JPH05167159A - レーザパワー減衰装置 - Google Patents
レーザパワー減衰装置Info
- Publication number
- JPH05167159A JPH05167159A JP3328444A JP32844491A JPH05167159A JP H05167159 A JPH05167159 A JP H05167159A JP 3328444 A JP3328444 A JP 3328444A JP 32844491 A JP32844491 A JP 32844491A JP H05167159 A JPH05167159 A JP H05167159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- power
- optical fiber
- laser power
- laser beam
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成でレーザパワーの減衰調整を可能
とする。 【構成】 レーザ発振器1と光ファイバー4へのビーム
導入用集光レンズ6との間のレーザ光路中にレーザビー
ム3の一部を遮光する遮光部材51を設置する。この遮
光部材51は移動および停止が可能であり、これによ
り、所望の値にレーザの平均パワーおよびピークパワー
を減衰できる。一部を遮光されたレーザビームはもはや
元の形状を保っていないが、光ファイバーを通過するこ
とによりほぼ軸対象の円形ビームとなるため、所望のパ
ワーで加工対象物の加工が適切に行える。
とする。 【構成】 レーザ発振器1と光ファイバー4へのビーム
導入用集光レンズ6との間のレーザ光路中にレーザビー
ム3の一部を遮光する遮光部材51を設置する。この遮
光部材51は移動および停止が可能であり、これによ
り、所望の値にレーザの平均パワーおよびピークパワー
を減衰できる。一部を遮光されたレーザビームはもはや
元の形状を保っていないが、光ファイバーを通過するこ
とによりほぼ軸対象の円形ビームとなるため、所望のパ
ワーで加工対象物の加工が適切に行える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバーにより
レーザビームを伝送し被加工物を加工するレーザ加工装
置に適用されるレーザパワー減衰装置に関するものであ
る。
レーザビームを伝送し被加工物を加工するレーザ加工装
置に適用されるレーザパワー減衰装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図2は、例えば特開平3−20075号
公報に示された従来のレーザパワー減衰装置の構成を示
すブロック図である。同図において、1はレーザ発振
器、2はレーザ発振器1の電源装置、3はレーザ発振器
1から発したレーザビーム、4は光ファイバー、55は
レーザパワー減衰器、56はレーザパワー減衰器55を
構成する回転円盤、56aは回転円盤56の透光部、5
6bは回転円盤56の遮光部、57は回転円盤56の回
転駆動モータである。
公報に示された従来のレーザパワー減衰装置の構成を示
すブロック図である。同図において、1はレーザ発振
器、2はレーザ発振器1の電源装置、3はレーザ発振器
1から発したレーザビーム、4は光ファイバー、55は
レーザパワー減衰器、56はレーザパワー減衰器55を
構成する回転円盤、56aは回転円盤56の透光部、5
6bは回転円盤56の遮光部、57は回転円盤56の回
転駆動モータである。
【0003】このような構成において、レーザ発振器1
は電源装置2から給電されてレーザビーム3を発する。
レーザビーム3の光路中には、レーザパワー減衰器55
の回転円盤56が配置されており、この回転円盤56は
駆動モータ57により一定速度で回転しているため、レ
ーザビーム3は透光部56a,遮光部56bにより、一
定周期でオン,オフされる。
は電源装置2から給電されてレーザビーム3を発する。
レーザビーム3の光路中には、レーザパワー減衰器55
の回転円盤56が配置されており、この回転円盤56は
駆動モータ57により一定速度で回転しているため、レ
ーザビーム3は透光部56a,遮光部56bにより、一
定周期でオン,オフされる。
【0004】したがって時間的に平均すると、回転円盤
56を通過したレーザパワーはレーザ発振器1から発し
たビームのパワーに比べて減衰され、その減衰率は、回
転円盤56の透光部56aと遮光部56bとの円周方向
の長さの比により決定されることになる。例えば透光部
56aと遮光部56bとの長さの比が1:4とすると、
レーザパワーは1/5に減衰される。
56を通過したレーザパワーはレーザ発振器1から発し
たビームのパワーに比べて減衰され、その減衰率は、回
転円盤56の透光部56aと遮光部56bとの円周方向
の長さの比により決定されることになる。例えば透光部
56aと遮光部56bとの長さの比が1:4とすると、
レーザパワーは1/5に減衰される。
【0005】このようにしてレーザパワー減衰器55を
通過してパワーを減衰させたレーザビームは光ファイバ
ー4に導入され、図示されない加工レンズに導かれて被
加工物の加工が行われる。
通過してパワーを減衰させたレーザビームは光ファイバ
ー4に導入され、図示されない加工レンズに導かれて被
加工物の加工が行われる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
レーザパワー減衰装置は、パワーの減衰率を変えて所望
のパワーを得るためには回転円盤56の透光部56aと
遮光部56bとの比を変えること、すなわち回転円盤5
6の形状を変える必要があった。このためには多種類の
回転円盤を準備し、円盤の回転を止めてから所望の減衰
比を持つ円盤と交換し、再度円盤を安定に立ち上げる必
要があり、手間がかかった。
レーザパワー減衰装置は、パワーの減衰率を変えて所望
のパワーを得るためには回転円盤56の透光部56aと
遮光部56bとの比を変えること、すなわち回転円盤5
6の形状を変える必要があった。このためには多種類の
回転円盤を準備し、円盤の回転を止めてから所望の減衰
比を持つ円盤と交換し、再度円盤を安定に立ち上げる必
要があり、手間がかかった。
【0007】また、ビームを時間的にオン,オフさせる
ため、時間平均パワーは減衰するが、回転円盤透光部通
過時のビームパワーのピーク値は変化せず、加工対象に
よっては高いピークパワーのため適切な加工ができない
という問題があった。
ため、時間平均パワーは減衰するが、回転円盤透光部通
過時のビームパワーのピーク値は変化せず、加工対象に
よっては高いピークパワーのため適切な加工ができない
という問題があった。
【0008】したがってこの発明は、前述した従来の課
題を解決するためになされたものであり、その目的は、
簡単な構成でレーザパワーの減衰調整ができるレーザパ
ワー減衰装置を提供することにある。
題を解決するためになされたものであり、その目的は、
簡単な構成でレーザパワーの減衰調整ができるレーザパ
ワー減衰装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためにこの発明によるレーザパワー減衰装置は、レー
ザ発振器と光ファイバーへレーザビームを導入するため
の集光レンズとの間の光路中にビームの一部を遮光する
遮光部材を挿入したものである。
るためにこの発明によるレーザパワー減衰装置は、レー
ザ発振器と光ファイバーへレーザビームを導入するため
の集光レンズとの間の光路中にビームの一部を遮光する
遮光部材を挿入したものである。
【0010】
【作用】この発明においては、レーザビームの光路中に
挿入された遮光部材によりビームの一部が遮光され、し
たがって平均パワーおよびピーク値が減衰される。
挿入された遮光部材によりビームの一部が遮光され、し
たがって平均パワーおよびピーク値が減衰される。
【0011】
【実施例】以下、図面を用いてこの発明の実施例を詳細
に説明する。図1はこの発明によるレーザパワー減衰装
置の一実施例よる構成を示す説明図である。同図におい
て、1はレーザ発振器、2はレーザ発振器1の電源装
置、3はレーザビーム、4は光ファイバー、5はレーザ
パワー減衰器であり、このレーザパワー減衰器5は遮光
部材51とその移動機構52とから構成されている。6
は集光レンズ、7は加工レンズ、8は加工対象物であ
る。
に説明する。図1はこの発明によるレーザパワー減衰装
置の一実施例よる構成を示す説明図である。同図におい
て、1はレーザ発振器、2はレーザ発振器1の電源装
置、3はレーザビーム、4は光ファイバー、5はレーザ
パワー減衰器であり、このレーザパワー減衰器5は遮光
部材51とその移動機構52とから構成されている。6
は集光レンズ、7は加工レンズ、8は加工対象物であ
る。
【0012】このような構成において、レーザ発振器1
は電源装置2により給電されてレーザビーム3を発す
る。レーザビーム3はレーザパワー減衰器5の遮光部材
51によりビームの一部が遮光され、したがって時間平
均パワーおよびピークパワーが減衰する。この減衰率の
調整は遮光部材51の移動機構52によりビームの遮光
領域を変化させることにより行われる。この移動機構5
2は、例えば手動により1軸方向に移動,停止できる簡
単なもので良い。
は電源装置2により給電されてレーザビーム3を発す
る。レーザビーム3はレーザパワー減衰器5の遮光部材
51によりビームの一部が遮光され、したがって時間平
均パワーおよびピークパワーが減衰する。この減衰率の
調整は遮光部材51の移動機構52によりビームの遮光
領域を変化させることにより行われる。この移動機構5
2は、例えば手動により1軸方向に移動,停止できる簡
単なもので良い。
【0013】パワーが減衰したレーザビーム31は、集
光レンズ6により適切な大きさに集光されて光ファイバ
ー4に導入される。レーザパワー減衰器5を通過したビ
ーム31は、パワーが減衰しているだけでなく、ビーム
の形状がレーザパワー減衰器5を通過する前のビーム3
とは異なり、もはや軸対象の円形ビームではなくなる
が、ファイバー4を通過することにより、ほぼ完全な軸
対称性をもってファイバー4の出射端から出射される。
光レンズ6により適切な大きさに集光されて光ファイバ
ー4に導入される。レーザパワー減衰器5を通過したビ
ーム31は、パワーが減衰しているだけでなく、ビーム
の形状がレーザパワー減衰器5を通過する前のビーム3
とは異なり、もはや軸対象の円形ビームではなくなる
が、ファイバー4を通過することにより、ほぼ完全な軸
対称性をもってファイバー4の出射端から出射される。
【0014】これは、光がファイバー内で多数回反射を
繰り返しながら伝送されという光ファイバーの性質に依
っており、いわゆるステップインデックス型のファイバ
ーはこの効果が大きい。したがって遮光部材51の形状
はビームの形状に係わりなく任意の形で良く、ビーム3
を遮光できれば良い。
繰り返しながら伝送されという光ファイバーの性質に依
っており、いわゆるステップインデックス型のファイバ
ーはこの効果が大きい。したがって遮光部材51の形状
はビームの形状に係わりなく任意の形で良く、ビーム3
を遮光できれば良い。
【0015】また、光ファイバー4を通過し、このファ
イバー4の出射端より出射したビームは、加工レンズ7
により加工対象物8に集光照射されて加工対象物8の加
工が所望のパワーで適切に行われる。
イバー4の出射端より出射したビームは、加工レンズ7
により加工対象物8に集光照射されて加工対象物8の加
工が所望のパワーで適切に行われる。
【0016】
【発明の効果】以上、説明したようにこの発明によれ
ば、レーザビームの一部を遮光することにより、レーザ
パワーを所望の値に減衰でき、加工対象物の適切な加工
が行えるという極めて優れた効果が得られる。
ば、レーザビームの一部を遮光することにより、レーザ
パワーを所望の値に減衰でき、加工対象物の適切な加工
が行えるという極めて優れた効果が得られる。
【図1】この発明によるレーザパワー減衰装置の一実施
例よる構成を示す図である。
例よる構成を示す図である。
【図2】従来のレーザパワー減衰装置の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
1 レーザ発振器 2 電源装置 3 レーザビーム 31 レーザパワー減衰器通過後のレーザビーム 4 光ファイバー 5 レーザパワー減衰器 51 遮光部材 52 遮光部材の駆動機構 6 集光レンズ 7 加工レンズ 8 加工対象物
Claims (1)
- 【請求項1】 レーザ発振器と、前記レーザ発振器から
発したビームを加工対象物に照射させる加工レンズと、
前記レーザ発振器から発したビームを加工レンズに伝送
する光ファイバーとを備えたレーザ加工装置において、 前記レーザ発振器と光ファイバーとの間のビーム光路に
前記ビームの一部を遮光する遮光部材と、 前記遮光部材のビーム遮光量を変える移動装置と、 を設けたことを特徴とするレーザパワー減衰装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3328444A JPH05167159A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | レーザパワー減衰装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3328444A JPH05167159A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | レーザパワー減衰装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05167159A true JPH05167159A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18210346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3328444A Pending JPH05167159A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | レーザパワー減衰装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05167159A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001025736A1 (fr) * | 1999-10-07 | 2001-04-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif de sortie optique a longueur d'onde variable |
JP2002178323A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミックグリーンシートの加工装置 |
KR101034241B1 (ko) * | 2009-04-02 | 2011-05-12 | 한국전기연구원 | 비등방성 레이저 결정을 펌핑하기 위한 레이저 장치 |
CN110052703A (zh) * | 2019-05-23 | 2019-07-26 | 桂林电子科技大学 | 连续激光与超声复合表面微加工系统及方法 |
-
1991
- 1991-12-12 JP JP3328444A patent/JPH05167159A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001025736A1 (fr) * | 1999-10-07 | 2001-04-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif de sortie optique a longueur d'onde variable |
US6973233B1 (en) | 1999-10-07 | 2005-12-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Variable-wavelength optical output device |
JP2002178323A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミックグリーンシートの加工装置 |
KR101034241B1 (ko) * | 2009-04-02 | 2011-05-12 | 한국전기연구원 | 비등방성 레이저 결정을 펌핑하기 위한 레이저 장치 |
CN110052703A (zh) * | 2019-05-23 | 2019-07-26 | 桂林电子科技大学 | 连续激光与超声复合表面微加工系统及方法 |
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