JPH05201838A - Hair rinse composition - Google Patents
Hair rinse compositionInfo
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- JPH05201838A JPH05201838A JP3703792A JP3703792A JPH05201838A JP H05201838 A JPH05201838 A JP H05201838A JP 3703792 A JP3703792 A JP 3703792A JP 3703792 A JP3703792 A JP 3703792A JP H05201838 A JPH05201838 A JP H05201838A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、毛髪に対し艶及び落ち
着きを与え、風合を保つとともに自然に毛髪を着色する
効果を有するヘアーリンス組成物に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hair rinse composition having the effects of imparting luster and calmness to the hair, keeping the texture and naturally coloring the hair.
【0002】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
洗髪処理した後の毛髪は艶及び風合いが悪くなる為に、
洗髪後の毛髪にコンディショニング効果を付与する為に
ヘアーリンスあるいはヘアーコンディショナーと呼ばれ
る毛髪処理剤を施す。それら処理剤は、塩化ステアリル
トリメチルアンモニウム等の第四級アンモニウム塩及び
高級アルコールを主成分としたものが一般的であり、更
にその効果を増強する為に種々の添加剤の配合が為され
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, the problems to be solved by the invention
Since the gloss and the texture of the hair after the hair washing treatment becomes poor,
A hair treatment agent called a hair conditioner or a hair conditioner is applied to give a conditioning effect to the hair after washing. These treating agents are generally those containing quaternary ammonium salts such as stearyltrimethylammonium chloride and higher alcohols as main components, and various additives are added to further enhance the effect. ..
【0003】一方、これら毛髪処理組成物を利用する人
のなかには、高齢により毛髪が白髪化したり、あるいは
ブラッシング、パーマ等により毛髪が損傷したりして、
生来の毛髪色が変化している場合がある。これらの人た
ちが毛髪を本来の色に戻すには、酸性染料あるいは酸化
染料等の染毛剤により染毛するのが最も効果的である。
しかしながらそれらは操作が繁雑であり、又、急激に毛
髪色を変化させる為に第三者に染毛している事がすぐに
判ってしまう。更に、毛髪の成長に伴い施術している部
分と新生毛との間に境界が生じ、外観上好ましくない結
果となるという問題点があった。その為、それらの人た
ちは、急激な色の変化を伴わずに自然に徐々に毛髪色が
生来の色に変化するものを望んでいた。更に、日常の生
活習慣となっている前述のヘアーリンス等の毛髪処理組
成物により、艶あるいは風合い等の高いコンディショニ
ング効果を毛髪に付与しながら、これらの事を行う事が
できれば繁雑さが解消され、より有用であると考えられ
る。これらの事を達成する手段としては既に、特開昭4
7−23543号公報および特開昭59−231009
号公報が提案されているが、これらは染料として酸化染
料を使用しており、感作性を有する人には使用できない
という問題がある。又、特開平1−132512号公報
では塩基性及び中性染料を使用したものが提案されてい
るが、充分な染色力は得られない。更に酸性染料を利用
したものとして、特開平1−308215号公報が提案
されているが、分岐鎖を有する第四級アンモニウム塩を
必須成分としており、ヘアーリンスとしての風合等の改
善には有効であろうが、アニオン性である酸性染料とカ
チオン性である第四級アンモニウムとが不溶性塩をつく
り、充分な染着力は得られず、安定性にも問題がある。
従って、充分に上述の効果を有する物は、現在まで得ら
れていないのが実情である。On the other hand, among those who use these hair treatment compositions, the hair becomes gray due to aging, or the hair is damaged by brushing, perming, etc.
The natural hair color may have changed. In order for these people to return their hair to the original color, it is most effective to dye the hair with a hair dye such as an acid dye or an oxidation dye.
However, it is easy to see that they are complicated to operate and that they are dyed by a third party because the hair color changes abruptly. Further, there is a problem that a boundary is formed between the treated portion and new hair as the hair grows, resulting in an unfavorable appearance. As such, they wanted a gradual natural change in hair color without abrupt color change. Furthermore, if the hair treatment composition such as the above-described hair rinse, which has become a daily lifestyle, imparts a high conditioning effect such as luster or texture to the hair, it is possible to eliminate the complexity if it is possible to do these things. , Considered more useful. As means for achieving these things, Japanese Patent Laid-Open Publication No.
7-23543 and JP-A-59-231009.
Although the publications have been proposed, they use an oxidative dye as a dye and have a problem that they cannot be used by a person having a sensitizing property. Further, JP-A-1-132512 proposes a dye using a basic dye and a neutral dye, but a sufficient dyeing power cannot be obtained. Further, Japanese Patent Laid-Open No. 1-308215 has been proposed as a method using an acid dye, but it contains a quaternary ammonium salt having a branched chain as an essential component and is effective for improving the texture as a hair rinse. However, an acidic dye which is anionic and a quaternary ammonium which is cationic form an insoluble salt, so that sufficient dyeing power cannot be obtained and there is a problem in stability.
Therefore, it is the actual situation that a product having the above-mentioned effect is not obtained until now.
【0004】即ち、本発明は、毛髪に対し艶及び落ち着
きを与え風合いを保つとともに、白髪の人においては白
髪を黒髪化して白髪を目立たなくするといった、自然に
毛髪を着色する事ができるヘアーリンス組成物を提供す
る事を目的としている。[0004] That is, the present invention is a hair rinse capable of naturally coloring hair by giving gloss and calmness to the hair and maintaining the texture, and by making the gray hair black and making the white hair inconspicuous in a person with white hair. The purpose is to provide a composition.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明のヘアーリンス組成物は、次のような構成をとって
いる。即ち、(A)下記一般式(1)The hair rinse composition of the present invention which achieves the above object has the following constitution. That is, (A) the following general formula (1)
【化2】 [式中、R1 は水素原子、メチル基またはメトキシ基、
R2 は−CH2 OH基、−CH2 CH2 OH基、−CH
(CH3 )OH基、−CH2 CH2 CH2 OH基−C
(CH3 )2 OH基、−CH2 CH(CH3 )OH基、
−CH(CH3 )CH2 OH基、−CH=CHCH2 基
または−OCH2 CH2 OH基を表す。]の郡から選ば
れる芳香族アルコールの一種または二種以上と、(B)
直鎖又は分岐鎖を有した脂肪族炭化水素又は一般式
(2)R−OH(Rは炭素数12〜24の直鎖又は分岐
鎖を有した脂肪族炭化水素)で表せる脂肪族アルコール
の郡から選ばれる成分の一種又は二種以上と、(C)キ
サンタンガムまたは/およびヒドロキシエチルセルロー
スと、(D)酸性染料と、(E)酸を含有し、pHが
2.0〜5.5である事を特徴としたヘアーリンス組成
物である。[Chemical 2] [Wherein R 1 is a hydrogen atom, a methyl group or a methoxy group,
R 2 is a —CH 2 OH group, a —CH 2 CH 2 OH group, a —CH
(CH 3) OH group, -CH 2 CH 2 CH 2 OH group -C
(CH 3) 2 OH group, -CH 2 CH (CH 3) OH group,
It represents a -CH (CH 3) CH 2 OH group, -CH = CHCH 2 group or -OCH 2 CH 2 OH group. ] One or more aromatic alcohols selected from the group of
A group of aliphatic hydrocarbons having a straight chain or a branched chain or an aliphatic alcohol represented by the general formula (2) R-OH (R is an aliphatic hydrocarbon having a straight chain or a branched chain having 12 to 24 carbon atoms). One or more components selected from the above, (C) xanthan gum or / and hydroxyethyl cellulose, (D) acid dye, and (E) acid are contained, and the pH is 2.0 to 5.5. A hair rinse composition characterized by:
【0006】本発明における前記一般式(1)で表され
る芳香族アルコールとしては、例えばベンジルアルコー
ル、フェネチルアルコール、γ−フェニルプロピルアル
コール、桂皮アルコール、アニスアルコール、P−メチ
ルベンジルアルコール、α−α−ジメチルフェネチルア
ルコール、α−フェニルエタノール、フェノキシエタノ
ールなどがあげらる。Examples of the aromatic alcohol represented by the general formula (1) in the present invention include benzyl alcohol, phenethyl alcohol, γ-phenylpropyl alcohol, cinnamic alcohol, anis alcohol, P-methylbenzyl alcohol and α-α. -Dimethylphenethyl alcohol, α-phenylethanol, phenoxyethanol and the like.
【0007】本発明のヘアーリンス組成物には、これら
芳香族アルコールの一種または二種以上を組成物総量を
基準として、好ましくは0.5〜15.0重量%(以下
wt%と略記する)が配合される。配合量が0.5wt
%未満では、毛髪を着色するのに充分な効果が得られに
くく、15wt%を超えると、べたつき及び強烈な芳香
族アルコール臭が生じ、官能上好ましくない傾向とな
る。In the hair rinse composition of the present invention, one or more of these aromatic alcohols is preferably 0.5 to 15.0% by weight (hereinafter abbreviated as wt%) based on the total amount of the composition. Is blended. 0.5 wt%
If it is less than 0.1%, it is difficult to obtain a sufficient effect for coloring hair, and if it exceeds 15% by weight, stickiness and a strong aromatic alcohol odor occur, which tends to be sensory unfavorable.
【0008】本発明における脂肪族炭化水素又は一般式
(2)の脂肪族アルコールとしてはワセリン、流動パラ
フィン、流動イソパラフィン、スクワラン、スクワレ
ン、ラウリルアルコール、2−ヘキシルデカノール、オ
レイルアルコール、2−オクチルドデカノール、イソス
テアリルアルコール等がある。As the aliphatic hydrocarbon or the aliphatic alcohol of the general formula (2) in the present invention, petrolatum, liquid paraffin, liquid isoparaffin, squalane, squalene, lauryl alcohol, 2-hexyldecanol, oleyl alcohol, 2-octyldodecanol, Isostearyl alcohol and the like.
【0009】本発明のヘアーリンス組成物には、これら
成分の一種または二種以上を組成物総量の好ましくは、
0.1〜5.0wt%配合される。0.1wt%未満で
は、毛髪に艶及び落ち着きをを与え、風合いを保つのに
充分な効果が得られにくく、5.0wt%を超えると、
べたつきを生じ官能上好ましくない傾向にあるととも
に、組成物の安定性が維持しにくくなる。In the hair rinse composition of the present invention, one or more of these components are preferably contained in the total amount of the composition,
0.1 to 5.0 wt% is compounded. If it is less than 0.1 wt%, it is difficult to obtain sufficient effect to give the hair gloss and calmness and keep the texture. If it exceeds 5.0 wt%,
The composition tends to become sticky and is not functionally preferable, and it becomes difficult to maintain the stability of the composition.
【0010】本発明における水溶性高分子化合物である
キサンタンガムおよびヒドロキシエチルセルロースは、
毛髪に塗布しやすくするとともに系を安定化させる事を
目的として配合されるものであり、たとえば平均重合度
400〜1000のヒドロキシエチルセルロース、米国
KELCO社からケルトロールという商品名で発売され
ているようなD−グルコース、D−マンノース、D−グ
ルクロン酸から構成される多糖類であるキサンタンガム
等がある。Xanthan gum and hydroxyethyl cellulose, which are water-soluble polymer compounds in the present invention, are
It is blended for the purpose of making it easy to apply to hair and stabilizing the system. For example, hydroxyethyl cellulose having an average degree of polymerization of 400 to 1000, such as that sold by KELCO, USA under the trade name of keltrol. There is xanthan gum, which is a polysaccharide composed of D-glucose, D-mannose, and D-glucuronic acid.
【0011】本発明のヘアーリンス組成物には、これら
高分子化合物を単独または両方が配合されるが、組成物
の外観、塗布しやすさの点で両者を含有した方がより好
ましい。更に、これらは、組成物総量に対し、好ましく
は0.2〜4.0wt%が配合される。0.2wt%未
満では系が不安定となり経時で分離するとともに液だれ
がして毛髪へ塗布しずらく、4.0wt%を超えるとべ
たつきが生じ、組成物の粘度が高くなり、やはり塗布し
づらくなる傾向にある。The hair rinse composition of the present invention may contain one or both of these polymer compounds, but it is more preferable to contain both of them in terms of appearance of the composition and ease of application. Further, these are preferably blended in an amount of 0.2 to 4.0 wt% with respect to the total amount of the composition. If it is less than 0.2 wt%, the system becomes unstable, and it separates over time and it is difficult to apply it to the hair. If it exceeds 4.0 wt%, stickiness occurs and the viscosity of the composition increases, so It tends to be difficult.
【0012】本発明における酸性染料は主としてタール
系色素であり、化学構造から大別すると、ニトロ染料、
アゾ染料、ニトロソ染料、トリフェニルメタン染料、キ
サンテン染料、キノリン染料、アントラキノン染料、イ
ンジゴイド染料などがあげられる。The acid dye in the present invention is mainly a tar-based dye, and when roughly classified from a chemical structure, a nitro dye,
Examples include azo dyes, nitroso dyes, triphenylmethane dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes and indigoid dyes.
【0013】本発明のヘアーリンス組成物には、これら
酸性染料の一種または二種以上を組成物総量に対し、好
ましくは0.005〜0.2wt%が配合される。In the hair rinse composition of the present invention, 0.005 to 0.2 wt% of one or more of these acidic dyes is preferably added to the total amount of the composition.
【0014】本発明における酸としては、クエン酸、サ
リチル酸、酢酸、乳酸、プロピオン酸、酒石酸、リン
酸、塩酸等があげられ、その配合量は組成物のpHが
2.0〜5.5に調整するにたる必要量である。pHが
2.0より低いと、安定性上問題があり、pHが5.5
より高いと毛髪を着色するに充分な効果が得られない。Examples of the acid in the present invention include citric acid, salicylic acid, acetic acid, lactic acid, propionic acid, tartaric acid, phosphoric acid, hydrochloric acid and the like, and the compounding amount thereof is such that the pH of the composition is 2.0 to 5.5. It is a necessary amount to adjust. If the pH is lower than 2.0, there is a problem in stability, and the pH is 5.5.
If it is higher, sufficient effect for coloring hair cannot be obtained.
【0015】また、本発明のヘアーリンス組成物は、上
述した成分を必須成分とするが、当該組成物には、本発
明の目的を達成する範囲で他の成分を適宜配合すること
ができる。Further, the hair rinse composition of the present invention contains the above-mentioned components as essential components, but other components can be appropriately added to the composition within a range that achieves the object of the present invention.
【0016】即ち、イソプロピルミリステート、イソプ
ロピルパルミテート等のエステル油ツバキ油、オリーブ
油、アボガド油、ホホバ油等の植物油、ポリオキシエチ
レン硬化ヒマシ油、ポリオキシエチレンアルキルエーテ
ル、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート等の
非イオン界面活性剤、プロピレングリコール、ジプロピ
レングリコール、1.3−ブチレングリコール、グリセ
リン等の保湿剤、防腐剤、キレート剤、香料などがあげ
られ、これらの一種または二種以上を配合する事ができ
る。That is, ester oil such as isopropyl myristate and isopropyl palmitate, camellia oil, vegetable oil such as olive oil, avocado oil, jojoba oil, polyoxyethylene hydrogenated castor oil, polyoxyethylene alkyl ether, and polyoxyethylene sorbitan monolaurate. Nonionic surfactants such as propylene glycol, dipropylene glycol, 1.3-butylene glycol, humectants such as glycerin, preservatives, chelating agents, fragrances, etc., and one or more of these are blended. I can do things.
【0017】[0017]
【実施例】次に、実施例をもって詳細に説明するが、本
発明はこれにより限定されるものではない。尚、実施例
および比較例中の数値は重量%である。ここで、実施例
の説明に先立ち、各例において採用した試験方法につい
て説明する。EXAMPLES Next, the present invention will be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. The numerical values in Examples and Comparative Examples are% by weight. Here, prior to the description of the examples, the test method adopted in each example will be described.
【0018】(1)毛髪着色効果試験 (イ)サンプル試験毛 毛束(白色毛髪の束)5gを市販のシャンプーにて2分
間洗浄し、1分間温湯にてすすいだ後、試験試料ヘアー
リンス2gを塗布し、3分放置後、水洗いし、風乾し
た。これを1サイクルとし、5サイクル行った。 (ロ)評価法 試験試料リンス処理前及び処理後のサンプル試験毛束に
ついて、高速色彩計(村上色材(株)製CMS−100
0型)を用いて測色を行い、各サンプル試験毛のX,
Y,Z値をHunterのL,a,b表色系へ変換し、
下記の式により処理前と処理後の色差(△E)を求め、
その数値から、下記基準により評価した。△Eが大きい
程、毛髪が着色した事になる。 △E={(L−L0 )2 +(a−a0 )2 +(b−
b0 )2 }1/2 L0 ,a0 ,b0 :処理前のサンプル毛のL,a,b値 L,a,b :処理後のサンプル毛のL,a,b値 ×;△E値が5以下 「ほとんど着色効果がない」 △;△E値が6〜15 「やや着色効果がある。」 ○;△E値が16〜25 「着色効果がある。」 ◎;△E値が25以上 「非常に着色効果がある。(1) Hair coloring effect test (a) Sample test hair 5 g of a hair bundle (a bundle of white hair) was washed with a commercial shampoo for 2 minutes, rinsed with warm water for 1 minute, and then a test sample hair rinse 2 g Was applied, left for 3 minutes, washed with water, and air dried. This was set as one cycle, and 5 cycles were performed. (B) Evaluation method For the test sample hair bundle before and after the test sample rinse treatment, a high-speed colorimeter (CMS-100 manufactured by Murakami Colorant Co., Ltd.)
(0 type) is used to measure the color, and X,
Convert Y and Z values to Hunter's L, a, b color system,
Calculate the color difference (△ E) before and after processing by the following formula,
From the numerical value, the following criteria were evaluated. The larger the ΔE, the more colored the hair. ΔE = {(L−L 0 ) 2 + (a−a 0 ) 2 + (b−
b 0 ) 2 } 1/2 L 0 , a 0 , b 0 : L, a, b values of sample hair before treatment L, a, b: L, a, b values of sample hair after treatment ×; Δ E value is 5 or less "There is almost no coloring effect"Δ; ΔE value is 6 to 15 "There is a slight coloring effect"○; ΔE value is 16 to 25 "There is a coloring effect"◎; ΔE value Is 25 or more "It has a very coloring effect.
【0019】(2)着色効果実用テスト 各例におけるヘアーリンスを白髪交じりのパネラー20
名に5回使用してもらい、着色効果を、白髪隠し効果に
より下記基準で評価を行った。 ◎;自然に白髪が目立たなくなったと答えた人が18人
以上の場合 ○;自然に白髪が目立たなくなったと答えた人が14〜
17人の場合 △;自然に白髪が目立たなくなったと答えた人が8〜1
3人の場合 ×;自然に白髪が目立たなくなったと答えた人が7人以
下の場合(2) Practical test for coloring effect The hair rinse in each example is a panelist 20 with white hair.
The name was used 5 times, and the coloring effect was evaluated based on the gray hair hiding effect according to the following criteria. ◎; When more than 18 people answered that their gray hair naturally disappeared ○: 14 to 14 people who answered that their gray hair naturally disappeared
In the case of 17 people △: 8 to 1 people answered that the gray hair naturally disappeared
In the case of 3 people ×; When the number of people who answered that the gray hair naturally disappeared is 7 or less
【0020】(3)ヘアーリンス後の仕上がり効果
(艶、落ち着き、風合) 各例におけるヘアーリンス後の仕上がりについて
「艶」、「落ち着き」「風合い」を20名のパネラ−に
より官能的に比較し、下記基準で評価を行った。 ◎;良いまたはあると答えた人が18人以上の場合 ○;良いまたはあると答えた人が14〜17人の場合 △;良いまたはあると答えた人が8〜13人の場合 ×;良いまたはあると答えた人が7人以下の場合(3) Finishing effect after hair rinsing (luster, calm, and texture) Regarding the finish after hair rinsing in each example, "glossy", "calm" and "texture" were compared in a sensory manner by 20 panelists. Then, the evaluation was performed according to the following criteria. ⊚: 18 or more people answered good or yes ○: 14 to 17 people replied good or there △: 8 to 13 people replied good or yes ×; good Or if there are less than 7 people
【0021】実施例1〜7、比較例1〜5 表1及び表2に示す配合組成のヘアーリンス組成物を通
常の方法で調製し、前記諸試験を行い表3にその結果を
示した。Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 5 Hair rinse compositions having the composition shown in Tables 1 and 2 were prepared by a usual method, and the above-mentioned various tests were conducted. The results are shown in Table 3.
【0022】[0022]
【表1】 [Table 1]
【0023】[0023]
【表2】 [Table 2]
【0024】[0024]
【表3】 [Table 3]
【0025】[0025]
【発明の効果】以上記載のごとく、本発明は、毛髪に対
し艶と落ち着きを与え風合いを保つとともに自然に毛髪
を着色する効果に優れたヘアーリンス組成物を提供する
事は明らかである。As described above, it is apparent that the present invention provides a hair rinse composition which is excellent in the effect of imparting luster and calmness to the hair, keeping the texture and naturally coloring the hair.
Claims (1)
2.0〜5.5である事を特徴とするヘアーリンス組成
物。 (A)下記一般式(1) 【化1】 [式中、R1 は水素原子、メチル基またはメトキシ基、
R2 は−CH2 OH基、−CH2 CH2 OH基、−CH
(CH3 )OH基、−CH2 CH2 CH2 OH基、−C
(CH3 )2 OH基、−CH2 CH(CH3 )OH基、
−CH(CH3 )CH2 OH基、−CH=CHCH2 O
H基または−OCH2 CH2 OH基を表す。]の郡から
選ばれる芳香族アルコールの一種または二種以上 (B)直鎖又は分岐鎖を有した脂肪族炭化水素又は一般
式(2)R−OH(Rは炭素数12〜24の直鎖又は分
岐鎖を有した脂肪族炭化水素)で表せる脂肪族アルコー
ルの郡から選ばれる成分の一種又は二種以上 (C)キサンタンガムおよび/またはヒドロキシエチル
セルロース (D)酸性染料 (E)酸1. A hair rinse composition comprising the following (A) to (E) and having a pH of 2.0 to 5.5. (A) The following general formula (1): [Wherein R 1 is a hydrogen atom, a methyl group or a methoxy group,
R 2 is a —CH 2 OH group, a —CH 2 CH 2 OH group, a —CH
(CH 3) OH group, -CH 2 CH 2 CH 2 OH groups, -C
(CH 3) 2 OH group, -CH 2 CH (CH 3) OH group,
-CH (CH 3) CH 2 OH group, -CH = CHCH 2 O
It represents H group or -OCH 2 CH 2 OH group. ] One or two or more aromatic alcohols selected from the group (B) Aliphatic hydrocarbon having a straight chain or a branched chain or a general formula (2) R-OH (R is a straight chain having 12 to 24 carbon atoms) Or one or more components selected from the group of aliphatic alcohols represented by aliphatic hydrocarbons having a branched chain) (C) Xanthan gum and / or hydroxyethyl cellulose (D) Acid dye (E) Acid
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3703792A JPH05201838A (en) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | Hair rinse composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3703792A JPH05201838A (en) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | Hair rinse composition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05201838A true JPH05201838A (en) | 1993-08-10 |
Family
ID=12486425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3703792A Pending JPH05201838A (en) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | Hair rinse composition |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05201838A (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3106172B2 (en) * | 1991-02-26 | 2000-11-06 | 東京エレクトロン株式会社 | Sealing structure of heat treatment equipment |
-
1992
- 1992-01-27 JP JP3703792A patent/JPH05201838A/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3106172B2 (en) * | 1991-02-26 | 2000-11-06 | 東京エレクトロン株式会社 | Sealing structure of heat treatment equipment |
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