JPH05126196A - Damper mechanism - Google Patents
Damper mechanismInfo
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- JPH05126196A JPH05126196A JP3317484A JP31748491A JPH05126196A JP H05126196 A JPH05126196 A JP H05126196A JP 3317484 A JP3317484 A JP 3317484A JP 31748491 A JP31748491 A JP 31748491A JP H05126196 A JPH05126196 A JP H05126196A
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- cylinder
- piston
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/40—Engine management systems
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- Fluid-Damping Devices (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はダンパ機構に関する。更
に詳細には、本発明は光学式表面検査装置などのエアー
マウントシステムの横揺れを吸収するのに適したダンパ
機構に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a damper mechanism. More specifically, the present invention relates to a damper mechanism suitable for absorbing roll of an air mount system such as an optical surface inspection device.
【0002】[0002]
【従来の技術】故意に振動を減衰させたり、あるいは衝
撃を緩和しようとする場合に、ダンパ機構が使用されて
いる。このような従来から使用されているダンパ機構の
一例を図6に示す。容器100と蓋102から構成され
るシリンダ104内にピストン106が配備され、この
ピストンはロッド108により昇降(または進退)され
る。シリンダ内には作動油110が充満されている。ピ
ストンとシリンダの相対運動によって中の油はピストン
に設けた小穴112を通って上下の室の間を移動するよ
うに構成されている。容器100と蓋102および蓋1
02とロッド108との界面には作動油の漏洩を防ぐた
めにO−リング112が装着されている。2. Description of the Related Art A damper mechanism is used when intentionally attenuating vibration or mitigating a shock. An example of such a conventionally used damper mechanism is shown in FIG. A piston 106 is provided in a cylinder 104 composed of a container 100 and a lid 102, and the piston is moved up and down (or moved back and forth) by a rod 108. The cylinder is filled with hydraulic oil 110. Due to the relative movement of the piston and the cylinder, the oil inside is configured to move between the upper and lower chambers through a small hole 112 provided in the piston. Container 100 and lid 102 and lid 1
An O-ring 112 is attached to the interface between 02 and the rod 108 in order to prevent leakage of hydraulic oil.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このようなダンパ機構
では、ロッド108がシリンダ内に進入してくるにつれ
て、シリンダ内のロッド体積が増大する。このため、シ
リンダ内の総体積も増大し、作動油の逃げ場が無くな
る。その結果、振動の吸収に悪影響が出たり、最悪の場
合には、シリンダの破裂または作動油の漏洩などを引き
起こすことがある。In such a damper mechanism, as the rod 108 enters the cylinder, the volume of the rod in the cylinder increases. For this reason, the total volume in the cylinder also increases, and there is no escape area for the hydraulic oil. As a result, vibration absorption may be adversely affected, and in the worst case, a cylinder may burst or hydraulic oil may leak.
【0004】従って、本発明の目的はシリンダ内に占め
るロッド体積がロッドの進退によって変化しないダンパ
機構を提供することである。Therefore, it is an object of the present invention to provide a damper mechanism in which the rod volume occupied in the cylinder does not change as the rod advances and retracts.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、第1の部材と第2の部材によりシリン
ダが形成され、該シリンダ内に両軸ピストンが装着さ
れ、かつ、作動油が充填されていることからなるダンパ
機構を提供する。In order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, a cylinder is formed by a first member and a second member, and a biaxial piston is mounted in the cylinder and an operation is performed. A damper mechanism consisting of being filled with oil is provided.
【0006】[0006]
【作用】前記のように、本発明のダンパ機構では、ピス
トンは対称形になるようにロッドが両軸的に取り付けら
れている。このため、シリンダ内におけるピストンおよ
びロッドの占める体積は、ピストンの進退に関係なく常
に一定である。このため、ピストンの動作が極めて円滑
になり、振動の吸収は規則的になる。また、作動油の漏
洩およびシリンダの破裂などの危険性は皆無となる。As described above, in the damper mechanism of the present invention, the rods are biaxially attached so that the piston is symmetrical. Therefore, the volume occupied by the piston and the rod in the cylinder is always constant regardless of the advance / retreat of the piston. Therefore, the operation of the piston becomes extremely smooth, and the vibration is regularly absorbed. In addition, there is no risk of hydraulic fluid leakage or cylinder rupture.
【0007】[0007]
【実施例】以下図面を参照しながら本発明のダンパ機構
の一例について説明する。図1は本発明のダンパ機構の
一例の部分切り欠き断面図である。このダンパ機構6
は、第1の部材62と、この第1の部材にネジ63,6
3で螺着される第2の部材64を有する。第1の部材6
2と第2の部材64との間には、所定の容積の作動油
(例えば、シリコン油)充填シリンダ65が形成されて
いる。第1の部材62および第2の部材64の軸穴にロ
ッド61が摺動可能に挿入されている。このロッド61
は略中央部に円盤状ピストン66を有する。ロッドのベ
ース盤側先端部には板バネ67がネジ68で螺着されて
いる。この板バネの各終端部はネジ63,63で第2の
部材に固定されている。板バネ67はロッドが61が架
台フレーム3側に移動した時に、ベース盤4側に復元さ
せるために設けられている。シリンダ内の充填作動油の
漏洩を防ぐために、各部材の境界面にはO−リング69
が配設されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An example of the damper mechanism of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a partially cutaway sectional view of an example of the damper mechanism of the present invention. This damper mechanism 6
Is the first member 62 and the screws 63, 6 attached to the first member 62.
It has the 2nd member 64 screwed by 3. First member 6
A hydraulic oil (for example, silicon oil) filling cylinder 65 having a predetermined volume is formed between the second member 64 and the second member 64. The rod 61 is slidably inserted into the shaft holes of the first member 62 and the second member 64. This rod 61
Has a disc-shaped piston 66 in its substantially central portion. A leaf spring 67 is screwed on the tip of the base plate side of the rod with a screw 68. Each end of the leaf spring is fixed to the second member with screws 63, 63. The leaf spring 67 is provided to restore the rod 61 to the base board 4 side when the rod 61 moves to the gantry frame 3 side. In order to prevent leakage of the filled hydraulic oil in the cylinder, an O-ring 69 is provided on the boundary surface of each member.
Are arranged.
【0008】このダンパ機構は例えば、ネジ9により第
1の部材62を介して架台フレームの上端面34に固定
することができる。第1の部材と架台フレーム3との間
には適当な緩衝材91を配置することができる。図2は
図1のダンパ機構の正面図である。This damper mechanism can be fixed to the upper end surface 34 of the gantry frame via the first member 62 with the screw 9, for example. A suitable cushioning material 91 can be arranged between the first member and the gantry frame 3. FIG. 2 is a front view of the damper mechanism of FIG.
【0009】このダンパ機構の特徴はロッドが両軸形式
であり、円盤状ピストン66の周縁部とシリンダ65の
円周との間に隙間が存在することである。従来の一軸ロ
ッドの場合、シリンダ内にロッドが進入すると、進入し
たロッドの分だけシリンダ内の体積が増大し、充填作動
油の逃げ場がなくなり、シリンダの破壊につながる危険
性があった。本発明のダンパ機構では両軸なので、シリ
ンダ内におけるロッドとピストンが占める体積は、ロッ
ドおよびピストンが何方の方向に移動しようとも常に一
定である。このため、充填作動油によるシリンダ破壊の
危険性は皆無となる。また、本発明のダンパ機構では、
図3に示されるように、円盤状ピストン66が左右に移
動するのにつれて、点線で示されるように、隙間を通し
て充填作動油が流動することができる。その結果、被緩
衝物(例えば、ベース盤4)の横揺れは速やかに減衰さ
れる。The characteristic of this damper mechanism is that the rod is of a double shaft type and there is a gap between the peripheral edge of the disk-shaped piston 66 and the circumference of the cylinder 65. In the case of the conventional uniaxial rod, when the rod enters the cylinder, the volume in the cylinder increases by the amount of the rod that has entered, there is no escape place for the filled hydraulic oil, and there is a risk of breaking the cylinder. Since the damper mechanism of the present invention has both axes, the volume occupied by the rod and the piston in the cylinder is always constant regardless of the direction in which the rod and the piston move. Therefore, there is no risk of cylinder breakage due to the filled hydraulic oil. Further, in the damper mechanism of the present invention,
As shown in FIG. 3, as the disc-shaped piston 66 moves left and right, the filled hydraulic oil can flow through the gap as shown by the dotted line. As a result, the rolling of the object to be buffered (for example, the base board 4) is quickly attenuated.
【0010】本発明のダンパ機構は、上面に移動テーブ
ルが配設されたベース盤が空気バネにより支承されてい
るエアーマウントシステムにおいて、このベース盤の横
揺れを吸収するのに適する。更に詳細には、このような
エアーマウントシステムを有する光学式表面検査装置に
おける横揺れ吸収機構として特に好適である。The damper mechanism of the present invention is suitable for absorbing the rolling of the base board in the air mount system in which the base board having the movable table arranged on the upper surface is supported by the air spring. More specifically, it is particularly suitable as a roll absorbing mechanism in an optical surface inspection apparatus having such an air mount system.
【0011】被検査物(例えば、ウエハ)表面上の異物
または欠陥を検査する場合、ウエハをステージ上に吸着
し、X−Y方向に移動しながらレーザの乱反射光により
異物または欠陥を検出する。この場合、ベース盤上にス
テージおよび光学系を配置し、ベース盤を空気バネで支
承させる。このため、X−Yステージを移動させた時
に、加速度の変化に伴い、3〜5Hz の低周波振動が発
生し、検出に悪影響を与えていた。本発明のダンパ機構
はこの横揺れの吸収に極めて好適である。When inspecting a foreign substance or a defect on the surface of an object to be inspected (for example, a wafer), the wafer is adsorbed on a stage and the foreign substance or the defect is detected by the irregular reflection light of the laser while moving in the XY directions. In this case, the stage and the optical system are arranged on the base board, and the base board is supported by the air spring. Therefore, when the XY stage is moved, a low frequency vibration of 3 to 5 Hz is generated with a change in acceleration, which adversely affects the detection. The damper mechanism of the present invention is extremely suitable for absorbing this roll.
【0012】図4は本発明のダンパ機構の使用例の模式
的断面図である。図示されたエアーマウントシステム1
は架台フレーム3を有する。このフレームの周縁部の上
端面34にダンパ6が配設されている。フレーム周縁部
上端面34から所定の深さで凹陥した面35に空気バネ
5が固定されている。空気バネ5はベース盤4を支承し
ている。ベース盤4の上面にはXステージ7およびYス
テージ8が配設されている。Xステージ7は駆動モータ
71によりX方向に進退することができる。一方、Yス
テージ8は駆動モータ81によりY方向に進退すること
ができる。Xステージ7の上面にウエハ2が載置され
る。Xステージは吸着機構を有することもできる。これ
によりウエハが移動しないように吸着保持することがで
きる。ベース盤の側壁面にはダンパ6のロッド61が当
接している。FIG. 4 is a schematic sectional view of a usage example of the damper mechanism of the present invention. The illustrated air mount system 1
Has a gantry frame 3. The damper 6 is disposed on the upper end surface 34 of the peripheral portion of the frame. The air spring 5 is fixed to a surface 35 that is recessed at a predetermined depth from the upper end surface 34 of the frame peripheral portion. The air spring 5 supports the base board 4. An X stage 7 and a Y stage 8 are arranged on the upper surface of the base board 4. The X stage 7 can be moved back and forth in the X direction by the drive motor 71. On the other hand, the Y stage 8 can be moved back and forth in the Y direction by the drive motor 81. The wafer 2 is placed on the upper surface of the X stage 7. The X stage can also have a suction mechanism. As a result, the wafer can be held by suction so as not to move. The rod 61 of the damper 6 is in contact with the side wall surface of the base board.
【0013】図5は図4のエアーマウントシステムの平
面図である。ダンパ6は架台フレーム周縁部上端面34
の前後左右に4個大体等しい間隔で配設されている。こ
れによりXステージおよびYステージの何れのステージ
の進退により発生した横揺れも消去することができる。FIG. 5 is a plan view of the air mount system of FIG. The damper 6 is the upper end surface 34 of the peripheral edge of the gantry frame.
The front, rear, left, and right are arranged at approximately equal intervals. As a result, it is possible to eliminate the rolling motion caused by the advance / retreat of either the X stage or the Y stage.
【0014】図4および図5には光学系が図示されてい
ないが、このシステムにレーザ光照射系および被検査物
(例えば、ウエハ2)からの散乱光受光系を加えれば、
光学式表面検査装置が構成される。Although an optical system is not shown in FIGS. 4 and 5, if a laser light irradiation system and a scattered light receiving system from an object to be inspected (for example, wafer 2) are added to this system,
An optical surface inspection device is constructed.
【0015】本発明のダンパ機構は、光学式表面検査装
置に限らず、上面に水平方向移動テーブルを有し横揺れ
の発生する可能性のある全ての測定器類(例えば、平面
度測定装置、エリプソメータ)あるいは半導体製造装置
(例えば、イオン注入装置、パターンジェネレータ、ホ
トリピータ、ウエハ露光装置、電子線描画装置など)、
試験装置について使用することができる。The damper mechanism of the present invention is not limited to the optical surface inspection device, but has all the measuring instruments (for example, the flatness measuring device, which has a horizontal moving table on the upper surface and has the possibility of rolling). Ellipsometer) or semiconductor manufacturing equipment (for example, ion implantation equipment, pattern generator, photo repeater, wafer exposure equipment, electron beam drawing equipment, etc.),
Can be used for test equipment.
【0016】[0016]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のダンパ機
構では、ピストンは対称形になるようにロッドが両軸的
に取り付けられている。このため、シリンダ内における
ピストンおよびロッドの占める体積は、ピストンの進退
に関係なく常に一定である。このため、ピストンの動作
が極めて円滑になり、振動の吸収は規則的になる。ま
た、作動油の漏洩およびシリンダの破裂などの危険性は
皆無となる。本発明のダンパ機構は、空気バネで支承さ
れたベース盤上に移動ステージを有するエアーマウント
システムにおいて、移動ステージの運動により発生する
3〜5Hz の低周波振動(横揺れ)を吸収するのに特に
適している。As described above, in the damper mechanism of the present invention, the rods are biaxially attached so that the piston is symmetrical. Therefore, the volume occupied by the piston and the rod in the cylinder is always constant regardless of the advance / retreat of the piston. Therefore, the operation of the piston becomes extremely smooth, and the vibration is regularly absorbed. In addition, there is no risk of hydraulic fluid leakage or cylinder rupture. The damper mechanism of the present invention is particularly useful for absorbing a low frequency vibration (rolling) of 3 to 5 Hz generated by the movement of the moving stage in an air mount system having a moving stage on a base board supported by an air spring. Are suitable.
【図1】本発明のダンパ機構の一例の部分切り欠き断面
図である。FIG. 1 is a partially cutaway sectional view of an example of a damper mechanism of the present invention.
【図2】図1のダンパ機構の正面図である。2 is a front view of the damper mechanism of FIG. 1. FIG.
【図3】図1のダンパ機構におけるシリンダとピストン
の部分拡大断面図である。3 is a partially enlarged sectional view of a cylinder and a piston in the damper mechanism of FIG.
【図4】本発明のダンパ機構が使用されるエアーマウン
トシステムの模式的断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of an air mount system in which the damper mechanism of the present invention is used.
【図5】図4のシステムの平面図である。5 is a plan view of the system of FIG.
【図6】従来のダンパ機構の一例の模式的断面図であ
る。FIG. 6 is a schematic sectional view of an example of a conventional damper mechanism.
3 架台フレーム 4 被緩衝物(ベース盤) 6 本発明のダンパ機構 61 ロッド 62 第1の部材 63 ネジ 64 第2の部材 65 作動油充填シリンダ 66 円盤状ピストン 67 板バネ 68 ネジ 69 O−リング 3 Base Frame 4 Buffered Object (Base Board) 6 Damper Mechanism of the Present Invention 61 Rod 62 First Member 63 Screw 64 Second Member 65 Hydraulic Oil Filling Cylinder 66 Disc-Shaped Piston 67 Leaf Spring 68 Screw 69 O-ring
Claims (2)
が形成され、該シリンダ内に両軸ピストンが装着され、
かつ、作動油が充填されていることからなるダンパ機
構。1. A cylinder is formed by a first member and a second member, and a biaxial piston is mounted in the cylinder,
A damper mechanism that is filled with hydraulic oil.
径よりも小さな外径を有する請求項1のダンパ機構。2. The damper mechanism according to claim 1, wherein the piston is disk-shaped and has an outer diameter smaller than the inner diameter of the cylinder.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3317484A JPH05126196A (en) | 1991-11-05 | 1991-11-05 | Damper mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3317484A JPH05126196A (en) | 1991-11-05 | 1991-11-05 | Damper mechanism |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05126196A true JPH05126196A (en) | 1993-05-21 |
Family
ID=18088746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3317484A Pending JPH05126196A (en) | 1991-11-05 | 1991-11-05 | Damper mechanism |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05126196A (en) |
-
1991
- 1991-11-05 JP JP3317484A patent/JPH05126196A/en active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |