JP3027450B2 - Fluid controller - Google Patents

Fluid controller

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JP3027450B2
JP3027450B2 JP3261087A JP26108791A JP3027450B2 JP 3027450 B2 JP3027450 B2 JP 3027450B2 JP 3261087 A JP3261087 A JP 3261087A JP 26108791 A JP26108791 A JP 26108791A JP 3027450 B2 JP3027450 B2 JP 3027450B2
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diaphragm
fluid controller
fluid
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plate
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準治 佐藤
久敏 赤本
央欣 目瀬
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清原 まさ子
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は流体制御器に係り、そ
の目的は流路閉鎖時の制御器の締め付け加減に曖昧さが
なく、制御器による流路の閉鎖が容易に且つ確実に行な
える流体制御器の提供にある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid controller, and its object is not to obscure the tightening of the controller when closing the flow path, and the flow path can be easily and reliably closed by the controller. Fluid controller.

【0002】[0002]

【従来の技術】酸等の化学薬品を遮断する場合には、流
体制御器として、流体の流れに抵抗を与えることが少な
く、また腐食の恐れがない耐熱性のゴム性ダイアフラム
弁が一般に用いられている。このダイアフラム弁は図6
にその構造の一例を示すように流路(A1)・(A1)が設けら
れた弁本体(A) とステム(B)、ダイアフラム(C) 、ボデ
ィ(D) 、スプリング(E) 、コンプレッサー(F) 、キャッ
プ(G) とからなる。
2. Description of the Related Art When shutting off a chemical such as an acid, a heat-resistant rubber diaphragm valve which hardly gives a resistance to a flow of a fluid and which is not likely to corrode is generally used as a fluid controller. ing. This diaphragm valve is shown in FIG.
The valve body (A) and the stem (B) provided with the flow passages (A1) and (A1) as shown in the example of the structure shown in Fig. 1, the diaphragm (C), the body (D), the spring (E), and the compressor ( F) and a cap (G).

【0003】このような構成からなるダイアフラム弁
(Z) においては、インレットポート(J) よりエアー通路
(I) を介してエアーを導入し、ステム(B) の下端部に固
定されたコンプレッサー(F) を上方へ移動させる。する
と、このコンプレッサー(F) と連結された連結ボルト
(K) を介してダイアフラム(C) が弁本体(A) に離間され
る。
[0003] A diaphragm valve having such a configuration
(Z), the air passage from the inlet port (J)
Air is introduced through (I), and the compressor (F) fixed to the lower end of the stem (B) is moved upward. Then, the connecting bolt connected to this compressor (F)
The diaphragm (C) is separated from the valve body (A) via (K).

【0004】ダイアフラム(C) 部分の構成を説明すると
図7に断面を示すように、ダイアフラム(C) 中央部には
埋設部(O) が設けられ、この埋設部(O) にはコンプレッ
サー(F) と連結された連結ボルト(K) の先端部が埋設さ
れている。この連結ボルト(K) は先端に径大の頭部(K1)
が形成されており、この頭部(K1)が抜止具となり、ダイ
アフラム(C) が上方へ移動される。
The structure of the diaphragm (C) will be described. As shown in FIG. 7, a section (O) is provided at the center of the diaphragm (C), and a compressor (F) is provided in the section (O). ) And the tip of the connecting bolt (K) is buried. This connecting bolt (K) has a large diameter head (K1) at the tip.
This head (K1) serves as a stopper, and the diaphragm (C) is moved upward.

【0005】このようなダイアフラム(C) においては、
流路(A1)・(A1)開閉時に埋設部(O)の上方部に連結ボル
ト(K) の "止まり" がないため、ダイアフラム(C) の締
め付け作業に曖昧さが起こるという問題があった。さら
に、ゴム弾性体のみにより形成されたダイアフラム(C)
では、繰り返される開閉操作によりゴム弾性体に劣化が
生じ、延いては流体の漏洩が起こるという問題もあっ
た。
In such a diaphragm (C),
There was a problem that there was no ambiguity in the work of tightening the diaphragm (C) because there was no "stop" of the connecting bolt (K) above the embedded part (O) when opening and closing the flow path (A1) / (A1) . Furthermore, a diaphragm (C) formed only of rubber elastic body
In such a case, there is a problem that the rubber elastic body is deteriorated due to the repeated opening and closing operations, and thus leakage of fluid occurs.

【0006】このような問題に照らし、近年においては
技術が改良されて、図8に示すようにダイアフラム(C)
の耐久性を向上させるため、ゴム弾性体(C1)の流体と接
する片側に耐薬品性に優れたポリテトラフルオロエチレ
ン樹脂膜(C2)が設けられ、且つ連結ボルト(K) 上方部に
"止まり" を設けるため連結ボルト(K) に係止ピン(K2)
が設けられている。
In view of such a problem, the technology has been improved in recent years, and as shown in FIG.
In order to improve the durability of the rubber elastic body (C1), a polytetrafluoroethylene resin film (C2) with excellent chemical resistance is provided on one side in contact with the fluid, and the upper part of the connection bolt (K)
Locking pin (K2) on connecting bolt (K) to provide "stop"
Is provided.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たダイアフラム弁では、ダイアフラム(C) 上下動の "止
まり" となる係止ピン(K2)がダイアフラム(C) 上方部に
設けられているが、ダイアフラム(C) 表面と係止ピン(K
2)との空間(S) に "遊び" が生じ、結果としてダイアフ
ラム(C) の締め付け加減が曖昧なものとなっていた。さ
らに、この締め付け加減の曖昧さにより、ダイアフラム
(C) の下降距離が一定化されず、流路の閉鎖作業に容易
性や確実性が得られなかった。また、ダイアフラム(C)
の締め付け加減が曖昧であるために、過大な締め付け力
をダイアフラム(C) に与えてしまう場合があったり、或
いは締め付け力が弱すぎて流路が充分に遮断されないと
いう問題があった。さらに、このダイアフラム(C) がゴ
ム弾性体(C1)のみにより形成されている場合には空間
(S) に生じた "遊び" により、場合によっては流路が完
全に遮断されず、流体が漏洩するという危険性があっ
た。
However, in the above-described diaphragm valve, a locking pin (K2) for "stopping" the vertical movement of the diaphragm (C) is provided above the diaphragm (C). (C) Surface and locking pin (K
"Play" occurred in the space (S) with (2), and as a result, the tightening and loosening of the diaphragm (C) became ambiguous. Furthermore, due to the ambiguity of this tightening adjustment, the diaphragm
The descending distance of (C) was not fixed, and the work of closing the flow path was not easy or reliable. Also, diaphragm (C)
There is a problem in that an excessive tightening force may be applied to the diaphragm (C) because the tightening adjustment is ambiguous, or the tightening force is too weak to block the flow path sufficiently. Further, when the diaphragm (C) is formed only of the rubber elastic body (C1), the
Due to the "play" generated in (S), the flow path was not completely shut off in some cases, and there was a danger that fluid would leak.

【0008】[0008]

【発明の解決手段】この発明では最先端に抜止板が且つ
この抜止板の直上方に締め止め板が設けられた連結ボル
トの先端部であって、この先端部がダイアフラムの中央
埋設部に埋設されてなるとともに前記締め止め板がダイ
アフラム埋設部の略表面に位置されてなり、前記ダイヤ
フラムはゴム弾性体と、ダイヤフラムの流体と接する面
及びダイヤフラムの押圧される面に形成されたフッ素樹
脂層の積層体からなることを特徴とする流体制御器を提
供することにより上記従来の課題を悉く解消する。
According to the present invention, a tip of a connecting bolt provided with a retaining plate at the foremost end and a fastening plate immediately above the retaining plate, and the distal end is embedded in a central embedded portion of the diaphragm. It is located at the substantially the surface of the clamping stop plate diaphragm embedded portion together is composed to be in the diamond
The fram is the surface that contacts the rubber elastic body and the fluid of the diaphragm.
And fluorine tree formed on the pressed surface of the diaphragm
All of the above-mentioned conventional problems are solved by providing a fluid controller characterized by comprising a laminated body of a fat layer .

【0009】[0009]

【作用】ダイアフラムの埋設部に埋設された連結ボルト
の先端部には、最先端の抜止板と締め止め板がダイアフ
ラム埋設部の略表面に位置される状態で設けられている
ので、流路開閉時にダイアフラムを上下動させる場合に
は、埋設されている連結ボルトの締め止め板により、 "
遊び" を生じさせることなく操作できる。従って、この
ダイアフラム締め付け時において、埋設部と連結ボルト
との上下動に "遊び" が形成されないので締め付け加減
に曖昧さが生じず、容易に、確実に流体制御器を締め付
け固定させることができる。
[Function] At the tip of the connecting bolt buried in the buried portion of the diaphragm, the most advanced retaining plate and locking plate are provided in a state where they are located almost on the surface of the diaphragm buried portion, so that the flow path can be opened and closed. When moving the diaphragm up and down sometimes, the fastening plate of the buried connecting bolt
It is possible to operate without causing "play." Therefore, when tightening the diaphragm, no "play" is formed in the vertical movement between the buried portion and the connecting bolt, so that there is no ambiguity in the tightening adjustment, and the fluid can be easily and surely secured. The controller can be clamped.

【0010】[0010]

【実施例】以下、この発明に係る流体制御器の実施例を
図面に基づき説明する。図1はこの発明に係る流体制御
器の概略構成を示す断面説明図であり、図中(2) は弁本
体であり、この弁本体(2) には流路(21)・(22)と、これ
ら流路(21)・(22)の中間に位置するシール座(23)とを有
している。(3)はコンプレッサーであり、(4) はステ
ム、(5) は挟持部材、(6) はアクチュエーターキャッ
プ、(7) はスプリング、(8) がダイアフラム、(9) は連
結ボルトである。コンプレッサー(3) は軸方向に連結ボ
ルト(9) と連結されており、この連結ボルト(9) 先端部
はダイアフラム(8) 中央の埋設部(81)内に埋設されてい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a fluid controller according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional explanatory view showing a schematic configuration of a fluid controller according to the present invention. In FIG. 1, (2) is a valve body, and the valve body (2) has flow paths (21) and (22). And a seal seat (23) located between the flow paths (21) and (22). (3) is a compressor, (4) is a stem, (5) is a holding member, (6) is an actuator cap, (7) is a spring, (8) is a diaphragm, and (9) is a connection bolt. The compressor (3) is axially connected to a connecting bolt (9), and the tip of the connecting bolt (9) is embedded in an embedded portion (81) at the center of the diaphragm (8).

【0011】このような構成からなるダイアフラムバル
ブ(1) において、流路(21)・(22)を閉鎖する場合は、ス
テム(4) の下に固定されているコンプレッサー(3) を下
降させる。するとダイアフラム(8) がその埋設部(81)に
埋設されている連結ボルト(9) を介して下降され、弁本
体(2) のシール座(23)へ圧接されて流路(21)・(22)が閉
鎖される。また、インレットポート(10)よりエアー通路
(11)を介してエアーを導入し、ステム(4) の下に固定さ
れているコンプレッサー(3) を上昇させるとダイアフラ
ム(8) が連結ボルト(9) を介して上昇されて流路(21)・
(22)が開放される。図1では流体制御器(1) により流路
(21)・(22)が閉鎖された状態を示している。
In the diaphragm valve (1) having such a structure, when closing the flow paths (21) and (22), the compressor (3) fixed below the stem (4) is lowered. Then, the diaphragm (8) is lowered through the connecting bolt (9) buried in the buried portion (81), and is pressed against the seal seat (23) of the valve body (2) to flow through the flow path (21). 22) is closed. In addition, air passage from inlet port (10)
When air is introduced through (11) and the compressor (3) fixed below the stem (4) is lifted, the diaphragm (8) is raised through the connecting bolt (9), and the flow path (21) ) ・
(22) is released. In Fig. 1, the flow path is controlled by the fluid controller (1).
(21) and (22) show the closed state.

【0012】図2はこの発明の流体制御器(1) のダイア
フラム(8) 部分を概略的に示した拡大断面説明図であ
る。図示する実施例において、ダイアフラム(8) の中央
には凸状の厚肉部により形成された埋設部(81)が設けら
れている。この埋設部(81)にはコンプレッサー(3) と連
結された連結ボルト(9) の先端部が埋設されている。連
結ボルト(9) の先端部の構造は、最先端部に抜止板(91)
が形成され、且つこの抜止板(91)の直上方には締め止め
板(92)が形成されている。しかも、この連結ボルト(9)
の先端部は、締め止め板(92)がダイアフラム(8)埋設部
(81)の略表面に位置するように埋設されている。尚、こ
の発明においては埋設部(81)の直径(r1)と抜止板(91)及
び締め止め板(92)の直径(r2)・(r2)の比率は(r1)/(r2)
=1.3 〜1.4 とするのが流体制御器(1)の締め付け操作
上好ましい。このように形成されたこの発明の流体制御
器(1) において、ダイアフラム(8)上昇時には、締め止
め板(92)が上方への "止まり" となり、且つこの締め止
め板(92)がダイアフラム(8) の埋設部(81)表面位置に埋
設されているためダイアフラム(8) の上下動に "遊び"
が生じることがない。従って、ダイアフラム(8) の締め
付け加減に "曖昧さ" がなくなり、容易に確実にダイア
フラム(8) の締め付け操作が行える。
FIG. 2 shows a diagram of a fluid controller (1) of the present invention .
It is an expanded sectional explanatory view showing roughly a flam (8) part . In the illustrated embodiment, a buried portion (81) formed by a convex thick portion is provided at the center of the diaphragm (8). In this buried portion (81), the tip of a connecting bolt (9) connected to the compressor (3) is buried. The structure of the tip of the connecting bolt (9) is
Is formed, and a locking plate (92) is formed directly above the retaining plate (91). Moreover, this connecting bolt (9)
At the end of the diaphragm, the fastening plate (92) has the diaphragm (8)
It is buried so as to be located almost on the surface of (81). In the present invention, the ratio of the diameter (r 1 ) of the buried portion (81) to the diameters (r 2 ) · (r 2 ) of the retaining plate (91) and the retaining plate (92) is (r 1 ) / (r 1 ). r 2 )
= 1.3 to 1.4 is preferable for the tightening operation of the fluid controller (1). In the fluid controller (1) of the present invention thus formed, when the diaphragm (8) rises, the clamping plate (92) "stops" upward, and the clamping plate (92) is Since it is buried at the surface position of the buried part (81) of "8", "play" is caused by the vertical movement of the diaphragm (8).
Does not occur. Therefore, there is no "ambiguity" in the adjustment of the tightening of the diaphragm (8), and the tightening operation of the diaphragm (8) can be easily and surely performed.

【0013】図3はこの発明の流体制御器のダイアフラ
ム(8) 部分を示した拡大断面説明図である。本発明に係
る流体制御器において、ダイアフラム(8) はゴム弾性体
(801) とこのゴム弾性体(801) の両側に形成された耐腐
食性の硬質樹脂層(802) とからなる積層体により形成
れる。この発明において、耐腐食性の硬質樹脂層(802)
に用いられる樹脂としては低磨耗性を有し、耐薬品性、
表面円滑性に優れたフッ素樹脂が使用され、特にポリテ
トラフルオロエチレン樹脂(PTFE)が好適に使用される。
このように、耐腐食性の硬質樹脂層(802) をダイアフラ
ム(8) の流体と接する面のみならず、ダイアフラム(8)
が押圧される面にも設けることにより、長期にわたり繰
り返し使用されてもダイアフラム(8) に劣化や疲労が生
じにくくなり、ダイアフラム(8) の耐久性が向上する。
FIG. 3 is an enlarged sectional explanatory view showing the diaphragm (8) of the fluid controller according to the present invention. According to the present invention
Oite the fluid controller that the diaphragm (8) is rubber elastic body
(801) and formed on both sides corrosion resistant hard resin layer (802) and consisting of forming a laminate of the rubber elastic body (801)
It is. In the present invention, the corrosion-resistant hard resin layer (802)
It has low abrasion, chemical resistance,
A fluororesin having excellent surface smoothness is used, and a polytetrafluoroethylene resin (PTFE) is particularly preferably used.
As described above, the corrosion-resistant hard resin layer (802) is used not only for the surface of the diaphragm (8) in contact with the fluid, but also for the diaphragm (8).
By also providing the surface on which is pressed, the diaphragm (8) is less likely to deteriorate and fatigue even when used repeatedly for a long period of time, and the durability of the diaphragm (8) is improved.

【0014】図4はこの発明の流体制御器の連結ボルト
(9) 先端部の一例を示す外観説明図である。この例にお
いて、連結ボルト(9) 先端部の締め止め板(92)は円板状
に形成されている。このように締め止め板(92)を円板形
状とすることによって、締め止め板(92)の埋設部(81)で
の当接有効面積が増大し、より容易にダイアフラム(8)
の上下動操作が行える。
FIG. 4 shows a connecting bolt of the fluid controller according to the present invention.
(9) It is an external view explanatory drawing which shows an example of a front-end | tip part. In this example , the fastening plate (92) at the tip of the connecting bolt (9) is formed in a disk shape. By making the fastening plate (92) into a disk shape in this way, the effective contact area of the fastening plate (92) at the buried portion (81) increases, and the diaphragm (8)
Can be moved up and down.

【0015】図5はこの発明の流体制御器の別の例の
イアフラム(8) 部分を示した拡大断面説明図である。
の例において、連結ボルト(9) 最先端部の抜止板(91)は
半球状に形成され、ダイアフラム(8) の底部に沿う形状
とされている。このように抜止板(91)を半球状に形成す
ることによりダイアフラム(8) 締め付け時に、その締め
付け力が抜止板(91)先端部に集中されるので、効率良く
ダイアフラム(8) の締め付けが行なえるとともに繰り返
される締め付け操作によるダイアフラム(8) 底部の損傷
を防ぐことができる。また、この抜止板(91)の肉厚をダ
イアフラム(8) の肉厚と同じにすることにより、より確
実な締め付けが行なえる。
FIG. 5 is an enlarged sectional explanatory view showing a diaphragm (8) of another example of the fluid controller according to the present invention. This
In the above example , the retaining plate (91) at the tip of the connecting bolt (9) is formed in a hemispherical shape, and is shaped along the bottom of the diaphragm (8). By forming the retaining plate (91) in a hemispherical shape in this manner, when the diaphragm (8) is tightened, the tightening force is concentrated on the tip of the retaining plate (91), so that the diaphragm (8) can be efficiently tightened. In addition, damage to the bottom of the diaphragm (8) due to repeated tightening operations can be prevented. Further, by making the thickness of the retaining plate (91) the same as the thickness of the diaphragm (8), more secure tightening can be performed.

【0016】尚、この発明に係る流体制御器(1) は図1
に示す実施例に限定されず、手動式或いは自動式のあら
ゆるタイプの流体制御器に好適に使用される。
The fluid controller (1) according to the present invention is shown in FIG.
The present invention is not limited to the embodiment shown in FIG. 1, but is suitably used for all types of manual or automatic fluid controllers.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上詳述した如く、この発明は最先端に
抜止板が且つこの抜止板の直上方に締め止め板が設けら
れた連結ボルトの先端部であって、この先端部がダイア
フラムの中央埋設部に埋設されてなるとともに前記締め
止め板がダイアフラム埋設部の略表面に位置されて
り、前記ダイヤフラムはゴム弾性体と、ダイヤフラムの
流体と接する面及びダイヤフラムの押圧される面に形成
されたフッ素樹脂層の積層体からなることを特徴とする
流体制御器であるから、ダイアフラム上下動時に、"遊
び" が生じず、締め付け加減に "曖昧さ" がなくなり、
効率良く確実にダイアフラムによる流路の開閉操作が行
え、しかも、ダイアフラムの締め付け加減に"曖昧さ"
がないため、過大な締め付け力をダイアフラムに与えて
損傷させたり、また締め付け力が弱すぎて充分に流路を
閉鎖できないといったことを防ぐという優れた効果を奏
する。
As described in detail above, the present invention is directed to a connecting bolt provided with a retaining plate at the foremost end and a locking plate provided immediately above the retaining plate. it said clamping stop plate with become buried in the central embedded portion is located substantially the surface of the diaphragm embedded portion
The diaphragm is composed of a rubber elastic body and a diaphragm.
Formed on the surface in contact with the fluid and the pressed surface of the diaphragm
Since the fluid controller is made of a laminated body of fluororesin layers, no "play" occurs when the diaphragm moves up and down, and there is no "ambiguity" in the tightening adjustment.
Efficient and reliable opening and closing of the flow path by the diaphragm, and "ambiguity" in adjusting the tightening of the diaphragm
Since there is no such effect, there is an excellent effect of preventing the diaphragm from being damaged by applying an excessive tightening force and preventing the flow path from being sufficiently closed because the tightening force is too weak.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係る流体制御器の概略構成を示す断
面説明図である。
FIG. 1 is an explanatory sectional view showing a schematic configuration of a fluid controller according to the present invention.

【図2】この発明の流体制御器のダイアフラム部分を概
略的に示した拡大断面図である。
FIG. 2 schematically shows a diaphragm portion of the fluid controller of the present invention .
It is the expanded sectional view which was shown roughly.

【図3】この発明に係る流体制御器のダイアフラム部分
の拡大断面説明図である。
FIG. 3 is an enlarged sectional explanatory view of a diaphragm portion of the fluid controller according to the present invention .

【図4】この発明の流体制御器の連結ボルト先端部の一
例を示す外観説明図である。
FIG. 4 shows one end of a connecting bolt tip of the fluid controller according to the present invention .
It is an external appearance explanatory view showing an example.

【図5】この発明の流体制御器の別の例のダイアフラム
部分を示した拡大断面説明図である。
FIG. 5 is a diaphragm of another example of the fluid controller of the present invention .
It is an expanded sectional explanatory view showing the portion.

【図6】従来の流体制御器の一例を示す断面説明図であ
る。
FIG. 6 is an explanatory sectional view showing an example of a conventional fluid controller.

【図7】従来のダイアフラム部分の一例を示す断面説明
図である。
FIG. 7 is an explanatory sectional view showing an example of a conventional diaphragm portion.

【図8】同上。FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 流体制御器 8 ダイアフラム 81 埋設部 801 ゴム弾性体 802 耐腐食性の硬質樹脂層 9 連結ボルト 91 抜止板 92 締め止め板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fluid controller 8 Diaphragm 81 Embedded part 801 Rubber elastic body 802 Corrosion-resistant hard resin layer 9 Connecting bolt 91 Lock plate 92 Lock plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−78876(JP,A) 実開 昭64−38366(JP,U) 実開 昭58−92553(JP,U) 実開 平2−56979(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F16K 7/16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-55-78876 (JP, A) JP-A 64-38366 (JP, U) JP-A-58-92553 (JP, U) 56979 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) F16K 7/16

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 最先端に抜止板が且つこの抜止板の直上
方に締め止め板が設けられた連結ボルトの先端部であっ
て、この先端部がダイアフラムの中央の埋設部に埋設さ
れてなるとともに前記締め止め板がダイアフラム埋設部
の略表面に位置されてなり、前記ダイヤフラムはゴム弾
性体と、ダイヤフラムの流体と接する面及びダイヤフラ
ムの押圧される面に形成されたフッ素樹脂層の積層体か
らなることを特徴とする流体制御器。
1. A front end portion of a connection bolt provided with a retaining plate at the foremost end and a fastening plate immediately above the retaining plate, the distal end portion being embedded in a central embedded portion of the diaphragm. And the fastening plate is positioned substantially on the surface of the diaphragm buried portion, and the diaphragm is
Surface of the diaphragm and the diaphragm in contact with the fluid and the diaphragm
The fluororesin layer formed on the pressed surface of the
Fluid controller, wherein the Ranaru.
【請求項2】 前記締め止め板が円板状に形成されてな
ることを特徴とする請求項1に記載の流体制御器。
2. The method according to claim 1, wherein the fastening plate is formed in a disk shape.
The fluid controller according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記抜止板が半球状に形成されてなるこ
とを特徴とする請求項1又は2に記載の流体制御器。
3. The device according to claim 3, wherein said retaining plate is formed in a hemispherical shape.
The fluid controller according to claim 1, wherein:
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