JPH05130038A - 大規模マトリクス光スイツチ - Google Patents
大規模マトリクス光スイツチInfo
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- JPH05130038A JPH05130038A JP3320933A JP32093391A JPH05130038A JP H05130038 A JPH05130038 A JP H05130038A JP 3320933 A JP3320933 A JP 3320933A JP 32093391 A JP32093391 A JP 32093391A JP H05130038 A JPH05130038 A JP H05130038A
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- Japan
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- substrate
- optical switch
- switch
- optical
- matrix optical
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- Micromachines (AREA)
- Use Of Switch Circuits For Exchanges And Methods Of Control Of Multiplex Exchanges (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 挿入損失が小さく、且つ著しく小型にでき
る大規模マトリクス光スイッチを提供すること。 【構成】 複数の入力光路と複数の出力光路の交差す
る差点の各々に可動反射装置を設け、所定の差点の可動
反射装置を入力光路中に挿入することにより、該差点の
入力光路と出力光路を接続する構成であり、且つ前記可
動反射装置が同一基板上に形成され、その可動反射装置
が前記基板又は別基板上のアクチュエータ及び電子回路
によって移動制御されるようにした基本マトリクス光ス
イッチを構成する。この基本マトリクス光スイッチを多
段にリンク接続して、大規模マトリクス光スイッチを構
成する。
る大規模マトリクス光スイッチを提供すること。 【構成】 複数の入力光路と複数の出力光路の交差す
る差点の各々に可動反射装置を設け、所定の差点の可動
反射装置を入力光路中に挿入することにより、該差点の
入力光路と出力光路を接続する構成であり、且つ前記可
動反射装置が同一基板上に形成され、その可動反射装置
が前記基板又は別基板上のアクチュエータ及び電子回路
によって移動制御されるようにした基本マトリクス光ス
イッチを構成する。この基本マトリクス光スイッチを多
段にリンク接続して、大規模マトリクス光スイッチを構
成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信、光情報処理の
分野において、複数の光信号端子間の回線切り替えを行
う大規模マトリクス光スイッチに関するものである。
分野において、複数の光信号端子間の回線切り替えを行
う大規模マトリクス光スイッチに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】サービス統合デジタル通信網の実現のた
めに、加入者回線に光ファイバを使用する光通信網の構
築が進められようとしている。この光通信網の構築に
は、数百から数万におよぶ大規模な光の入出力線の接続
を、光信号を電気に変換せずに光のままで接続する光交
換機の実現が不可欠であり、その技術が盛んに研究され
ている。
めに、加入者回線に光ファイバを使用する光通信網の構
築が進められようとしている。この光通信網の構築に
は、数百から数万におよぶ大規模な光の入出力線の接続
を、光信号を電気に変換せずに光のままで接続する光交
換機の実現が不可欠であり、その技術が盛んに研究され
ている。
【０００３】従来の電気信号による通信網においては、
空間分割形のマトリクススイッチ網の構成法として、小
規模なマトリクススイッチを多段にリンク接続する構成
がとられている。図５は、電子通信ハンドブック ８５
５ページに記載されている２段のリンク接続網である。
これは、入線数ｎ、出線数ｓの小規模な基本マトリクス
スイッチ４１をｋ個配して第１段Ａとし、これと、入線
数ｋ、出線数ｍの基本マトリクススイッチ４２をｓ個配
した第２段Ｂとの間を、それぞれリンクで交差接続して
構成するもので、これによれば、Ｎ（＝ｎｋ）本の入線
群とＭ（＝ｍｓ）本の出線群の間を接続できる。さらに
多段にすることで、大規模なスイッチ回路網を構成でき
る。このような構成では、個々のスイッチが低損失、低
クロストークであることが要求される。
空間分割形のマトリクススイッチ網の構成法として、小
規模なマトリクススイッチを多段にリンク接続する構成
がとられている。図５は、電子通信ハンドブック ８５
５ページに記載されている２段のリンク接続網である。
これは、入線数ｎ、出線数ｓの小規模な基本マトリクス
スイッチ４１をｋ個配して第１段Ａとし、これと、入線
数ｋ、出線数ｍの基本マトリクススイッチ４２をｓ個配
した第２段Ｂとの間を、それぞれリンクで交差接続して
構成するもので、これによれば、Ｎ（＝ｎｋ）本の入線
群とＭ（＝ｍｓ）本の出線群の間を接続できる。さらに
多段にすることで、大規模なスイッチ回路網を構成でき
る。このような構成では、個々のスイッチが低損失、低
クロストークであることが要求される。
【０００４】一方、光通信における光スイッチとして
は、材料の電気光学効果を用いたスイッチと、プリズム
又は光ファイバを機械的に移動させるメカニカルスイッ
チが提案されている。
は、材料の電気光学効果を用いたスイッチと、プリズム
又は光ファイバを機械的に移動させるメカニカルスイッ
チが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前者は、現在のとこ
ろ、ＬｉＮｂ2 Ｏ3 や石英の光導波路の屈折率を電気的
に制御して光路を切り替える２入力／２出力スイッチ
（２×２スイッチ）の開発が最も進んでいる。しかしな
がら、これらのスイッチを同一基板上にマトリクス形成
したマトリクス光スイッチでは、スイッチ規模が高々８
×８スイッチ程度としても、挿入損失は２０ｄＢ以上で
あった。また、後者については光ファイバの移動やミラ
ー或はプリズムの移動・回転を用いて、１×２スイッ
チ、２×２スイッチが開発されている。しかしながら、
これらのスイッチの場合、個々のスイッチの寸法が、ミ
ラーやプリズム、或はそれらを駆動するソレノイドの寸
法に制限されて小型化が困難で、２×２スイッチの小さ
いものでも、数ｃｍ角以上の大きさがあった。
ろ、ＬｉＮｂ2 Ｏ3 や石英の光導波路の屈折率を電気的
に制御して光路を切り替える２入力／２出力スイッチ
（２×２スイッチ）の開発が最も進んでいる。しかしな
がら、これらのスイッチを同一基板上にマトリクス形成
したマトリクス光スイッチでは、スイッチ規模が高々８
×８スイッチ程度としても、挿入損失は２０ｄＢ以上で
あった。また、後者については光ファイバの移動やミラ
ー或はプリズムの移動・回転を用いて、１×２スイッ
チ、２×２スイッチが開発されている。しかしながら、
これらのスイッチの場合、個々のスイッチの寸法が、ミ
ラーやプリズム、或はそれらを駆動するソレノイドの寸
法に制限されて小型化が困難で、２×２スイッチの小さ
いものでも、数ｃｍ角以上の大きさがあった。
【０００６】このように、従来の光スイッチのうち、電
気光学効果を用いるものは挿入損失が大きいため、２段
以上の接続は困難であり、多段にリンク接続して大規模
マトリクススイッチを構成するのは不可能であった。ま
た、メカニカルに光路を切り替えるものは、基本スイッ
チの寸法が大きく、多段にリンク接続して大規模マトリ
クスを構成することは装置の大きさが実用的な大きさを
逸脱するため困難であった。
気光学効果を用いるものは挿入損失が大きいため、２段
以上の接続は困難であり、多段にリンク接続して大規模
マトリクススイッチを構成するのは不可能であった。ま
た、メカニカルに光路を切り替えるものは、基本スイッ
チの寸法が大きく、多段にリンク接続して大規模マトリ
クスを構成することは装置の大きさが実用的な大きさを
逸脱するため困難であった。
【０００７】本発明の目的は、挿入損失が小さく、且つ
著しく小型にできる大規模マトリクス光スイッチを提供
することである。
著しく小型にできる大規模マトリクス光スイッチを提供
することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、小規模なマトリクス光スイッチを基本マト
リクス光スイッチとし、該基本マトリクス光スイッチを
多段にリンク接続したものである。
に本発明は、小規模なマトリクス光スイッチを基本マト
リクス光スイッチとし、該基本マトリクス光スイッチを
多段にリンク接続したものである。
【０００９】その基本マトリクス光スイッチは、複数の
入力光路と複数の出力光路とを互いに交差し、該複数の
入力光路と該複数の出力光路の差点の各々に可動反射装
置を設け、所定の差点の該可動反射装置を入力光路中に
移動挿入することにより、該差点を通る入力光路を該差
点を通る出力光路に接続する構成でなり、前記可動反射
装置の各々が、同一基板上に形成され、且つ前記可動反
射装置の移動が前記基板上に一体形成されたアクチュエ
ータ及び電子回路によって制御されるようにした。
入力光路と複数の出力光路とを互いに交差し、該複数の
入力光路と該複数の出力光路の差点の各々に可動反射装
置を設け、所定の差点の該可動反射装置を入力光路中に
移動挿入することにより、該差点を通る入力光路を該差
点を通る出力光路に接続する構成でなり、前記可動反射
装置の各々が、同一基板上に形成され、且つ前記可動反
射装置の移動が前記基板上に一体形成されたアクチュエ
ータ及び電子回路によって制御されるようにした。
【００１０】又はその基本マトリクス光スイッチは、前
記入力光路、前記出力光路、前記差点が形成され、前記
可動反射装置を搭載した第１の基板と、前記可動反射装
置を駆動するアクチュエータを制御するための電子回路
を搭載した第２の基板とを貼り合わたもので、且つ前記
アクチュエータを、前記第１の基板或は前記第２の基板
に搭載し、又は前記第１の基板と前記第２の基板の貼り
合わせにより構成したものである。
記入力光路、前記出力光路、前記差点が形成され、前記
可動反射装置を搭載した第１の基板と、前記可動反射装
置を駆動するアクチュエータを制御するための電子回路
を搭載した第２の基板とを貼り合わたもので、且つ前記
アクチュエータを、前記第１の基板或は前記第２の基板
に搭載し、又は前記第１の基板と前記第２の基板の貼り
合わせにより構成したものである。
【００１１】
【作用】本発明では、基本マトリクス光スイッチにおけ
る入力光路と出力光路の接続が入力光路と出力光路の本
数に拘らず１差点での反射で行われるので、スイッチ規
模に拘らず低損失である。また、マイクロマシーニング
技術の利用によって、差点ピッチを２００μｍすること
が可能であり、可動反射装置やアクチュエータも大きさ
数１０μｍ〜１ｍｍ程度とできるので、１００×１００
スイッチ程度の基本マトリクス光スイッチを２ｃｍ角の
基板上に形成することができ、従来のものに比べて著し
く小型化できる。この結果、低損失で著しく小型の基本
マトリクス光スイッチが製作できるので、それを多段に
接続した大規模マトリクス光スイッチを低損失で小型な
ものとして実現できる。
る入力光路と出力光路の接続が入力光路と出力光路の本
数に拘らず１差点での反射で行われるので、スイッチ規
模に拘らず低損失である。また、マイクロマシーニング
技術の利用によって、差点ピッチを２００μｍすること
が可能であり、可動反射装置やアクチュエータも大きさ
数１０μｍ〜１ｍｍ程度とできるので、１００×１００
スイッチ程度の基本マトリクス光スイッチを２ｃｍ角の
基板上に形成することができ、従来のものに比べて著し
く小型化できる。この結果、低損失で著しく小型の基本
マトリクス光スイッチが製作できるので、それを多段に
接続した大規模マトリクス光スイッチを低損失で小型な
ものとして実現できる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１はその一実施例の大規模マトリクス光スイッチの構成
を示す図である。ここでは、入力光路数ｎ、出力光路数
ｓの第１の基本マトリクス光スイッチ３１をｋ個積層し
たものを第１段Ａとする。また、入力光路数ｋ、出力光
路数ｍの第２の基本スイッチ３２をｓ個積層したものを
第２段Ｂとする。
１はその一実施例の大規模マトリクス光スイッチの構成
を示す図である。ここでは、入力光路数ｎ、出力光路数
ｓの第１の基本マトリクス光スイッチ３１をｋ個積層し
たものを第１段Ａとする。また、入力光路数ｋ、出力光
路数ｍの第２の基本スイッチ３２をｓ個積層したものを
第２段Ｂとする。
【００１３】第１段Ａの出力面に対して、第２段Ｂの入
力面を９０度回転させて空間的に配置することで、第１
段Ａと第２段Ｂとの間を直線的に結ぶ接続光ファイバ３
３の群によって、２段のリンク接続が構成され、Ｎ（＝
ｎｋ）本の入力光ファイバ３４の群とｍ（＝ｍｓ）の出
力光ファイバ３５の群との間を接続した大規模マトリク
ス光スイッチが構成できる。更に多段にすることで、よ
り大規模な光スイッチ回路網を構成できる。また、第１
段Ａの出力光路のピッチと第２段Ｂの入力光路のピッチ
が合致するように構成すれば、接続光ファイバ３３を用
いずに、第１段Ａの出力面と第２段Ｂの入力面を接触さ
せることで、その両者を接続することも可能である。
力面を９０度回転させて空間的に配置することで、第１
段Ａと第２段Ｂとの間を直線的に結ぶ接続光ファイバ３
３の群によって、２段のリンク接続が構成され、Ｎ（＝
ｎｋ）本の入力光ファイバ３４の群とｍ（＝ｍｓ）の出
力光ファイバ３５の群との間を接続した大規模マトリク
ス光スイッチが構成できる。更に多段にすることで、よ
り大規模な光スイッチ回路網を構成できる。また、第１
段Ａの出力光路のピッチと第２段Ｂの入力光路のピッチ
が合致するように構成すれば、接続光ファイバ３３を用
いずに、第１段Ａの出力面と第２段Ｂの入力面を接触さ
せることで、その両者を接続することも可能である。
【００１４】図２は図１に示した大規模マトリクス光ス
イッチを構成する基本マトリクス光スイッチ３１、又は
３２の第１の具体例の詳細を示す斜視図である。スイッ
チ基板１には複数の入力光ガイド溝２（入力光路）と複
数の出力光ガイド溝３（出力光路）が形成され、そこに
は入力光ファイバ４1 〜４3 と出力光ファイバ５1 〜５
3 がそれぞれレンズ６を介して光学的に接続されてい
る。入力光ガイド溝２と出力光ガイド溝３の各差点には
反射装置とその反射装置を移動させるアクチュエータが
形成されている。
イッチを構成する基本マトリクス光スイッチ３１、又は
３２の第１の具体例の詳細を示す斜視図である。スイッ
チ基板１には複数の入力光ガイド溝２（入力光路）と複
数の出力光ガイド溝３（出力光路）が形成され、そこに
は入力光ファイバ４1 〜４3 と出力光ファイバ５1 〜５
3 がそれぞれレンズ６を介して光学的に接続されてい
る。入力光ガイド溝２と出力光ガイド溝３の各差点には
反射装置とその反射装置を移動させるアクチュエータが
形成されている。
【００１５】反射装置としては可動ミラー７が、またこ
の可動ミラー７をスイッチ基板１の表面に平行に移動す
るアクチュエータとしてリニアアクチュエータ８及びこ
れを駆動するセル回路９が形成されている。可動ミラー
７のミラー面は、入力光ガイド溝２から入射した光が出
力光ガイド溝３の方向へ反射するような角度に設定され
ている。
の可動ミラー７をスイッチ基板１の表面に平行に移動す
るアクチュエータとしてリニアアクチュエータ８及びこ
れを駆動するセル回路９が形成されている。可動ミラー
７のミラー面は、入力光ガイド溝２から入射した光が出
力光ガイド溝３の方向へ反射するような角度に設定され
ている。
【００１６】光ビームが直進する場合、可動ミラー７は
ガイド溝２、３から外れた位置の収納溝１０に格納れさ
ているが、所定の差点を示すアドレス信号１１がインタ
ーフェース回路１２を通して与えられると、その差点の
リニアアクチュエータ８が駆動され、可動ミラー７が差
点内に挿入される。その結果、入射光ビームはその差点
で反射し、光路が偏向される。
ガイド溝２、３から外れた位置の収納溝１０に格納れさ
ているが、所定の差点を示すアドレス信号１１がインタ
ーフェース回路１２を通して与えられると、その差点の
リニアアクチュエータ８が駆動され、可動ミラー７が差
点内に挿入される。その結果、入射光ビームはその差点
で反射し、光路が偏向される。
【００１７】図２では入射光ファイバ４1 からの光ビー
ムが差点ａで反射して出力光ファイバ５2 に接続され、
入射光ファイバ４2からの光ビームが差点ｂで反射して
出力光ファイバ５3 に接続される様子を示す。
ムが差点ａで反射して出力光ファイバ５2 に接続され、
入射光ファイバ４2からの光ビームが差点ｂで反射して
出力光ファイバ５3 に接続される様子を示す。
【００１８】マトリクス状に配置された各差点の選択に
は、通常のアドレスデコーダ回路を用いた。アドレス信
号１１はインターフェース回路１２からＸアドレスデコ
ーダ回路１３Ｘ、Ｙアドレスデコーダ回路１３Ｙに分配
され、これによりＸアドレス線１４Ｘ、Ｙアドレス線１
４Ｙの内のそれぞれ１本が活性化され、セル回路９内の
選択回路１５によって所定の差点が選択され、駆動回路
１６によってリニアアクチュエータ８が駆動される（図
３参照）。
は、通常のアドレスデコーダ回路を用いた。アドレス信
号１１はインターフェース回路１２からＸアドレスデコ
ーダ回路１３Ｘ、Ｙアドレスデコーダ回路１３Ｙに分配
され、これによりＸアドレス線１４Ｘ、Ｙアドレス線１
４Ｙの内のそれぞれ１本が活性化され、セル回路９内の
選択回路１５によって所定の差点が選択され、駆動回路
１６によってリニアアクチュエータ８が駆動される（図
３参照）。
【００１９】図２のスイッチ基板１は、シリコンウエハ
上にＬＳＩ技術と近年開発されたマイクロマシーニング
技術を用いて形成した。可動ミラー７やリニアアクチュ
エータ８の形成に必要な深い溝加工や垂直鏡面加工、或
は自由運動が可能な構造の形成には、シリコンの結晶異
方性エッチング、犠牲層エッチング、集束イオンビーム
エッチングを用いて実現することができた。また、選択
回路１５及びアクチュエータ駆動回路１６等の電子回路
は、ＬＳＩ技術を用いて同一シリコン基板（スイッチ基
板１）上に一体形成した。アドレスデコーダ１３Ｘ、１
３Ｙとインターフェース回路１２もスイッチ基板１上に
一体形成されている。
上にＬＳＩ技術と近年開発されたマイクロマシーニング
技術を用いて形成した。可動ミラー７やリニアアクチュ
エータ８の形成に必要な深い溝加工や垂直鏡面加工、或
は自由運動が可能な構造の形成には、シリコンの結晶異
方性エッチング、犠牲層エッチング、集束イオンビーム
エッチングを用いて実現することができた。また、選択
回路１５及びアクチュエータ駆動回路１６等の電子回路
は、ＬＳＩ技術を用いて同一シリコン基板（スイッチ基
板１）上に一体形成した。アドレスデコーダ１３Ｘ、１
３Ｙとインターフェース回路１２もスイッチ基板１上に
一体形成されている。
【００２０】上述の可動ミラー７を動かすためのリニア
アクチュエータ８の動作機構としては、静電誘導による
駆動、電磁誘導によるもの、超音波回転モータを用いる
もの、電歪、磁歪、光歪等によるもの、形状記憶合金薄
膜からなるカンチレバー、薄膜圧電バイモルフを用いた
カンチレバー等が挙げられる。
アクチュエータ８の動作機構としては、静電誘導による
駆動、電磁誘導によるもの、超音波回転モータを用いる
もの、電歪、磁歪、光歪等によるもの、形状記憶合金薄
膜からなるカンチレバー、薄膜圧電バイモルフを用いた
カンチレバー等が挙げられる。
【００２１】図４は図１に示した大規模マトリクス光ス
イッチを構成する基本マトリクス光スイッチ３１、又は
３２の第２の具体例の詳細を示す斜視図である。ここで
は、スイッチ基板１を第１の基板とし、別に第２の基板
２０を使用する。この第２の基板２０に、インターフェ
ース回路１２、アドレスデコーダ１３Ｘ、１３Ｙ、アド
レス線１４Ｘ、１４Ｙ、セル回路９等を搭載し、スイッ
チ基板１には、リニアアクチュエータ８を搭載する構成
とした。他は、図２に示した基本マトリクス光スイッチ
と同様である。この基本マトリクス光スイッチでは、ス
イッチ基板１に対して第２の基板２０を貼り合わせるこ
とにより一体化して構成される。なお、リニアアクチュ
エータ８は、スイッチ基板１にその一部を形成し、残り
を第２の基板２０に構成して、両基板１、２を貼り合わ
せることより、構成されるようにしても良い。
イッチを構成する基本マトリクス光スイッチ３１、又は
３２の第２の具体例の詳細を示す斜視図である。ここで
は、スイッチ基板１を第１の基板とし、別に第２の基板
２０を使用する。この第２の基板２０に、インターフェ
ース回路１２、アドレスデコーダ１３Ｘ、１３Ｙ、アド
レス線１４Ｘ、１４Ｙ、セル回路９等を搭載し、スイッ
チ基板１には、リニアアクチュエータ８を搭載する構成
とした。他は、図２に示した基本マトリクス光スイッチ
と同様である。この基本マトリクス光スイッチでは、ス
イッチ基板１に対して第２の基板２０を貼り合わせるこ
とにより一体化して構成される。なお、リニアアクチュ
エータ８は、スイッチ基板１にその一部を形成し、残り
を第２の基板２０に構成して、両基板１、２を貼り合わ
せることより、構成されるようにしても良い。
【００２２】以上の実施例は、可動ミラー７を平行移動
して入力光路、出力光路の差点に挿入する方式である
が、可動ミラー７を回転移動してその差点に挿入するこ
とも可能である。また、光ガイド溝２、３、光ファイ
バ、レンズについても、一構成例であり、本発明の必須
要件ではない。
して入力光路、出力光路の差点に挿入する方式である
が、可動ミラー７を回転移動してその差点に挿入するこ
とも可能である。また、光ガイド溝２、３、光ファイ
バ、レンズについても、一構成例であり、本発明の必須
要件ではない。
【００２３】
【発明の効果】以上から本発明によれば、微少なピッチ
で多数のアクチュエータやセル回路を一括してマトリク
ス状に配置できるので、小型の基本マトリクス光スイッ
チを形成することができる。例えば、マイクロマシーニ
ング技術の利用によって、差点ピッチを２００μｍする
ことが可能であり、可動反射装置やアクチュエータも大
きさ数１０μｍ〜１ｍｍ程度とできるので、１００×１
００スイッチ程度の基本マトリクス光スイッチを２ｃｍ
角の基板上に形成することができ、従来のものに比べて
著しく小型化できる。また、光路の選択はマトリクスの
規模によらず、１差点での反射によって行うので低損失
である。
で多数のアクチュエータやセル回路を一括してマトリク
ス状に配置できるので、小型の基本マトリクス光スイッ
チを形成することができる。例えば、マイクロマシーニ
ング技術の利用によって、差点ピッチを２００μｍする
ことが可能であり、可動反射装置やアクチュエータも大
きさ数１０μｍ〜１ｍｍ程度とできるので、１００×１
００スイッチ程度の基本マトリクス光スイッチを２ｃｍ
角の基板上に形成することができ、従来のものに比べて
著しく小型化できる。また、光路の選択はマトリクスの
規模によらず、１差点での反射によって行うので低損失
である。
【００２４】このように、低損失で且つ著しく小型の基
本マトリクス光スイッチが製作できるため、それを多段
にリンク接続することにより、大規模なマトリクス光ス
イッチが実現できる。また、反射装置の微少化・軽量化
に伴い、移動距離・時間が短縮され、高速化、低消費電
力化が可能となるという利点がある。
本マトリクス光スイッチが製作できるため、それを多段
にリンク接続することにより、大規模なマトリクス光ス
イッチが実現できる。また、反射装置の微少化・軽量化
に伴い、移動距離・時間が短縮され、高速化、低消費電
力化が可能となるという利点がある。
【図１】 本発明の一実施例の大規模マトリクス光スイ
ッチの斜視図である。
ッチの斜視図である。
【図２】 同実施例の大規模マトリクス光スイッチを構
成する基本マトリクス光スイッチの斜視図である。
成する基本マトリクス光スイッチの斜視図である。
【図３】 同基本マトリクス光スイッチのセル回路のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図４】 別の基本マトリクス光スイッチの分解斜視図
である。
である。
【図５】 従来の電気信号を利用する通信網における２
段リンク接続スイッチ回路網の説明図である。
段リンク接続スイッチ回路網の説明図である。
１：スイッチ基板（第１の基板）、２：入力光ガイド
溝、３：出力光ガイド溝、４1 〜４3 ：入力光ファイ
バ、５1 〜５3 ：入力光ファイバ、６：レンズ、７：可
動ミラー、８：リニアアクチュエータ、９：セル回路、
１０：収納溝、１１：アドレス信号、１２：インターフ
ェース回路、１３Ｘ、１３Ｙ：アドレスデコーダ回路、
１４Ｘ、１４Ｙ：アドレス線、１５：選択回路、１６：
駆動回路、２０：第２の基板、３１、３２：基本マトリ
クス光スイッチ、３３：接続光ファイバ、３４：入力光
ファイバ、３５：出力光ファイバ、４１、４２：基本マ
トリクススイッチ。
溝、３：出力光ガイド溝、４1 〜４3 ：入力光ファイ
バ、５1 〜５3 ：入力光ファイバ、６：レンズ、７：可
動ミラー、８：リニアアクチュエータ、９：セル回路、
１０：収納溝、１１：アドレス信号、１２：インターフ
ェース回路、１３Ｘ、１３Ｙ：アドレスデコーダ回路、
１４Ｘ、１４Ｙ：アドレス線、１５：選択回路、１６：
駆動回路、２０：第２の基板、３１、３２：基本マトリ
クス光スイッチ、３３：接続光ファイバ、３４：入力光
ファイバ、３５：出力光ファイバ、４１、４２：基本マ
トリクススイッチ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白井 誠一 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 山内 規義 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 小規模なマトリクス光スイッチを基本マ
トリクス光スイッチとし、該基本マトリクス光スイッチ
を多段にリンク接続した大規模マトリクス光スイッチで
あって、 上記基本マトリクス光スイッチが、複数の入力光路と複
数の出力光路とを互いに交差し、該複数の入力光路と該
複数の出力光路の差点の各々に可動反射装置を設け、所
定の差点の該可動反射装置を入力光路中に移動挿入する
ことにより、該差点を通る入力光路を該差点を通る出力
光路に接続する構成でなり、 前記可動反射装置の各々が、同一基板上に形成され、且
つ前記可動反射装置の移動が前記基板上に一体形成され
たアクチュエータ及び電子回路によって制御されるよう
にしたことを特徴とする大規模マトリクス光スイッチ。 - 【請求項２】 上記基本マトリクス光スイッチを、 前記入力光路、前記出力光路、前記差点が形成され、前
記可動反射装置を搭載した第１の基板と、前記可動反射
装置を駆動するアクチュエータを制御するための電子回
路を搭載した第２の基板とを貼り合わたもので、且つ前
記アクチュエータを、前記第１の基板或は前記第２の基
板に搭載し、又は前記第１の基板と前記第２の基板との
貼り合わせにより構成した基本マトリクス光スイッチに
代えたことを特徴とする請求項１に記載の大規模マトリ
クス光スイッチ。 - 【請求項３】 前記アクチュエータが、リニアアクュエ
ータ又は回転アクチュエータであり、静電誘導、電磁誘
導、超音波、電歪、磁歪、光歪、形状記憶合金のいずれ
か又はそのうちの複数を駆動原理とすることを特徴とす
る請求項１又は２に記載の大規模マトリクス光スイッ
チ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3320933A JPH05130038A (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | 大規模マトリクス光スイツチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3320933A JPH05130038A (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | 大規模マトリクス光スイツチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05130038A true JPH05130038A (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=18126906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3320933A Pending JPH05130038A (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | 大規模マトリクス光スイツチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05130038A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1486814A1 (en) * | 2001-12-26 | 2004-12-15 | Nikon Corporation | Light beam switching/adjusting apparatus and manufacturing method thereof |
-
1991
- 1991-11-08 JP JP3320933A patent/JPH05130038A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1486814A1 (en) * | 2001-12-26 | 2004-12-15 | Nikon Corporation | Light beam switching/adjusting apparatus and manufacturing method thereof |
| EP1486814A4 (en) * | 2001-12-26 | 2005-11-16 | Nikon Corp | APPARATUS FOR SWITCHING / ADJUSTING A BRIGHT BEAM, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
| US7010200B2 (en) | 2001-12-26 | 2006-03-07 | Nikon Corporation | Light-beam switching/adjusting apparatus and manufacturing method thereof |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001024 |