JPH05196882A - Optical unit for laser light scanning - Google Patents

Optical unit for laser light scanning

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Publication number
JPH05196882A
JPH05196882A JP3052505A JP5250591A JPH05196882A JP H05196882 A JPH05196882 A JP H05196882A JP 3052505 A JP3052505 A JP 3052505A JP 5250591 A JP5250591 A JP 5250591A JP H05196882 A JPH05196882 A JP H05196882A
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JP
Japan
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mirror
optical device
rotating shaft
mirror member
laser light
Prior art date
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Application number
JP3052505A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akito Minato
明人 湊
Hisashi Inada
久 稲田
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH05196882A publication Critical patent/JPH05196882A/en
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Abstract

PURPOSE:To reduce the cost of the optical unit for laser light scanning which uses a pyramidal mirror and improve the precision of the scanning of laser light by composing the optical unit of a mirror member whose reflecting surfaces are not symmetrical about the axis of rotation and a rotary shaft where the mirror member is fixed. CONSTITUTION:This optical unit consists of a mirror member 10 and rotary shaft 12 where the mirror member 10 is fixed. The mirror member 10 has the reflecting surfaces 10a and 10a which are not symmetrical about the axis E of rotation of the rotary shaft 12 and constitutes the pyramidal mirror. The mirror member 10 is constituted by coating a glass or plastic member to a >=80% reflection factor and the reverse surface of the mirror member 10 is tightly fixed on the top surface of the rotary shaft by a fixing means such as an adhesive. In this case, the body formed by fitting the mirror member slantingly to a rotary shaft in a shape close to that of the pyramidal mirror by a fixing method such as adhesion and screwing may be used as the pyramidal mirror.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はデジタル複写機、レーザ
プリンタ等の画像形成装置に使用されるレーザ光走査用
光学器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser beam scanning optical device used in an image forming apparatus such as a digital copying machine or a laser printer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、特開昭63−109411号など
に開示されているようにミラー面を1面〜2面にしたピ
ラミダルミラーを用いてレーザプリンタ等の画像形成装
置の走査光学器を構成する方法が知られている。このよ
うなピラニダルミラーを利用すれば、2面から12面の
ミラー面を平な円盤の外周部に設ける構成のポリゴンミ
ラーを使用するよりも安価に走査光学器を構成すること
ができる。
2. Description of the Related Art Conventionally, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-109411, a scanning optical device of an image forming apparatus such as a laser printer is constructed by using a pyramidal mirror having one or two mirror surfaces. It is known how to do it. By using such a pyranidal mirror, a scanning optical device can be constructed at a lower cost than using a polygon mirror having a configuration in which two to twelve mirror surfaces are provided on the outer peripheral portion of a flat disk.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
プリンタにおいては低価格の要求が強いので、ピラミダ
ルミラーを用いた走査光学器においても、更なるコスト
低下が望まれている。
However, since there is a strong demand for low cost in laser printers, further cost reduction is desired even in scanning optics using pyramidal mirrors.

【0004】また、ピラミダルミラーが非対称であるこ
とによって、ミラー面と回転軸とを別々に作る方法で
は、回転軸の回転中心とミラー面の位置合わせが難しい
問題がある。さらに、ミラー面が曲面である場合には、
回転中心とミラー面の中心の一致がより一層高精度であ
ることが要求されるため、組付け作業がより難しくな
り、不良率が高くなる傾向がある。
Further, since the pyramidal mirror is asymmetric, there is a problem that it is difficult to align the rotation center of the rotation axis and the mirror surface with the method of separately forming the mirror surface and the rotation axis. Furthermore, if the mirror surface is a curved surface,
Since it is required that the center of rotation and the center of the mirror surface coincide with each other with higher accuracy, the assembling work becomes more difficult and the defect rate tends to increase.

【0005】また、前に提案されたピラミダルミラーで
は、6面体や8面体のように回転軸の軸対称に近い形状
ではなく、棒状の材料を斜めに切断した形状となってい
る場合が多いので、モータの軸を中心としてバランスが
かたよった状態となっている。さらに、1面で走査する
ため、8000rpm以上で用いられることがほとんど
であり、モータの回転時にそのバランスの悪さから振動
を生じやすいという問題点があった。
Further, the pyramidal mirrors proposed previously are not shaped like a hexahedron or an octahedron close to the axial symmetry of the rotation axis, but are often formed by obliquely cutting a rod-shaped material. The balance is in a hardened state around the motor axis. Further, since scanning is performed on one surface, it is almost used at 8000 rpm or more, and there is a problem that vibration is likely to occur due to imbalance in rotation of the motor.

【0006】上記課題に鑑み、本発明の目的は、ピラミ
ダルミラーを用いたレーザ光走査用光学器において、更
なるコストの削減とレーザ光の走査の精度向上を達成す
ることにある。なお、具体的な目標としては、従来か
ら用いられているガラスやプラスチック等の部材を利用
して安価なレーザ光走査用光学器を提供すること、ミ
ラー面と回転軸とを高精度に一致させること、ピラミ
ダルミラーのバランスを良くし、高速回転時に振動のな
い安定した回転を達成する、ことである。
In view of the above problems, it is an object of the present invention to achieve further cost reduction and laser beam scanning accuracy improvement in a laser beam scanning optical device using a pyramidal mirror. A specific goal is to provide an inexpensive laser light scanning optical device using a member such as glass or plastic that has been conventionally used, and to match the mirror surface and the rotation axis with high accuracy. That is, the balance of the pyramidal mirror is improved to achieve stable rotation without vibration at high speed rotation.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
回転中心に対して反射面の形状が軸対称でないミラー部
材と、該ミラー部材が固定される回転軸とから構成され
ている。請求項2に係る発明は、回転軸の一部に、その
回転中心に対して形状が軸対称でない反射面を設けた構
成となっている。また、請求項5に係る方法の発明は、
請求項2記載のレーザ光走査用光学器の製造方法であ
り、前記回転軸の円筒面をコンパックスダイヤモンドに
より切削を行ない、前記反射面を、前記回転軸を傾けて
単結晶ダイヤモンドバイトにより鏡面切削を行ない、最
大表面粗さ0.05ミクロン以下にすることを特徴とす
る。また、請求項9に係る発明は、請求項1記載のミラ
ー部材及び回転軸、または請求項2記載の反射面を有す
る回転軸の形状から発生する遠心力に対して、回転時
に、バランスウエイトによる遠心力が釣り合うような構
成となっている。
The invention according to claim 1 is
It is composed of a mirror member whose reflection surface is not axially symmetric with respect to the center of rotation, and a rotation shaft to which the mirror member is fixed. The invention according to claim 2 has a structure in which a part of the rotating shaft is provided with a reflecting surface whose shape is not axially symmetric with respect to the rotation center. The invention of the method according to claim 5 is
It is a manufacturing method of the optical device for laser light scanning of Claim 2, Comprising: The cylindrical surface of the said rotating shaft is cut by Compax diamond, and the said reflecting surface is mirror-cut by a single crystal diamond bite by inclining the said rotating shaft. The maximum surface roughness is 0.05 μm or less. Further, the invention according to claim 9 uses a balance weight when rotating against centrifugal force generated from the shape of the mirror member and the rotating shaft according to claim 1 or the rotating shaft having the reflecting surface according to claim 2. The centrifugal force is balanced.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。図1、図
2はそれぞれガラスやプラスチック等の部材を利用した
安価なレーザ光走査用光学器を示す正面図、平面図であ
る。図1において示すレーザ光走査用光学器1は、従来
から用いられているガラスやプラスチック等の材料から
なるミラー部材10と、ミラー部材10が固定される回
転軸12とから構成される。ミラー部材10は回転軸1
2の回転中心Eに対して、反射面10a,10aの形状
が軸対称でなく、ピラミダルミラーを構成する。図中の
矢印Lは入射するレーザビームを示す。ミラー部材10
はガラス又はプラスチックレンズに反射率80%以上の
コートを行なったもので、図3に示すように、ミラー部
材10の下面10bは回転軸12の上面12aに接着剤
等の固着手段によりしっかりと固着される。この場合、
図4に示したようにピラミダルミラーに近い形状の回転
軸14に、ミラー部材10を接着又はビス止め等の固定
方法により斜めに取付けたものをピラミダルミラーとし
て用いても良い。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. 1 and 2 are respectively a front view and a plan view showing an inexpensive laser beam scanning optical device using a member such as glass or plastic. The laser beam scanning optical device 1 shown in FIG. 1 includes a conventionally used mirror member 10 made of a material such as glass or plastic, and a rotary shaft 12 to which the mirror member 10 is fixed. The mirror member 10 is the rotating shaft 1.
The shapes of the reflecting surfaces 10a and 10a are not axially symmetrical with respect to the rotation center E of 2 and form a pyramidal mirror. The arrow L in the figure indicates the incident laser beam. Mirror member 10
Is a glass or plastic lens coated with a reflectance of 80% or more. As shown in FIG. 3, the lower surface 10b of the mirror member 10 is firmly fixed to the upper surface 12a of the rotary shaft 12 by a fixing means such as an adhesive. To be done. in this case,
As shown in FIG. 4, a mirror member 10 may be obliquely attached to the rotary shaft 14 having a shape close to a pyramidal mirror by a fixing method such as bonding or screwing, and may be used as a pyramidal mirror.

【0009】また、図5の右側に示したような凹球面、
左側に示した凸球面、又は非球面の形状のミラー部材1
6、18を図6に平面図で示すように、取付け部材20
によって取り付けても良い。なお、図5に示す実施例で
は、ミラー部材16、18の反射面を1面のみにした場
合を想定して説明したが、図1に示す実施例のように、
両方の球面、又は非球面等の曲面を表裏の2面に設け、
それらを反射ミラーとして用いても構わない。
A concave spherical surface as shown on the right side of FIG.
The mirror member 1 having a convex spherical surface or an aspherical surface shown on the left side.
6 and 18 are shown in plan view in FIG.
You may attach by. In the embodiment shown in FIG. 5, the description has been made assuming that the mirror members 16 and 18 have only one reflecting surface. However, like the embodiment shown in FIG.
Providing curved surfaces such as both spherical surfaces or aspherical surfaces on the two front and back surfaces,
You may use them as a reflection mirror.

【0010】また、ミラー部材の形状が、図7において
示すような、曲面部22と外周部24を有するような2
段型の形状ならば、外周部24を囲い込むような取付け
部材26で回転軸12に取り付けることが容易になる。
つまり、レーザビーム走査に必要な曲面部22の外側に
回転軸12への固定を考えた外周部24を設けるのであ
る。このような外周部24は、取付けを容易にするた
め、図8に示すように外側を平面の形状にするとより安
定した固定が可能になる。なお、図8において、上側の
図はそのような2段型ミラー部材30の平面図、下側の
図はレーザビームが入射する側から見た図である。以
上、説明したように本実施例によれば、ミラー部材と回
転軸12とを分離して加工するため、回転軸12の部分
が剛性と鏡面加工性の両方の性質を持つ必要がなくな
り、回転時の変形という剛性の問題を解消できる材料で
あれば良いこととなり、回転軸12のコストが大幅にや
すくなる利点がある。また、ミラー部材もガラス又はプ
ラスチックのレンズ又はチップ状のものであれば良いた
め、従来からの加工方法によって製造でき、1個あたり
の単価が極めて安い。また、球面や非球面の反射ミラー
の形状である場合には、通常のレンズの形成品に反射ミ
ラーとしてのコートを行なえば良いので、特殊な取付け
部材が必要としない利点がある。
The shape of the mirror member has a curved surface portion 22 and an outer peripheral portion 24 as shown in FIG.
The stepped shape facilitates attachment to the rotary shaft 12 with the attachment member 26 that surrounds the outer peripheral portion 24.
In other words, the outer peripheral portion 24 is provided outside the curved surface portion 22 necessary for laser beam scanning in consideration of fixing to the rotating shaft 12. In order to facilitate the attachment of such an outer peripheral portion 24, a more stable fixing becomes possible by forming the outer surface into a flat shape as shown in FIG. In FIG. 8, the upper diagram is a plan view of such a two-step type mirror member 30, and the lower diagram is a view seen from the side on which the laser beam is incident. As described above, according to the present embodiment, since the mirror member and the rotary shaft 12 are processed separately, the rotary shaft 12 does not need to have both rigidity and mirror surface workability. Any material can be used as long as it can solve the problem of rigidity such as time deformation, and there is an advantage that the cost of the rotary shaft 12 can be significantly increased. Further, since the mirror member may be a glass or plastic lens or a chip-shaped member, it can be manufactured by a conventional processing method, and the unit price per piece is extremely low. Further, in the case of a spherical or aspherical reflection mirror, it is sufficient to coat an ordinary lens-formed product as a reflection mirror, and there is an advantage that no special mounting member is required.

【0011】次に、ピラミダルミラーのバランスを良く
し、高速回転時に振動のない安定した回転を達成する実
施例について説明する。図9に円筒状のピラミダルミラ
ー34と回転軸12の構成を示す。図9において、ミラ
ー部36が傾斜しているため、ミラー部36の上部の部
分38(斜線で示す)はモータ軸Eに対して、非対称な
形状となっている。ここで、ピラミダルミラー34を回
転させると、図11で示すように、上部の部分38によ
り、遠心力F1(ベクトル)が発生する。図10はその
ような遠心力F1(ベクトル)を打ち消すためのバラン
スウエイト40とその取付け用ワッシャ42を示す、平
面図、正面図である。バランスウエイト40とワッシャ
42は共に外形が円筒形状であり、バランスウエイト4
0は円筒形状を斜めに切断した形状となっている。バラ
ンスウエイト40とワッシャ42は共に、内側にピラミ
ダルミラー34の直径と同じ大きさの円孔44が設けら
れている。従って、図11に示したように、ピラミダル
ミラー34の外周部にバランスウエイト40をワッシャ
42により、接着や、ビス止め等の方法により回転軸1
2に取り付けることができる。
Next, an embodiment will be described in which the balance of the pyramidal mirror is improved to achieve stable rotation without vibration at high speed rotation. FIG. 9 shows the configuration of the cylindrical pyramidal mirror 34 and the rotary shaft 12. In FIG. 9, since the mirror portion 36 is inclined, the upper portion 38 (shown by diagonal lines) of the mirror portion 36 has an asymmetric shape with respect to the motor axis E. Here, when the pyramidal mirror 34 is rotated, a centrifugal force F1 (vector) is generated by the upper portion 38, as shown in FIG. FIG. 10 is a plan view and a front view showing a balance weight 40 and a mounting washer 42 for canceling the centrifugal force F1 (vector). Both the balance weight 40 and the washer 42 have a cylindrical outer shape.
0 is a shape obtained by obliquely cutting a cylindrical shape. Both the balance weight 40 and the washer 42 are provided with a circular hole 44 having the same size as the diameter of the pyramidal mirror 34 inside. Therefore, as shown in FIG. 11, the balance weight 40 is attached to the outer peripheral portion of the pyramidal mirror 34 with a washer 42 by a method such as bonding or screwing.
Can be attached to 2.

【0012】次に、ピラミダルミラー34が非対称であ
ることによる遠心力F1(ベクトル)を打ち消す方法に
ついて説明する。上部の部分38の遠心力は、ミラーの
微小質量maと中心軸Eからの距離rにより、慣性モー
メントI1が求まり、I1=ma・r12+ma・r22
+…+ma・r(n−1)2+ma・rn2となる。しか
し、この慣性モーメントに対し、F1(ベクトル)は1
つに決まるため、I1と等しい慣性モーメントI2をも
つバランスウエイトを設けることができたなら、遠心力
F1(ベクトル)を打ち消すことができる。即ち、F1
(ベクトル)+F2(ベクトル)=0となるF2(ベク
トル)を発生させる慣性モーメントを有するバランスウ
エイトを作れば良い。本実施例では、加工コストの面で
予め、F1(ベクトル)+F2(ベクトル)=0となる
ような方向にバランスウエイトの慣性モーメントI2を
I2=mb・r12+mb・r22+…+mb・r(n−
1)2+mb・rn2、(ここでmbはバランスウエイト
の微小質量を示す)とするように、図10に示したよう
なリングを斜めに切断した形で構成している。この場
合、斜めに切断する角度を調整することにより、各種形
状のピラミダルミラー34のバランスウエイトを簡単に
作ることができる。また、回転中心Eに対して、ピラミ
ダルミラー34は回転中心E近くにあるのに対して、バ
ランスウエイト40がピラミダルミラー34と比較する
と遠くにあるため、小さな重量で上部の部分38と同じ
効果の遠心力F2(ベクトル)が発生する。そのため、
バランスウエイト40の質量を少し重く設定することに
より、ピラミダルミラー34のバランス調整ができるだ
けでなく、高速回転時にモータの回転を安定させること
ができ、高精度な光走査を実現することができる。
Next, a method of canceling the centrifugal force F1 (vector) due to the asymmetry of the pyramidal mirror 34 will be described. As for the centrifugal force of the upper portion 38, the moment of inertia I1 is obtained from the minute mass ma of the mirror and the distance r from the central axis E, and I1 = ma · r1 2 + ma · r2 2
+ ... + ma · r (n−1) 2 + ma · rn 2 . However, for this moment of inertia, F1 (vector) is 1
Therefore, if a balance weight having an inertia moment I2 equal to I1 can be provided, the centrifugal force F1 (vector) can be canceled. That is, F1
It suffices to create a balance weight having an inertia moment that generates F2 (vector) such that (vector) + F2 (vector) = 0. In the present embodiment, the inertial moment I2 of the balance weight is set to I2 = mb · r1 2 + mb · r2 2 + ... + mb · r in the direction such that F1 (vector) + F2 (vector) = 0 in advance in terms of processing cost. (N-
1) 2 + mb · rn 2 , (where mb represents a minute mass of the balance weight), the ring shown in FIG. 10 is obliquely cut. In this case, the balance weights of the pyramidal mirrors 34 of various shapes can be easily made by adjusting the angle of oblique cutting. Further, while the pyramidal mirror 34 is near the rotation center E with respect to the rotation center E, the balance weight 40 is farther than the pyramidal mirror 34, and therefore the same effect as the upper portion 38 can be obtained with a small weight. A centrifugal force F2 (vector) is generated. for that reason,
By setting the mass of the balance weight 40 to be slightly heavier, not only can the balance of the pyramidal mirror 34 be adjusted, but also the rotation of the motor can be stabilized during high-speed rotation, and high-precision optical scanning can be realized.

【0013】最後に、非対称なピラミダルミラーのミラ
ー面と、回転軸とを高精度に一致させることができる実
施例について説明する。図12に本実施例に係るレーザ
光走査用光学器50の構成を示す。本実施例に係るレー
ザ光走査用光学器50は、円筒柱を斜めに切断し、その
切断面をミラー面としたピラニダルミラー部52と、そ
のピラニダルミラー部52の滑り軸受け部54と、駆動
源であるロータ部56とから構成されている。なお、レ
ーザ光走査用光学器50はSi等の硬い物質を含まない
黄銅を材料とされる。
Finally, an embodiment in which the mirror surface of the asymmetrical pyramidal mirror and the rotation axis can be aligned with high precision will be described. FIG. 12 shows the configuration of the laser beam scanning optical device 50 according to the present embodiment. The laser light scanning optical device 50 according to the present embodiment includes a pyramidal mirror portion 52 in which a cylindrical column is obliquely cut, and the cut surface is a mirror surface, and a slide bearing portion 54 of the pyranidal mirror portion 52. It is composed of a rotor portion 56 which is a drive source. The laser beam scanning optical device 50 is made of brass containing no hard substance such as Si.

【0014】次に、レーザ光走査用光学器50の製造方
法について説明する。まず、所定サイズの円筒形状の黄
銅を用意する。ロータ部56はその黄銅からなる回転軸
に、円周方向にS極、N極交互に磁性樹脂58を埋込む
ことにより構成される。図13はそのロータ部56を下
面から見た図である。その後、超精密旋盤にて、円筒面
をコンパックスダイアモンドバイトにより切削を行な
い、表面粗さ0.2〜0.3μm以下程度にする。この
時、磁性樹脂58も同じように加工されている。そし
て、その後、旋盤の回転軸に対して、45°傾け、ピラ
ニダルミラー部52のミラー面60をコンパックスダイ
アモンドバイトにより切削、その後、単結晶ダイアモン
トバイトにより鏡面切削を行ない、最大表面粗さ0.0
5μm以下にする。そして、ミラー面60の反射率を8
0%以上にするために、図14に拡大図で示すように、
750オングストローム程度のアルミニウムコート膜6
2を作成し、その上にλ/2の厚さのSiO(酸化シリ
コン)のコート膜64を作る。なお、λは使用するレー
ザの波長である。
Next, a method of manufacturing the laser beam scanning optical device 50 will be described. First, a cylindrical brass having a predetermined size is prepared. The rotor portion 56 is configured by embedding a magnetic resin 58 in the rotating shaft made of brass alternately in the circumferential direction with S poles and N poles. FIG. 13 is a view of the rotor portion 56 as seen from the lower surface. After that, the surface of the cylinder is cut with a Compax diamond tool with an ultra-precision lathe to have a surface roughness of about 0.2 to 0.3 μm or less. At this time, the magnetic resin 58 is similarly processed. Then, after tilting 45 ° with respect to the rotation axis of the lathe, the mirror surface 60 of the piranidal mirror portion 52 is cut with a Compax diamond bite, and then mirror surface cutting is performed with a single crystal diamond bite to obtain the maximum surface roughness. 0.0
5 μm or less. Then, the reflectance of the mirror surface 60 is set to 8
In order to achieve 0% or more, as shown in the enlarged view in FIG. 14,
Aluminum coat film 6 of about 750 Å
2 is formed, and a SiO (silicon oxide) coat film 64 having a thickness of λ / 2 is formed thereon. Note that λ is the wavelength of the laser used.

【0015】取付け作業においては、数千回転の高速で
回転するため、滑り軸受け部54は、ピラニダルミラー
部52の回転軸と摩耗しないように、回転軸よりやわら
かい材質、例えば、フッ素樹脂滑り軸受け(PTFE)
などが使用される。現在、耐摩耗性、機械的強度の改良
されたPTFE系樹脂が市販されており、7000rp
m程度の回転に耐えることができる。また、回転軸に磁
性樹脂58を埋め込むことにより、回転軸と共に切削加
工が可能となり、また、回転軸がモータのロータとして
の機能をもはたすことができ、コンパクト化が可能にな
る。また、用いる材料として黄銅を用いることにより、
回転軸とミラー面60の一括した切削加工が可能とな
り、加工効率が向上する。さらに、反射面が鏡面に切削
加工できることにより、薄くアルミニウム及びSiOを
コーティングすることができ、高精度なミラー面が得ら
れる。従って、本実施例によれば、組立てが容易で、か
つ高精度なレーザ光走査用光学器を提供できる。
In the mounting work, since the rotary shaft rotates at a high speed of several thousand revolutions, the slide bearing portion 54 is made of a material softer than the rotary shaft so as not to wear with the rotary shaft of the pyranidal mirror portion 52, for example, a fluororesin slide bearing. (PTFE)
Etc. are used. At present, PTFE-based resins with improved wear resistance and mechanical strength are commercially available.
It can withstand rotation of about m. Further, by embedding the magnetic resin 58 in the rotary shaft, it is possible to perform cutting work together with the rotary shaft, and the rotary shaft can also serve as a rotor of the motor, which enables downsizing. Also, by using brass as the material used,
The rotary shaft and the mirror surface 60 can be collectively cut, and the processing efficiency is improved. Further, since the reflecting surface can be cut into a mirror surface, aluminum and SiO can be thinly coated, and a highly accurate mirror surface can be obtained. Therefore, according to this embodiment, it is possible to provide a laser beam scanning optical device which is easy to assemble and has high precision.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、ピラミダルミラーを用いたレーザ光走査用光学器に
おいて、コストの削減と、レーザ光の走査の精度向上を
達成することができた。
As described above, according to the present invention, in the laser light scanning optical device using the pyramidal mirror, it is possible to reduce the cost and improve the accuracy of the laser light scanning. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本実施例に係るレーザ光走査用光学器を示す正
面図である。
FIG. 1 is a front view showing a laser beam scanning optical device according to the present embodiment.

【図2】本実施例に係るレーザ光走査用光学器の平面図
である。
FIG. 2 is a plan view of a laser beam scanning optical device according to the present embodiment.

【図3】本実施例に係るレーザ光走査用光学器の組立て
方法を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a method of assembling the laser light scanning optical device according to the present embodiment.

【図4】ピラミダルミラーに近い非対称形状の回転軸
に、ミラー部材を接着した実施例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing an example in which a mirror member is bonded to a rotation shaft having an asymmetrical shape close to a pyramidal mirror.

【図5】平面でないミラー部材を使用した実施例を示す
図である。
FIG. 5 is a diagram showing an example in which a mirror member that is not flat is used.

【図6】ミラー部材の回転軸への取付け方法を示す平面
図である。
FIG. 6 is a plan view showing a method of attaching a mirror member to a rotary shaft.

【図7】2段型ミラー部材を回転軸に取り付けた実施例
を示す平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing an embodiment in which a two-step type mirror member is attached to a rotary shaft.

【図8】2段型ミラー部材の形状を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing the shape of a two-stage mirror member.

【図9】ピラミダルミラーの非対称形状から発生する遠
心力を説明するための図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining a centrifugal force generated from an asymmetrical shape of a pyramidal mirror.

【図10】バランスウエイトとワッシャを示す図であ
る。
FIG. 10 is a diagram showing a balance weight and a washer.

【図11】高速回転時に振動のない安定した回転を達成
するレーザ光走査用光学器を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a laser beam scanning optical device that achieves stable rotation without vibration during high-speed rotation.

【図12】非対称なピラミダルミラーのミラー面と回転
軸とを高精度に一致させることができるレーザ光走査用
光学器の構成を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing a configuration of a laser light scanning optical device capable of accurately matching a mirror surface of an asymmetrical pyramidal mirror with a rotation axis.

【図13】ロータ部を下面から見た図である。FIG. 13 is a view of the rotor section as seen from the lower surface.

【図14】ピラニダルミラー部のミラー面を拡大した図
である。
FIG. 14 is an enlarged view of a mirror surface of a pyranidal mirror unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ミラー部材 12 回転軸 40 バランスウエイト 42 ワッシャ 50 レーザ光走査用光学器 10 mirror member 12 rotating shaft 40 balance weight 42 washer 50 laser beam scanning optical device

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】回転中心に対して反射面の形状が軸対称で
ないミラー部材と、該ミラー部材が固定される回転軸と
からなるレーザ光走査用光学器。
1. A laser beam scanning optical device comprising a mirror member whose reflection surface is not axially symmetric with respect to a rotation center, and a rotation shaft on which the mirror member is fixed.
【請求項2】回転軸の一部に、その回転中心に対して形
状が軸対称でない反射面を設けたことを特徴とするレー
ザ光走査用光学器。
2. An optical device for scanning laser light, characterized in that a reflecting surface which is not axially symmetric with respect to the center of rotation is provided on a part of the rotating shaft.
【請求項3】前記回転軸を快切削材である黄銅であるこ
とを特徴とする請求項2記載のレーザ光走査用光学器。
3. The laser beam scanning optical device according to claim 2, wherein the rotating shaft is brass which is a free cutting material.
【請求項4】前記反射面に反射率が80%以上となるよ
うにアルミニュウムコートがなされ、その上に耐腐食用
に酸化シリコンのコートがされていることを特徴とする
請求項1又は請求項2記載のレーザ光走査用光学器。
4. The aluminum coating is applied to the reflecting surface so that the reflectance is 80% or more, and the silicon oxide coating is applied on the aluminum coating for corrosion resistance. 2. An optical device for laser light scanning according to item 2.
【請求項5】前記回転軸の円筒面をコンパックスダイヤ
モンドにより切削を行ない、前記反射面を、前記回転軸
を傾けて単結晶ダイヤモンドバイトにより鏡面切削を行
ないうことにより、最大表面粗さRmax=0.05ミ
クロン以下にすることを特徴とする請求項2記載のレー
ザ光走査用光学器の製造方法。
5. The maximum surface roughness Rmax is obtained by cutting the cylindrical surface of the rotating shaft with Compax diamond and mirror-cutting the reflecting surface with a single crystal diamond tool with the rotating shaft inclined. The method for manufacturing an optical device for laser light scanning according to claim 2, wherein the optical device has a diameter of 0.05 μm or less.
【請求項6】前記回転軸に磁性樹脂を埋込み、ロータと
したことを特徴とする請求項2記載のレーザ光走査用光
学器。
6. The laser beam scanning optical device according to claim 2, wherein a magnetic resin is embedded in the rotating shaft to form a rotor.
【請求項7】前記反射面を凸面にしたことを特徴とする
請求項1又は請求項2記載のレーザ光走査用光学器。
7. The laser beam scanning optical device according to claim 1, wherein the reflecting surface is a convex surface.
【請求項8】前記反射面を凹面にしたことを特徴とする
請求項1又は請求項2記載のレーザ光走査用光学器。
8. The laser beam scanning optical device according to claim 1, wherein the reflecting surface is a concave surface.
【請求項9】請求項1記載のミラー部材及び回転軸、ま
たは請求項2記載の反射面を有する回転軸の形状から発
生する遠心力に対して、回転時に、バランスウエイトに
よる遠心力が釣り合うような構成となっていることを特
徴とするレーザ光走査用光学器。
9. The centrifugal force generated by the balance weight is balanced during rotation with respect to the centrifugal force generated from the shape of the mirror member and the rotating shaft according to claim 1 or the rotating shaft having the reflecting surface according to claim 2. An optical device for scanning laser light, which is characterized in that
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