JPH0510842A - 微差圧安定発生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】従来のサーボバルブを用いた圧力発生装置では
微圧出力時に圧力脈動が大きく、これを止めるために封
じ切ると圧力の温度変化が大きいという問題を解消す
る。 【構成】水柱管１３とこれより断面積が充分大きい水槽
６とを伸縮式Ｕ字管８で連通してＵ字管を構成し、水柱
管の上部の発生圧側配管４ａを基準となる精密微差圧計
１４および被試験品ＵＴの正圧室に接続し、水槽６をパ
ソコン１０の指令によりコントローラ７を介しロボット
５によって精密な位置決めで持ち上げることでＵ字管の
水位レベル差Ｈに相当する微差圧を作る。脈動を減ずる
には、目標の微差圧発生後、水槽上部の基準圧側配管４
ｂを大気圧からしゃ断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は工業計器、例えば差圧伝
送器等の試験を行うための微小差圧力を安定に発生する
方法に関する。なお以下各図において同一の符号は同一
もしくは相当部分を示す。

【０００２】

【従来の技術】図５，図６は従来のこの種の圧力発生装
置の構成例を示す。図５において６０はサーボバルブ、
６０ａはこのバルブの圧縮空気入口、６０ｂはこの空気
入口６０ａからの流入空気の対向側の吹出口を開閉する
弁、６０ｃは前記の空気通路と直交する方向に設けられ
た設定圧空気の出口である。またＭは弁６０ａをこの図
の左右方向に移動させるモータである。６２はベロー
ズ，差動トランスからなる差動トランス式圧力センサ
で、サーボバルブ６０の設定圧出口６０ｃの空気圧を検
出し増幅して電圧値６２ａとして出力する。６１はサー
ボアンプで圧力設定電圧ＳＶと圧力センサ出力６２ａと
を入力し、後者６２ａが前者ＳＶに等しくなるようモー
タＭを駆動して弁６０ｂを開閉する。また図６は図５に
対し、圧力センサとして石英ブルドン管式圧力センサ６
３を用いた点および、サーボバルブ６０に対する圧縮空
気入口６０ａと設定圧出口６０ｃの位置が置換わった点
が異なるのみで基本的な構成や動作は図５と同様であ
る。このように従来の圧力発生装置においては圧力検出
センサ６２または６３の電圧出力６２ａまたは６３ａと
目標圧設定のための電圧設定値ＳＶの２つの出力の比較
により自動平衡制御されたサーボバルブ６０から目標と
する圧力を発生させている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら図５，図
６に示した従来の圧力発生装置においては、図７の発生
圧力（横軸）対脈動率（縦軸）の実測特性に示すよう
に、そのサーボバルブの機械的バックラッシュと自動平
衡制御の分解能から設定圧（発生圧力）が低くなるに従
い脈動は大きくなる傾向があり、精度アップが著しい近
年の差圧伝送器の精度±０．１％／ＦＳを正しく評価す
るために必要な圧力安定性０．０２％ ofReading を満
足しない状況になっている。このため、図８に示すよう
に、サーボバルブ式圧力発生装置７０の発生圧力を封じ
切りバルブ７１にて封じ切り、脈動を断ち、校正された
差圧伝送器７３との比較測定によって被試験伝送器ＵＴ
の精度評価を行う事が試みられるが、図９の圧力変化特
性に示すように、封じ切り配管内の気体の温度変化に伴
う圧力変動のため、正しく評価する事は非常に困難とな
っている。なお図９において温度変化による圧力変化
は、容積一定であることからボイル−シャールの法則よ
り次式で表される。 ΔＰ＝Ｐ（Ｔ１−Ｔ２）／Ｔ１ 但し ΔＰ＝圧力変化量 Ｐ＝温度変化前の圧力（１０３４２ｍｍＨ₂ Ｏ絶対圧） Ｔ１＝初期温度（２９６゜Ｋ） Ｔ２＝一定時間後の温度（゜Ｋ） そこで本発明はこの問題を解消できる微差圧安定発生方
法を提供することを課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、請求項１の微差圧安定発生方法は、大気圧に対す
る微差圧を発生する方法であって、ほぼ直立に固定され
て液体（水６ａなど）を保持する、軸方向に等断面積の
筒状の第１の液体容器（水柱管１３など）の底部と、同
じくほぼ直立に保たれて前記液体と同じ液体を保持し、
前記断面積より大きく軸方向に等断面積を持つ筒状の第
２の液体容器（水槽６など）の底部とを屈曲可能な管路
（伸縮式Ｕ字管８など）で連結してＵ字管を構成し、前
記第１，第２の液体容器内の液面の上部の空気を（大気
開放弁３ａ，３ｂなどを介し）大気に開放してこの２つ
の容器の液面の高さを一致させたのち、前記第１の液体
容器内の上部空気を（大気開放弁３ｂなどを介し）大気
側からしゃ断して受圧対象機器（被試験品ＵＴなど）お
よび基準の差圧計（精密微差圧計１４など）の夫々の一
方の受圧側（正圧側など）に導き、次に前記第２の液体
容器内の上部空気、ならびに前記受圧対象機器および差
圧計の夫々の他方の受圧側（負圧側など）を大気に開放
したまま、前記第２の液体容器を垂直方向の位置決め制
御が可能な昇降手段（ロボット５，コントローラ７な
ど）を介して垂直方向に移動させ、前記受圧対象機器に
対する目標の差圧を発生させるようにし、

【０００５】請求項２の微差圧安定発生方法は、請求項
１に記載の微差圧安定発生方法において、前記受圧対象
機器への目標圧力の発生後、必要に応じ、（大気開放弁
３ａなどを介し）前記第２の液体容器内の上部空気、な
らびに前記受圧対象機器および差圧計の夫々の他方の受
圧側を大気からしゃ断するようにし、

【０００６】請求項３の微差圧安定発生方法では、請求
項１に記載の微差圧安定発生方法において、前記昇降手
段の位置決め制御は、前記第１，第２の液体容器の液面
の高さの一致した位置からの前記第２の液体容器の移動
高（コントローラ７に対する移動指令値など）と、（標
準抵抗器１６，電圧測定器１９などを介して検出され
た）この移動高に対応する前記差圧計の検出差圧と、
（図外のキーボードなどを介して操作入力された）目標
とする差圧と、（図外のキーボードなどを介して操作入
力された）前記液体の比重とに基づいて前記昇降手段の
補正移動高を演算する手段（パソコン１０など）を介し
て行われるようにし、また、

【０００７】請求項４の微差圧安定発生方法では、請求
項１または請求項２に記載の微差圧安定発生方法におい
て、前記第１，第２の液体容器の上部空気の通路のしゃ
断または切換は空気作動式の弁（大気開放弁３ａ，３
ｂ、発生圧出口切換え３方弁２ａ，２ｂなど）を介して
行われるようにするものとする。

【０００８】

【作 用】Ｕ字管の一方に取り付けられた水入りまたは
オイル入りの槽を高い位置精度で持ち上げて、水柱また
はオイル柱のヘッド差を生じさせてＵ字管の他方に微圧
を発生させ、これを安定供給するものである。

【０００９】

【実施例】以下図１ないし図４に基づいて本発明の実施
例を説明する。図１および図２は本発明の第１の実施例
としての微差圧安定発生装置０１の構成図で、図１はこ
の構成の下半部を、図２は同じく上半部を夫々示す。な
お図１，図２内の，は夫々同一の配管部分示す。図
１，図２を説明すると、５は搬送台５ａを介してこの台
５ａに取付けられた水槽６を垂直方向に昇降させ、その
精密な位置決めを行うロボットであり、コントローラ７
によってＤＣサーボ制御される。このロボット５，コン
トローラ７は水柱管１３と共に取付フレーム９に固着さ
れている。この水槽６と水柱管１３との間を伸縮式Ｕ字
間８にて結合し、水槽６へ水６ａを入れる。水柱管１３
の上部に発生圧側配管を４ａを取り付け、それを２方向
に分岐して、一方を精密微差圧計１４の正圧測定室へ接
続し、もう一方はさらに２方向分岐して一方を大気開放
弁３ｂに接続し、もう一方を発生圧出口切換え３方弁２
ｂに接続する。この３方弁２ｂの出口より２方向に分岐
された配管の１方は発生圧出口１ａに接続される。

【００１０】水槽６の上部に接続した基準圧側配管４ｂ
は２方向分岐して、一方は精密微差圧計１４の負圧測定
室に接続し、もう一方はさらに２方向分岐して、一方は
大気開放弁３ａに接続し、もう一方は発生圧出口切換え
３方弁２ａに接続する。この３方弁２ａの出口より２方
向に分岐された配管の一方は、発生圧出口１ｂへ接続さ
れる。各々の空気作動弁２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂは圧縮
空気配管にて電磁弁１２ａ，１２ｂ，１２ｃに接続さ
れ、さらにこの電磁弁の電源のＡＣ１００Ｖ電気配線
（破線表示）は継電器１７に接続され、ＤＣ２４Ｖの制
御配線となって装置の外部端子へ接続される。精密微差
圧計１４の出力信号の電源となる直流安定化電源１５と
精密微差圧計１４との間の配線途中に標準抵抗器１６を
入れ、この抵抗器１６の両端より電圧測定のための配線
を引き出している。またＵＴは被試験品としての差圧伝
送器でその正圧，負圧の各測定室が夫々発生圧出口１
ａ，１ｂに接続される。

【００１１】次に図１，図２の動作を説明する。予め大
気開放弁３ａ，３ｂを介して発生圧側配管４ａ，基準圧
側配管４ｂを大気に開放し、水柱管１３の水位と水槽６
の水位とを一致させて置く。次に目標発生圧力をＰｍｍ
Ｈ₂ Ｏとした時、パソコン１０にて発生圧側配管４ａの
大気開放弁３ｂを閉とする信号を送る。これによりこの
発生圧側配管４ａ内の空気は密閉状態で精密微差圧計１
４および被試験品ＵＴの正圧測定室に導かれる。続いて
Ｐｍｍ移動する命令をシリアル伝送ライン１１経由でコ
ントローラ７へ送信してロボット５を動作させ、水槽６
を２点鎖線図のように持ち上げる。なおこのとき基準圧
側配管４ｂの大気開放弁３ａは大気開放状態にあり、精
密微差圧計１４および被試験品ＵＴの負圧測定室も夫々
大気圧に保たれている。

【００１２】前記の水槽６の移動により生じる水柱ヘッ
ド差Ｈ（図１）によって微差圧が発生し、この圧力が精
密微差圧計１４に印加される。この精密微差圧計１４よ
りの出力としての標準抵抗器１６の両端電圧を電圧測定
器１９経由にてパソコン１０へ取り込み、目標圧との誤
差がある場合には、下記の式（１）にて求めたロボット
の補正移動量Ｌを再度、コントローラ７へ送信し水槽６
を持ち上げて誤差分の圧力を追加発生させる。 Ｌ＝（Ｌ１×Ｐ／Ｐ１）−Ｌ１……（１） 但し Ｌ＝補正移動量（ｍｍ） Ｌ１＝初回のロボット移動量（ｍｍ） Ｐ１＝初回の水槽の持ち上げによって発生した圧力（ｍ
ｍＨ₂ Ｏ） Ｐ＝目標発生圧力（ｍｍＨ₂ Ｏ） これにても目標とする範囲内に圧力が到達しない場合は
さらに、下記の式（２）にて再度、補正移動量Ｌαを求
めて、ロボット５を移動させる。以上のくり返しにて目
標圧力を発生させる。 Ｌα＝（Ｌｎ×Ｐ／Ｐｎ）−Ｌｎ……（２） 但し Ｌα＝再補正移動量（ｍｍ） Ｌｎ＝ロボットの移動量の総和（ｍｍ） Ｐｎ＝ロボットのｎ回の移動量にて発生した圧力（ｍｍ
Ｈ₂ Ｏ） Ｐ＝目標圧力（ｍｍＨ₂ Ｏ）

【００１３】これにより目標圧力の発生を確認したなら
ば、基準圧側大気開放弁３ａを閉じ、精密微差圧計１４
の出力をパソコン１０にて読み取り、発生圧真値を計測
する。続いて切換えリレーＲＹ１を被試験品ＵＴの差圧
検出出力側へ切換えて被試験品ＵＴの検出出力をパソコ
ン１０へ読み込む、以上の制御にて印加圧を等分に数回
印加し、その度に被試験品ＵＴからの出力を読み取り、
印加圧に対する出力特性を評価する。また、発生圧出口
切換え弁２ａ，２ｂを同時に左方向へ移動させる事によ
り発生圧出口１ａ，１ｂを相互に切換える事が可能とな
る。

【００１４】図３および図４は本発明の第２の実施例と
しての広域微差圧安定発生装置０１Ａの構成図で、図３
はこの構成の下半部を図４は同じく上半部を夫々示す。
なお図３，図４中の，は夫々同一の配管部分を示
す。この第２の実施例では基本的には図１，図２と同様
な水による微圧発生系統の他に、水より比重の大きなフ
ッ素オイル（この例では比重＝１．９５≒２）を用いた
低圧発生系統を設け、被試験品ＵＴにはこの２系統の発
生する微差圧と低差圧とを切換え印加し得るようにした
ものである。このため図３ではロボット５Ａによって水
槽６の他に、フッ素オイル６Ｆａを収容するオイル槽６
Ｆが共に昇降駆動される。そしてこのオイル槽６Ｆと取
付フレーム９Ａに固着された液柱管１３Ｆとが伸縮式Ｕ
字管８Ｆを介して連通されてＵ字管を構成している。

【００１５】液柱管１３Ｆの上部からの低圧発生配管４
Ｆａは２つに分岐されて、その一方は精密微差圧計（低
圧レンジ）１４Ｆの正圧測定室に結合され、他方は空気
作動式の発生圧系統切換え３方弁２ｃに結合されてい
る。またオイル槽６Ｆの上部からの基準圧側配管４Ｆｂ
は２つに分岐されて、その一方は精密微差圧計（低圧レ
ンジ）１４Ｆの負圧測定室に結合され、他方は空気作動
式の発生圧系統切換え３方弁２ｄに結合されている。こ
こで発生圧系統切換３方弁２ｃ，２ｄは、水，フッ素オ
イルの２つの圧力発生系統の一方を選択して発生圧出口
１ａ，１ｂおよび弁２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ側に接続す
るためのものであり、電磁弁１２ｄは切換３方弁２ｃ，
２ｄを駆動するためのものである。従ってフッ素オイル
の圧力発生系統を選択した場合には、オイル槽６Ｆの液
位と液柱管１３Ｆの液位とのレベル差ＨＦに基づく圧力
が発生差圧となる。

【００１６】なお水柱管１３ａの上部の微圧発生配管４
ａに付された空気作動式のストップ２方弁３ｃはフッ素
オイルの系統による圧力発生時、ロボット５Ａによる水
槽６の移動量が過大となって精密微差圧計１４を過大圧
力で破損することを防止するための弁であり、電磁弁１
２ｅはこの２方弁３ｃの駆動用の弁である。また図３で
は精密微差圧計１４，１４Ｆの出力信号の電源となる直
流安定化電源１５と各々の精密微差圧計１４，１４Ｆと
の間の配線途中に標準抵抗器１６，１６Ｆを各々挿入
し、その両端よりの配線を切換えリレーＲＹ２経由で外
部端子へ接続して、電圧測定器１９による各微差圧計１
４，１４Ｆの出力電圧測定を可能としている。

【００１７】次に図３，図４においてフッ素オイルによ
る圧力発生系統を選択した場合の動作を説明する。まず
ストップ２方弁３ｃを閉とし、発生圧系統切換え弁２
ｃ，２ｄを同時に右側へ切換え、大気開放弁３ｂを閉と
するような信号をパソコン１０からインターフェース１
８へ送る。目標発生圧力をＰＦｍｍＨ₂Ｏとした時、下
記の式（３）にてロボット５Ａの移動量ＬＦを求めオイ
ル槽６Ｆを持ち上げる命令をパソコン１０よりコントロ
ーラ７へ送信する。 ＬＦ＝ＰＦ／ρ……（３） 但し ＬＦ＝初回のロボット移動量（ｍｍ） ＰＦ＝目標発生圧力（ｍｍＨ₂ Ｏ） ρ＝フッ素オイルの比重（１．９５）

【００１８】これにより発生した圧力を精密微差圧計１
４Ｆにて読み取り、目標圧との誤差を補正するため下記
の式（４）にてロボット５Ａの移動量ＬＦαを求め、オ
イル槽を補正移動する。 ＬＦα＝（（ＬＦｎ×ＰＦ／ＰＦｎ）−ＬＦｎ）／ρ……（４） 但し ＬＦα＝補正移動量（ｍｍ） ＬＦｎ＝ロボットの移動量の総和（ｍｍ） ＰＦｎ＝ロボットのｎ回の移動にて発生した圧力（ｍｍ
Ｈ₂ Ｏ） ＰＦ＝目標発生圧力（ｍｍＨ₂ Ｏ） この動作を繰り返し、実行して目標圧力を発生したら、
大気開放弁３ａを閉とする。

【００１９】

【発明の効果】請求項１に関わる発明によれば、ほぼ直
立に固定されて液体（水６ａまたはフッ素オイル６Ｆ
ａ）を保持する、軸方向に等断面積の筒状の第１の液体
容器（水柱管１３または液柱管１３Ｆ）の底部と、同じ
くほぼ直立に保たれて前記液体と同じ液体を保持し、前
記断面積より大きく軸方向に等断面積を持つ筒状の第２
の液体容器（水槽６またはオイル槽６Ｆ）の底部とを屈
曲可能な管路（伸縮式Ｕ字管８または８Ｆ）で連結して
Ｕ字管を構成し、前記第１，第２の液体容器内の液面の
上部の空気を大気開放弁３ａ，３ｂを介し大気に開放し
てこの２つの容器の液面の高さを一致させたのち、前記
第１の液体容器内の上部空気を大気開放弁３ｂを介し大
気側からしゃ断して受圧対象機器（被試験品ＵＴなど）
および基準の差圧計（精密微差圧計１４または１４Ｆ）
の夫々の一方の受圧側（正圧側など）に導き、次に前記
第２の液体容器内の上部空気、ならびに前記受圧対象機
器および差圧計の夫々の他方の受圧側（負圧側など）を
大気に開放したまま、前記第２の液体容器を垂直方向の
位置決め制御が可能な昇降手段（ロボット５または５
Ａ，コントローラ７など）を介して垂直方向に移動さ
せ、前記受圧対象機器に対する目標の差圧を発生させる
ようにし、

【００２０】請求項２に関わる発明によれば、請求項１
に記載の微差圧安定発生方法において、前記受圧対象機
器への目標圧力の発生後、必要に応じ、大気開放弁３ａ
を介し前記第２の液体容器内の上部空気、ならびに前記
受圧対象機器および差圧計の夫々の他方の受圧側を大気
からしゃ断するようにし、

【００２１】請求項３に関わる発明によれば、請求項１
に記載の微差圧安定発生方法において、前記昇降手段の
位置決め制御は、前記第１，第２の液体容器の液面の高
さの一致した位置からの前記第２の液体容器の移動高
（コントローラ７に対する移動指令値）と、標準抵抗器
１６，電圧測定器１９などを介して検出されたこの移動
高に対応する前記差圧計の検出差圧と、図外のキーボー
ドなどを介して操作入力された目標とする差圧と、同じ
く図外のキーボードなどを介して操作入力された前記液
体の比重とに基づいて前記昇降手段の補正移動高を演算
するパソコン１０を介して行われるようにし、また、

【００２２】請求項４に関わる発明によれば、請求項１
または請求項２に記載の微差圧安定発生方法において、
前記第１，第２の液体容器の上部空気の通路のしゃ断ま
たは切換は空気作動式の大気開放弁３ａ，３ｂ，発生圧
出口切換え３方弁２ａ，２ｂなどを介して行われるよう
にしたので、以下のような効果を得ることができる。

【００２３】水柱またはオイル柱のヘッド差によって圧
力を発生しているためサーボバルブを用いた従来の圧力
発生装置の様な圧力脈動が階無で安定した微差圧が得ら
れる。図１，図２の実施例では最大１００ｍｍＨ₂ Ｏ，
分解能０．００５ｍｍＨ₂ Ｏ、また図３，図４の実施例
では最大６００ｍｍＨ₂ Ｏの発生圧力，分解能０．０１
ｍｍＨ₂ Ｏを得ている。さらに基準圧配管の大気開放バ
ルブを圧力発生後、閉とする事で、精密微差圧計と被試
験品との圧力配管内の気体が大気と遮断され、試験室内
での人の移動および出入口のドアの開・閉による圧力変
動（０．３〜３ｍｍＨ₂ Ｏ）の影響を受ける事なく、精
密な試験ができる。この時、大気開放弁にボールバルブ
を採用しているため、閉動作を実行しても、基準室側配
管内の気体を移動させる事が無く、発生した圧力を変化
させない。

【００２４】また本発明における発生圧力の温度変化に
ついては、従来の場合（図８）のように発生圧側の空気
が定容積状態に閉じ込められる訳ではなく、この空気の
容積および圧力の変化によって水柱管１３または液柱管
１３Ｆの液面レベルが変化し、この変化した液面レベル
と液槽６または６Ｆの液面レベルとの結果として生ずる
レベル差の変化がこの圧力変化となって、圧力変化が緩
和される。例えば図１の場合、水柱管１３の内径Φｄを
１０ｍｍ、水槽６の内径ΦＤを１２２．５ｍｍとした事
により、図９に示した温度変化による発生圧力の変化は
従来の１／１５とする効果が得られ、一層の安定した圧
力を供給できる。さらに発生圧側配管および基準圧側配
管を構成する弁には空気作動式の弁を採用したため、電
磁弁の様な自己発熱作用がなく、配管内の気体の温度を
変化させない。

【００２５】また図３，図４の実施例のように水とフッ
素オイルを用いた２連式のＵ字管構成とする事で図１，
図２の水のみを用いた単式の場合に比べ、同一の圧力を
得る場合、ロボットの動作範囲を１／２とする事が可能
で、装置の大きさを半減することができる。また同一圧
力を発生させる場合、被試験品の台数の変化から生じる
発生圧側配管の容量変化および被試験品の温度差による
供給気体の膨張・収縮によって持ち上げるべき水槽の移
動量が異なるが、これを実施例に記載した制御方法を用
いる事により目標とする圧力発生を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例としての構成の下半部を
示す図

【図２】本発明の第１の実施例としての構成の上半部を
示す図

【図３】本発明の第２の実施例としての構成の下半部を
示す図

【図４】本発明の第２の実施例としての構成の上半部を
示す図

【図５】従来の圧力発生装置の一例を示す図

【図６】従来の圧力発生装置の他の例を示す図

【図７】図５，図６の装置の圧力脈動率特性を示す図

【図８】圧力脈動を除くための従来の構成例を示す図

【図９】図８に対応する圧力変化特性の例を示す図

【符号の説明】 ０１ 微差圧安定発生装置 ０１Ａ 広域微差圧安定発生装置 ＵＴ 被試験品 １ａ 発生圧出口 １ｂ 発生圧出口 ２ａ 発生圧出口切換え３方弁 ２ｂ 発生圧出口切換え３方弁 ２ｃ 発生圧系統切換え３方弁 ２ｄ 発生圧系統切換え３方弁 ３ａ 大気開放弁 ３ｂ 大気開放弁 ４ａ 発生圧側配管 ４Ｆａ 発生圧側配管 ４ｂ 基準圧側配管 ４Ｆｂ 基準圧側配管 ５ ロボット ５Ａ ロボット ６ 水槽 ６Ｆ オイル槽 ６ａ 水 ６Ｆａ フッ素オイル ７ コントローラ ８ 伸縮式Ｕ字管 ８Ｆ 伸縮式Ｕ字管 ９ 取付フレーム ９Ａ 取付フレーム １０ パソコン １１ シリアル伝送ライン １３ 水柱管 １３Ｆ 液柱管 １４ 精密微差圧計 １４Ｆ 精密微差圧計 １５ 直流安定化電源 １６ 標準抵抗器 １６Ｆ 標準抵抗器 ＲＹ１ 切換リレー ＲＹ２ 切換リレー １７ 継電器 １９ 電圧測定器 ２０ パラレル伝送ライン

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】大気圧に対する微差圧を発生する方法であ
   って、 ほぼ直立に固定されて液体を保持する、軸方向に等断面
   積の筒状の第１の液体容器の底部と、 同じくほぼ直立に保たれて前記液体と同じ液体を保持
   し、前記断面積より大きく軸方向に等断面積を持つ筒状
   の第２の液体容器の底部とを屈曲可能な管路で連結して
   Ｕ字管を構成し、 前記第１，第２の液体容器内の液面の上部の空気を大気
   に開放してこの２つの容器の液面の高さを一致させたの
   ち、前記第１の液体容器内の上部空気を大気側からしゃ
   断して受圧対象機器および基準の差圧計の夫々の一方の
   受圧側に導き、 次に前記第２の液体容器内の上部空気、ならびに前記受
   圧対象機器および差圧計の夫々の他方の受圧側を大気に
   開放したまま、前記第２の液体容器を垂直方向の位置決
   め制御が可能な昇降手段を介して垂直方向に移動させ、
   前記受圧対象機器に対する目標の差圧を発生させること
   を特徴とする微差圧安定発生方法。
2. 【請求項２】請求項１に記載の微差圧安定発生方法にお
   いて、前記受圧対象機器への目標圧力の発生後、必要に
   応じ、前記第２の液体容器内の上部空気、ならびに前記
   受圧対象機器および差圧計の夫々の他方の受圧側を大気
   からしゃ断するようにしたことを特徴とする微差圧安定
   発生方法。
3. 【請求項３】請求項１に記載の微差圧安定発生方法にお
   いて、前記昇降手段の位置決め制御は、前記第１，第２
   の液体容器の液面の高さの一致した位置からの前記第２
   の液体容器の移動高と、この移動高に対応する前記差圧
   計の検出差圧と、目標とする差圧と、前記液体の比重と
   に基づいて前記昇降手段の補正移動高を演算する手段を
   介して行われるようにしたことを特徴とする微差圧安定
   発生方法。
4. 【請求項４】請求項１または請求項２に記載の微差圧安
   定発生方法において、前記第１，第２の液体容器の上部
   空気の通路のしゃ断または切換は空気作動式の弁を介し
   て行われるようにしたことを特徴とする微差圧安定発生
   方法。