JPH05126265A - Fluid controller - Google Patents

Fluid controller

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JPH05126265A
JPH05126265A JP26108691A JP26108691A JPH05126265A JP H05126265 A JPH05126265 A JP H05126265A JP 26108691 A JP26108691 A JP 26108691A JP 26108691 A JP26108691 A JP 26108691A JP H05126265 A JPH05126265 A JP H05126265A
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elastic body
seal seat
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準治 佐藤
Hisatoshi Akamoto
久敏 赤本
Hisayoshi Mese
央欣 目瀬
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Abstract

PURPOSE:To improve durability by forming a diaphragm into a laminated structure comprising a rubber elastic unit and hard resin layers of corrosion resistance formed on both sides of this rubber elastic unit, in a device of fixing the diaphragm through a holding member in a position opposed to a seal seat of a valve main unit. CONSTITUTION:By introducing air into an air passage 10 from an inlet port 9, a stem 4 and a compressor 3 are lifted through a spring 7 to connect an inlet flow path 21 to an outlet flow path 22 by detaching a diaphragm 8 from a seal seat 23. In a fluid controller 1 thus obtained, the diaphragm 8 is formed of a laminated structure comprising a rubber elastic unit 81 and hard resin layers 82 of corrosion resistance preferably of polytetrafluoroethylene formed on both sides of this rubber elastic unit. In the diaphragm 8, its peripheral edge part 801 is formed into a small thickness part, and in a holding member 5 for holding this diaphragm peripheral edge fastened, a notched part 501 is formed in a contact part with the peripheral edge part 801 to improve its fastening effect.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は流体制御器に係り、そ
の目的は使用時に締付やすく、且つ耐久性に優れた流体
制御器の提供にある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid controller, and an object thereof is to provide a fluid controller which is easily tightened during use and has excellent durability.

【0002】[0002]

【従来の技術】酸等の化学薬品を遮断する場合には、流
体制御器として、流体の流れに抵抗を与えることが少な
く、また腐食の恐れがない耐熱性のゴム製ダイアフラム
弁が用いられている。このダイアフラム弁は図4にその
構造の一例を示すように、弁本体(A) とステム(B) 、ダ
イアフラム(C) 、ボンネット(D) 、スプリング(E) 、コ
ンプレッサー(F)、キャップ(G) とからなる。弁本体(A)
には入口流路(A1)及び出口流路(A2)とこれら流路の中
間に位置するシール座(A3)が形成されている。
2. Description of the Related Art In the case of shutting off chemicals such as acids, a heat-resistant rubber diaphragm valve is used as a fluid controller, which hardly gives a resistance to the flow of fluid and is free from corrosion. There is. This diaphragm valve has a valve body (A) and stem (B), diaphragm (C), bonnet (D), spring (E), compressor (F), cap (G ) And. Valve body (A)
An inlet passage (A1), an outlet passage (A2), and a seal seat (A3) located in the middle of these passages are formed in this.

【0003】このような構成からなるダイアフラム弁
(Z) においては、インレットポート(J) よりエアー通路
(I) を介してエアーを導入し、ステム(B) の下端部に固
定されたコンプレッサー(F) を上方へ移動させる。この
コンプレッサー(F) の上下動によりダイアフラム(C) を
弁本体(A) のシール座(A3)に圧接又は離間させて入口流
路(A1)及び出口流路(A2)とを開閉する。
A diaphragm valve having such a structure
At (Z), the air passage from the inlet port (J)
Air is introduced through (I) to move the compressor (F) fixed to the lower end of the stem (B) upward. By the vertical movement of the compressor (F), the diaphragm (C) is pressed against or separated from the seal seat (A3) of the valve body (A) to open and close the inlet flow passage (A1) and the outlet flow passage (A2).

【0004】このように、ダイアフラム(C) をシール座
(A3)へ押し付けることによって流路(A1)、(A2)を閉じる
構造を有するダイアフラム弁(Z) においては、ダイアフ
ラム(C) とシール座(A3)との密着性が要求されるため
に、ダイアフラム(C) 或いはシール座(A3)にはゴム弾性
体が使用されることが一般的である。しかしながら、ゴ
ム弾性体からなるダイアフラム(C) を使用すればシール
座(A3)との密着性は向上するが、弾性体であるために常
に荷重がかかった状態で使用されることとなり、長期間
使用すると、この弾性体に非塑性変形が起こり、結果と
して老化や破損とい現象が起こり、引いては流体の漏洩
が生ずるという問題があった。
In this way, the diaphragm (C) is
In a diaphragm valve (Z) that has a structure that closes the flow paths (A1) and (A2) by pressing it against (A3), close contact between the diaphragm (C) and the seal seat (A3) is required. A rubber elastic body is generally used for the diaphragm (C) or the seal seat (A3). However, if a diaphragm (C) made of a rubber elastic body is used, the adhesion with the seal seat (A3) will be improved, but since it is an elastic body, it will always be used with a load applied, and it will be used for a long time. When it is used, there is a problem that non-plastic deformation occurs in this elastic body, and as a result, phenomena such as aging and breakage occur, and eventually fluid leakage occurs.

【0005】このような問題に照らし、近年においては
技術が改良されて、ダイアフラム(C) の耐久性を向上さ
せる目的で、例えば、図5にその拡大断面を示すよう
に、ダイアフラム(C) はゴム弾性体(H) とポリテトラフ
ルオロエチレン樹脂膜(P) との積層構造により形成され
ている場合が通常である。このようなダイアフラム(C)
においては、ゴム弾性体(H) の流体と接する側(表面
側)に耐薬品性に優れた薄いポリテトラフルオロエチレ
ン樹脂膜(P) が設けられている。
In view of these problems, the technology has been improved in recent years, and for the purpose of improving the durability of the diaphragm (C), for example, as shown in an enlarged cross section of FIG. It is usually formed by a laminated structure of a rubber elastic body (H) and a polytetrafluoroethylene resin film (P). Such a diaphragm (C)
In the above, a thin polytetrafluoroethylene resin film (P) having excellent chemical resistance is provided on the side (surface side) of the rubber elastic body (H) which is in contact with the fluid.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のダイアフラム弁では、流体と接する側(表面
側)に耐薬品性や表面円滑性に優れたポリテトラフルオ
ロエチレン樹脂膜(P) が設けられていても、このダイア
フラム(C) のシール座(A3)へ押し付けられる側(背面
側)がゴム弾性体(H) であるために、永年使用による繰
り返されるダイアフラム(C) の締付挟持により、ゴム弾
性体(H) 部分が劣化する問題があった。このゴム弾性体
(H) 部分が劣化すると、最終的にはダイアフラム(C)自
体或いはシール座(A3)が破損してしまい、流体の漏洩が
起こり、バルブの機能が損なわれるという問題があっ
た。
However, in the above-mentioned conventional diaphragm valve, the polytetrafluoroethylene resin film (P) excellent in chemical resistance and surface smoothness is provided on the side in contact with the fluid (surface side). However, since the side of the diaphragm (C) that is pressed against the seal seat (A3) (rear side) is the rubber elastic body (H), repeated clamping of the diaphragm (C) due to long-term use may cause There was a problem that the rubber elastic body (H) part deteriorates. This rubber elastic body
When the portion (H) deteriorates, the diaphragm (C) itself or the seal seat (A3) will eventually be damaged, causing fluid leakage and impairing the function of the valve.

【0007】[0007]

【発明による解決課題】この発明では入口流路及び出口
流路とこれら両流路の中間に位置するシール座を有して
なる弁本体とこの弁本体のシール座に対向する位置に挟
持部材を介して固定されるダイアフラムと、このダイア
フラムを前記シール座に圧接又は離間させる操作機構と
からなり、前記ダイアフラムはゴム弾性体とこのゴム弾
性体の両側に形成された耐腐食性の硬質樹脂層とからな
る積層構造とされ且つその周縁部は薄肉部とされてな
り、前記挟持部材は前記ダイアフラムとの当接部分に切
欠部が形成されて前記ダイアフラムの薄肉部をこの当接
部分の突出部で挟持させてなることを特徴とする流体制
御器を提供することにより前記従来の欠点を悉く解消す
る。
DISCLOSURE OF THE INVENTION In the present invention, a valve body having an inlet passage and an outlet passage, and a seal seat positioned between these two passages, and a holding member at a position facing the seal seat of the valve body. A diaphragm fixed through the diaphragm, and an operation mechanism for pressing or separating the diaphragm from the seal seat. The diaphragm includes a rubber elastic body and corrosion-resistant hard resin layers formed on both sides of the rubber elastic body. The sandwiching member has a thin-walled portion, and the sandwiching member has a notch formed in a contact portion with the diaphragm, and the thin-walled portion of the diaphragm is formed by a protruding portion of the contact portion. By providing a fluid controller characterized by being sandwiched, the above-mentioned conventional drawbacks are eliminated.

【0008】[0008]

【作用】ダイアフラムがゴム弾性体とこのゴム弾性体の
両側に形成された耐腐食性の硬質樹脂層との積層構造に
より形成されているので、ゴム弾性体によるダイアフラ
ムとシール座との密着性が維持されながら、且つダイア
フラムの流体と接する面と、このダイアフラムがシール
座へ押圧される面の両面とが耐腐食性の硬質樹脂層によ
り形成されているので長期にわたり使用されても疲労や
劣化が生じにくい。流路閉鎖時にはダイアフラム周縁の
薄肉部が、挟持部材の当接部分の突出部により挟持され
るので、挟持部材突出部に締付力が集中されて、効率良
くダイアフラムを締め付けて下降させることができると
ともに、閉鎖時のトルク設定が可能とされる。また、ダ
イアフラムの周縁部は薄肉部とされて厚みが薄く形成さ
れているので、挟持部材当接部分との間にあそびが形成
されず、またこの両側には表面円滑性や強度特性に優れ
た耐腐食性の硬質樹脂層が形成されているので効果的な
締め付けが行える。
[Function] Since the diaphragm is formed by the laminated structure of the rubber elastic body and the corrosion-resistant hard resin layers formed on both sides of the rubber elastic body, the adhesion between the diaphragm and the seal seat by the rubber elastic body is improved. While being maintained, both the surface of the diaphragm that contacts the fluid and the surface of the diaphragm that is pressed against the seal seat are formed of a corrosion-resistant hard resin layer, so fatigue and deterioration will not occur even if used for a long period of time. Unlikely to occur. When the flow path is closed, the thin-walled portion at the peripheral edge of the diaphragm is clamped by the protrusion of the contacting portion of the clamp member, so that the clamping force is concentrated on the clamp member protrusion and the diaphragm can be clamped and lowered efficiently. At the same time, the torque can be set when closed. In addition, since the peripheral edge of the diaphragm is formed as a thin portion and has a small thickness, no play is formed between the diaphragm and the abutting portion of the sandwiching member, and both sides have excellent surface smoothness and strength characteristics. Since a hard resin layer having corrosion resistance is formed, effective tightening can be performed.

【0009】[0009]

【実施例】以下、この発明に係る流体制御器を図面に基
づき説明する。図1はこの発明に係る流体制御器(1) の
一実施例を示す断面説明図であり、図中(2) は弁本体で
あり、この弁本体(2) には入口流路(21)と出口流路(22)
及びこれら両流路中間に位置するシール座(23)とが設け
られている。 (3)はコンプレッサー、(4) はステム、(5) は挟持部
材、(6) はアクチュエーターキャップ、(7) はスプリン
グであり、(8) がダイアフラムである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A fluid controller according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional explanatory view showing an embodiment of a fluid controller (1) according to the present invention. In the figure, (2) is a valve body, and this valve body (2) has an inlet passage (21). And outlet flow path (22)
And a seal seat (23) located in the middle of these two flow paths. (3) is a compressor, (4) is a stem, (5) is a holding member, (6) is an actuator cap, (7) is a spring, and (8) is a diaphragm.

【0010】このような構成からなる流体制御器(1) に
おいては、流路(21)、(22)を閉鎖する場合、スプリング
(7) によってステム(4) の下に固定されているコンプレ
ッサー(3) を下降させる。するとダイアフラム(8) は、
その周縁部を挟持部材(5)の先端部により締め付け挟持
され、弁本体(2) のシール座(23)へ圧接されて入口流路
(21)と出口流路(22)とが閉鎖される。また、インレット
ポート(9) よりエアー通路(10)を介してエアーを導入す
るとステム(4) の下に固定されているコンプレッサー
(3) が上昇され、ダイアフラム(8) がシール座(23)より
離間されて入口流路(21)と出口流路(22)とが開放され
る。
In the fluid controller (1) having such a structure, when the flow paths (21) and (22) are closed, a spring is used.
Lower the compressor (3), which is fixed under the stem (4) by (7). Then the diaphragm (8)
The peripheral edge is clamped and clamped by the tip of the clamping member (5), and is pressed against the seal seat (23) of the valve body (2) to make the inlet flow path.
The (21) and the outlet channel (22) are closed. Also, when air is introduced from the inlet port (9) through the air passageway (10), the compressor fixed under the stem (4)
(3) is raised, the diaphragm (8) is separated from the seal seat (23), and the inlet passage (21) and the outlet passage (22) are opened.

【0011】図1は、流体制御器(1) により流路(21)、
(22)を閉鎖した状態を示しており、図2は、図1に示し
たダイアフラム(8) の締め付け状態を示す部分断面拡大
図である。図2に示すように、この発明においてダイア
フラム(8) はゴム弾性体(81)とこのゴム弾性体(81)の両
側に形成された耐腐食性の硬質樹脂層(82)とからなる積
層構造により形成されている。この発明において、耐腐
食性の硬質樹脂層(82)に用いられる樹脂としては、低磨
耗性を有し、耐薬品性、表面円滑性に優れたフッ素樹脂
が使用され、特にポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹
脂が好適に使用される。
FIG. 1 shows a flow path (21) by a fluid controller (1),
(22) is shown in a closed state, and FIG. 2 is an enlarged partial cross-sectional view showing a tightened state of the diaphragm (8) shown in FIG. As shown in FIG. 2, in the present invention, the diaphragm (8) has a laminated structure including a rubber elastic body (81) and corrosion-resistant hard resin layers (82) formed on both sides of the rubber elastic body (81). It is formed by. In the present invention, as the resin used for the corrosion-resistant hard resin layer (82), a fluororesin having low wear resistance, chemical resistance, and excellent surface smoothness is used, and particularly polytetrafluoroethylene ( PTFE) resin is preferably used.

【0012】さらに、この発明においてダイアフラム
(8) は周縁部(801) が薄肉部とされ、且つこのダイアフ
ラム(8) 下降時に、ダイアフラム(8) 周縁を締め付け挟
持する挟持部材(5) は、ダイアフラム(8) 周縁部(801)
との当接部分に切欠部(501) が形成されている。このよ
うに形成されたこの発明に係る流体制御器(1) では、弁
本体(2) の入口流路(21)と出口流路(22)を閉鎖する場合
に、挟持部材(5) による押圧力が突出部(502) 先端に集
中され、小さい面積で効果的に押圧されることとなり、
流体制御器(1) の締め付けが容易に確実に行なえる。
Further, in the present invention, the diaphragm
The peripheral part (801) of (8) is a thin part, and the clamping member (5) that clamps and clamps the peripheral part of the diaphragm (8) when the diaphragm (8) descends is the peripheral part of the diaphragm (8).
A notch (501) is formed in the contact portion with. In the fluid controller (1) according to the present invention thus formed, when the inlet flow passage (21) and the outlet flow passage (22) of the valve body (2) are closed, the holding member (5) pushes them. The pressure is concentrated on the tip of the protruding part (502), and it is effectively pressed with a small area,
The fluid controller (1) can be tightened easily and securely.

【0013】また、この発明において、ダイアフラム
(8) の大きさは従来のダイアフラムに比べると厚みが薄
く形成されている。この理由は、ゴム弾性体(81)両側に
耐腐食性の硬質樹脂層(82)を設けることによって、従来
のダイアフラムの如く厚く形成されなくても、繰り返さ
れる開閉操作によりゴム弾性体(81)部分が劣化する心配
がなく、しかもダイアフラム(8) をこのように薄く形成
することによってコンプレッサー(3) との間にあそびが
生じず、効果的に開閉操作が行なえるからである。
In the present invention, the diaphragm
The size of (8) is smaller than that of the conventional diaphragm. The reason for this is that by providing a hard resin layer (82) with corrosion resistance on both sides of the rubber elastic body (81), the rubber elastic body (81) can be repeatedly opened and closed even if it is not formed thick like a conventional diaphragm. This is because there is no concern that the parts will deteriorate, and by making the diaphragm (8) thin in this way, play does not occur between the diaphragm (8) and the compressor (3) and effective opening and closing operations can be performed.

【0014】尚、図2に示す実施例では、ダイアフラム
(8) 周縁部(801) の薄肉部は耐腐食性の硬質樹脂層(82)
のみにより形成されているが、この発明においては図3
に示すように、ダイアフラム(8) 周縁部(801) の薄肉部
はゴム弾性体(81)とこの両側に設けられた耐腐食性の硬
質樹脂層(82)との積層体により形成されてもよい。
In the embodiment shown in FIG. 2, the diaphragm is
(8) The thin portion of the peripheral edge (801) is a corrosion resistant hard resin layer (82)
However, in the present invention, as shown in FIG.
As shown in Fig. 7, the thin portion of the peripheral edge portion (801) of the diaphragm (8) may be formed by a laminate of the rubber elastic body (81) and the corrosion resistant hard resin layers (82) provided on both sides thereof. Good.

【0015】さらに、この発明において、流体制御器
(1) は図1に示す実施例に限定されず、手動式或いは自
動式のあらゆる流体制御器に好適に使用される。
Further, in the present invention, the fluid controller
(1) is not limited to the embodiment shown in FIG. 1, and is suitably used for any fluid controller of manual type or automatic type.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上詳述した如く、この発明は入口流路
及び出口流路とこれら両流路の中間に位置するシール座
を有してなる弁本体とこの弁本体のシール座に対向する
位置に挟持部材を介して固定されるダイアフラムと、こ
のダイアフラムを前記シール座に圧接又は離間させる操
作機構とからなり、前記ダイアフラムはゴム弾性体とこ
のゴム弾性体の両側に形成された耐腐食性の硬質樹脂層
とからなる積層構造とされ且つその周縁部は薄肉部とさ
れてなり、前記挟持部材は前記ダイアフラムとの当接部
分に切欠部が形成されて前記ダイアフラムの薄肉部をこ
の当接部分の突出部で挟持させてなることを特徴とする
流体制御器であるから以下の効果を奏する。
As described above in detail, according to the present invention, a valve body having an inlet passage and an outlet passage and a seal seat located between these passages and a seal seat of the valve body are opposed to each other. The diaphragm is fixed at a position via a holding member, and an operation mechanism that presses or separates the diaphragm from the seal seat. The diaphragm is a rubber elastic body and corrosion resistance formed on both sides of the rubber elastic body. Of the hard resin layer, and its peripheral portion is a thin-walled portion, and the sandwiching member has a notch formed at a contact portion with the diaphragm, and the thin-walled portion of the diaphragm is brought into contact with the notched portion. Since the fluid controller is characterized in that it is sandwiched by the projecting portions, the following effects are obtained.

【0017】すなわち、ダイアフラムがゴム弾性体とこ
のゴム弾性体の両側に形成された耐腐食性の硬質樹脂層
とからなる積層構造により形成されているので、ダイア
フラムの流体と接する側のみでなく、挟持部材による押
圧力を受ける側にも強度特性に優れた層が設けられてい
るので、ゴム弾性体による密着性を保持しつつ、繰り返
される開閉操作による劣化や疲労が生じにくく、耐久性
に優れている。
That is, since the diaphragm is formed by the laminated structure composed of the rubber elastic body and the corrosion-resistant hard resin layers formed on both sides of the rubber elastic body, not only on the side of the diaphragm in contact with the fluid, A layer with excellent strength properties is also provided on the side that receives the pressing force of the sandwiching member, so while maintaining the adhesion by the rubber elastic body, deterioration and fatigue due to repeated opening and closing operations do not easily occur, and excellent durability ing.

【0018】さらに、ダイアフラム周縁部は薄肉部とさ
れて、且つ挟持部材のダイアフラム当接部には切欠部が
形成されているので、流路閉鎖時のダイアフラムの締付
力が突出部に集中されてダイアフラムへ伝達されるの
で、流体制御器の締め付け操作が容易に、確実に行なえ
る。また、この流体制御器のダイアフラム部分は、前述
した如くゴム弾性体とこの両側に形成された耐腐食性の
硬質樹脂層とにより構成されているので、従来のダイア
フラムよりもかなり薄く形成されてもその機能が充分に
発現されるとともに、薄く形成されているためコンプレ
ッサーとの間にあそびが生じない。また、挟持部材への
トルク設定も可能とされる。しかも、ダイアフラム部分
が薄く形成されているためアクチュエーター作動の場合
には、アクチュエーター出力が小さくなり、バルブ全体
が小型化されるという優れた効果を奏する。
Further, since the peripheral edge of the diaphragm is thin and a notch is formed in the diaphragm contact portion of the sandwiching member, the clamping force of the diaphragm when the flow path is closed is concentrated on the protruding portion. Since it is transmitted to the diaphragm, the tightening operation of the fluid controller can be performed easily and surely. Further, since the diaphragm portion of this fluid controller is composed of the rubber elastic body and the corrosion-resistant hard resin layers formed on both sides thereof as described above, even if it is formed to be considerably thinner than the conventional diaphragm. The function is sufficiently exhibited, and since it is formed thinly, it does not play with the compressor. Further, it is possible to set the torque on the sandwiching member. Moreover, since the diaphragm portion is formed thin, when the actuator is actuated, the actuator output is reduced and the entire valve is miniaturized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明に係る流体制御器の一実施例を示す断
面説明図である。
FIG. 1 is a sectional explanatory view showing an embodiment of a fluid controller according to the present invention.

【図2】同上、締め付け時のダイアフラム部分の部分断
面拡大図である。
FIG. 2 is an enlarged partial cross-sectional view of a diaphragm portion when tightening the same as above.

【図3】締め付け時のダイアフラム部分の変更例を示す
部分断面拡大図である。
FIG. 3 is a partial cross-sectional enlarged view showing a modified example of a diaphragm portion at the time of tightening.

【図4】従来の流体制御器の一例を示す断面説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory sectional view showing an example of a conventional fluid controller.

【図5】同上、締め付け時のダイアフラム部分の部分断
面拡大図である。
FIG. 5 is an enlarged partial cross-sectional view of the diaphragm portion when tightening the same as above.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 流体制御器 2 弁本体 21 入口流路 22 出口流路 23 シール座 3 コンプレッサー 5 挟持部材 8 ダイアフラム 81 ゴム弾性体 82 耐腐食性の硬質樹脂層 801 周縁部 501 切欠部 502 突出部 1 Fluid Controller 2 Valve Body 21 Inlet Flow Path 22 Outlet Flow Path 23 Seal Seat 3 Compressor 5 Clamping Member 8 Diaphragm 81 Rubber Elastic Body 82 Corrosion Resistant Hard Resin Layer 801 Peripheral Edge 501 Notch 502 Projection

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 入口流路及び出口流路とこれら両流路の
中間に位置するシール座を有してなる弁本体とこの弁本
体のシール座に対向する位置に挟持部材を介して固定さ
れるダイアフラムと、このダイアフラムを前記シール座
に圧接又は離間させる操作機構とからなり、前記ダイア
フラムはゴム弾性体とこのゴム弾性体の両側に形成され
た耐腐食性の硬質樹脂層とからなる積層構造とされ且つ
その周縁部は薄肉部とされてなり、前記挟持部材は前記
ダイアフラムとの当接部分に切欠部が形成されて前記ダ
イアフラムの薄肉部をこの当接部分の突出部で挟持させ
てなることを特徴とする流体制御器。
1. A valve body having an inlet passage and an outlet passage, and a seal seat positioned between these two passages, and fixed at a position facing the seal seat of the valve body via a sandwiching member. And a diaphragm, and an operation mechanism for pressing or separating the diaphragm from the seal seat, and the diaphragm has a laminated structure including a rubber elastic body and a corrosion-resistant hard resin layer formed on both sides of the rubber elastic body. And a peripheral portion thereof is a thin portion, and the holding member has a notch portion formed in a contact portion with the diaphragm so that the thin portion of the diaphragm is held by a protruding portion of the contact portion. A fluid controller characterized by the above.
【請求項2】 前記ダイアフラムの薄肉部が耐腐食性の
硬質樹脂層のみの積層体により形成されてなることを特
徴とする請求項第1項に記載の流体制御器。
2. The fluid controller according to claim 1, wherein the thin-walled portion of the diaphragm is formed by a laminated body including only a corrosion-resistant hard resin layer.
【請求項3】 前記ダイアフラムの薄肉部がゴム弾性体
及びこの両側に設けられた耐腐食性の硬質樹脂層より形
成されてなることを特徴とする請求項第1項に記載の流
体制御器。
3. The fluid controller according to claim 1, wherein the thin-walled portion of the diaphragm is formed of a rubber elastic body and corrosion-resistant hard resin layers provided on both sides of the rubber elastic body.
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