JPH0511364Y2 - - Google Patents

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JPH0511364Y2
JPH0511364Y2 JP1983120018U JP12001883U JPH0511364Y2 JP H0511364 Y2 JPH0511364 Y2 JP H0511364Y2 JP 1983120018 U JP1983120018 U JP 1983120018U JP 12001883 U JP12001883 U JP 12001883U JP H0511364 Y2 JPH0511364 Y2 JP H0511364Y2
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piston
piston rod
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shaft
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、シリンダ本体に、ピストン及びピス
トンロツドが圧力流体の給排制御により前記シリ
ンダ本体の軸芯方向に沿つて摺動移動自在に支持
されているとともに、前記ピストン及びピストン
ロツドの摺動運動を回転運動に変換するボールス
クリユー利用の摺動回転運動変換機構が設けら
れ、この運動変換機構の螺軸に連なる出力軸部に
制動力を付与可能なブレーキならびに前記螺軸の
回転量を検出可能な回転量検出器が備えられてい
る流体圧シリンダに関する。
[Detailed Description of the Invention] In the present invention, a piston and a piston rod are supported on a cylinder body so as to be slidably movable along the axial direction of the cylinder body by controlling the supply and discharge of pressure fluid, and the piston and the piston rod are A sliding/rotational motion conversion mechanism using a ball screw that converts the sliding motion of the piston rod into rotational motion is provided, and a brake capable of applying a braking force to an output shaft portion connected to the helical shaft of the motion conversion mechanism, as well as the aforementioned helical shaft. The present invention relates to a fluid pressure cylinder equipped with a rotation amount detector capable of detecting the amount of rotation of the cylinder.

以上の如き構成の流体圧シリンダは、圧力流体
の供給によりピストン及びピストンロツドを摺動
駆動運動させてピストンロツド先端部に装着し
た、例えば、作業テーブルや加工工具などの可動
部の位置を一次元面内で変更する際、その摺動運
動をボールスクリユー利用の運動変換機構を介し
て回転運動に変換して、僅少な摺動変位置を大き
く増幅したかたちの回転量として検出し、かつそ
の検出回転量が設定値に達したとき、圧力流体の
供給を停止すると同時に前記ブレーキを作動させ
ることによつて、前記可動部の一次元面内の位置
制御を極めて高精度に行ない得るといつた利点を
有している。
The fluid pressure cylinder configured as described above moves the piston and the piston rod in sliding motion by supplying pressure fluid, and adjusts the position of a movable part such as a work table or a machining tool attached to the tip of the piston rod within a one-dimensional plane. When changing the position, the sliding motion is converted into rotational motion via a motion conversion mechanism using a ball screw, and the slight sliding position is detected as a greatly amplified amount of rotation, and the detected rotation is When the amount reaches a set value, by stopping the supply of pressure fluid and activating the brake at the same time, the position of the movable part within a one-dimensional plane can be controlled with extremely high precision. have.

然し乍ら、このような流体圧シリンダでは、上
記の運動変換機構が組み込まれているのもである
故に、その運動変換機構を構成する螺軸の一端部
がガイド部材等を介してピストンロツドの軸芯孔
内周面に摺接するように回転のみ自在に支持さ
れ、かつ螺軸の回転に振れが生じないようにする
ために前記ガイド部材等をピストンロツドの軸芯
孔の内周面に強く摺接させる構成が採られるため
に、このようなボールスクリユー式の運動変換機
構が組み込まれてないものと比べて、ピストン及
びピストンロツドの摺動運動時においてピストン
及びピストンロツドに不要な回転力が作用しやす
く、このような回転力によつてピストンロツドが
その軸芯周りで不測に回り、その結果、前記可動
部の姿勢、とくに二次元面内の姿勢が崩れて、折
角の高精度な一次元内面の位置制御の効果を半減
してしまう恐れがある。
However, since such a fluid pressure cylinder incorporates the above-mentioned motion conversion mechanism, one end of the helical shaft constituting the motion conversion mechanism is connected to the shaft center hole of the piston rod through a guide member or the like. A structure in which the guide member, etc. is supported so as to be able to rotate freely so as to be in sliding contact with the inner circumferential surface, and the guide member etc. is strongly slid against the inner circumferential surface of the shaft core hole of the piston rod in order to prevent wobbling from occurring in the rotation of the screw shaft. Because of this, unnecessary rotational force is more likely to act on the piston and piston rod during sliding movement than in a case where such a ball screw type motion conversion mechanism is not incorporated. The piston rod unexpectedly rotates around its axis due to such rotational force, and as a result, the posture of the movable part, especially in the two-dimensional plane, collapses, making it difficult to control the position of the one-dimensional inner surface with high precision. There is a possibility that the effect will be halved.

従つて、可動部の位置および姿勢制御にともな
う各種の加工精度を真に高くするためには、ピス
トン及びピストンロツドの回り止めが必須であ
り、そのような回り止め手段として、従来一般に
は次の[]又は[]で記載の構成を要旨とす
る手段が採られていた。
Therefore, in order to truly improve the various machining precisions involved in controlling the position and posture of moving parts, it is essential to prevent the piston and piston rod from rotating. ] or [] were adopted.

[] 第3図で示すように、前記ピストンロツ
ド3の外周面及びこのピストンロツド3に対す
るシリンダ本体1の摺動案内部1Hの内周面を
四角形等の異形面に形成する。
[] As shown in FIG. 3, the outer circumferential surface of the piston rod 3 and the inner circumferential surface of the sliding guide portion 1H of the cylinder body 1 relative to the piston rod 3 are formed into irregularly shaped surfaces such as squares.

[] 第4図で示すように、前記シリンダ本体
1に、前記ピストンロツド3と平行に姿勢する
ガイド軸50を摺動自在に支承するプラケツト
51を固着し、前記ピストンロツド3と前記ガ
イド軸50等を一体連結する部材52を設け
る。
[] As shown in FIG. 4, a bracket 51 that slidably supports a guide shaft 50 parallel to the piston rod 3 is fixed to the cylinder body 1, and the piston rod 3, the guide shaft 50, etc. are connected to each other. A member 52 for integral connection is provided.

前者[]による場合は、ピストンロツド3及
びシリンダ本体1の摺動案内部1Hの加工に高度
の技術と多大の手間を要するばかりでなく、ピス
トンロツド3とシリンダ本体1との間のシールを
確実にすることが困難で、流体漏れを生じ易い欠
点があり、また、後者[]による場合は、シリ
ンダ本体1の外周部に回り止めのための構成部材
が突出位置するため、シリンダ全体が大型化する
欠点がある。
In the case of the former [], not only does the machining of the sliding guide portion 1H of the piston rod 3 and the cylinder body 1 require a high degree of skill and a great deal of effort, but it is also necessary to ensure the seal between the piston rod 3 and the cylinder body 1. In addition, in the case of the latter [], there is a disadvantage that the entire cylinder becomes large because a component for preventing rotation is located protruding from the outer periphery of the cylinder body 1. There is.

本考案は以上の実情に鑑みてなされたものであ
つて、ピストン及びピストンロツドの二次元面内
に亘る位置制御を極めて高精度に行ない得ると同
時に、シリンダ全体を可及的に小型で、かつ加工
コストの安いものとしながら、所期の回り止めを
確実にして、加工精度の顕著な向上を達成できる
流体圧シリンダを提供する目的を有する。
The present invention was developed in view of the above circumstances, and it is possible to control the position of the piston and piston rod within a two-dimensional plane with extremely high precision, while at the same time making the entire cylinder as small as possible and easy to process. It is an object of the present invention to provide a fluid pressure cylinder that can ensure the desired rotation prevention and achieve a remarkable improvement in processing accuracy while being inexpensive.

上記の目的を達成するためになされた本考案に
係る流体圧シリンダは、シリンダ本体に、ピスト
ン及び真円状のピストンロツドが圧力流体の給排
制御により前記シリンダ本体の軸芯方向に沿つて
摺動移動自在に支持されているとともに、前記ピ
ストンロツドの軸芯孔とヘツドカバーとに亘つて
回転のみ自在に架設された螺軸とこの螺軸の螺旋
溝内を転動する多数のボール群を循環可能に保持
し前記ピストンに固定連結されたナツト体とによ
り、前記ピストン及びピストンロツドの摺動運動
を増幅回転運動に変換するボールスクリユー利用
の摺動回転運動変換機構を設け、この運動変換機
構における前記螺軸の出力軸部に、この螺軸の回
転量を検出可能な回転量検出器が設けられ、かつ
この回転量検出器による検出回転量が設定値と一
致したとき、前記シリンダ本体への圧力流体の供
給を停止する手段ならびに前記螺軸に制動力を付
与するブレーキを備えた流体圧シリンダであつ
て、前記ピストンロツドの軸芯を、前記シリンダ
本体の内周面及びピストンの外周面の軸芯に対し
て偏芯させて、ピストンロツドの回り止めをおこ
なうように構成したことを特徴とするものであ
る。
In the fluid pressure cylinder according to the present invention, which has been made to achieve the above object, a piston and a perfectly circular piston rod are slidable along the axial direction of the cylinder body by controlling the supply and discharge of pressure fluid. A spiral shaft is movably supported and rotatably installed between the shaft core hole of the piston rod and the head cover, and a large number of balls rolling in the spiral groove of this spiral shaft can be circulated. A sliding/rotational motion conversion mechanism using a ball screw is provided which converts the sliding motion of the piston and the piston rod into an amplified rotational motion by a nut body that is held and fixedly connected to the piston, and the screw in the motion conversion mechanism The output shaft of the shaft is provided with a rotation amount detector capable of detecting the amount of rotation of this screw shaft, and when the amount of rotation detected by this rotation amount detector matches a set value, pressure fluid is supplied to the cylinder body. and a brake for applying a braking force to the screw shaft, the axial center of the piston rod being aligned with the axial center of the inner circumferential surface of the cylinder body and the outer circumferential surface of the piston. The piston rod is eccentric to the piston rod so as to prevent the piston rod from rotating.

[作用] 前記シリンダ本体の内周面とピストンロツドの
各外周面を夫々最も加工し易い真円状に形成し乍
らも、このシリンダ本体の軸芯とピストンロツド
の軸芯とを偏芯させることにより、ピストン及び
ピストンロツドの摺動運動時において、その摺動
運動にともなつて変換された螺軸の回転力がピス
トンロツドに働いても、その回転力を前記シリン
ダ本体の内周面とピストンの外周面との接当力に
て阻止して、ピストン及びピストンロツドを回り
止め状態で所定通りに摺動させ、もつて、ピスト
ン及びピストンロツドの一次元面内(摺動方向)
での高精度な位置制御と回り止めによる二次元面
内の姿勢制御とにより、ピストンロツド先端部の
位置制御を極めて高精度化できる。
[Function] While forming the inner circumferential surface of the cylinder body and the outer circumferential surfaces of the piston rod into perfect circular shapes that are most easily machined, by making the axis of the cylinder body and the axis of the piston rod eccentric. During the sliding movement of the piston and piston rod, even if the rotational force of the helical shaft converted by the sliding movement acts on the piston rod, the rotational force is transferred between the inner circumferential surface of the cylinder body and the outer circumferential surface of the piston. The piston and the piston rod are prevented from rotating in a predetermined manner by the contact force of the piston and the piston rod, and the piston and the piston rod are prevented from rotating in a one-dimensional plane (sliding direction).
The position control of the tip of the piston rod can be extremely precisely controlled by highly accurate position control and posture control in a two-dimensional plane using a rotation stopper.

[効果] 以上の通り、本考案による時は、前記のボール
スクリユー利用の運動変換機構及び回転量検出器
並びにブレーキの存在によつて、ピストン及びピ
ストンロツドの一次元面内での位置制御を極めて
高精度に行ない得るとともに、このピストン及び
ピストンロツドの摺動運動時の不要な回転防止、
つまり回り止めを確実に行なつて、ピストンロツ
ドの先端部に装着した可動部の位置制御および姿
勢制御とも確実かつ精度良く行なつて、これら両
制御にともなう各種の加工精度を著しく向上する
ことができる。しかも、回り止めのための構成に
特殊な加工技術を要さず、加工の容易化とシール
の確実化とを図り得るのみならず、ピストンロツ
ドの軸芯を、シリンダ本体の内周面の軸芯に対し
て偏芯させるだけであるから、上述のような高い
精度性能を有するシリンダ全体を、その外部には
突出部のない、できるだけ小型のものに構成でき
るに至つた。
[Effect] As described above, according to the present invention, the position control of the piston and piston rod within a one-dimensional plane is extremely possible due to the presence of the motion conversion mechanism using the ball screw, the rotation amount detector, and the brake. This can be done with high precision and prevents unnecessary rotation during sliding movement of the piston and piston rod.
In other words, by reliably preventing rotation, the position and posture control of the movable part attached to the tip of the piston rod can be performed reliably and accurately, and various machining precisions associated with these controls can be significantly improved. . Moreover, the structure for preventing rotation does not require any special processing technology, which not only facilitates processing and ensures a reliable seal, but also allows the piston rod to be aligned with the axis of the inner peripheral surface of the cylinder body. Since the cylinder is simply made eccentric with respect to the cylinder, the entire cylinder, which has the above-mentioned high precision performance, can be made as small as possible without any protruding parts on the outside.

シリンダ本体1は、第1図、第2図で示すよう
に、圧力流体の給排用接続口1A,1Bを有する
シリンダチユーブ1Cとヘツドカバー1Dならび
にロツドカバー1Eなどからなる。2はピスト
ン、3はピストンロツド、4は螺合状態のピスト
ン2とピストンロツド3を固定するピン、5はピ
ストンパツキン、6はピストンガスケツトであ
る。
As shown in FIGS. 1 and 2, the cylinder body 1 consists of a cylinder tube 1C having connection ports 1A and 1B for supplying and discharging pressure fluid, a head cover 1D, a rod cover 1E, and the like. 2 is a piston, 3 is a piston rod, 4 is a pin for fixing the screwed piston 2 and piston rod 3, 5 is a piston packing, and 6 is a piston gasket.

そして、前記ピストン2にて区画形成されたシ
リンダ本体1内の両シリンダ室1F,1Gに対し
て圧力流体を給排することにより、前記ピストン
2及びピストンロツド3がシリンダチユーブ1C
の軸芯方向に一体的に摺動移動されるように構成
されている。
By supplying and discharging pressure fluid to both cylinder chambers 1F and 1G in the cylinder body 1 defined by the piston 2, the piston 2 and the piston rod 3 are connected to the cylinder tube 1C.
It is constructed so that it can be slid integrally in the axial direction.

前記シリンダチユーブ1Cの内周面とピストン
2の外周面ならびにピストンロツド3の外周面は
夫々軸芯方向視において真円状に形成され、か
つ、前記ピストンロツド3の軸芯aが前記シリン
ダチユーブ1Cの内周面及びピストン2外周面の
軸芯bに対してそれと直交する方向に変位させら
れている。
The inner circumferential surface of the cylinder tube 1C, the outer circumferential surface of the piston 2, and the outer circumferential surface of the piston rod 3 are each formed in a perfect circular shape when viewed in the axial direction, and the axial center a of the piston rod 3 is aligned with the inner circumferential surface of the cylinder tube 1C. It is displaced in a direction perpendicular to the axis b of the circumferential surface and the outer circumferential surface of the piston 2.

このように両者の軸芯a,bを変位させること
により、シリンダ本体1とピストン2及びピスト
ンロツド3との相対回転を阻止することができる
のである。
By displacing the axes a and b in this manner, relative rotation between the cylinder body 1, the piston 2, and the piston rod 3 can be prevented.

また、前記シリンダ本体1には、前記ピストン
2及びピストンロツド3の摺動運動を回転運動に
変換するボールスクリユー利用の摺動回転変換機
構7と、この機構7の螺軸8に制動力を付与可能
な電磁ブレーキ9ならびに、前記螺軸8の回転量
を検出するパルスエンコーダ(回転量検出器の一
例である。)10とが装備されている。
Further, the cylinder body 1 includes a sliding rotation conversion mechanism 7 using a ball screw that converts the sliding motion of the piston 2 and the piston rod 3 into rotational motion, and a braking force is applied to the screw shaft 8 of this mechanism 7. A possible electromagnetic brake 9 and a pulse encoder (an example of a rotation amount detector) 10 for detecting the amount of rotation of the screw shaft 8 are provided.

前記摺動回転変換機構7を構成するに、前記シ
リンダ本体1のヘツドカバー1Dとピストンロツ
ド3の軸芯孔3aに亘つて、螺軸部8aと出力軸
部8bとからなる前記の螺軸8を、ベアリング1
1,11及び環状ガイド部材12を介して回転の
み自在に架設するとともに、前記ピストン2の後
端部には、前記螺軸8に螺合するナツト体13を
固定連結している。
To configure the sliding rotation conversion mechanism 7, the screw shaft 8 consisting of a screw shaft portion 8a and an output shaft portion 8b is inserted between the head cover 1D of the cylinder body 1 and the shaft center hole 3a of the piston rod 3. bearing 1
1, 11 and an annular guide member 12 so that the piston 2 can only rotate freely, and a nut body 13 that is screwed onto the screw shaft 8 is fixedly connected to the rear end of the piston 2.

前記ナツト体13には、螺軸8の螺旋溝を転動
する多数のボール14を保持している。このボー
ル14群はナツト体13内で循環する。
The nut body 13 holds a large number of balls 14 that roll in the spiral groove of the screw shaft 8. This group of balls 14 circulates within the nut body 13.

そして、前記シリンダ本体1内の両シリンダ室
1F,1Gに対する圧力流体の給排制御により、
ピストン2及びナツト体13を一体移動させる
と、これに伴い螺軸8が回転され、これの回転量
をパルスエンコーダ10がとらえる。ピストン2
の変位量と検出した回転量との間には方向を含め
て1対1の対応関係にある。そして変位量が大き
く増幅されたかたちで回転量となる。
Then, by controlling the supply and discharge of pressure fluid to both cylinder chambers 1F and 1G in the cylinder body 1,
When the piston 2 and the nut body 13 are moved together, the screw shaft 8 is rotated accordingly, and the pulse encoder 10 captures the amount of rotation. piston 2
There is a one-to-one correspondence relationship between the amount of displacement and the amount of rotation detected, including the direction. The amount of displacement is then greatly amplified and becomes the amount of rotation.

パルスエンコーダ10の出力信号がコントロー
ルでカウントされ、これが設定値と一致したとき
にコントローラの制御信号が圧力流体回路中の電
磁バルブを閉動する。同時に電磁ブレーキ9を作
動させる。
The output signal of the pulse encoder 10 is counted by the control, and when it matches a set value, the control signal of the controller closes the electromagnetic valve in the pressure fluid circuit. At the same time, the electromagnetic brake 9 is activated.

パルスエンコーダ10が接続されるコントロー
ラとしてマイクロコンピユータなどを利用するの
が好ましい。
It is preferable to use a microcomputer or the like as the controller to which the pulse encoder 10 is connected.

尚、前記圧力流体としては油圧、水圧、空気圧
などの何れを使用しても良い。
Note that as the pressure fluid, any of hydraulic pressure, water pressure, pneumatic pressure, etc. may be used.

次に別の実施例を説明する。図示省略 [] ブレーキ9としては電磁ブレーキ以外、
油圧ブレーキ、ハンドブレーキ、ドラムブレー
キその他何でも良い。
Next, another embodiment will be described. Illustrations omitted [] As the brake 9, other than an electromagnetic brake,
Hydraulic brakes, hand brakes, drum brakes, or anything else is fine.

[] 回転量検出器10としては、パルスエン
コーダ以外何でも良い。メカニツクな出力形態
をとるものでも良。
[] The rotation amount detector 10 may be anything other than a pulse encoder. It may also be one that takes a mechanical output form.

[] 回転量検出器10を入力とするコントロ
ーラは何を制御対象としても良い。
[] The controller which inputs the rotation amount detector 10 may control anything.

[] 回転量検出器10、ブレーキ9、摺動回
転変換機構7はなくても良い。
[] The rotation amount detector 10, the brake 9, and the sliding rotation conversion mechanism 7 may be omitted.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図、第2図は本考案に係る流体圧シリンダ
の実施例を示し、第1図は縦断側面図、第2図は
第1図の−線断面図である。第3図、第4図
は夫々従来の流体圧シリンダを示す要部の斜視図
である。 1……シリンダ本体、2……ピストン、3……
ピストンロツド、7……摺動回転変換機構、10
……回転量検出器。
1 and 2 show an embodiment of a fluid pressure cylinder according to the present invention, with FIG. 1 being a longitudinal sectional side view and FIG. 2 being a sectional view taken along the line -- in FIG. FIGS. 3 and 4 are perspective views of essential parts of a conventional fluid pressure cylinder, respectively. 1... Cylinder body, 2... Piston, 3...
Piston rod, 7...Sliding rotation conversion mechanism, 10
...Rotation amount detector.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] シリンダ本体1に、ピストン2及び真円状のピ
ストンロツド3が圧力流体の給排制御により前記
シリンダ本体1の軸芯方向に沿つて摺動移動自在
に支持されているとともに、前記ピストンロツド
3の軸芯孔3aとヘツドカバー1Dとに亘つて回
転のみ自在に架設された螺軸8とこの螺軸8の螺
旋溝内を転動する多数のボール14群を循環可能
に保持し前記ピストン2に固定連結されたナツト
体13とにより前記ピストン2及びピストンロツ
ド3の摺動運動を増幅回転運動に変換するボール
スクリユー利用の摺動回転運動変換機構7を設
け、この摺動回転運動変換機構7における前記螺
軸8の出力軸部8bに、この螺軸8の回転量を検
出可能な回転量検出器10が設けられ、かつこの
回転量検出器10による検出回転量が設定値と一
致したとき、前記シリンダ本体1への圧力流体の
供給を停止する手段ならびに前記螺軸8に制動力
を付与するブレーキ9を備えた流体圧シリンダで
あつて、前記ピストンロツド3の軸芯aを、前記
シリンダ本体1の内周面及びピストン2の外周面
の軸芯bに対して偏芯させて、前記ピストンロツ
ド3の回り止めをおこなうように構成したことを
特徴とする流体圧シリンダ。
A piston 2 and a perfectly circular piston rod 3 are supported on the cylinder body 1 so as to be able to slide freely along the axial direction of the cylinder body 1 by controlling the supply and discharge of pressure fluid. A helical shaft 8 is installed between the hole 3a and the head cover 1D so as to be rotatable only, and a large number of balls 14 rolling in the spiral groove of the helical shaft 8 are held in a circulatory manner and are fixedly connected to the piston 2. A sliding rotational motion conversion mechanism 7 using a ball screw is provided which converts the sliding motion of the piston 2 and the piston rod 3 into an amplified rotational motion by means of a nut body 13. A rotation amount detector 10 capable of detecting the rotation amount of the screw shaft 8 is provided on the output shaft portion 8b of the screw shaft 8, and when the rotation amount detected by the rotation amount detector 10 matches a set value, the cylinder body 1 and a brake 9 for applying a braking force to the screw shaft 8, the axis a of the piston rod 3 is aligned with the inner circumference of the cylinder body 1. A fluid pressure cylinder characterized in that the piston rod 3 is prevented from rotating by being eccentric with respect to the axis b of the surface and the outer peripheral surface of the piston 2.
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