JPH05196710A - Squid素子 - Google Patents

Squid素子

Info

Publication number
JPH05196710A
JPH05196710A JP3173836A JP17383691A JPH05196710A JP H05196710 A JPH05196710 A JP H05196710A JP 3173836 A JP3173836 A JP 3173836A JP 17383691 A JP17383691 A JP 17383691A JP H05196710 A JPH05196710 A JP H05196710A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
squid
turns
output
squid element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3173836A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukitoshi Takemura
幸敏 竹村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP3173836A priority Critical patent/JPH05196710A/ja
Publication of JPH05196710A publication Critical patent/JPH05196710A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 SQUID素子のrfコイルのターン数変更
を容易にする。 【構成】 rfコイルをプリント配線により作製し、所
定のターン毎に接続端子を設ける。SQUID素子の調
整の際は、rfコイルの巻き初めの接続端子と適当なタ
ーンの接続端子にリード線を接続し、SQUID素子の
出力を測定する。所定の出力が得られない場合には、r
fコイルの別の接続端子にリード線を接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁界の大きさを高感度
で検出することのできるSQUID素子(ユニット)に
関する。
【0002】
【従来の技術】SQUIDはジョセフソン接合を有する
超伝導リングであり、このリングには磁束が磁束量子の
単位で出入りするという性質を利用して、非常に小さい
磁場まで検出することができる。現在のところ、SQU
IDにはrfSQUID及びdcSQUIDという2つ
のタイプがあり、そのうち、1個のジョセフソン接合部
を有するrfSQUIDは測定の安定度が高いという特
長を有する。
【0003】rfSQUIDを利用する磁気測定装置で
は、図4に示すように、rfSQUID40の近傍にr
fSQUID40と誘導的に結合するようにrfコイル
41を設ける。rfコイル41と並列にコンデンサ42
を設け、これらにより共振回路を構成する。以上の要素
から構成されるSQUID素子43は、動作時は液体ヘ
リウム温度に保たれる。
【0004】磁界測定時の動作は次の通りである。rf
発振器44より、数十MHzの高周波信号をSQUID
素子43内の共振回路41、42に供給する。ここにお
ける高周波信号の振幅は、これに応答するSQUID4
0のリング電流が臨界電流Icよりも少し大きくなるよ
うにしておく。ここで、基準信号発振器45から数十k
Hzの基準信号を共振回路のインダクタンス(rfコイ
ル)41を通じてSQUID40に供給する。これによ
り高周波信号の振幅が臨界電流Icの上下で変化し、エ
ンベロープが三角波状の高周波電圧が共振回路41、4
2に現われる。この上にさらに被測定磁界がSQUID
リング40に加わると、出力波の位相がずれてくる。従
って、共振回路41、42から出力される高周波を検波
して、エンベロープ波形を検出し、基準信号との位相差
を同期検波回路46で検出することにより、被測定磁界
の大きさを測定することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】rfコイル41により
励起されるrfSQUID40の入力磁束φrfはφrf=
M・Irfと表わされる。ここで、Mはrfコイル41と
rfSQUID40の相互インダクタンス、Irfはrf
コイル41に流れる電流であるが、その他の条件を一定
とした場合、相互インダクタンスMはrfコイル41の
ターン数(巻き数)にほぼ比例する。
【0006】SQUIDは非常に微妙なものであり、多
数のSQUIDユニットを製造するとユニット毎にその
特性が少しづつ異なる。SQUIDを使用する磁気測定
装置は非常に微弱な磁界を測定するものであるため、こ
のような僅かの特性の違いでも測定精度に影響を与え
る。このため、rfコイルは対応するrfSQUID毎
に調整を行なう必要がある。
【0007】従来、rfSQUID素子のユニットを製
造する際は、予め標準的なターン数のrfコイルを作製
し、それをSQUID素子ユニットに組み込んで、所定
のrfコイル電流に対して正しい出力が得られるかどう
かを検査していた。所定の出力が得られない場合、ユニ
ットからrfコイルを取り出し、コイルのワイヤの長さ
を調節して再度組み込み、出力検査を行なっていた。こ
こで、コイルを構成するワイヤが長すぎる場合にはワイ
ヤを切ればよいが、ワイヤが短すぎる場合には、新たに
長いワイヤのコイルを使用しなければならなず、短いワ
イヤのコイルは無駄となる。
【0008】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、rfコ
イルのターン数の調整が容易であるSQUID素子を提
供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明では、rfSQUIDリングとその近
傍に設けられたrfコイルとを有するSQUID素子に
おいて、rfコイルをプリント配線により作製し、その
プリント配線の所定のターン数毎にリード線接続用の端
子を設けたことを特徴とする。
【0010】なお、ここでいう「所定のターン数」には
整数でないターン数も含まれ、1/2、1/4等の1巻
以下毎に端子を設けるような場合を含む。
【0011】
【作用】最初にrfコイルを作成する場合、コイルの出
力線(rfコイルに電流を供給するリード線)の一方を
プリント配線の一方の端部の端子に接続し、他方の出力
線を適当なターン数の所の端子(いくつかのSQUID
素子ユニットの組立を行なううちに、標準的な位置を決
めることができる)に接続する。このrfコイルをSQ
UID素子ユニットに組み込み、rfコイルに所定の電
流を流してSQUID素子の出力を測定する。ここで所
定の出力値が得られない場合、rfコイルをSQUID
素子ユニットから取り出し、上記他方の出力線を別の端
子に接続し直し、ユニットに組み込んで同様の出力検査
を行なう。
【0012】
【実施例】本発明の一実施例であるrfSQUID素子
ユニットの断面を図3に示す。ここに示す例はいわゆる
露出型のSQUID素子であり、外部磁界を検出するた
めのピックアップコイルを使用せず、SQUID自身が
外部磁界を検出するものである。図3のSQUID素子
ユニット30では、SQUID板31とrfコイル板3
2とが内部で重ね合わせられ、ケース33の内部で固定
されている。SQUID板31は、石英板上にNb薄膜
により1個のジョセフソン接合部を有するSQUIDリ
ングが形成されたものである。
【0013】rfコイル板32の斜視図を図1に示す。
本実施例では、rfコイル板32は基板10上に導体薄
膜11が方形のコイル状にプリント配線されて構成され
ている。なお、基板10及び導体薄膜11は、SQUI
D板31と同様に、石英板とNb薄膜を用いることがで
きるが、その他の材料を使用しても構わない。方形のコ
イルの一隅には、各ターン毎に接続端子T0,T1,T
2,…,Tn-1,Tnが設けられている。
【0014】このSQUID素子ユニット30を組み立
てる際は、まず、rfコイル板32のプリント配線コイ
ルの中央側の端子T0と、別の端子Tk(k=1,…,
n)とにリード線を取り付け、SQUID板31と重ね
合わせてケース33内に入れる。そして、rfコイルの
リード線をrfコイル端子34に接続し、rfコイル端
子34でケース33を閉じる。この状態でユニット30
を冷却し、SQUID素子を作動させて、外部磁界φに
対する出力Vを検査する。ここで、出力が出ない、ある
いは、V−φカーブの波高値が所定値よりも低い場合に
は、rfコイルがSQUIDと適合していないといえ
る。従って、rfコイル板32を取り出し、リード線の
取り付け部を別の端子Tk+i(i=±1,±2,…)に変
更して、再度調整を行なう。
【0015】こうしてrfコイルの調整が終了し、SQ
UID素子30の出力が所定値に達したところでrfコ
イル端子34をケース33にモールドして固定し、SQ
UID素子ユニット30を完成する。以上の通り、本実
施例では、rfコイルのターン数の変更が容易であり、
しかも、たとえrfコイルのターン数が少なすぎる場合
でも、リード線をよりターン数の多い方の端子に付け変
えるだけで済み、新たなrfコイル板32を使用する必
要がない。
【0016】図2に本発明の第2実施例であるrfコイ
ル板32の斜視図を示す。本実施例では、方形のコイル
の2隅に端子20、21を設け、0.5ターン毎にター
ン数を変更することができるようになっている。同様に
4隅に設けて1/4ターン毎とすることもできる。ま
た、コイルの形は方形に限らず、円形にすることも可能
である。
【0017】
【発明の効果】本発明に係るSQUID素子では、rf
コイルの出力線の接続箇所を、プリント配線上に多数設
けられた接続端子のいずれかに変更するだけで、rfコ
イルのターン数を変更することができる。このため、r
fコイルのワイヤが長すぎた場合はもちろん、短すぎた
場合でも、新たなrfコイルユニットを使用する必要が
なく、rfコイルユニットの無駄がなくなる。また、タ
ーン数の変更が容易となるため、rfコイルの調整に要
する時間が短縮される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例であるSQUID素子のr
fコイル板の斜視図。
【図2】 本発明の第2実施例であるrfコイル板の斜
視図。
【図3】 実施例のrfSQUID素子ユニットの縦断
面図。
【図4】 rfSQUIDの動作原理を説明するための
機能ブロック図。
【符号の説明】
10…rfコイル用基板 11…rfコイ
ル用導体薄膜 T0,T1,T2,…,Tn-1,Tn、20、21…リード
線接続用端子 30…SQUID素子ユニット 31…SQUID板 32…rfコイ
ル板 33…ケース 34…rfコイ
ル端子 40…SQUIDリング

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 rfSQUIDリングとその近傍に設け
    られたrfコイルとを有するSQUID素子において、
    rfコイルをプリント配線により作製し、所定のターン
    数毎にリード線接続用の端子を設けたことを特徴とする
    SQUID素子。
JP3173836A 1991-07-15 1991-07-15 Squid素子 Pending JPH05196710A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3173836A JPH05196710A (ja) 1991-07-15 1991-07-15 Squid素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3173836A JPH05196710A (ja) 1991-07-15 1991-07-15 Squid素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05196710A true JPH05196710A (ja) 1993-08-06

Family

ID=15968061

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3173836A Pending JPH05196710A (ja) 1991-07-15 1991-07-15 Squid素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05196710A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010271087A (ja) * 2009-05-19 2010-12-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010271087A (ja) * 2009-05-19 2010-12-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR910004261B1 (ko) 자전 변환 소자를 이용한 검지기
KR100468833B1 (ko) 차동스파이어럴형자계검출소자및이를채용한자계검출모듈
Liakopoulos et al. A micro-fluxgate magnetic sensor using micromachined planar solenoid coils
EP0147655B1 (en) Miniature squid susceptometer
US20090230955A1 (en) Orthogonal Fluxgate Magnetic Field Sensor
EP0380562B1 (en) Magnetometer employing a saturable core inductor
JPH10513549A (ja) 副ループ動作された電流変圧器を有する直流及び交流電流センサ
GB2064140A (en) Measuring transducers for measuring magnetic fields
Dezuari et al. New hybrid technology for planar fluxgate sensor fabrication
US5015952A (en) Apparatus for characterizing conductivity of materials by measuring the effect of induced shielding currents therein
JP3081902B2 (ja) 磁場検出回路
US5268646A (en) Apparatus for characterizing conductivity of superconducting materials
US6407547B1 (en) Biaxial flux gate type magnetic sensor
Ripka Noise and stability of magnetic sensors
JP2001504589A (ja) rf−SQUIDを超伝導タンク共振回路に結合するための配置
JPH05196710A (ja) Squid素子
Robertson Microfabricated fluxgate sensors with low noise and wide bandwidth
GB2319621A (en) Magnetic sensor
CA1130471A (en) Asymmetrical squid
Tsujimoto et al. Pinhole device: a new type of thin film transformer
JPH01217981A (ja) 超電導量子干渉素子
JPH044555B2 (ja)
JP2949819B2 (ja) 超伝導量子干渉素子
RU2100819C1 (ru) Магнитометр
Yang et al. Performance Comparison of Two MEMS Fluxgate Magnetic Field Sensors with Different Cores