JPH05152103A - Manufacture of thermistor element - Google Patents

Manufacture of thermistor element

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JPH05152103A
JPH05152103A JP3310737A JP31073791A JPH05152103A JP H05152103 A JPH05152103 A JP H05152103A JP 3310737 A JP3310737 A JP 3310737A JP 31073791 A JP31073791 A JP 31073791A JP H05152103 A JPH05152103 A JP H05152103A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
forming
ceramic green
thermistor element
thermistor
laminated
Prior art date
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Pending
Application number
JP3310737A
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Japanese (ja)
Inventor
Hirobumi Sunahara
博文 砂原
Yasunobu Yoneda
康信 米田
Yukio Sakabe
行雄 坂部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Thermistors And Varistors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a thermistor element with a high allowable current value and a high selective degree of freedom of a resistance value. CONSTITUTION:Paste for forming a porous layer into which sintering components are mixed is applied onto one plane of each ceramic green sheet to form a specific pattern. The ceramic green sheets are laminated so that an end part on the extending side of each specific pattern can be arranged in a location opposing alternately. Further, a thermistor element is manufactured, containing a process of forming a laminated body in which an end surface of an end part on the extending side is exposed on a different side surface, and a process of forming an internal electrode 6 within a specific pattern which has become porous after a sintered body 4 obtained by sintering this laminated body is abruptly cooled and of forming an external electrode 7 on each side surface of the sintered body 4 in which each end surface of these internal electrodes 6 has been exposed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、ある温度で電気抵抗
が急激に変化することを特徴とするサーミスタ素子の製
造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a thermistor element characterized in that its electric resistance changes rapidly at a certain temperature.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在実用化されているサーミスタ素子
(CTR)のうち、VO2を基本組成とするものはある
温度域における温度上昇によって電気抵抗が急激に低下
してなる温度−抵抗特性、いわゆる負のサーミスタ特性
を有しており、この特性はVO2の結晶構造が70℃付
近において半導体・金属間で転移することによって得ら
れるものである。そして、このサーミスタ素子は、基本
素材であるV25に対してB,Si,P,Mg,Ca,
Sr,Ba,La,Pbなどの酸化物のうちの1種ない
し2種を加えて混合し、かつ、得られた混合物を800
〜900℃程度の還元性雰囲気中で熱処理して粉砕した
うえ、いわゆるビード型として形成した後、さらに、1
000℃程度の還元性雰囲気中で焼成したうえで急冷処
理することによって製造されるのが一般的となってい
る。
2. Description of the Related Art Among the thermistor elements (CTRs) currently in practical use, those having a basic composition of VO 2 have a temperature-resistance characteristic in which the electric resistance sharply decreases due to a temperature rise in a certain temperature range, so-called. It has a negative thermistor characteristic, and this characteristic is obtained by the transition of the crystal structure of VO 2 between semiconductor and metal at around 70 ° C. Further, this thermistor element is composed of B, Si, P, Mg, Ca, and V 2 O 5 which are basic materials.
One or two kinds of oxides such as Sr, Ba, La and Pb are added and mixed, and the resulting mixture is mixed with 800
After heat treatment in a reducing atmosphere of about 900 ° C. and crushing and forming into a so-called bead type, 1
It is generally manufactured by firing in a reducing atmosphere of about 000 ° C. and then quenching.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
サーミスタ素子におけるサーミスタ特性は製造工程に大
きく依存することが知られており、良好なサーミスタ特
性を得るためには当初からきめ細かな製造条件を設定し
ておく必要がある。特に、焼成後における急冷処理は、
還元性雰囲気中における熱処理と同様、サーミスタ特性
に対する影響が最も大きいものであり、良好なサーミス
タ特性を得るためには900℃以上の温度域から急冷処
理する必要がある。
By the way, it is known that the thermistor characteristics in such a thermistor element largely depend on the manufacturing process, and in order to obtain good thermistor characteristics, fine manufacturing conditions are set from the beginning. You need to do it. In particular, the quenching process after firing is
Similar to the heat treatment in a reducing atmosphere, it has the greatest effect on the thermistor characteristics, and in order to obtain good thermistor characteristics, it is necessary to perform quenching treatment from a temperature range of 900 ° C or higher.

【0004】そこで、均質的な急冷処理が行われにくい
ディスク型などといわれる大型のサーミスタ素子では良
好なサーミスタ特性を得ることが困難となってしまうた
め、現状ではビード型や薄膜型などといわれる小型のサ
ーミスタ素子を製品として用いるのが主流となってい
る。しかしながら、これら小型のサーミスタ素子では、
許容電流値が数10mA以下に限られてしまうばかり
か、使用温度域における抵抗値の選択自由度が低くなっ
てしまうため、突入電流抑制素子としての用途などのよ
うな幅広い需要に十分応えることができないのが現状で
あった。
Therefore, it becomes difficult to obtain good thermistor characteristics with a large-sized thermistor element such as a disk type which is difficult to perform homogeneous quenching. Therefore, at present, a small type called a bead type or a thin film type is used. The thermistor element is used as a product in the mainstream. However, in these small thermistor elements,
Not only is the allowable current value limited to several tens of mA or less, but the degree of freedom in selecting the resistance value in the operating temperature range becomes low, so it is possible to sufficiently meet a wide range of demands such as applications as an inrush current suppressing element. It was the current situation that I could not.

【0005】本発明は、このような不都合に鑑みて創案
されたものであり、許容電流値が高く、しかも、抵抗値
の選択自由度が高いサーミスタ素子の製造方法を提供す
ることを目的としている。
The present invention was devised in view of such inconvenience, and an object thereof is to provide a method for manufacturing a thermistor element having a high allowable current value and a high degree of freedom in selecting a resistance value. ..

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明にかかるサーミス
タ素子の製造方法は、このような目的を達成するため
に、サーミスタ特性を有するセラミックグリーンシート
それぞれの一面上にカーボン(炭素)などのような焼失
成分が混入されたポーラス(多孔質)層形成用ペースト
を塗布し、各セラミックグリーンシートの一端部まで延
出された所定パターンを形成する工程と、所定パターン
それぞれの延出側端部が交互に対向する位置に配置され
るようにして各セラミックグリーンシートを積層し、各
所定パターンの延出側端部の端面が異なる側面上それぞ
れに露出した積層体を形成する工程と、この積層体を焼
成して得られた焼成体を急冷処理した後、ポーラス状と
なった所定パターン内に内部電極を形成し、かつ、これ
らの内部電極それぞれの端面が露出した焼成体の各側面
上に外部電極を形成する工程とを含むことを特徴とする
ものである。
In order to achieve such an object, the method for manufacturing a thermistor element according to the present invention is made of carbon (carbon) or the like on one surface of each of the ceramic green sheets having thermistor characteristics. The process of applying a porous layer-forming paste mixed with burned components and forming a predetermined pattern that extends to one end of each ceramic green sheet, and the extension side end of each predetermined pattern alternate Stacking the respective ceramic green sheets so as to be arranged at positions facing each other, and forming a laminated body in which the end faces of the extension side end portions of the respective predetermined patterns are exposed on different side faces, and this laminated body is formed. After quenching the fired body obtained by firing, internal electrodes are formed in a predetermined pattern having a porous shape, and each of these internal electrodes is formed. In which the end face of which is characterized in that a step of forming an external electrode on each side surface of the sintered body was exposed.

【0007】[0007]

【作用】上記方法において、セラミックグリーンシート
からなる積層体を焼成した際には、各セラミックグリー
ンシート上に塗布されていたポーラス層形成用ペースト
中の焼失成分が失われてしまうことになり、得られた焼
成体の内部には所定パターンのそれぞれがポーラス状の
通路として残されていることになる。そこで、この焼成
体の内部は、ポーラス状となった通路それぞれを介して
セラミックグリーンシートと見合う厚みごとに薄く分割
されているのと同構造であることになり、この焼成体に
対する急冷処理は、その外形が従来例におけるディスク
型などよりも大きくなっている場合であっても、ポーラ
ス状の通路を介して効果的かつ均質的に行われることに
なる。
In the above method, when the ceramic green sheet laminate is fired, the burned component in the porous layer forming paste applied on each ceramic green sheet is lost. Each of the predetermined patterns is left as a porous passage inside the fired body. Therefore, the inside of this fired body has the same structure as being thinly divided by the thickness corresponding to the ceramic green sheet through each of the porous passages. Even when the outer shape is larger than that of the disk type in the conventional example, it is effectively and uniformly performed through the porous passage.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明方法の一実施例を図面に基づい
て説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the method of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】図1ないし図3は本実施例にかかるサーミ
スタ素子の製造手順を示しており、図1はサーミスタ素
子を構成する積層体の分解状態を示す斜視図、図2は積
層体の内部構造を示す断面図、図3は焼成体の内部構造
を示す断面図であり、図4は完成したサーミスタ素子の
内部構造を示す断面図である。
1 to 3 show the manufacturing procedure of the thermistor element according to this embodiment. FIG. 1 is a perspective view showing a disassembled state of a laminated body constituting the thermistor element, and FIG. 2 is an internal structure of the laminated body. Is a sectional view showing the internal structure of the fired body, and FIG. 4 is a sectional view showing the internal structure of the completed thermistor element.

【0010】まず、基本素材であるV25、これに加え
る酸化物としてのP25及びBaOを用意したうえ、こ
れらを所要量ずつ秤量して均一に混合し、得られた混合
物を加熱して溶融することによってガラス状とした後、
これを還元性雰囲気中で熱処理したうえで粉砕すること
によって原料粉末を作成する。そして、この原料粉末に
対して酢酸ビニル系バインダ、分散剤及び可塑剤を加え
た後、ドクターブレード法によってサーミスタ特性を有
するセラミックグリーンシートとして形成したうえ、こ
れを切断することによって50mm×30mmの矩形状
とされた複数枚のセラミックグリーンシート1を形成す
る。また、このとき、上記原料粉末に対してカーボン
(炭素)などのような焼失成分を加えて混合することに
より、ポーラス(多孔質)層形成用ペーストを形成す
る。その後、セラミックグリーンシート1それぞれの一
面上にポーラス層形成用ペーストを塗布(印刷)し、図
1で示すように、各セラミックグリーンシート1の一端
部にまで端部が延出された所定パターン2を形成する。
First, V 2 O 5 which is a basic material, P 2 O 5 and BaO as oxides to be added thereto are prepared, and these are weighed in a required amount and uniformly mixed, and the obtained mixture is obtained. After making it into a glass by heating and melting,
This is heat-treated in a reducing atmosphere and then pulverized to prepare a raw material powder. Then, after adding a vinyl acetate binder, a dispersant and a plasticizer to this raw material powder, a ceramic green sheet having thermistor characteristics is formed by the doctor blade method, and this is cut to obtain a rectangular 50 mm × 30 mm rectangle. A plurality of shaped ceramic green sheets 1 are formed. At this time, a paste for forming a porous layer is formed by adding a burn-out component such as carbon to the raw material powder and mixing them. Then, a paste for forming a porous layer is applied (printed) onto one surface of each of the ceramic green sheets 1, and as shown in FIG. 1, a predetermined pattern 2 whose end portion extends to one end portion of each ceramic green sheet 1. To form.

【0011】つぎに、これらのセラミックグリーンシー
ト1を互いに積層するが、この際、図1で示すように、
所定パターン2それぞれの延出側端部2a,2bが交互
に対向する位置に配置されるようにしながら各セラミッ
クグリーンシート1を積層した後、これらを圧着するこ
とによって各所定パターン2の延出側端部2a,2bの
端面が異なる側面3a,3b上それぞれに露出した積層
体3を形成する。なお、この積層体3の最上部には、上
記ポーラス層形成用ペーストによる所定パターンが形成
されていない状態のセラミックグリーンシート1が圧着
されている。そこで、この積層体3においては、図2で
示すように、一方の所定パターン2の延出側端部2aの
端面が積層体3の右側面3a上に、また、他方の所定パ
ターン2の延出側端部2bの端面が左側面3b上に露出
していることになる。
Next, these ceramic green sheets 1 are laminated on each other. At this time, as shown in FIG.
After the respective ceramic green sheets 1 are laminated while the extension side end portions 2a and 2b of the respective predetermined patterns 2 are alternately arranged at the opposite positions, the extension sides of the respective predetermined patterns 2 are bonded by pressure bonding. The stacked body 3 is formed so that the end portions 2a and 2b have different end faces and are exposed on the respective side surfaces 3a and 3b. It should be noted that the ceramic green sheet 1 in a state where a predetermined pattern of the porous layer forming paste is not formed is pressure-bonded to the uppermost portion of the laminated body 3. Therefore, in this laminated body 3, as shown in FIG. 2, the end surface of the extension side end portion 2a of the one predetermined pattern 2 is on the right side surface 3a of the laminated body 3 and the other predetermined pattern 2 is extended. The end surface of the output side end 2b is exposed on the left side surface 3b.

【0012】そして、所定パターン2を形成するポーラ
ス層形成用ペーストを乾燥させたうえ、複数枚のセラミ
ックグリーンシート1が積層されてなる積層体3を90
0〜1000℃程度とされたN2などの不活性雰囲気中
に投入して焼成する。すると、各セラミックグリーンシ
ート1上に塗布されていたポーラス層形成用ペースト中
の焼失成分であるカーボンなどが焼き飛ばされて失われ
てしまうことになり、図3で示すように、得られた焼成
体4の内部には所定パターン2のそれぞれが原料粉末の
みからなるポーラス状の通路5として残されていること
になる。すなわち、このようにして得られた焼成体4に
おいては、その内部がポーラス状となった通路5それぞ
れを介して当初のセラミックグリーンシート1と見合う
厚みごとに薄く分割されているのと同構造であることに
なる。
Then, the porous layer forming paste for forming the predetermined pattern 2 is dried, and then the laminated body 3 in which a plurality of ceramic green sheets 1 are laminated is formed.
It is fired by being placed in an inert atmosphere such as N 2 at 0 to 1000 ° C. Then, carbon and the like which are burned out components in the porous layer forming paste applied on each ceramic green sheet 1 are burned off and lost. As shown in FIG. Each of the predetermined patterns 2 is left inside the body 4 as a porous passage 5 made of only the raw material powder. That is, the fired body 4 thus obtained has the same structure as that of the fired body 4 which is thinly divided by the thickness corresponding to the original ceramic green sheet 1 through each of the passages 5 having a porous shape. There will be.

【0013】そこで、この焼成によって得られた焼成体
4を焼成炉から取り出したうえで急冷処理すると、この
焼成体4に対する急冷処理は所定パターン2であったポ
ーラス状の通路5を介して効果的かつ均質的に行われる
ことになる。そのため、この焼成体4の外形が従来例に
おけるディスク型などよりも大きい場合であったとして
も、何らの不都合なく均質的に急冷処理されることにな
る。
Therefore, when the fired body 4 obtained by this firing is taken out from the firing furnace and then rapidly cooled, the quenching treatment for this fired body 4 is effectively performed through the porous passage 5 having the predetermined pattern 2. And it will be done homogeneously. Therefore, even if the outer shape of the fired body 4 is larger than that of the disk type or the like in the conventional example, the quenching treatment is carried out uniformly and without any inconvenience.

【0014】つぎに、この急冷処理された焼成体4を真
空中において脱気処理した後、Sn,Pbのような低融
点金属などを熔融してなる金属溶液中に浸漬する。する
と、図4で示すように、ポーラス状の通路5となってい
た所定パターン2内には金属溶液が侵入してなる内部電
極6が形成されることになる。さらに、これらの内部電
極6それぞれの端面が露出した焼成体4の各側面4a,
4b上に導電ペーストを塗布して焼き付けると、これら
の側面4a,4b上には内部電極6のそれぞれと接続さ
れた一対の外部電極7が形成されることになり、サーミ
スタ素子として完成する。
Next, the fired body 4 subjected to the quenching treatment is deaerated in a vacuum, and then immersed in a metal solution prepared by melting a low melting point metal such as Sn or Pb. Then, as shown in FIG. 4, the internal electrode 6 in which the metal solution penetrates is formed in the predetermined pattern 2 which was the porous passage 5. Furthermore, the side surfaces 4a of the fired body 4 in which the respective end surfaces of the internal electrodes 6 are exposed,
When a conductive paste is applied and baked on 4b, a pair of external electrodes 7 connected to each of the internal electrodes 6 is formed on these side surfaces 4a and 4b, thus completing the thermistor element.

【0015】ところで、以上説明した本実施例方法にか
かる図1〜図4においてはセラミックグリーンシート1
及びこれらからなるセラミック層の層数を少なく表示し
ているが、本発明の発明者らがサーミスタ素子における
セラミック層の層数を実用的な50層としたうえでサー
ミスタ特性を測定したところによれば、図5で示すよう
に、その初期抵抗値は102Ω程度であり、従来の一般
的なサーミスタ素子の1/100以下となっている。ま
た、本実施例方法によって形成されたサーミスタ素子の
有する許容電流値も1A程度となり、従来のサーミスタ
素子と比較した場合には約10倍となっている。なお、
サーミスタ特性を示す図5における横軸は温度℃、縦軸
は電気抵抗値Ωを示している。
By the way, in FIGS. 1 to 4 according to the method of this embodiment described above, the ceramic green sheet 1 is used.
Also, although the number of ceramic layers made of these is shown small, the inventors of the present invention measured the thermistor characteristics after setting the number of ceramic layers in the thermistor element to practical 50 layers. For example, as shown in FIG. 5, the initial resistance value is about 10 2 Ω, which is 1/100 or less of that of the conventional general thermistor element. Also, the allowable current value of the thermistor element formed by the method of this embodiment is about 1 A, which is about 10 times that of the conventional thermistor element. In addition,
In FIG. 5, which shows the thermistor characteristics, the horizontal axis represents temperature ° C and the vertical axis represents electrical resistance value Ω.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかるサ
ーミスタ素子の製造方法によれば、各セラミックグリー
ンシート上に塗布されていたポーラス層形成用ペースト
中の焼失成分が積層体の焼成によって失われてしまい、
焼成体の内部には所定パターンのそれぞれがポーラス状
の通路として残されることになるので、この焼成体の内
部はポーラス状となった通路それぞれを介してセラミッ
クグリーンシートと見合う厚みごとに薄く分割されてい
るのと同構造であることになる。そこで、この焼成体に
対する急冷処理はポーラス状の通路を介して効果的かつ
均質的に行われることになり、その外形が大きい場合で
あっても、極めて良好なサーミスタ特性を得ることがで
きることになる。
As described above, according to the method of manufacturing a thermistor element according to the present invention, the burned components in the porous layer forming paste coated on each ceramic green sheet are lost by firing the laminate. I was destroyed,
Since each of the predetermined patterns is left as a porous passage inside the fired body, the inside of the fired body is divided into thin pieces by the thickness corresponding to the ceramic green sheet through each of the porous passages. It has the same structure as Therefore, the quenching treatment for the fired body is effectively and uniformly performed through the porous passage, and it is possible to obtain extremely good thermistor characteristics even when the outer shape is large. ..

【0017】また、本発明方法においては、サーミスタ
特性を示すセラミック層を多層化しているので、サーミ
スタ素子全体の容量が大きくなり、許容電流値の高いサ
ーミスタ素子が得られることになる。さらに、各セラミ
ック層の大きさ及び積層数を調整することによって初期
抵抗値を広範囲にわたって設定できることになり、突入
電流抑制素子としての用途などにも使用可能となるとい
う効果が得られる。
Further, in the method of the present invention, since the ceramic layers exhibiting the thermistor characteristics are multi-layered, the capacity of the thermistor element as a whole is increased and a thermistor element having a high allowable current value can be obtained. Furthermore, the initial resistance value can be set over a wide range by adjusting the size of each ceramic layer and the number of laminated layers, and the effect that it can be used as an inrush current suppressing element can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本実施例にかかるサーミスタ素子を構成する積
層体の分解状態を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an exploded state of a laminated body constituting a thermistor element according to the present embodiment.

【図2】積層体の内部構造を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an internal structure of a laminated body.

【図3】焼成体の内部構造を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an internal structure of a fired body.

【図4】完成したサーミスタ素子の内部構造を示す断面
図である。
FIG. 4 is a sectional view showing an internal structure of a completed thermistor element.

【図5】サーミスタ特性を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing the thermistor characteristics.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セラミックグリーンシート 2 所定パターン 2a,2b 延出側端部 3 積層体 3a,3b 側面 4 焼成体 4a,4b 側面 6 内部電極 7 外部電極 1 Ceramic Green Sheet 2 Predetermined Patterns 2a, 2b Extension Side Ends 3 Laminates 3a, 3b Sides 4 Burned Body 4a, 4b Sides 6 Internal Electrodes 7 External Electrodes

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 サーミスタ特性を有するセラミックグリ
ーンシート(1)それぞれの一面上に焼失成分が混入さ
れたポーラス層形成用ペーストを塗布し、各セラミック
グリーンシート(1)の一端部まで延出された所定パタ
ーン(2)を形成する工程と、 所定パターン(2)それぞれの延出側端部(2a,2
b)が交互に対向する位置に配置されるようにして各セ
ラミックグリーンシート(1)を積層し、各所定パター
ン(2)の延出側端部(2a,2b)の端面が異なる側
面(3a,3b)上それぞれに露出した積層体(3)を
形成する工程と、 この積層体(3)を焼成して得られた焼成体(4)を急
冷処理した後、ポーラス状となった所定パターン(2)
内に内部電極(6)を形成し、かつ、これらの内部電極
(6)それぞれの端面が露出した焼成体(4)の各側面
(4a,4b)上に外部電極(7)を形成する工程とを
含むサーミスタ素子の製造方法。
1. A ceramic green sheet (1) having a thermistor property is coated with a porous layer-forming paste containing a burn-out component on one surface thereof and extended to one end of each ceramic green sheet (1). A step of forming the predetermined pattern (2), and extending side end portions (2a, 2) of the predetermined pattern (2)
b) are laminated so that the ceramic green sheets (1) are alternately arranged at opposite positions, and the end faces of the extension side end parts (2a, 2b) of the respective predetermined patterns (2) are different side faces (3a). , 3b) to form the exposed laminated body (3) on each of them, and the fired body (4) obtained by firing the laminated body (3) is rapidly cooled, and then has a predetermined pattern in a porous shape. (2)
A step of forming an internal electrode (6) inside and forming an external electrode (7) on each side surface (4a, 4b) of the fired body (4) in which end faces of each of the internal electrodes (6) are exposed. A method for manufacturing a thermistor element including:
JP3310737A 1991-11-26 1991-11-26 Manufacture of thermistor element Pending JPH05152103A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013012583A (en) * 2011-06-29 2013-01-17 Nichicon Corp Critical temperature thermistor, thermistor element for the same and method for manufacturing the thermistor element

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013012583A (en) * 2011-06-29 2013-01-17 Nichicon Corp Critical temperature thermistor, thermistor element for the same and method for manufacturing the thermistor element

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