum embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a plan view of a film carrier semiconductor device according to a first embodiment of the present invention.

【0020】図1を参照すると、本実施例が従来のフィ
ルムキャリア半導体装置と異なるのは、フィルムキャリ
アテープ1に、スプロケットホール3とは別の位置決め
用ホール14が、2つ設けられている点である。
Referring to FIG. 1, the present embodiment is different from the conventional film carrier semiconductor device in that the film carrier tape 1 is provided with two positioning holes 14 different from the sprocket holes 3. Is.

【0021】本実施例のフィルムキャリア半導体装置は
下記のようにして作られる。先ず、フィルムキャリアテ
ープ1と半導体チップ2とを準備する。この段階のフィ
ルムキャリアテープ1には、まだ位置決め用ホールは設
けられていない。従来のフィルムキャリアテープと同様
に、スプロケットホール3とデバイスホール4とリード
5とが設けられているだけである。
The film carrier semiconductor device of this embodiment is manufactured as follows. First, the film carrier tape 1 and the semiconductor chip 2 are prepared. The film carrier tape 1 at this stage has not yet been provided with positioning holes. Similar to the conventional film carrier tape, only the sprocket hole 3, the device hole 4, and the lead 5 are provided.

【0022】次に、このフィルムキャリアテープ1と半
導体チップ2とをインナーリードボンディングする。
Next, the film carrier tape 1 and the semiconductor chip 2 are subjected to inner lead bonding.

【0023】この後、フィルムキャリアテープ1に、位
置決め用ホール14を開ける。この場合、フィルムキャ
リアテープ1は、図2に示すような穴あけ用の装置にか
けられ、図中矢印で示す送り方向(この場合では左から
右)へ送られ、位置決め用ホール14が開けられて出て
くる。この穴あけ用の装置は、半導体チップ2の位置の
検出を行なうための認識用カメラ15と、位置決め用ホ
ールを開けるための金型16と、この金型16を移動す
るためのXーYテーブル17とを備えている。そして、
位置決め用ホール14を開ける時には、認識用カメラ1
5が半導体チップ2の中心位置を求め、そのデータに基
ずいて、XーYテーブル17が金型16を所定の位置に
移動させる。半導体チップ2の中心位置は、フィルムキ
ャリアテープ1の下から光を当てることによってできる
シルエット像を、認識用カメラ15で捉えることによっ
て簡単に求めることができる。
After that, the positioning hole 14 is opened in the film carrier tape 1. In this case, the film carrier tape 1 is placed on a hole punching device as shown in FIG. Come on. This drilling device includes a recognition camera 15 for detecting the position of the semiconductor chip 2, a mold 16 for opening a positioning hole, and an XY table 17 for moving the mold 16. It has and. And
When opening the positioning hole 14, the recognition camera 1
5 determines the center position of the semiconductor chip 2, and the XY table 17 moves the mold 16 to a predetermined position based on the data. The center position of the semiconductor chip 2 can be easily obtained by capturing a silhouette image formed by shining light from below the film carrier tape 1 with the recognition camera 15.

【0024】このようにして、位置決め用ホール14
を、半導体チップ2から常に一定の距離の位置に作成す
ることができる。そして、この後、半導体チップ2を実
装基板(図示せず)にアウターリードボンディングする
時、この位置決め用ホール14を位置の基準にしてリー
ド5の切断・折り曲げを行なうことにより、リード5の
長さ及び折り曲げ位置のばらつきが小さく抑えられる。
In this way, the positioning hole 14
Can be created at a position at a constant distance from the semiconductor chip 2. Then, after this, when the semiconductor chip 2 is outer lead bonded to a mounting substrate (not shown), the lead 5 is cut / bent by using the positioning hole 14 as a position reference, and thus the length of the lead 5 is increased. Also, the variation in the bending position can be suppressed to be small.

【0025】実際、従来のフィルムキャリア半導体装置
におけるように、スプロケットホールを位置決めの基準
としてリードの切断・折り曲げを行なった場合には、ス
プロケットホールと半導体チップとの位置のずれは、最
大150μm程度あるが、本実施例の場合には、50μ
m以下に抑えることができる。
In fact, when the leads are cut and bent using the sprocket hole as a positioning reference as in the conventional film carrier semiconductor device, the positional deviation between the sprocket hole and the semiconductor chip is about 150 μm at maximum. However, in the case of this embodiment, 50 μ
It can be suppressed to m or less.

【0026】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。図3は、本発明の第2の実施例のフィルムキャリ
ア半導体装置の平面図である。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is a plan view of the film carrier semiconductor device according to the second embodiment of the present invention.

【0027】図3を参照すると、本実施例が第1の実施
例と異なるのは、位置決め用ホール18である。本実施
例のフィルムキャリア半導体装置では、位置決め用ホー
ル18は、隣り合うスプロケットホール同志の間に、片
側で2個ずつ合計4個設けられている。このようにする
と、位置決め用ホール18は、第1の実施例とは違っ
て、リード5のパターンが形成されるエリアの外に設け
られているので、リード5のパターンレイアウトに対す
る制約がなくなり、実装密度が低下することがなくな
る。更に、1つの半導体チップ2に対して4個の位置決
め用ホール18が設けられているので、位置決め用ホー
ルの位置のばらつきが平均化され、且つ、実装基板への
アウターリードボンディング時のリード切断・折り曲げ
の際に、4個所で位置決めを行なうことができるので、
ボンディングの位置の精度が、第1の実施例の場合に比
べて更に向上する。
Referring to FIG. 3, the present embodiment differs from the first embodiment in the positioning hole 18. In the film carrier semiconductor device of this embodiment, a total of four positioning holes 18 are provided between adjacent sprocket holes, two on each side. In this way, unlike the first embodiment, the positioning hole 18 is provided outside the area where the pattern of the leads 5 is formed, so that there is no restriction on the pattern layout of the leads 5 and mounting is performed. The density does not decrease. Further, since four positioning holes 18 are provided for one semiconductor chip 2, the variation in the positions of the positioning holes is averaged, and lead cutting / cutting at the time of outer lead bonding to the mounting board is performed. Since it can be positioned at four points during bending,
The accuracy of the bonding position is further improved as compared with the case of the first embodiment.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、半導
体チップをフィルムキャリアテープにインナーリードボ
ンディングした後に、この半導体チップの中心位置を検
出し、このデータに基ずいて位置決め用ホールを作成し
ている。そして、この位置決め用ホールを利用してリー
ドの切断・折り曲げ行なうことにより、リードの長さ及
び折り曲げ位置のばらつきを小さくすることができる。
このことは、電子機器の小型化、高密度実装化が推し進
められているのに伴なって、半導体装置のリードおよび
実装基板のボンディングパッドが従来よりも更に細密化
している状況の下で、半導体装置と実装基板との信頼性
の高い接続を確保する上で非常に大きな効果をもたら
す。
As described above, according to the present invention, after the semiconductor chip is inner lead bonded to the film carrier tape, the center position of the semiconductor chip is detected and the positioning hole is formed based on this data. ing. Then, by cutting and bending the leads using the positioning holes, it is possible to reduce variations in the length and the bending position of the leads.
This means that with the progress of miniaturization and high-density mounting of electronic devices, the semiconductor device leads and the bonding pads of the mounting substrate are becoming finer than ever before, This is very effective in ensuring a reliable connection between the device and the mounting board.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施例において、位置決め用ホ
ールを作成する方法を説明するための斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view for explaining a method of forming a positioning hole in the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2の実施例の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the second embodiment of the present invention.

【図4】従来のフィルムキャリア半導体装置の平面図で
ある。
FIG. 4 is a plan view of a conventional film carrier semiconductor device.

【図5】従来のフィルムキャリア半導体装置において、
リード切断・折り曲げを行なう工程を説明するための断
面図である。
FIG. 5 shows a conventional film carrier semiconductor device,
It is sectional drawing for demonstrating the process of cutting and bending a lead.

【図6】従来のフィルムキャリア半導体装置において、
リード付き半導体チップが実装基板にアウターリードボ
ンディングされた状態を示す断面図である。
FIG. 6 shows a conventional film carrier semiconductor device,
It is sectional drawing which shows the state in which the semiconductor chip with a lead was outer-lead bonded to the mounting substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フィルムキャリアテープ 2 半導体チップ 3 スプロケットホール 4 デバイスホール 5 リード 6 電気選別パッド 7 位置決め用ピン 8 リード切断・曲げ上刃 9 リード切断下刃 10 リード曲げ下刃 11 実装基板 12 接着剤 13 ボンディングパッド 14,18 位置決め用ホール 15 認識用カメラ 16 金型 17 XーYテーブル 1 film carrier tape 2 semiconductor chip 3 sprocket hole 4 device hole 5 lead 6 electric selection pad 7 positioning pin 8 lead cutting / bending upper blade 9 lead cutting lower blade 10 lead bending lower blade 11 mounting substrate 12 adhesive 13 bonding pad 14 , 18 Positioning hole 15 Recognition camera 16 Mold 17 XY table

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 少なくとも、搬送用スプロケットホール
と、半導体チップが入るデバイスホールと、前記デバイ
スホールに一端が突出したリードとを有するフィルムキ
ャリアテープの、前記リードの突出部に半導体チップが
接続されてなるフィルムキャリア半導体装置において、 前記フィルムキャリアテープが、前記半導体チップの位
置を基準として設けられた位置決め用ホールを有してい
ることを特徴とするフィルムキャリア半導体装置。
Claim: What is claimed is: 1. A film carrier tape having at least a carrier sprocket hole, a device hole into which a semiconductor chip is inserted, and a lead whose one end projects into the device hole. A film carrier semiconductor device in which semiconductor chips are connected, wherein the film carrier tape has a positioning hole provided with the position of the semiconductor chip as a reference.
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