JPH05138131A - Degreasing washing method - Google Patents

Degreasing washing method

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JPH05138131A
JPH05138131A JP30310291A JP30310291A JPH05138131A JP H05138131 A JPH05138131 A JP H05138131A JP 30310291 A JP30310291 A JP 30310291A JP 30310291 A JP30310291 A JP 30310291A JP H05138131 A JPH05138131 A JP H05138131A
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JP
Japan
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cleaning
washing
spray
pure water
ultrasonic
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JP30310291A
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Japanese (ja)
Inventor
Shiro Inoue
司朗 井上
Hideo Suematsu
日出雄 末松
Kazunori Koba
和則 木場
Hidetaka Sawada
英隆 澤田
Takashi Hirano
隆 平野
Shoichi Momose
祥一 百瀬
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Hitachi Zosen Corp
Original Assignee
Hitachi Zosen Corp
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Publication date
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Priority to ITTO911046A priority patent/IT1250557B/en
Priority to US07/812,992 priority patent/US5250117A/en
Priority to GB9127437A priority patent/GB2251403B/en
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

PURPOSE:To facilitate waste water treatment and to effectively wash mold release agents without leaving unwashed parts even if the mold release agents stuck on the wash differ in solubility by using pure water having the prescribed values of resistivity and temperature as washing liquid and constituting a washing process by an ultrasonic washing process and a spray washing process. CONSTITUTION:A washing process use pure water of >=10MOMEGA.cm resistivity and >=50 deg.C as washing liquid and is constituted by an ultrasonic washing process and a spray washing process. The washing liquid is fed to a spray nozzle 27 from multiple effect water purifying equipment 11 through a pure water feeding pipe 31 and sprayed from the nozzle 27. The washing water sprayed is collected in the bottom part of a spray chamber 26 and transferred to the bottom part of an ultrasonic washing tank 23 through a sprayed washing liquid recovery pipe 29. The washing liquid flows upward in the tank 23 from the bottom part and overflows the tank 23 to be collected in a trough 24 and is returned to the multiple effect water purifying equipment 11 through an overflow washing liquid recovery pipe 25 for reuse.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、プラスチック成型品
を始めとして、その他、例えば液晶用ガラス、プラスチ
ックレンズ、ガラスレンズ、フォトマスク、デイスク・
セラミック基板、水晶、ヘッド、CCD用ガラス、精密
機械部品等の物品に付着したパラフィン系やソープ系離
型剤等を脱脂洗浄方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to, for example, plastic molded products, and other materials such as glass for liquid crystals, plastic lenses, glass lenses, photomasks and disks.
The present invention relates to a degreasing and cleaning method for degreasing paraffin-based or soap-based release agents attached to articles such as ceramic substrates, crystals, heads, CCD glass, and precision machine parts.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4に、従来の方法に使用される装置が
示されている。この装置は、ミストルーム41およびシャ
ワールーム42を備えている。ミストルーム41およびシャ
ワールーム42の天井から被脱脂洗浄物Wが吊下げられて
いる。被脱脂洗浄物Wは、自動車バンパーである。ミス
トルーム41には洗浄液Lが溜められている。洗浄液L
は、トリクロロエタンのような有機溶媒である。洗浄液
Lはヒータ43によって加熱される。加熱されてミストと
なった洗浄液は上昇し、冷却器44で冷却されて結露し、
被脱脂洗浄物Wに付着する。シャワールーム42の適所に
はシャワーヘッド45が配置されており、これらのヘッド
45から上記と同じ有機溶媒よりなる洗浄液が被脱脂洗浄
物Wにかけられる。シャワールーム42から出された被脱
脂洗浄物Wは次工程の塗装工程へ送られる。
2. Description of the Related Art FIG. 4 shows an apparatus used in a conventional method. This device includes a mist room 41 and a shower room 42. The degreased cleaning object W is hung from the ceilings of the mist room 41 and the shower room 42. The cleaning object W to be degreased is an automobile bumper. The cleaning liquid L is stored in the mist room 41. Cleaning liquid L
Is an organic solvent such as trichloroethane. The cleaning liquid L is heated by the heater 43. The cleaning liquid that has been heated to become mist rises, is cooled by the cooler 44 and condenses,
It adheres to the article to be degreased W. Shower heads 45 are arranged at appropriate places in the shower room 42, and these heads are arranged.
From 45, a cleaning liquid consisting of the same organic solvent as described above is applied to the object W to be degreased. The article W to be degreased discharged from the shower room 42 is sent to the coating step of the next step.

【0003】また、別の方法としては、市水に酸または
アルカリを添加した水を洗浄液として用い、これを被脱
脂洗浄物にスプレイするものも知られている。
As another method, there is known a method in which city water is added with an acid or an alkali as a cleaning liquid, and the cleaning liquid is sprayed on the object to be degreased.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記において、洗浄液
として有機溶媒を用いる方法では、有機溶媒が環境汚染
の問題からその使用が制限されつつあり、これに代わる
方法の開発が待たれている。
In the above method, the use of the organic solvent as the cleaning liquid is being restricted due to the problem of environmental pollution of the organic solvent, and the development of a method to replace it is awaited.

【0005】一方、洗浄液として、市水に酸またはアル
カリを添加した水を用いる方法では、洗浄液を多量に使
用するため排水が多量に出て、その処理が問題となって
いる。 この発明の目的は、上記問題点を解決した脱脂
洗浄方法を提供することにある。
On the other hand, in the method of using city water to which acid or alkali is added as the cleaning liquid, a large amount of the cleaning liquid is used, so that a large amount of waste water is produced and the treatment thereof is a problem. An object of the present invention is to provide a degreasing cleaning method that solves the above problems.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明による脱脂洗浄
方法は、洗浄工程において、抵抗率10MΩ・cm以上、
温度50℃以上の純水を洗浄液として用い、洗浄工程
が、超音波洗浄工程およびスプレー洗浄工程よりなるこ
とを特徴とするものである。
According to the degreasing cleaning method of the present invention, in the cleaning step, the resistivity is 10 MΩ · cm or more,
It is characterized in that pure water having a temperature of 50 ° C. or higher is used as a cleaning liquid, and the cleaning step includes an ultrasonic cleaning step and a spray cleaning step.

【0007】[0007]

【作用】この発明による脱脂洗浄方法では、洗浄工程に
おいて、純水を洗浄液として用いるから、有機溶媒のよ
うな環境汚染の問題もなく、酸またはアルカリを用いる
必要がない。
In the degreasing cleaning method according to the present invention, since pure water is used as the cleaning liquid in the cleaning step, there is no problem of environmental pollution such as an organic solvent, and it is not necessary to use acid or alkali.

【0008】また、純水が、抵抗率10MΩ・cm以上、
温度50℃以上のものであるから、被洗浄物に残存する
不純物が最少限に抑制される。
Pure water has a resistivity of 10 MΩ · cm or more,
Since the temperature is 50 ° C. or higher, impurities remaining on the object to be cleaned are suppressed to a minimum.

【0009】さらに、洗浄工程が、超音波洗浄工程およ
びスプレー洗浄工程よりなるから、被洗浄物に付着して
いた離型剤が、パラフィン系やソープ系離型剤等のよう
に溶解度の異なる離型材であっても、洗浄残りが生じな
い。
Further, since the cleaning process includes the ultrasonic cleaning process and the spray cleaning process, the release agent attached to the object to be cleaned has a different solubility like a paraffin type or soap type release agent. Even with a mold material, no cleaning residue occurs.

【0010】[0010]

【実施例】この発明の実施例を、図1を参照して、つぎ
に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIG.

【0011】この発明による方法に使用される装置は、
図1に示すように、多重効用純水製造装置11、超音波洗
浄装置12、スプレイ洗浄装置13および乾燥器14を備えて
いる。 多重効用純水製造装置11には、市水(工業用
水)補給管21および排水管22が接続されている。多重効
用純水製造装置11では、抵抗率10MΩ・cm以上、温度
50℃以上、圧力8kg/cm2 以上の純水が製造される。
この純水は、市水を逆浸透膜に通し、その後、混合タイ
プのイオン交換樹脂を2段に通すことにより得られたも
のであり、その溶解性固形分は0.02ppmであっ
た。
The device used in the method according to the invention is
As shown in FIG. 1, a multi-effect pure water producing apparatus 11, an ultrasonic cleaning apparatus 12, a spray cleaning apparatus 13 and a dryer 14 are provided. A city water (industrial water) supply pipe 21 and a drain pipe 22 are connected to the multi-effect pure water producing device 11. The multi-effect pure water producing apparatus 11 produces pure water having a resistivity of 10 MΩ · cm or more, a temperature of 50 ° C. or more, and a pressure of 8 kg / cm 2 or more.
This pure water was obtained by passing city water through a reverse osmosis membrane and then passing a mixed type ion exchange resin through two stages, and its soluble solid content was 0.02 ppm.

【0012】超音波洗浄装置12は、図示しない超音波発
振機を備えた超音波洗浄槽23を有している。超音波洗浄
槽23の外面上端近くには、これを取り囲むように環状オ
ーバフロー洗浄液回収樋24が設けられている。オーバフ
ロー洗浄液回収樋24にはオーバフロー洗浄液回収管25の
一端が接続され、その他端は純水製造装置11に接続され
ている。
The ultrasonic cleaning device 12 has an ultrasonic cleaning tank 23 equipped with an ultrasonic oscillator (not shown). An annular overflow cleaning liquid recovery gutter 24 is provided near the upper end of the outer surface of the ultrasonic cleaning tank 23 so as to surround the outer surface. One end of an overflow cleaning liquid recovery pipe 25 is connected to the overflow cleaning liquid recovery gutter 24, and the other end is connected to the pure water producing apparatus 11.

【0013】スプレイ洗浄装置13は、スプレイチャンバ
26およびスプレイチャンバ26内の適所に配置されている
多数のスプレイノズル27とを備えている。スプレイチャ
ンバ26の両端壁には入口26aおよび出口26bが設けられ
ている。出口26bには水切り装置28が備えられている。
スプレイチャンバ26の底部にはスプレイ洗浄液回収管29
の一端が接続され、その他端は超音波洗浄槽23内に入り
込んでその近くに達している。スプレイノズル27には、
純水供給管31の一端が接続され、その他端は多重効用純
水製造装置11に接続されている。
The spray cleaning device 13 is a spray chamber.
26 and a number of spray nozzles 27 arranged in place in the spray chamber 26. An inlet 26a and an outlet 26b are provided on both end walls of the spray chamber 26. A drainer 28 is provided at the outlet 26b.
At the bottom of the spray chamber 26 is a spray cleaning liquid recovery pipe 29.
Is connected to one end, and the other end penetrates into the ultrasonic cleaning tank 23 and reaches the vicinity thereof. In the spray nozzle 27,
One end of the pure water supply pipe 31 is connected, and the other end is connected to the multi-effect pure water producing device 11.

【0014】乾燥器14は、サクションチャンバ32を備え
ている。サクションチャンバ32の両端壁には入口32aお
よび出口32bが設けられている。また、サクションチャ
ンバ32の適所には多数のサクションポート33が設けら
れ、これらに、サクションパイプ34が接続されている。
さらに、サクションチャンバ34には、清浄空気供給管35
が接続されている。
The dryer 14 has a suction chamber 32. An inlet 32a and an outlet 32b are provided on both end walls of the suction chamber 32. Further, a large number of suction ports 33 are provided at appropriate positions of the suction chamber 32, and a suction pipe 34 is connected to these.
Further, the suction chamber 34 has a clean air supply pipe 35.
Are connected.

【0015】上記乾燥器14に代えて、温風または冷風乾
燥器、遠赤外線乾燥器、真空乾燥器等を用いても良い。
Instead of the dryer 14, a hot air or cold air dryer, a far infrared ray dryer, a vacuum dryer or the like may be used.

【0016】多重効用純水製造装置11から純水供給管31
を通じてスプレイノズル27に洗浄液が供給され、供給さ
れた洗浄液はノズル27からスプレイされる。スプレイさ
れた洗浄液はスプレイチャンバ26の底部に集められ、ス
プレイ洗浄液回収菅29で超音波洗浄槽23の底部に送られ
る。超音波洗浄槽23に送られた洗浄液は、槽内をその底
部から上向きに流れてオーバーフローする。オーバフロ
ーした洗浄液は樋24に集められ、オーバーフロー洗浄液
回収管25で多重効用純水製造装置11へ戻され、再利用さ
れる。
Pure water supply pipe 31 from the multi-effect pure water production device 11
The cleaning liquid is supplied to the spray nozzle 27 through the spray nozzle 27, and the supplied cleaning liquid is sprayed from the nozzle 27. The sprayed cleaning liquid is collected at the bottom of the spray chamber 26 and sent to the bottom of the ultrasonic cleaning tank 23 by the spray cleaning liquid recovery pipe 29. The cleaning liquid sent to the ultrasonic cleaning tank 23 flows upward from the bottom of the tank and overflows. The overflowed cleaning liquid is collected in the gutter 24, is returned to the multi-effect pure water producing apparatus 11 in the overflow cleaning liquid recovery pipe 25, and is reused.

【0017】多重効用純水製造装置11では、回収された
純水が濃縮処理され、これが排水管22を通じて排出され
る。排出された純水は、必要に応じて排水処理される。
一方、必要に応じて、多重効用純水製造装置11に市水が
市水補給管22で補給される。
In the multi-effect pure water producing device 11, the collected pure water is concentrated and discharged through the drain pipe 22. The discharged pure water is subjected to wastewater treatment if necessary.
On the other hand, city water is replenished to the multi-effect pure water producing apparatus 11 by a city water supply pipe 22 as needed.

【0018】被脱脂洗浄物は、自動車バンパーである。
バンパーWは、図示しない適宜な手段で、超音波洗浄槽
23から、スプレイチャンバ26を経由してサクションチャ
ンバ32へ送られ、サクションチャンバ32から排出され
る。
The item to be degreased is an automobile bumper.
The bumper W is an ultrasonic cleaning tank by suitable means not shown.
From 23, it is sent to the suction chamber 32 via the spray chamber 26 and discharged from the suction chamber 32.

【0019】まず、自動車バンパーは、超音波洗浄装置
12で予備洗浄として、超音波洗浄槽23に浸漬され、超音
波洗浄が行われる。ここで用いられる超音波は、40K
HZ位で十分であるが、被洗浄物によっては、メガHZ
級の超音波を用いても良い。超音波による洗浄効果と、
高温(50℃以上)の洗浄液による洗浄効果とにより、
とくに溶解度の高いソープ系離型剤に対し、効果的に洗
浄力を発揮する。また、必要に応じて、過酸化水素(H
2 O2 )など排水処理で負担にならない酸化剤を添加し
て、洗浄効果を高めるようにしてもよい。
First, an automobile bumper is an ultrasonic cleaning device.
As a preliminary cleaning at 12, the ultrasonic cleaning tank 23 is immersed and ultrasonic cleaning is performed. The ultrasonic wave used here is 40K
HZ is sufficient, but depending on the item to be cleaned, mega HZ
You may use the ultrasonic wave of the grade. Cleaning effect by ultrasonic waves,
Due to the cleaning effect of a high temperature (50 ° C or higher) cleaning liquid,
Effectively exerts detergency especially on soap-based release agents with high solubility. In addition, hydrogen peroxide (H
It is also possible to add an oxidizing agent such as 2 O2) that does not burden the wastewater treatment to enhance the cleaning effect.

【0020】ついで、スプレイ洗浄装置13で仕上洗浄が
行われる。自動車バンパーWは、入口26aからスプレイ
チャンバ26内に送り込まれ、チャンバ26内を搬送される
間に、ノズル22からスプレイされる洗浄液が均一に散布
され、ダンパーWに付着した離型剤が除去される。離型
剤を除去したバンパーWが出口26bからスプレイチャン
バ26を出る際、水切り装置28でバンパーWに付着した洗
浄液が水切りされる。
Next, finish cleaning is performed by the spray cleaning device 13. The automobile bumper W is fed into the spray chamber 26 from the inlet 26a, and while being transported in the chamber 26, the cleaning liquid sprayed from the nozzle 22 is evenly dispersed, and the release agent adhering to the damper W is removed. It When the bumper W from which the release agent has been removed exits the spray chamber 26 from the outlet 26b, the cleaning liquid attached to the bumper W is drained by the drainer 28.

【0021】スプレイチャンバ26を出たパンパーWは、
サクションチャンバ32へ送られ、サクションチャンバ32
内を通過する間に、バンパーWに付着していた洗浄液が
完全に乾燥される。
The pumper W exiting the spray chamber 26
Sent to the suction chamber 32, the suction chamber 32
While passing through the inside, the cleaning liquid adhering to the bumper W is completely dried.

【0022】つぎに、この発明による方法の洗浄効果に
ついて、説明する。
Next, the cleaning effect of the method according to the present invention will be described.

【0023】洗浄方法は、スプレー洗浄のみを行った場
合を方法1とし、超音波洗浄とスプレー洗浄を組み合わ
せて行った場合を方法2とした。
Regarding the cleaning method, the method 1 is a case where only the spray cleaning is performed, and the method 2 is a case where the ultrasonic cleaning and the spray cleaning are combined.

【0024】テストは、2種類の離型剤が付着していた
バンパーに対して行い、パラフィン系離型剤が付着して
いたものをサンプル1とし、ソープ系離型剤が付着して
いたものをサンプル2とした。
The test was conducted on a bumper to which two types of mold release agents had adhered. Sample 1 having the paraffinic mold release agent adhered thereto and having soap type mold release agent adhered thereto Was designated as Sample 2.

【0025】洗浄効果は、塗料付着性によって判定され
る。塗料付着性は、つぎのテストにより行われる。洗浄
後のパンパーに塗料を塗り、これを刻んで1mm×1mmの
大きさの碁盤目状100個のテストピースをつくり、こ
れに、テープを張付け、テープを剥がした後、剥がれ無
かったテストピースの個数を数える。判定は、テストピ
ースの剥がれが零であれば、「良」、剥がれが1つでも
あれば「不良」とした。判定結果を、表1に示す。
The cleaning effect is judged by the paint adhesion. Paint adhesion is measured by the following test. After applying paint to the washed pumper, carve it into 100 grid-shaped 1 mm x 1 mm test pieces, attach tape to them, and peel off the tape. Count the number. The judgment was "good" if the test piece had zero peeling and "bad" if there was even one peeling. The judgment results are shown in Table 1.

【0026】 表1からあきらかなように、離型剤がパラフィン系のも
のである場合、スプレー洗浄を行うのみでよいが、離型
剤がソープ系のものである場合、スプレー洗浄に超音波
洗浄を組み合わせて行うことが好ましいことがわかる。
[0026] As is clear from Table 1, when the mold release agent is of paraffin type, only spray cleaning is required, but when the mold release agent is of soap type, spray cleaning is combined with ultrasonic cleaning. It turns out that it is preferable to do.

【0027】その理由は、図2および図3に示すよう
に、パラフィン系離型剤とソープ系離型剤では溶解度に
相異があるからである。
The reason for this is that, as shown in FIGS. 2 and 3, the paraffin-based release agent and the soap-based release agent have different solubilities.

【0028】図2はパラフィン系離型剤について、図3
はソープ系離型剤について、いずれもDSC(指差走査
熱量測定方法)により測定した測定結果を示すものであ
る。加熱プログラムは、次の通りである。サンプルを加
熱して、35℃〜150℃まで1分間に2℃ずつ温度を
上昇させ、150℃で10分間その温度に保持し、その
後、35℃まで1分間に2℃ずつ温度を下降させた。
FIG. 2 shows a paraffin-based mold release agent as shown in FIG.
Shows the measurement results of the soap-based releasing agents measured by DSC (Finger Scanning Calorimetry). The heating program is as follows. The sample was heated to increase the temperature from 35 ° C to 150 ° C by 2 ° C per minute, held at 150 ° C for 10 minutes, and then decreased to 35 ° C by 2 ° C per minute. ..

【0029】図2では、加熱開始時点A1から温度が1
0℃だけ上昇した時点A2で、サンプルが固体ー液体の
2層に分解している。その後、サンプルの温度が100
℃まで上昇した時点A3でサンプルが液体に分解されて
いる。
In FIG. 2, the temperature is 1 after the heating start time A1.
At time A2, when the temperature increased by 0 ° C., the sample decomposed into two layers of solid and liquid. After that, the temperature of the sample is 100
At time A3 when the temperature rises to 0 ° C., the sample is decomposed into a liquid.

【0030】図3では、加熱開始時点B1からサンプル
の温度が100℃近くなる時点B2までサンプルは固体
のままであり、その後、サンプルが固体ー液体の2層に
分解され、110℃近くなる時点B3で液体に変わって
いる。
In FIG. 3, the sample remains a solid from the heating start time B1 to the time B2 when the temperature of the sample approaches 100 ° C., and then the sample is decomposed into two layers of solid and liquid and approaches 110 ° C. It changed to liquid at B3.

【0031】上記からあきらかなように、パラフィン系
離型剤については、洗浄液の温度がほぼ50℃以上であ
れば、洗浄力が効果的に発揮されるが、ソープ系離型剤
については、50℃程度の洗浄液では、洗浄力が効果的
に発揮されないことが推測される。
As is clear from the above, for the paraffin-based mold release agent, if the temperature of the cleaning liquid is about 50 ° C. or more, the cleaning power is effectively exhibited, but for the soap-based mold release agent, it is 50 It is presumed that the cleaning power will not be effectively exhibited with a cleaning liquid at about ° C.

【0032】[0032]

【発明の効果】この発明によれば、有機溶媒のような環
境汚染の問題もなく、酸またはアルカリを用いる必要が
ないから、排水処理を容易に行うことができる。
According to the present invention, there is no problem of environmental pollution such as an organic solvent, and it is not necessary to use an acid or an alkali, so that wastewater treatment can be easily performed.

【0033】また、被洗浄物に残存する不純物が最少限
に抑制されるから、後工程での処理を支障無く行うこと
ができる。
Further, since the impurities remaining in the object to be cleaned are suppressed to a minimum, the treatment in the subsequent process can be carried out without any trouble.

【0034】さらに、被洗浄物に付着していた離型剤
が、パラフィン系やソープ系離型剤等のように溶解度の
異なる離型材であっても、洗浄残りが生じないから、効
率良く洗浄を行うことができる。
Further, even if the mold release agent adhered to the object to be cleaned is a mold release material having a different solubility such as a paraffin type or soap type mold release agent, no cleaning residue occurs, so that cleaning is efficiently performed. It can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明による方法に使用される装置の配置構
成図である。
1 is a layout of the apparatus used in the method according to the invention.

【図2】パラフィン系離型剤の指差熱を示すグラフであ
る。
FIG. 2 is a graph showing the heat difference between fingers of a paraffin-based release agent.

【図3】ソープ系離型剤の指差熱を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing the heat difference between fingers of a soap-based release agent.

【図4】従来法に使用される装置の配置構成図である。FIG. 4 is a layout diagram of an apparatus used in a conventional method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 純水製造装置 12 超音波洗浄装置 13 スプレイ洗浄装置 14 乾燥器 23 超音波洗浄槽 26 スプレイチャンバ 27 スプレイノズル 32 サクションチャンバ 11 Pure water production device 12 Ultrasonic cleaning device 13 Spray cleaning device 14 Dryer 23 Ultrasonic cleaning tank 26 Spray chamber 27 Spray nozzle 32 Suction chamber

フロントページの続き (72)発明者 澤田 英隆 大阪市此花区西九条5丁目3番28号 日立 造船株式会社内 (72)発明者 平野 隆 大阪市此花区西九条5丁目3番28号 日立 造船株式会社内 (72)発明者 百瀬 祥一 大阪市此花区西九条5丁目3番28号 日立 造船株式会社内Front page continuation (72) Inventor Hidetaka Sawada 5-3 28 Nishi Kujo, Konohana-ku, Osaka City Hitachi Shipbuilding Co., Ltd. (72) Takashi Hirano 5-3-28 Nishi Kujo, Konohana-ku, Osaka Hitachi Shipbuilding Co. In-house (72) Inventor Shoichi Momose 5-3-28 Nishikujo, Konohana-ku, Osaka City Hitachi Shipbuilding Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 洗浄工程において、抵抗率10MΩ・cm
以上、温度50℃以上の純水を洗浄液として用い、洗浄
工程が、超音波洗浄工程およびスプレー洗浄工程よりな
ることを特徴とする脱脂洗浄方法。
1. A resistivity of 10 MΩ · cm in the washing step.
As described above, the degreasing cleaning method is characterized in that pure water having a temperature of 50 ° C. or higher is used as a cleaning liquid, and the cleaning step includes an ultrasonic cleaning step and a spray cleaning step.
JP30310291A 1990-12-26 1991-11-19 Degreasing washing method Pending JPH05138131A (en)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30310291A JPH05138131A (en) 1991-11-19 1991-11-19 Degreasing washing method
DE4142358A DE4142358C2 (en) 1990-12-26 1991-12-20 Degreasing cleaning process
FR9116017A FR2671021B1 (en) 1990-12-26 1991-12-23 DEGREASING / CLEANING PROCESS FOR REMOVING RELEASE AGENTS.
ITTO911046A IT1250557B (en) 1990-12-26 1991-12-24 DEGREASING-CLEANING METHOD
US07/812,992 US5250117A (en) 1990-12-26 1991-12-24 Degreasing-cleaning method
GB9127437A GB2251403B (en) 1990-12-26 1991-12-27 Degreasing-cleaning method

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CN104841589A (en) * 2015-05-24 2015-08-19 苏州市亘晟涂装工程有限公司 Spraying equipment

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JPS61156740A (en) * 1984-12-27 1986-07-16 Toshiba Corp Semiconductor manufacturing device

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