JPH05172588A - アブソリュートエンコーダ - Google Patents
アブソリュートエンコーダInfo
- Publication number
- JPH05172588A JPH05172588A JP34527791A JP34527791A JPH05172588A JP H05172588 A JPH05172588 A JP H05172588A JP 34527791 A JP34527791 A JP 34527791A JP 34527791 A JP34527791 A JP 34527791A JP H05172588 A JPH05172588 A JP H05172588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bit
- sequence
- pattern
- arbitrary
- image sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
アブソリュートエンコーダを得る。 【構成】 回転可能な目盛板1の周縁には、全周に亘っ
て広狭2種のスリット2が形成されている。広い幅のス
リットはビットの「1」、狭い幅のスリットは「0」に
対応する。この広狭2種のスリット2から成るビット系
列は、(2k−1)ビット(kは指数)の循環乱数コード
であるM系列の中の隣り合う(k−1)ビットが任意の
ビット列の隣り合う(k−1)ビットと同じコードのビ
ット列に来たとき前記任意のビット列に飛ばしてM系列
より小さい循環乱数コードを形成する。発光ダイオード
3から出射した光はスリット2を経てイメージセンサ7
に入力する。
Description
アブソリュートエンコーダに関する。
て、グレイコードを用いた目盛板を利用したものが知ら
れている。このエンコーダは、高い分解能を得ることが
困難であるため、内挿用の特別な目盛を設けて分解能を
上げていた。したがって、このエンコーダでは、目盛板
が複雑になり、高い精度の目盛板の製造が難しく、ま
た、目盛板読み取り装置も複雑でコストが高い欠点があ
った。
ードを用いたアブソリュートエンコーダが提案されてい
る(特開平2−132324号公報)。
えばkビットの場合は2k、但し、kは指数、以下同様)
のスリットを配列したもので、2kの分解能が得られ
る。
いたアブソリュートエンコーダは、スリットの数に対応
した分解能2kに限られるため、任意の分解能を得るこ
とが困難であった。本発明は、任意の分解能を得ること
ができるアブソリュートエンコーダを提供することをそ
の目的としたものである。
めに、請求項1記載の発明は、(2k−1)ビット(kは
指数)の循環乱数コードであるM系列の中の任意の隣り
合う(k−1)ビットがこのM系列中の別の場所で全く
同じコードの隣り合う(k−1)ビットのビット列に来
たとき前記任意のビット列に飛ばしてM系列よりも小さ
い(k+1)〜(2k−2)の任意の長さの循環乱数コ
ードであるビット系列を作り、このビット系列を基板上
にパターンとして形成して成る目盛板と、該目盛板のパ
ターンを読み取る手段と、該手段で読み取ったビット列
のパターンから被測定体の絶対位置を求める手段とを具
備することを特徴とし、請求項2記載の発明は、(2k
−1)ビット(kは指数)の循環乱数コードであるM系
列の中の任意の隣り合う(k−1)ビットがこのM系列
中の別の場所で全く同じコードの隣り合う(k−1)ビ
ットのビット列に来たとき前記任意のビット列に飛ばし
てM系列より小さい(k+1)〜(2k−2)の任意の
長さの循環乱数コードであるビット系列を作り、このビ
ット系列を基板上に、ピッチが一定に配列され且つ広狭
2種の透光部又は不透光部から成るパターンとして形成
して成る目盛板と、該目盛板のパターン形成部を挾んで
光学的に対設された透光部及びイメージセンサと、該イ
メージセンサ上のビット列のパターンに対応した像から
被測定体の絶対位置を求めると共に該ビット列のパター
ンに対応した像の重心の、イメージセンサ上の基準位置
からの距離(重心位置)を求め、前記絶対位置から該重
心位置を差し引いて被測定体の高分解能絶対位置を求め
る手段とを具備することを特徴とする。
頭と後端とをつないでリング状にビットを並べたとき、
その隣り合ったk個のビット列のパターンが、リング状
に並べられたビット列の他のどの場所にも同じパターン
で並べられたビット列がないことを特徴としている。
のビット列に注目すると、このM系列上にもう一ヶ所だ
け同じように並べられたパターンがあるはずである。す
なわち、k−1個のビット列の並びの次には、一方がビ
ット0ならば他方がビット1であるというように別々の
ビットがくるのはM系列の特性から当然である。このk
−1個のビット列から同じパターンのk−1個のビット
列までの間隔(あるk−1個のビット列の先頭から同じ
パターンで並んでいるビット列の先頭まで並んでいるビ
ット列の数)を、すべて0のビットを除いて(M系列上
に隣り合ったk個のビットが0のパターンはないので、
0がk−1個並んでいるパターンも1個所しかない)す
べてのk−1個のビットでできるビット列パターンにつ
いて調べてみると、その間隔が1〜2k−2まですべて
そろっていることが判る(あるk−1個のパターンから
それと同じ並びのパターンまでの間隔は、そのどちらか
ら数え始めるかによって2パターン存在する。)。
列を並べると、2k−1個目で始めて先頭に戻ることに
なっている系列を、途中1個所で本来ビット0がくると
ころをビット1がくるようにすると、他の場所ではすべ
てM系列の規則に従わせても、いろいろな大きさのリン
グ状に並べられたビット列は、隣り合ったk個のビット
がすべてユニークな系列ができる。このリング状のビッ
ト列全体の大きさは、互いに同じパターンのk−1個の
ビット列の間隔が1〜2k−2までそろっていることに
より、k+1個(k個のビット列が2つ以上存在するた
めに最低必要な数)から2k−2個まで自由に選べるこ
とが判る。したがって、M系列で本来0が来るところを
ビット1が来るようにする時に、その場所の選び方によ
って、隣り合ったk個のビット列のパターンのユニーク
さを保ちながら自由な長さ(k+1個から2k−2個ま
で)のリング状の系列を作ることができ、所望の分解能
をもつ目盛板を作ることができる。
メージセンサ上に形成されたビット列のパターンに対応
した像から被測定体の絶対位置が求められ、該ビット列
のパターンに対応した像の重心の、イメージセンサ上の
基準位置からの距離(重心位置)から内挿値を得ること
ができ、該被測定体の絶対位置から内挿値を差し引くこ
とによって高分解能の絶対位置が得られる。
る。図1乃至図3において、1は図示しない回転軸に回
転自在に支承された目盛板で、この目盛板の周縁部に
は、全周に亘ってビット系列を形成するスリット2が設
けられている。目盛板1の下方には、発光ダイオード
3、コリメーションレンズ4及びプリズム5から成る送
光部6が配設され、上方には、例えばCCDのリニアイ
メージセンサ7、レンズ8、9及びプリズム10から成
る受光部11が配設され、発光ダイオード3から出射し
た光がコリメーションレンズ4、プリズム5を経てスリ
ット2を通り、プリズム10、レンズ8、9を経てリニ
アイメージセンサ7に入射するようになっており、目盛
板1のパターンを読み取る手段を構成している。前記ス
リット2は、図2に示すように、広狭2種のスリット2
1、22から成り、一定のピッチで形成されている。幅の
広いスリット21は、ビット「1」に対応し、幅の狭い
スリット22は、ビット「0」に対応する。分解能が1
0′のエンコーダでは、前記目盛板1のスリット数S
は、360度=S×分解能(10/60度)よりS=2
160個となる。M系列のビット数は、k=12のとき
は、212−1=4095、k=11のときは211−1=
2047であるので、k=12、即ち、12個のビット
列まで作ったM系列に注目する。このM系列は、「00
000 00000 01010………11100 1
0110 11011」となり、「00000 000
00 01」から「0000 00000 010」
「00000000 0101」を経て「00 101
10 11011」までの4095個の互いに異なるビ
ット列から成るコードが並ぶ循環乱数コードである。こ
こで、今、任意の「ab cdefg hijkl」
(a〜lはすべて「0」又は「1」である。)なる12
個のビット列から成るコードに注目する。この「abc
defg hijkl」なるコードはM系列(4095
個のビット列)の中では唯一個しか存在しないが、最後
の「l」のみ異なるコード「ab cdefghijk
m」(m≠l)は、M系列のどこにあるのか不明である
が、他の1個だけ存在する。そこで、最後の「l」を除
いた「ab cdefg hijk−」なるコードであ
って、これと前記「ab cdefg hijkl」と
の間のビット列の数が2160となるコードをコンピュ
ータで求める。12ビットのM系列では、「01 11
111 11000」と「01 11111 1100
1」との間が2160個のビット列として求められた。
そこで、「01 11111 11000」から「01
11111 11001」までの「0」と「1」のビ
ット列に相当するスリット2が目盛板1のガラス基盤に
形成することにより、10′の分解能のロータリエンコ
ーダが得られる。
記リニアイメージセンサ7の出力は、増幅器12及びA
−Dコンバータ13を介してマイクロコンピュータ14
に接続されている。マイクロコンピュータ14は、発振
器15に接続されたタイミングゲート16をコントロー
ルし、タイミングゲート16はリニアイメージセンサ7
を駆動すると共にリニアイメージセンサ7のダイナミッ
クレンジを広くするために発光ダイオード3の発光時間
をコントロールするようになっている。前記マイクロコ
ンピュータ14は、リニアイメージセンサ7で読み取っ
たパターンから被測定体の絶対位置、この実施例では絶
対角度を算出する手段を構成し、この絶対角度はディス
プレス17に表示される。これを更に詳細に説明する
と、リニアイメージセンサ7上のスリット21、22の像
の明るさの分布は、例えば図4に示すような曲線Lにな
り、リニアイメージセンサ7の各受光セル(CCDセ
ル)は、ある大きさをもっているため棒グラフで示すよ
うな大きさの出力信号を出力する。マイクロコンピュー
タ14は、各受光セルの出力を順番に調べながら出力信
号の極小値と極大値をサーチし、それによってスリット
2の1つ1つを区別し、それぞれのスリットの像を出力
信号の集合から求める。すなわち、それぞれのスリット
21、22の像を、像に対応する出力信号の集合である棒
グラフの面積を計算することによってスリット2が広い
か狭いかを識別することができる。このスリット21、
22の広狭の識別を目盛板1のシリアルコードの例えば
12ビットのビット列に対応するスリット像について行
ない、マイクロコンピュータ14のROM内にあるアブ
ソリュート角度のコードと比較することによりアブソリ
ュート角度を算出する。
能は、360°/S(S;スリット数)であり、それ以
上の分解能を得るには、重心法による内挿を行なう。
重心GP、すなわち、像の明るさの曲線Lの左右のバラ
ンスから見た中心位置は、各受光セルの出力である棒グ
ラフの全体の重心位置と一致しており、次のようにして
求められる。
位置から注目している像の中心位置までの距離を表わし
ている。
センサ7上の例えば5個のスリット2の像i−2、i−
1、i、i+1、i+2の各重心のリニアイメージセン
サ7上の基準位置からの距離(重心位置)を前記のよう
にして求め、これらを平均することによって、全体の像
の重心GP位置すなわちリニアイメージセンサ7上の基
準位置から重心GPまでの距離D2を求めて内挿値を得
る。
角度D1は目標原点からリニアイメージセンサ7上の基
準位置からi番目のスリット位置までの角度を表わして
おり、i番目のスリット位置と全体の像の重心位置GP
とは一致しているので、D1−D2によって目盛原点から
リニアイメージセンサ7上の基準位置までの高分解能角
度データを得る。
ータはいずれも前記マイクロコンピュータ14によって
行なう。
バータ13の電圧分解能及びリニアイメージセンサ7の
分解能(セルの大きさ)によって決まる。A−Dコンバ
ータ13は、高分解能のものが容易に入手できる。リニ
アイメージセンサ7のCCDのセルの大きさは、細かい
もので数ミクロンであり、受光系レンズによって像を拡
大すれば、相対的に分解能が向上する。この重心法の内
挿によると、内挿用の特別な目盛や読み取り装置が不要
であるため、簡単な構造で実現でき、コストが下げられ
る。
パターンでビット列を表現したが、透過/不透過が逆の
パターンでビット列を表現してもよい。また、上記実施
例では送光部6及び受光部11を1組設けたが目盛板1
の直径上の対向する位置にもう一組設けてもよく、この
ようにすれば目盛板の偏心誤差を計算で除くことができ
る。尚、本発明のエンコーダは、光反射型その他のエン
コーダにも適用できる。また、ロータリエンコーダだけ
でなく、リニアスケールを用いたエンコーダにも適用で
きる。
解能のエンコーダを得ることができる。請求項2記載の
発明によれば、任意な高分解能のエンコーダを得ること
ができる。
受光セルの出力との関係図
重心位置の説明図
度データとの関係の説明図
ト 3 発光ダイオード 7 リニアイメージセ
ンサ 14 マイクロコンピュータ
Claims (2)
- 【請求項1】 (2k−1)ビット(kは指数)の循環乱
数コードであるM系列の中の任意の隣り合う(k−1)
ビットがこのM系列中の別の場所で全く同じコードの隣
り合う(k−1)ビットのビット列に来たとき前記任意
のビット列に飛ばしてM系列よりも小さい(k+1)〜
(2k−2)の任意の長さの循環乱数コードであるビッ
ト系列を作り、このビット系列を基板上にパターンとし
て形成して成る目盛板と、該目盛板のパターンを読み取
る手段と、該手段で読み取ったビット列のパターンから
被測定体の絶対位置を求める手段とを具備することを特
徴とするアブソリュートエンコーダ。 - 【請求項2】 (2k−1)ビット(kは指数)の循環乱
数コードであるM系列の中の任意の隣り合う(k−1)
ビットがこのM系列中の別の場所で全く同じコードの隣
り合う(k−1)ビットのビット列に来たとき前記任意
のビット列に飛ばしてM系列より小さい(k+1)〜
(2k−2)の任意の長さの循環乱数コードであるビッ
ト系列を作り、このビット系列を基板上に、ピッチが一
定に配列され且つ広狭2種の透光部又は不透光部から成
るパターンとして形成して成る目盛板と、該目盛板のパ
ターン形成部を挾んで光学的に対設された透光部及びイ
メージセンサと、該イメージセンサ上のビット列のパタ
ーンに対応した像から被測定体の絶対位置を求めると共
に該ビット列のパターンに対応した像の重心の、イメー
ジセンサ上の基準位置からの距離(重心位置)を求め、
前記絶対位置から該重心位置を差し引いて被測定体の高
分解能絶対位置を求める手段とを具備することを特徴と
するアブソリュートエンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34527791A JP3184939B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | アブソリュートエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34527791A JP3184939B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | アブソリュートエンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05172588A true JPH05172588A (ja) | 1993-07-09 |
JP3184939B2 JP3184939B2 (ja) | 2001-07-09 |
Family
ID=18375506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34527791A Expired - Fee Related JP3184939B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | アブソリュートエンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3184939B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007259517A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Ricoh Co Ltd | 回転体駆動制御装置、画像形成装置および位置ずれ補正方法 |
CN100425952C (zh) * | 2006-10-10 | 2008-10-15 | 李苏 | 退化伪随机旋转传感器 |
WO2020026978A1 (ja) | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社トプコン | 角度検出システムおよび角度検出方法 |
WO2020026980A1 (ja) | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社トプコン | 角度検出システムおよび角度検出方法 |
EP3633315A1 (en) | 2018-10-04 | 2020-04-08 | Topcon Corporation | Angle detection system |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5294009B2 (ja) * | 2008-10-14 | 2013-09-18 | 株式会社安川電機 | 絶対位置検出装置および絶対位置検出装置を搭載したモータ |
JP7234087B2 (ja) | 2019-10-09 | 2023-03-07 | Dmg森精機株式会社 | アブソリュートリニアエンコーダ |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP34527791A patent/JP3184939B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007259517A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Ricoh Co Ltd | 回転体駆動制御装置、画像形成装置および位置ずれ補正方法 |
CN100425952C (zh) * | 2006-10-10 | 2008-10-15 | 李苏 | 退化伪随机旋转传感器 |
WO2020026978A1 (ja) | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社トプコン | 角度検出システムおよび角度検出方法 |
WO2020026980A1 (ja) | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社トプコン | 角度検出システムおよび角度検出方法 |
EP3633315A1 (en) | 2018-10-04 | 2020-04-08 | Topcon Corporation | Angle detection system |
US10837767B2 (en) | 2018-10-04 | 2020-11-17 | Topcon Corporation | Angle detection system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3184939B2 (ja) | 2001-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4518859A (en) | Angle measuring device with line sensor | |
JP3168451B2 (ja) | ロータリーエンコーダ | |
US5279044A (en) | Measuring device for determining an absolute position of a movable element and scale graduation element suitable for use in such a measuring device | |
US5825307A (en) | Absolute linear encoder and method of production utilizing index and counter channels | |
CN106482669B (zh) | 一种采用双线阵图像探测器的角位移测量系统 | |
US4421980A (en) | Position encoder with closed-ring diode array | |
CN1311852A (zh) | 角度编码器 | |
CN1091246C (zh) | 确定箭在靶上命中点的设备 | |
EP0116636A1 (en) | POSITION MEASURING DEVICE. | |
JPH04309814A (ja) | 変位測定装置 | |
CN110006366B (zh) | 一种图像反射式的角位移测量装置及其方法 | |
CN109238176B (zh) | 一种角度位移测量装置及其测量方法 | |
CN102095439A (zh) | 单码道绝对位置编码方法、解码方法及测量装置 | |
US4799798A (en) | Method of and an apparatus for an optical measuring of a position | |
JPH05172588A (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
EP0718599B2 (en) | Incremental encoder | |
CN101300462B (zh) | 光电式角度测量装置 | |
US4101882A (en) | Data read-out system and apparatus useful for angular measurements | |
JP3442869B2 (ja) | 光学式アブソリュートエンコーダ | |
CN2771823Y (zh) | 绝对式角度编码器 | |
CA2440669A1 (en) | Method for calibrating a measuring instrument | |
JP2743493B2 (ja) | 受光位置検出装置 | |
KR101005781B1 (ko) | 각도 측정 장치 및 방법 | |
JPS61112914A (ja) | 中でも測地学的器機のための角度測定装置 | |
WO1991010288A2 (en) | Position sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090511 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 Year of fee payment: 9 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 10 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 10 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |