JPH05127042A - Production of optical multiplexer/demultiplexer - Google Patents

Production of optical multiplexer/demultiplexer

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JPH05127042A
JPH05127042A JP29151591A JP29151591A JPH05127042A JP H05127042 A JPH05127042 A JP H05127042A JP 29151591 A JP29151591 A JP 29151591A JP 29151591 A JP29151591 A JP 29151591A JP H05127042 A JPH05127042 A JP H05127042A
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JP
Japan
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optical
demultiplexer
heating
manufacturing
optical multiplexer
Prior art date
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JP29151591A
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Japanese (ja)
Inventor
Tadao Arima
忠夫 有馬
Koji Okamura
浩司 岡村
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To easily obtain required wavelength characteristics. CONSTITUTION:This process for production of the optical multiplexer- demultiplexer consists in obtaining an optical directional coupling part 6 by heating, welding and drawing two or more pieces of optical fibers in the state of bringing the side faces into contact with each other. The above-mentioned process is constituted by adding a step for applying a modified alkyl silicate soln. around the optical directional coupling part 6, a step for heating and vitrifying the soln. and a step for heating and annealing this glass film 12 and adjusting the dependency of the coupling coefft. in the optical directional coupling part on wavelengths.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光合分波器の製造方法に
関する。近年、光通信システムを加入者系に適用するた
めの研究及び開発が実用化レベルで行われている。加入
者系において波長分割多重を利用した双方向光通信を実
現するためには、異なる波長の光信号を分岐し或いは合
流するための光合分波器が必要不可欠であり、この光合
分波器の量産技術の確立が、加入者系光通信システムを
実用化する上でのキーテクノロジーの一つとなってい
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer. In recent years, research and development for applying an optical communication system to a subscriber system have been carried out at a practical level. In order to realize bidirectional optical communication using wavelength division multiplexing in the subscriber system, an optical multiplexer / demultiplexer for branching or joining optical signals of different wavelengths is indispensable. Establishing mass-production technology is one of the key technologies for the practical application of subscriber optical communication systems.

【0002】光合分波器は、例えば、平面光導波路或い
は光ファイバの融着・延伸により光方向性結合部を構成
することにより実現可能である。光合分波器を製造する
場合、光方向性結合部におけるコア間距離等の構造パラ
メータが直接波長特性(光方向性結合部における結合係
数(分岐比に対応)の波長依存性)に影響を及ぼすの
で、所要の波長特性を得ることができるように光合分波
器の製造方法を最適化することが要望されている。
An optical multiplexer / demultiplexer can be realized, for example, by constructing an optical directional coupling portion by fusing and extending a flat optical waveguide or an optical fiber. When manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer, structural parameters such as the inter-core distance in the optical directional coupler directly affect the wavelength characteristics (wavelength dependence of the coupling coefficient (corresponding to the branching ratio) in the optical directional coupler). Therefore, it is desired to optimize the manufacturing method of the optical multiplexer / demultiplexer so that the required wavelength characteristics can be obtained.

【0003】[0003]

【従来の技術】光合分波器の従来の製造方法の一つは、
2本又はそれ以上の光ファイバを側面同士接触させた状
態で加熱して融着・延伸することにより、光方向性結合
部を得るようにしたものである。
2. Description of the Related Art One of the conventional methods for manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer is
The optical directional coupling portion is obtained by heating, fusing and stretching two or more optical fibers in a state where the side surfaces are in contact with each other.

【0004】光合分波器の従来の製造方法の他の一つ
は、比較的低屈折率なアンダークラッド上に少なくとも
一対のコアが部分的に近接して光方向性結合部を構成す
るように上記コアを形成するステップと、このコアを覆
うように上記アンダークラッド上にアンダークラッドと
同等屈折率のアウタークラッドを形成するステップとを
含んでいる。
Another conventional method of manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer is such that at least a pair of cores are partially close to each other to form an optical directional coupling portion on an underclad having a relatively low refractive index. The method includes a step of forming the core and a step of forming an outer clad having the same refractive index as the under clad on the under clad so as to cover the core.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の前者の製造方法
による場合、光方向性結合部の構造パラメータを融着・
延伸作業における延伸速度や加熱温度により調整するよ
うにしていたので、光方向性結合部におけるコア間距離
や直径や形状を予め定められた物にするのが困難であ
り、所要の波長特性を得るのが容易でないという問題が
あった。
According to the former manufacturing method of the related art, the structural parameters of the optical directional coupling portion are fused and
Since it was adjusted by the drawing speed and the heating temperature in the drawing work, it is difficult to make the inter-core distance, diameter or shape of the optical directional coupling portion a predetermined one, and obtain the required wavelength characteristics. There was a problem that it was not easy.

【0006】従来の後者の製造方法による場合にも、例
えば火炎堆積法によりコア等を形成していたので、所要
の波長特性を得るのが容易でないという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みて創作されたもので、所
要の波長特性を得るのが容易な光合分波器の製造方法の
提供を目的としている。
Also in the case of the latter conventional manufacturing method, since the core and the like are formed by, for example, the flame deposition method, there is a problem that it is not easy to obtain the required wavelength characteristics.
The present invention was created in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a method for manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer that can easily obtain a required wavelength characteristic.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の光合分波器の製
造方法は、2本又はそれ以上の光ファイバを側面同士接
触させた状態で加熱して融着・延伸することにより光方
向性結合部を得るようにした光合分波器の製造方法にお
いて、上記光方向性結合部の周囲に変性アルキルシリケ
ート溶液を塗布するステップと、該溶液を加熱してガラ
ス化させるステップと、このガラス化した物を加熱して
アニーリングを行い上記光方向性結合部における結合係
数の波長依存性を調整するステップとを含む。
According to the method of manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer of the present invention, the optical directivity is obtained by heating, fusing and stretching two or more optical fibers in a state where their side surfaces are in contact with each other. In a method for manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer configured to obtain a coupling portion, a step of applying a modified alkyl silicate solution around the light-directional coupling portion, a step of heating the solution to vitrify, and this vitrification And annealing the heated product to adjust the wavelength dependence of the coupling coefficient in the light directional coupling portion.

【0008】本発明の光合分波器の他の製造方法は、ア
ンダークラッド上に少なくとも一対のコアが部分的に近
接して光方向性結合部を構成するように上記コアを形成
するステップと、該コアを覆うように上記アンダークラ
ッド上に変性アルキルシリケート溶液を塗布するステッ
プと、該溶液を加熱してガラス化させるステップと、こ
のガラス化した物を加熱してアニーリングを行い上記光
方向性結合部における結合係数の波長依存性を調整する
ステップとを含む。
Another method of manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer according to the present invention comprises the step of forming the above-mentioned cores so that at least a pair of cores are partially close to each other on the underclad to form an optical directional coupling portion, The step of applying a modified alkyl silicate solution onto the underclad so as to cover the core, the step of heating the solution to vitrify, and the annealing of the vitrified material by heating to obtain the above optical directional coupling. Adjusting the wavelength dependence of the coupling coefficient in the section.

【0009】[0009]

【作用】本発明方法によると、光方向性結合部或いは光
方向性結合部を構成するコアの周囲に変性アルキルシリ
ケート溶液を塗布し、この溶液を加熱してガラス化させ
た後、このガラス化したもの(ガラス被膜)を加熱して
アニーリングするようにしているので、加熱温度や加熱
時間によりアニーリングの程度を調整することにより、
波長特性を調整することができ、従って所要の波長特性
を容易に得ることができるようになる。尚、アニーリン
グは波長特性をモニタリングしながら行うことができ
る。
According to the method of the present invention, the modified alkyl silicate solution is applied to the periphery of the light-directing binding portion or the core constituting the light-directing binding portion, the solution is heated to vitrify, and then vitrified. Since the annealed material (glass coating) is heated and annealed, by adjusting the degree of annealing by the heating temperature and the heating time,
The wavelength characteristic can be adjusted, and thus the required wavelength characteristic can be easily obtained. The annealing can be performed while monitoring the wavelength characteristics.

【0010】[0010]

【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図1(A)はファイバ融着型光合分波器の構成及び
機能を説明するための図であり、図1(B)は図1
(A)におけるB−B断面図である。このファイバ融着
型光カプラは、入力端2,4と、光方向性結合部6と、
出力端8,10とを備えている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 (A) is a diagram for explaining the configuration and function of a fiber fusion-type optical multiplexer / demultiplexer, and FIG. 1 (B) is FIG.
It is a BB sectional view in (A). This fiber fusion splicing type optical coupler includes input ends 2 and 4, an optical directional coupler 6,
Output terminals 8 and 10 are provided.

【0011】光方向性結合部6においては、各ファイバ
のコアに相当するコア部6a,6bの径が元のコア径よ
りも十分小さく、また、これらのコア部6a,6bが十
分に接近しているので、モード結合が生じ、光方向性結
合部6の構造パラメータ(長さ、径、コア間距離、比屈
折率差、形状等)及び伝搬光の波長に応じた所要の分岐
比を得ることができるようになっている。
In the optical directional coupler 6, the diameters of the core portions 6a and 6b corresponding to the cores of the respective fibers are sufficiently smaller than the original core diameter, and the core portions 6a and 6b are sufficiently close to each other. Therefore, mode coupling occurs, and a required branching ratio according to the structural parameters (length, diameter, core-to-core distance, relative refractive index difference, shape, etc.) of the optical directional coupling section 6 and the wavelength of propagating light is obtained. You can do it.

【0012】具体的には、入力端2又は4から光パワー
がP0 のある波長の信号光を入射したときに、出力端
8,10からそれぞれ所定の分岐比で光パワーP1 ,P
2 の光信号が出力するものである。
Specifically, when a signal light having a wavelength of P 0 is input from the input end 2 or 4, the optical power P 1 and P are output from the output ends 8 and 10 at predetermined branching ratios.
The optical signal of 2 is output.

【0013】このような構成によると、光伝送路と直接
融着接続等により接続することができるので光パワーの
損失が小さく、また、主要構成部品が石英系光ファイバ
なので温度及び湿度等の使用環境条件に対する信頼性が
高いということができる。
According to this structure, the optical transmission line can be directly connected by fusion splicing or the like, so that the loss of optical power is small, and since the main constituent parts are silica optical fibers, temperature and humidity can be used. It can be said that it has high reliability with respect to environmental conditions.

【0014】尚、この光カプラの分岐比(光方向性結合
部における結合比に対応)は、上記入出力光パワーを用
いて、P1 /(P1 +P2 )又はP2 /(P1 +P2
で表される。
The branching ratio of this optical coupler (corresponding to the coupling ratio in the optical directional coupler) is P 1 / (P 1 + P 2 ) or P 2 / (P 1 ) using the input / output optical power. + P 2 )
It is represented by.

【0015】このような光方向性結合部を形成する場合
には、互いに側面にて密着するように並設された例えば
2本の光ファイバをバーナ等により部分的に加熱しなが
らこれらの光ファイバに引張力を加え、側面融着すると
ともに延伸するようにすればよい。
When such an optical directional coupling portion is formed, for example, two optical fibers arranged side by side so as to be in close contact with each other are partially heated by a burner or the like while these optical fibers are partially heated. A tensile force may be applied to the side surface to cause the side surface fusion and the stretching.

【0016】本実施例では、図2に示すように、光方向
性結合部6の周囲にガラス被膜12を形成し、このガラ
ス被膜12を高輝度なハロゲンランプ14からの光によ
り加熱してアニーリングを行い、光方向性結合部6にお
ける分岐比を微調整するようにしている。
In this embodiment, as shown in FIG. 2, a glass coating 12 is formed around the light-directional coupling portion 6, and the glass coating 12 is heated by light from a high-intensity halogen lamp 14 for annealing. Then, the branching ratio in the optical directional coupler 6 is finely adjusted.

【0017】具体的には次の通りである。尚、分岐比の
波長依存性を表すパラメータとして、一方の出力端にお
いて分岐比が最も高くなる波長及び他方の出力端におい
て分岐比が最も高くなる波長を用いる。即ち、一方の出
力端において分岐比が最も高くなる波長がλ1 (μm)
であり、他方の出力端における分岐比が最も高くなる波
長がλ2 (μm)である場合には、そのパラメータをλ
1 /λ2 と表す。
Specifically, it is as follows. As a parameter indicating the wavelength dependence of the branching ratio, the wavelength at which the branching ratio is highest at one output end and the wavelength at which the branching ratio is highest at the other output end are used. That is, the wavelength with the highest branching ratio at one output end is λ 1 (μm)
If the wavelength at which the branching ratio at the other output end is the highest is λ 2 (μm), the parameter is set to λ
Expressed as 1 / λ 2 .

【0018】まず、ガラス被膜12を形成することによ
る光方向性結合部6の分岐比が変化することを見込ん
で、光方向性結合部6を作成した。このときのパラメー
タは1.31/1.48であった。
First, the optical directional coupling portion 6 was prepared in consideration of the change in the branching ratio of the optical directional coupling portion 6 due to the formation of the glass film 12. The parameters at this time were 1.31 / 1.48.

【0019】次いで、光方向性結合部6に変性アルキル
シリケート溶液を塗布して、これを150℃の温度下で
1.5時間加熱してガラス化することによってガラス被
膜12を形成した。ガラス被膜12の屈折率は約1.4
4であり、このときのパラメータは1.32/1.57
となった。
Next, a modified alkyl silicate solution was applied to the light-directionally connecting portion 6 and heated at 150 ° C. for 1.5 hours to vitrify, thereby forming a glass coating 12. The refractive index of the glass film 12 is about 1.4.
4 and the parameter at this time is 1.32 / 1.57.
Became.

【0020】そして、分岐比を実測しながらガラス被膜
12を170℃でアニーリングし、所要のパラメータ
(1.31/1.55)が得られた時点でアニーリング
を停止した。加熱時間は約3時間であり、アニーリング
後のガラス被膜の屈折率は約1.43になっていた。
The glass coating 12 was annealed at 170 ° C. while actually measuring the branching ratio, and the annealing was stopped when the required parameters (1.31 / 1.55) were obtained. The heating time was about 3 hours, and the refractive index of the glass coating after annealing was about 1.43.

【0021】このように本実施例によると、アニーリン
グにより波長特性の微調整をすることができるので、容
易に所望の波長特性を得ることができる。図3に分岐比
の波長依存性を示す。このグラフにおいて、縦軸は分岐
比(dB)、横軸は波長(μm)である。Aで示される
のは一方の出力端における分岐比の波長依存性であり、
Bで示されるのは他方の出力端における分岐比の波長依
存性である。また、実線で表されているのはアニーリン
グ前の特性であり、破線で表されているのはアニーリン
グ後の特性である。
As described above, according to this embodiment, since the wavelength characteristics can be finely adjusted by annealing, the desired wavelength characteristics can be easily obtained. FIG. 3 shows the wavelength dependence of the branching ratio. In this graph, the vertical axis represents the branching ratio (dB) and the horizontal axis represents the wavelength (μm). A is the wavelength dependence of the branching ratio at one output end,
Shown by B is the wavelength dependence of the branching ratio at the other output end. Further, the solid line shows the characteristics before annealing, and the broken line shows the characteristics after annealing.

【0022】このようにアニーリングにより波長特性が
変化するのは、アニーリングによりガラス被膜12の屈
折率が変化するからであると考えられる。変性アルキル
シリケート溶液としては、有限会社テー・エス・ビー開
発センター製の無機コーティング材料ETSB−600
0,ETSB−7000或いはグラスモドキ(登録商
標)、X−500PAをメタノール等のアルコール系溶
媒に溶解させたものを使用することができる。
It is considered that the reason why the wavelength characteristic is changed by the annealing is that the refractive index of the glass film 12 is changed by the annealing. As a modified alkyl silicate solution, an inorganic coating material ETSB-600 manufactured by TSB Development Center Co., Ltd.
0, ETSB-7000, Grasmodoki (registered trademark), or X-500PA dissolved in an alcohol solvent such as methanol can be used.

【0023】本実施例において、ハロゲンランプの光を
照射させることによってアニーリングするようにしてい
るのは、周囲の温度上昇による分岐比の測定不安定性が
生じることを防止するためである。このような部分的な
加熱方法としては、CO2 レーザ等のレーザ装置を用い
る方法も採用可能である。
In this embodiment, the reason why the annealing is performed by irradiating the light of the halogen lamp is to prevent the measurement instability of the branching ratio from being caused by the increase in the ambient temperature. As such a partial heating method, a method using a laser device such as a CO 2 laser can also be adopted.

【0024】図4は本発明方法を導波路型光合分波器の
製造に適用する場合の製造プロセスの説明図である。ま
ず、図4(A)に平面図を、図4(B)に断面図を示す
ように、基板16上に形成された比較的低屈折率なアン
ダークラッド18の上に、一対の比較的高屈折率なコア
20,22が部分的に近接して光方向性結合部24を構
成するように、コア20,22を形成する。
FIG. 4 is an explanatory view of a manufacturing process when the method of the present invention is applied to the manufacture of a waveguide type optical multiplexer / demultiplexer. First, as shown in a plan view of FIG. 4 (A) and a cross-sectional view of FIG. 4 (B), a pair of relatively high refractive index layers are formed on the underclad 18 having a relatively low refractive index formed on the substrate 16. The cores 20 and 22 are formed so that the refractive index cores 20 and 22 partially come close to each other to form the optical directional coupling portion 24.

【0025】アンダークラッド18は火炎堆積法により
形成することができ、コア20,22は火炎堆積法によ
り得られたコア層をエッチングして形成することができ
る。次いで、コア20,22を覆うようにアンダークラ
ッド18上に変性アルキルシリケート溶液を塗布し、図
4(C)に示すように加熱によりこの溶液をガラス化さ
せる。
The underclad 18 can be formed by the flame deposition method, and the cores 20 and 22 can be formed by etching the core layer obtained by the flame deposition method. Next, a modified alkyl silicate solution is applied onto the underclad 18 so as to cover the cores 20 and 22, and the solution is vitrified by heating as shown in FIG. 4 (C).

【0026】そして、分岐比を実測しながら、光方向性
結合部24の近傍をハロゲンランプ14により加熱して
アニーリングを行い、所要の波長特性を得る。本実施例
によっても、アニーリングによってガラス被膜26の屈
折率を変化させて、所要の波長特性を容易に得ることが
できる。
Then, while measuring the branching ratio, the vicinity of the light directional coupling portion 24 is heated by the halogen lamp 14 and annealed to obtain the required wavelength characteristics. Also in this embodiment, it is possible to easily obtain the required wavelength characteristics by changing the refractive index of the glass film 26 by annealing.

【0027】以上説明した実施例では、分岐比を実測し
ながらアニーリングを行っているが、アニーリング前の
波長特性から最適なアニーリング条件を求めておき、こ
の条件でアニーリングを行うようにしてもよい。
In the embodiment described above, the annealing is performed while actually measuring the branching ratio, but the optimum annealing condition may be obtained from the wavelength characteristics before the annealing, and the annealing may be performed under this condition.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
所要の波長特性を得るのが容易な光合分波器の製造方法
の提供が可能になるという効果を奏する。
As described above, according to the present invention,
It is possible to provide a method of manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer that easily obtains the required wavelength characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】ファイバ融着型光合分波器の構成及び機能を説
明するための図である。
FIG. 1 is a diagram for explaining a configuration and a function of a fiber fusion type optical multiplexer / demultiplexer.

【図2】図1に示されたファイバ融着型光合分波器の光
方向性結合部についてのアニーリングを説明するための
図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining the annealing of the optical directional coupling section of the fiber fusion type optical multiplexer / demultiplexer shown in FIG.

【図3】分岐比の波長特性を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing wavelength characteristics of branching ratio.

【図4】導波路型光合分波器の製造プロセスを示す図で
ある。
FIG. 4 is a diagram showing a manufacturing process of the waveguide type optical multiplexer / demultiplexer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6,24 光方向性結合部 12,26 ガラス被膜 14 ハロゲンランプ 6,24 Light direction coupling part 12,26 Glass coating 14 Halogen lamp

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 2本又はそれ以上の光ファイバを側面同
士接触させた状態で加熱して融着・延伸することにより
光方向性結合部(6) を得るようにした光合分波器の製造
方法において、 上記光方向性結合部(6) の周囲に変性アルキルシリケー
ト溶液を塗布するステップと、 該溶液を加熱してガラス化させるステップと、 このガラス化した物を加熱してアニーリングを行い上記
光方向性結合部における結合係数の波長依存性を調整す
るステップとを含むことを特徴とする光合分波器の製造
方法。
1. A method of manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer in which two or more optical fibers are heated in a state where their side surfaces are in contact with each other and are fused and stretched to obtain an optical directional coupler (6). In the method, a step of applying a modified alkyl silicate solution around the light-directing coupling part (6), a step of heating the solution to vitrify, and a step of heating the vitrified material to anneal it. Adjusting the wavelength dependence of the coupling coefficient in the optical directional coupler, the method of manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer.
【請求項2】 アンダークラッド(18)上に少なくとも一
対のコア(20,22) が部分的に近接して光方向性結合部(2
4)を構成するように上記コアを形成するステップと、 該コアを覆うように上記アンダークラッド上に変性アル
キルシリケート溶液を塗布するステップと、 該溶液を加熱してガラス化させるステップと、 このガラス化した物を加熱してアニーリングを行い上記
光方向性結合部における結合係数の波長依存性を調整す
るステップとを含むことを特徴とする光合分波器の製造
方法。
2. The at least one pair of cores (20, 22) are partially close to each other on the underclad (18) and the optical directional coupling portion (2
4) forming the core so as to constitute the above step, applying a modified alkyl silicate solution onto the underclad so as to cover the core, heating the solution to vitrify, and And heating the converted material to anneal it to adjust the wavelength dependence of the coupling coefficient in the optical directional coupling section, the manufacturing method of the optical multiplexer / demultiplexer.
【請求項3】 上記アニーリングはCO2 レーザ又はハ
ロゲンランプからの光を照射することにより行われるこ
とを特徴とする請求項1又は2に記載の光合分波器の製
造方法。
3. The method of manufacturing an optical multiplexer / demultiplexer according to claim 1, wherein the annealing is performed by irradiating light from a CO 2 laser or a halogen lamp.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2001055689A1 (en) * 2000-01-31 2001-08-02 New Focus, Inc. Real time process control of optical components using linearly swept tunable laser

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