JPH0520762Y2

JPH0520762Y2 -

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Publication number: JPH0520762Y2
Application number: JP602688U
Authority: JP
Priority date: 1988-01-22
Filing date: 1988-01-22
Publication date: 1993-05-28
Anticipated expiration: 2003-01-22
Also published as: JPH01111678U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、クリーンルーム等におけるエレベー
タのガイドシユー装置に関する。[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a guide show device for an elevator in a clean room or the like.

（従来の技術）一般に、エレベータには、昇降を円滑にし、横
揺れを防止するために、第２図に示すようなガイ
ドレールＲおよびガイドシユーＳが設けられてい
る。このガイドシユーのガイドレールと接触する
部位には、緩衝材Ｕとして硬質ウレタン等が使用
されており、摩擦を軽減するために、給油器Ｔか
ら潤滑剤が塗布されている。(Prior Art) Generally, an elevator is provided with a guide rail R and a guide shoe S as shown in FIG. 2 in order to smoothly ascend and descend the elevator and prevent it from rolling. Hard urethane or the like is used as a cushioning material U at the portion of the guide shoe that comes into contact with the guide rail, and a lubricant is applied from a lubricant T to reduce friction.

（考案が解決しようとする課題）ところで、エレベータの昇降時には緩衝材Ｕと
ガイドレールＲの間の摩擦により、緩衝材が摩耗
し、この摩耗した緩衝材は微粒子となつて飛散す
る。また潤滑剤もミストとなつて飛散する。これ
らの微粒子およびミストは清浄空間を汚染するこ
とから、半導体製造工場等の高い清浄度を要求さ
れるクリーンルームには、エレベータの採用は困
難であつた。(Problems to be Solved by the Invention) By the way, when the elevator goes up and down, the cushioning material is worn out due to friction between the cushioning material U and the guide rail R, and this worn cushioning material becomes fine particles and scatters. The lubricant also scatters in the form of mist. Since these fine particles and mist contaminate clean spaces, it has been difficult to employ elevators in clean rooms that require high cleanliness, such as in semiconductor manufacturing factories.

この課題を解決する方法としては、微粒子の発
生をゼロにすればよい。そのためには、ガイドシ
ユーとガイドレールの接触をなくすか、微粒子等
を発生する部分を完全に密閉するかいずれかであ
る。 One way to solve this problem is to reduce the generation of fine particles to zero. To achieve this, it is either necessary to eliminate contact between the guide shoe and the guide rail, or to completely seal off the part that generates particulates.

前者の方法としては、例えば、磁気浮上、空気
ベアリング等があるが、ガイドレールは垂直に設
置されることから、ガイドレールとガイドシユー
とを無接触とすることは実際上困難であり、技術
的に可能であつても、製造コストがかかる問題あ
る。また後者の方法は、ガイドシユーがガイドレ
ール上を移動することから微粒子の発生個所を完
全に密閉することは困難である。 The former method includes, for example, magnetic levitation and air bearings, but since the guide rail is installed vertically, it is practically difficult to make the guide rail and the guide shoe non-contact, and even if it is technically possible, there is a problem of high manufacturing costs. Also, with the latter method, since the guide shoe moves on the guide rail, it is difficult to completely seal the area where the fine particles are generated.

本考案の目的は、簡単な構成で確実に、発生し
た微粒子をクリーンルームやエレベータシヤフト
等に飛散しないようにすることにある。 SUMMARY OF THE PRESENT EMBODIMENT An object of the present invention is to reliably prevent generated particles from scattering into clean rooms, elevator shafts, etc., with a simple structure.

（課題を解決するための手段）本考案では、ガイドシユーとガイドレールの摩
擦を原因として発生するガイドシユーの緩衝材の
微粒子等を、ガイドシユーの外側に飛散しないよ
うな手段を採用している。この手段とは、ガイド
シユー１内部の圧力を、その外側の例えばクリー
ンルームやエレベータシヤフト等の所定空間に対
して負圧に維持することにより、発生した微粒子
等の飛散を防止している。この負圧を維持するた
めに、ガイドシユー１を箱状として、箱内に排気
フアン１０を内蔵させると共に箱の壁に高性能フ
イルター１３を設けて、上記排気フアンにより空
気をフイルターを通じて箱外に排気している。(Means for Solving the Problems) In the present invention, a means is adopted to prevent particles of the cushioning material of the guide shoe, which are generated due to friction between the guide shoe and the guide rail, from scattering to the outside of the guide shoe. This means prevents the generated particles from scattering by maintaining the pressure inside the guide shoe 1 at a negative pressure relative to a predetermined space outside the guide shoe 1, such as a clean room or an elevator shaft. In order to maintain this negative pressure, the guide shoe 1 is shaped like a box, and an exhaust fan 10 is built into the box, and a high-performance filter 13 is provided on the wall of the box, and the exhaust fan exhausts air through the filter to the outside of the box. are doing.

（作用）排気フアン１０を作動させて、ガイドシユー１
の箱内の空気を箱外に排気させて、箱内を負圧に
維持させ、箱内に浮游している緩衝材３の摩耗に
より生じた微粒子等はフイルター１３通過時に除
去される。このためクリーンルーム等には微粒子
を含まない清浄な空気が排出される。(Function) Operate the exhaust fan 10 to remove the guide shoe 1.
The air inside the box is exhausted to the outside of the box to maintain a negative pressure inside the box, and particulates and the like generated by the wear of the buffer material 3 floating inside the box are removed when they pass through the filter 13. Therefore, clean air containing no particulates is discharged into a clean room or the like.

（実施例）以下本考案の実施例を第１図を参照して説明す
る。(Example) An example of the present invention will be described below with reference to FIG.

ガイドシユー１には内箱１１と外箱１２とを設
けて二重箱状としてある。内箱１１の内部の一側
（左側）には、ガイドレール２のレール部２１を
挾む位置に緩衝材３を固定し、ガイドレールとガ
イドシユーの摩擦を低減している。そして内箱１
１内部の他側には、発電機４を回転させるための
摩擦輪５が、ガイドレール２のレール部２１に接
触して配置されている。エレベータが昇降する
と、摩擦輪５が回転して、直結している発電機４
も回転し、交流電流が発生する。なお、発電機４
および摩擦輪５は、それぞれ２個ずつ配設してあ
り、一方の故障に対して機能を維持可能にしてい
る。 The guide shoe 1 is provided with an inner box 11 and an outer box 12 to form a double box shape. A buffer material 3 is fixed to one side (left side) inside the inner box 11 at a position sandwiching the rail portion 21 of the guide rail 2 to reduce friction between the guide rail and the guide shoe. And inner box 1
A friction ring 5 for rotating the generator 4 is disposed on the other side inside the guide rail 1 in contact with the rail portion 21 of the guide rail 2 . When the elevator goes up and down, the friction ring 5 rotates and the generator 4 which is directly connected
The motor also rotates, generating alternating current. In addition, generator 4
Two friction wheels and two friction wheels 5 are provided, so that the function can be maintained even if one of the friction wheels breaks down.

発電機４で発生した交流電流は、内箱１１と外
箱１２との間の空隙部６に位置し、内箱の外側に
固定してある電源装置７で直流に整流されて、内
箱の外側に固定してあるバツテリー８に充電され
る。 The alternating current generated by the generator 4 is located in the gap 6 between the inner box 11 and the outer box 12, and is rectified into direct current by the power supply device 7 fixed to the outside of the inner box. The battery 8 fixed on the outside is charged.

空隙部６にはガイドレール２と反対側に取付板
９を取付けてあり、この取付板には１対の排気フ
アン１０，１０を設けてある。この排気フアンに
は上記電源装置７から運転に必要な電力が供給さ
れる。 A mounting plate 9 is attached to the gap 6 on the opposite side of the guide rail 2, and a pair of exhaust fans 10, 10 are provided on this mounting plate. This exhaust fan is supplied with power necessary for operation from the power supply device 7.

また外箱１２の側壁には上記各排気フアン１０
に対向して高性能フイルター１３を取付けてあ
る。高性能フイルター１３として、HEPAフイ
ルターやULPA（Ultra Low Penetration Air）
フイルターを用いる。 In addition, each exhaust fan 10 is mounted on the side wall of the outer box 12.
A high performance filter 13 is installed opposite to the. High-performance filters 13 include HEPA filters and ULPA (Ultra Low Penetration Air)
Use a filter.

作用について説明すると、エレベータが昇降状
態にある時や停止直後は、ガイドシユー１より微
粒子が飛散することを防止するために、排気フア
ン１０を運転する。空隙部６の排気は、矢印に示
すように高性能フイルター１３を通じて浮游状態
で含まれている微粒子等を除去した後、クリーン
ルームに排出される。 To explain the operation, when the elevator is in a rising/lowering state or immediately after stopping, the exhaust fan 10 is operated in order to prevent particulates from scattering from the guide shoe 1. The exhaust gas from the cavity 6 passes through a high-performance filter 13 to remove floating particles and the like, as shown by the arrow, and then is discharged into a clean room.

エレベータの昇降時に、摩擦輪５の回転により
発電機が発電して、その電力によつて排気フアン
１０が運転される。エレベータが停止している間
は、バツテリー８を利用して排気フアン１０の運
転が継続される。 When the elevator moves up and down, the rotation of the friction wheel 5 causes the generator to generate electricity, and the exhaust fan 10 is operated by the electric power. While the elevator is stopped, the exhaust fan 10 continues to operate using the battery 8.

所定時間を超えてエレベータが停止している時
は、バツテリーに蓄えた電力を節約するために、
排気フアン１０を停止する。 When the elevator is stopped for more than a specified period of time, in order to conserve the electricity stored in the battery,
Stop the exhaust fan 10.

（考案の効果）以上説明したように、本考案によれば、ガイド
シユー内がクリーンルーム等の所定空間に対して
負圧に維持されて、微粒子等の飛散を防止できる
から、高い洗浄度が要求されるクリンルーム等の
エレベータのガイドシユーとして有効に利用で
き、また簡単な構成で確実に低コストで微粒子等
の飛散を防止できる。(Effects of the invention) As explained above, according to the invention, the inside of the guide shoe is maintained at a negative pressure with respect to a predetermined space such as a clean room, and the scattering of fine particles can be prevented, so a high degree of cleaning is required. It can be effectively used as a guide shoe for elevators in clean rooms, etc., and also has a simple structure and can reliably prevent particles from scattering at low cost.

[Brief explanation of drawings]

第１図は本考案の一実施例を示す平面断面図、
第２図は従来例の一部切欠正面図である。１……ガイドシユー、１１……内箱、１２……
外箱、２……ガイドレール、３……緩衝材、７…
…電源装置、１０……排気フアン、１３……高性
能フイルター。 FIG. 1 is a plan sectional view showing an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a partially cutaway front view of a conventional example. 1...Guide show, 11...Inner box, 12...
Outer box, 2... Guide rail, 3... Cushioning material, 7...
...Power supply device, 10...Exhaust fan, 13...High performance filter.

Claims

[Scope of utility model registration request]

Cushioning material is fixed inside the box at a position between the guide rails, and a high-performance filter is installed on the wall of the box, and the air inside the box is exhausted to the outside of the box through the filter to reduce the negative pressure inside the box. A guide show device for an elevator, characterized in that it is provided with an exhaust fan for maintaining.