JPH0512664B2 - - Google Patents

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JPH0512664B2
JPH0512664B2 JP1132860A JP13286089A JPH0512664B2 JP H0512664 B2 JPH0512664 B2 JP H0512664B2 JP 1132860 A JP1132860 A JP 1132860A JP 13286089 A JP13286089 A JP 13286089A JP H0512664 B2 JPH0512664 B2 JP H0512664B2
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JP
Japan
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ionization
sample
gas
solid surface
nozzle
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Toshihiro Fujii
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KOKURITSU KANKYO KENKYUSHOCHO
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KOKURITSU KANKYO KENKYUSHOCHO
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、質量分析を行うために試料をイオン
化する方法に関するもので、特に、表面電離の原
理を利用してイオン化するようにした、質量分析
法のためのイオン化法に関するものである。
Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method of ionizing a sample for mass spectrometry, and particularly relates to a method of ionizing a sample using the principle of surface ionization. It concerns ionization methods for analytical methods.

(従来の技術) 微量成分の検出には、質量分析法が用いられる
ことが多い。この質量分析法は、ガス化した試料
をイオン化し、磁場あるいは電場からなる質量分
離部を通すことにより各イオンをその質量に従つ
て分離させ、これを検出測定するというものであ
る。このような質量分析法によれば、分子ないし
は原子単位での分析が可能となるので、特に微量
生体代謝物質の検出や公害成分あるいは半導体製
造プロセスガスに含まれる極微量不純物の分析等
に威力を発揮する。
(Prior Art) Mass spectrometry is often used to detect trace components. This mass spectrometry method involves ionizing a gasified sample, passing it through a mass separation unit made of a magnetic field or an electric field, separating each ion according to its mass, and detecting and measuring the ions. This type of mass spectrometry enables analysis on a molecular or atomic basis, so it is particularly effective in detecting trace amounts of biological metabolites and analyzing trace amounts of impurities contained in pollutant components or semiconductor manufacturing process gases. Demonstrate.

ところで、このような質量分析法を行うために
は、試料をイオン化しなければならない。そのイ
オン化法としては、電子衝撃法など、これまでに
も種々の方法が提案され、実施されてきている。
By the way, in order to perform such mass spectrometry, the sample must be ionized. As the ionization method, various methods such as electron impact method have been proposed and put into practice.

そのようなイオン化法の一つとして、表面電離
の原理を利用したものがある。これは、質量分析
装置のイオン化室内に、仕事関数の高い固体表面
を加熱して配置しておき、これにガス化した試料
を導くようにしたものである。加熱環境下にある
仕事関数の高い固体表面にイオン化エネルギの小
さい試料分子を接触させると、その試料分子は表
面電離により効率よくイオン化される。
One such ionization method uses the principle of surface ionization. This is a method in which a heated solid surface with a high work function is placed in the ionization chamber of a mass spectrometer, and a gasified sample is guided to this. When sample molecules with low ionization energy are brought into contact with a solid surface with a high work function in a heated environment, the sample molecules are efficiently ionized by surface ionization.

このような表面電離によるイオン化法は、特に
元素を効率よくイオン化することができることか
ら、現在でも同位体希釈法等に欠かすことのでき
ない手法となつている。また、近年、ある種の有
機化合物にも有用であることが判明した。しか
も、そのスペクトルは単純で構造に関して情報の
多いものが多い。そのため、このイオン化法は、
特異な方法としてその利用はますます広まつてい
る。
Such an ionization method using surface ionization is particularly capable of efficiently ionizing elements, and is therefore still an indispensable method for isotope dilution methods and the like. It has also recently been found to be useful for certain organic compounds. Moreover, their spectra are often simple and contain a lot of information regarding their structures. Therefore, this ionization method is
Its use as a unique method is becoming more and more widespread.

このように表面電離を利用して試料をイオン化
する場合、従来は、試料は単にガス化してイオン
化室内に導入するようにしていた。
When a sample is ionized using surface ionization in this manner, conventionally the sample is simply gasified and then introduced into the ionization chamber.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、そのような従来の表面電離によ
るイオン化法では、表面電離によつてイオン化さ
れる試料分子の割合は、固体表面の仕事関数と試
料分子のイオン化エネルギとの差によつて決定さ
れることになる。そのために、イオン化エネルギ
の比較的大きい化学種はイオン化されにくく、十
分なイオン化効率が得られない。特に8eV以上の
イオン化エネルギを有する化合物に対しては、全
く無力となつてしまう。
(Problem to be Solved by the Invention) However, in such a conventional ionization method using surface ionization, the proportion of sample molecules ionized by surface ionization is determined by the ratio of the work function of the solid surface and the ionization energy of the sample molecules. It will be determined by the difference. Therefore, chemical species with relatively high ionization energy are difficult to ionize, and sufficient ionization efficiency cannot be obtained. In particular, it becomes completely powerless against compounds with ionization energy of 8 eV or more.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたも
のであつて、その目的は、より広範な化学種を表
面電離によつて効率よくイオン化することのでき
る質量分析法のためのイオン化法を得ることであ
る。
The present invention was made in view of these problems, and its purpose is to obtain an ionization method for mass spectrometry that can efficiently ionize a wider range of chemical species by surface ionization. That's true.

(課題を解決するための手段) この目的を達成するために、本発明では、キヤ
リヤガスとして水素やヘリウム等の軽い気体を用
い、試料をそのキヤリヤガスとともにノズルから
真空のイオン化室内に噴出させるようにしてい
る。ノズルから噴出したガスは、そのイオン化室
内において、加熱された固体表面に導かれる。
(Means for Solving the Problem) In order to achieve this object, in the present invention, a light gas such as hydrogen or helium is used as a carrier gas, and the sample is ejected together with the carrier gas from a nozzle into a vacuum ionization chamber. There is. Gas ejected from the nozzle is guided to a heated solid surface within the ionization chamber.

(作用) このようにノズルから真空中にガスを噴出させ
ると、超音速自由噴流が形成される。そして、重
い試料分子は、二体衝突を繰り返しながら、軽い
キヤリヤガス分子の速度にまで加速される。した
がつて、試料分子は極めて大きい運動エネルギを
持つことになる。
(Function) When gas is ejected from the nozzle into a vacuum in this manner, a supersonic free jet is formed. Then, the heavy sample molecules are accelerated to the speed of the light carrier gas molecules while repeating two-body collisions. Therefore, the sample molecules have extremely large kinetic energy.

そのように大きい運動エネルギを持つ気相の分
子は、気相と固相との相互作用の場において、著
しく効率よく表面電離される。したがつて、ノズ
ルから噴出した試料分子を加熱された固体表面に
導くと、その分子は高い効率でイオン化されるよ
うになる。
Gas phase molecules with such large kinetic energy are surface ionized extremely efficiently in the field of interaction between the gas phase and the solid phase. Therefore, when the sample molecules ejected from the nozzle are guided to the heated solid surface, the molecules are ionized with high efficiency.

(実施例) 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described using the drawings.

図中、第1図は本発明を適用した質量分析計の
一例を示す概略構成図であり、第2図はそれに用
いられているノズルからガスが噴出する状態を示
す説明図である。
In the drawings, FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a mass spectrometer to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which gas is ejected from a nozzle used in the mass spectrometer.

第1図か明らかなように、質量分析計1は、試
料をイオン化しそれを加速するイオン源部2と、
そのイオン源部2から導入されるイオンビームを
分離する質量分離部3とを備えている。その質量
分離部3は、この実施例においては互いに対向す
る一対の電極3a,3bを2組配置した四重極型
のものとされている。イオンは、それらの電極3
a,3bによつて形成される高周波電場を通るこ
とにより、質量ごとに分離され、検出部(図示せ
ず)において検出されるようになつている。
As is clear from FIG. 1, the mass spectrometer 1 includes an ion source section 2 that ionizes a sample and accelerates it;
It includes a mass separation section 3 that separates the ion beam introduced from the ion source section 2. In this embodiment, the mass separator 3 is of a quadrupole type in which two sets of electrodes 3a and 3b facing each other are arranged. The ions are transferred to their electrodes 3
By passing through the high frequency electric field formed by a and 3b, the light is separated into masses and detected in a detection section (not shown).

これらイオン源部2及び質量分離部3は、トラ
ツプ4を介して真空排気装置に接続される真空室
5内に配置され、常に真空雰囲気下に保たれるよ
うになつている。
The ion source section 2 and the mass separation section 3 are arranged in a vacuum chamber 5 connected to a vacuum evacuation device via a trap 4, and are always kept under a vacuum atmosphere.

イオン源部2にはイオン化室6が設けられてい
る。このイオン化室6は真空室5内に開放されて
いる。したがつて、イオン化室6内も、真空雰囲
気に保たれるようになつている。
The ion source section 2 is provided with an ionization chamber 6. This ionization chamber 6 is open into the vacuum chamber 5. Therefore, the inside of the ionization chamber 6 is also kept in a vacuum atmosphere.

真空室5の外部には試料導入部7が設けられて
いる。その試料導入部7には、ガス化された試料
が、水素あるいはヘリウム等の軽いキヤリヤガス
とともに導入されるようになつている。また、そ
の試料導入部7の出口側には、導管8を介してノ
ズル9が接続されている。そのノズル9の先端
は、イオン化室6内に突出するようにされてい
る。
A sample introduction section 7 is provided outside the vacuum chamber 5 . A gasified sample is introduced into the sample introduction section 7 together with a light carrier gas such as hydrogen or helium. Further, a nozzle 9 is connected to the outlet side of the sample introduction section 7 via a conduit 8. The tip of the nozzle 9 is designed to protrude into the ionization chamber 6.

一方、イオン化室6内には、ノズル9に対向す
る位置に、表面電離により試料をイオン化する固
体表面をなすエミツタ10が配置されている。そ
のエミツタ10は、外部の温度制御装置11によ
り、表面が適度の温度に加熱されるようになつて
いる。
On the other hand, in the ionization chamber 6, an emitter 10, which is a solid surface that ionizes the sample by surface ionization, is arranged at a position facing the nozzle 9. The surface of the emitter 10 is heated to an appropriate temperature by an external temperature control device 11.

第2図に示されているように、ノズル9の先端
にはガス噴出口9aが設けられている。そのガス
噴出口9aは、直径50〜100μm程度の微小径の
ものとされている。また、ノズル9の先端部外周
には、適宜の電源によつて温度制御されるヒータ
12が取り付けられ、ノズル9内のガスを加熱し
得るようにされている。
As shown in FIG. 2, a gas outlet 9a is provided at the tip of the nozzle 9. The gas outlet 9a has a minute diameter of about 50 to 100 μm. Further, a heater 12 whose temperature is controlled by an appropriate power source is attached to the outer periphery of the tip of the nozzle 9 so that the gas inside the nozzle 9 can be heated.

エミツタ10は、仕事関数の低い固体表面、あ
るいは仕事関数の高い固体表面、のいずれかをな
すものとされる。仕事関数の低いものとする場合
には、例えばルビジウム塩のようなアルカリ金属
化合物をドープしたアルミナシリケートをビーズ
状として白金コイル等の加熱線に付着させるよう
にする。また、仕事関数の高いものとする場合に
は、例えば白金、レニウム、タングステン等の金
属あるいはその金属酸化物をコイル状として、電
気加熱するようにすればよい。
The emitter 10 is made of either a solid surface with a low work function or a solid surface with a high work function. In order to obtain a material with a low work function, alumina silicate doped with an alkali metal compound such as a rubidium salt is formed into beads and attached to a heating wire such as a platinum coil. Further, in the case of using a material with a high work function, for example, a metal such as platinum, rhenium, tungsten, or a metal oxide thereof may be formed into a coil shape and heated electrically.

次に、このように構成された質量分析計1の作
用について説明する。
Next, the operation of the mass spectrometer 1 configured as described above will be explained.

質量分析を行うときには、真空室5内を真空雰
囲気に保ち、エミツタ10の表面を適度の温度に
加熱しておく。また、ノズル9の先端部もヒータ
12によつて加熱しておく。
When performing mass spectrometry, the inside of the vacuum chamber 5 is maintained in a vacuum atmosphere, and the surface of the emitter 10 is heated to an appropriate temperature. Further, the tip of the nozzle 9 is also heated by the heater 12.

この状態で、試料導入部7にキヤリヤガスを導
入するとともに、ガス化した試料を注入する。す
ると、その試料は、キヤリヤガスによつて運ば
れ、導管8を通つてノズル9の先端部に達する。
ノズル9のガス噴出口9aは微小径とされてお
り、その上流側からは次々とガスが送り込まれる
ので、そのノズル9内は正圧となる。一方、ノズ
ル9の外部は真空雰囲気に保たれている。したが
つて、ガス噴出口9aの上流側と下流側との間に
は極めて大きな圧力差が生じる。その結果、軽い
キヤリヤガスはそのガス噴出口9aから噴出し、
それに伴つて、重い試料分子も真空中に吹き出
す。
In this state, a carrier gas is introduced into the sample introduction section 7, and a gasified sample is injected. The sample is then carried by the carrier gas through conduit 8 to the tip of nozzle 9.
The gas ejection port 9a of the nozzle 9 has a minute diameter, and gas is successively fed from the upstream side thereof, so that the inside of the nozzle 9 has a positive pressure. On the other hand, the outside of the nozzle 9 is maintained in a vacuum atmosphere. Therefore, an extremely large pressure difference occurs between the upstream side and the downstream side of the gas jet port 9a. As a result, the light carrier gas is ejected from the gas outlet 9a,
Along with this, heavy sample molecules are also blown out into the vacuum.

このとき、噴出するガスの平均自由行程はガス
噴出口9aの径よりも十分に小さいので、試料分
子は、噴出直後、二体衝突を繰り返しながら、軽
いキヤリヤガスの分子の速度にまで加速される。
こうして、ガス噴出口9aから噴出したガスは、
第2図に示されているような超音速領域を有する
超音速自由噴流となる。したがつて、その超音速
噴流中にある重い試料分子の運動エネルギは極め
て大きくなる。
At this time, since the mean free path of the ejected gas is sufficiently smaller than the diameter of the gas ejection port 9a, the sample molecules are accelerated to the speed of light carrier gas molecules while repeating two-body collisions immediately after ejecting.
In this way, the gas ejected from the gas ejection port 9a is
This results in a supersonic free jet having a supersonic region as shown in FIG. Therefore, the kinetic energy of heavy sample molecules in the supersonic jet becomes extremely large.

エミツタ10はこの噴流中に設けられている。
したがつて、試料分子は、そのエミツタ10の固
体表面に接触して、表面電離によりイオン化され
る。その場合、試料分子は上述のように極めて大
きな運動エネルギを持つているので、そのイオン
化は著しく促進される。すなわち、試料分子が負
イオンになるものである場合には、試料分子の運
動エネルギによつて、その電子親和力が増幅され
たのと同じ効果が与えられるので、仕事関数の低
い表面をなすエミツタ10に試料を導くと、その
分子あるいはその構成化学種が極めて効率よく負
イオンにイオン化される。また、試料分子が正イ
オンになるものである場合には、試料分子の運動
エネルギが固体表面の仕事関数を大きくしたのと
同様の効果をもたらすので、仕事関数の高い表面
をなすエミツタ10に試料を導くと、その分子あ
るいはその構成化学種が著しく高い効率で正イオ
ンにイオン化される。
An emitter 10 is provided in this jet stream.
Therefore, the sample molecules come into contact with the solid surface of the emitter 10 and are ionized by surface ionization. In this case, since the sample molecules have extremely large kinetic energy as described above, their ionization is significantly promoted. In other words, when the sample molecules become negative ions, the kinetic energy of the sample molecules has the same effect as amplifying their electron affinity. When a sample is introduced into a sample, its molecules or their constituent chemical species are extremely efficiently ionized into negative ions. In addition, if the sample molecules become positive ions, the kinetic energy of the sample molecules has the same effect as increasing the work function of the solid surface. When guided, the molecule or its constituent chemical species are ionized into positive ions with extremely high efficiency.

このように、検出しようとする試料の特質に応
じてエミツタ10の仕事関数を高くあるいは低く
設定しておけば、従来のものではイオン化するこ
とのできなかつた化合物まで効率よくイオン化す
ることができるようになる。
In this way, by setting the work function of the emitter 10 to be high or low depending on the characteristics of the sample to be detected, it becomes possible to efficiently ionize even compounds that could not be ionized with conventional devices. become.

そして、このようにして生じたイオンは、イオ
ン源部2において加速され、イオンビームとなつ
て質量分離部3に導かれる。質量分離部3におい
ては、高周波電場が形成されているので、そのイ
オンビームは各イオンの質量に応じて軌道が曲げ
られ、質量ごとに分離される。
The ions thus generated are accelerated in the ion source section 2 and guided to the mass separation section 3 as an ion beam. In the mass separation section 3, a high frequency electric field is formed, so that the trajectory of the ion beam is bent according to the mass of each ion, and the ion beam is separated by mass.

このようなイオン化法において、試料分子に与
えられる運動エネルギは、ガス噴出口9aの上流
側のガス圧、下流側の真空度、ガスの温度、ガス
噴出口9aの径などによつて制御される。このう
ち、ガス噴出口9aの下流側の真空度は、一般に
は質量分析計1の真空室5内の真空度によつて決
定される。また、ガス噴出口9aの最小径は、そ
の加工性などの点からほぼ決定される。しかしな
がら、ガス噴出口9aの上流側のガス圧はキヤリ
ヤガスの供給流量によつて調整することができ、
ガスの温度はノズル9の先端に取り付けられたヒ
ータ12によつて調整することができる。したが
つて、それらを調整することによつて、試料分子
の運動エネルギを最適な大きさとすることができ
る。
In such an ionization method, the kinetic energy given to the sample molecules is controlled by the gas pressure upstream of the gas outlet 9a, the degree of vacuum downstream, the temperature of the gas, the diameter of the gas outlet 9a, etc. . Among these, the degree of vacuum on the downstream side of the gas ejection port 9a is generally determined by the degree of vacuum in the vacuum chamber 5 of the mass spectrometer 1. Further, the minimum diameter of the gas ejection port 9a is approximately determined from the viewpoint of its workability. However, the gas pressure on the upstream side of the gas jet port 9a can be adjusted by the supply flow rate of the carrier gas.
The temperature of the gas can be adjusted by a heater 12 attached to the tip of the nozzle 9. Therefore, by adjusting them, the kinetic energy of the sample molecules can be optimized.

なお、上記実施例においては、質量分離部3が
4重極型のものとされている質量分析計1を例に
挙げたが、一様磁場を形成する質量分離部を備え
た質量分析計、あるいは質量分析器にも、本発明
を適用することができることは明らかであろう。
In the above embodiment, the mass spectrometer 1 in which the mass separator 3 is of a quadrupole type is taken as an example, but a mass spectrometer equipped with a mass separator that forms a uniform magnetic field, It will be obvious that the present invention can also be applied to mass spectrometers.

また、本発明は、ガスクロマトグラフのカラム
によつて分離された試料を質量分析する場合にも
採用することができる。
Furthermore, the present invention can also be employed when performing mass spectrometry on a sample separated by a gas chromatograph column.

(発明の効果) 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、試料を軽いキヤリヤガスとともにノズルから
真空中に噴出させ、その試料分子に大きな運動エ
ネルギを持たせるようにしているので、加熱され
た固体表面における表面電離が著しく促進され、
試料を高い効率でイオン化することができる。し
たがつて、従来の表面電離によるイオン化法では
イオン化することができず、検出することのでき
なかつた化合物、あるいはイオン化することがで
きても微量のために十分な検出感度が得られなか
つた化合物についても、検出が可能となり、その
適用範囲を広げることができる。
(Effects of the Invention) As is clear from the above explanation, according to the present invention, the sample is ejected from the nozzle into vacuum together with a light carrier gas, and the sample molecules have large kinetic energy, so that heating is possible. surface ionization on the solid surface is significantly promoted,
Samples can be ionized with high efficiency. Therefore, compounds that cannot be ionized and detected using conventional ionization methods using surface ionization, or compounds that can be ionized but are present in such small amounts that sufficient detection sensitivity cannot be obtained. It also becomes possible to detect and expand the range of application.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明を適用した質量分析計の一例
を示す概略構成図、第2図は、そのイオン化室に
設けられているノズルからガスが噴出する状態を
示す説明図である。 1……質量分析計(質量分析装置)、5……真
空室、6……イオン化室、7……試料導入部、9
……ノズル、9a……ガス噴出口、10……エミ
ツタ(固体表面)、11……温度制御装置、12
……ヒータ。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a mass spectrometer to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which gas is ejected from a nozzle provided in an ionization chamber. 1... Mass spectrometer (mass spectrometer), 5... Vacuum chamber, 6... Ionization chamber, 7... Sample introduction section, 9
... Nozzle, 9a ... Gas outlet, 10 ... Emitter (solid surface), 11 ... Temperature control device, 12
……heater.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 質量分析装置の真空雰囲気下に保たれるイオ
ン化室内に、適度の温度に加熱される固体表面を
配置し、 その固体表面に向けて、ノズルから軽いキヤリ
ヤガスとともに試料を噴出させ、 その固体表面において表面電離させることによ
り試料をイオン化することを特徴とする、 質量分析法のためのイオン化法。 2 前記試料中の分子あるいはその構成化学種の
電子親和力が大きい場合には、前記固体表面を仕
事関数の低いものとすることを特徴とする、 請求項1記載のイオン化法。 3 前記試料中の分子あるいはその構成化学種の
イオン化エネルギが小さい場合には、前記固体表
面を仕事関数の高いものとすることを特徴とす
る、 請求項1記載のイオン化法。 4 前記ノズルから噴出するガスを加熱すること
を特徴とする、 請求項1ないし3のいずれか記載のイオン化
法。
[Claims] 1. A solid surface heated to an appropriate temperature is placed in an ionization chamber maintained in a vacuum atmosphere of a mass spectrometer, and a sample is ejected from a nozzle together with a light carrier gas toward the solid surface. An ionization method for mass spectrometry, characterized in that a sample is ionized by surface ionization on the solid surface. 2. The ionization method according to claim 1, wherein when molecules in the sample or their constituent chemical species have a large electron affinity, the solid surface is made to have a low work function. 3. The ionization method according to claim 1, wherein when the ionization energy of molecules in the sample or their constituent chemical species is small, the solid surface is made to have a high work function. 4. The ionization method according to claim 1, further comprising heating the gas ejected from the nozzle.
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