JPH05107568A - Optical switch - Google Patents
Optical switchInfo
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- JPH05107568A JPH05107568A JP26460491A JP26460491A JPH05107568A JP H05107568 A JPH05107568 A JP H05107568A JP 26460491 A JP26460491 A JP 26460491A JP 26460491 A JP26460491 A JP 26460491A JP H05107568 A JPH05107568 A JP H05107568A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/31—Digital deflection, i.e. optical switching
- G02F1/313—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
- G02F1/3132—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure of directional coupler type
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、小型にして低駆動電圧
であり、しかも低損失かつ製作性のよい光スイッチに関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical switch which is small in size, low in driving voltage, low in loss and easy to manufacture.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の光スイッチの一例の斜視
図を図６に示す。図７はその上面図、図８は図６におけ
るＡ−Ａ′線での断面図を示す。2. Description of the Related Art FIG. 6 shows a perspective view of an example of a conventional optical switch of this type. FIG. 7 is a top view thereof, and FIG. 8 is a sectional view taken along line AA ′ in FIG.
【０００３】図中、１はｐ側Ａｕ電極、２はｐ+ −Ｉｎ
ＧａＡｓキャップ、３はｐ−ＩｎＰクラッド、４はｉ−
ＩｎＰ、５はＭＱＷコア、６はｎ−ＩｎＰクラッド、７
はｎ−ＩｎＰ基板、８はｎ側Ａｕ電極である。なお、Ｍ
ＱＷコア５を構成するウェル層／バリア層は、例えばＩ
ｎＧａＡｌＡｓ／ＩｎＡｌＡｓである。さらに、１００
Ａおよび１００Ｂは入力用光導波路、２００は３ｄＢカ
ップラ部、３００Ａおよび３００Ｂは位相変調部、４０
０は３ｄＢカップラ部、５００Ａおよび５００Ｂは出力
用光導波路である。In the figure, 1 is a p-side Au electrode, 2 is p + -In
GaAs cap, 3 is p-InP clad, 4 is i-
InP, 5 is MQW core, 6 is n-InP clad, 7
Is an n-InP substrate, and 8 is an n-side Au electrode. In addition, M
The well layer / barrier layer forming the QW core 5 is, for example, I
nGaAlAs / InAlAs. In addition, 100
A and 100B are input optical waveguides, 200 is a 3 dB coupler section, 300A and 300B are phase modulation sections, 40
Reference numeral 0 is a 3 dB coupler section, and 500A and 500B are output optical waveguides.
【０００４】ここで、Ａ−Ａ′線断面における導波光の
パワー分布は図８に示しているようになり、マッハツェ
ンダ部を構成している位相変調部３００Ａおよび３００
Ｂの２本の光導波路間の結合を疎にするために、これら
導波路間のギャップを広くする方法をとっている（例え
ば、１０μｍ程度）。従って、３ｄＢカップラ部２０
０，４００と位相変調部３００Ａおよび３００Ｂの２本
の光導波路とは曲率を有する光導波路で接続されてい
る。Here, the power distribution of the guided light in the cross section taken along the line AA 'is as shown in FIG. 8, and the phase modulation sections 300A and 300 constituting the Mach-Zehnder section.
In order to loosen the coupling between the two optical waveguides of B, a method of widening the gap between these waveguides is adopted (for example, about 10 μm). Therefore, the 3 dB coupler section 20
0, 400 and the two optical waveguides of the phase modulation sections 300A and 300B are connected by an optical waveguide having a curvature.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、この曲率が
小さいと、曲げによる放射損失の影響のため、損失が大
きくなるので、通常は曲率半径を数ｍｍに設定する。従
って、この接続のための曲率導波路の全長も数ｍｍとな
り、スイッチ全体の長さが長くなるという欠点があっ
た。また、３ｄＢカップラ部２００，４００付近の曲率
を有する光導波路間でも結合が生じており、これら３ｄ
Ｂカップラ部２００，４００の長さの設定および製作の
トレランスが厳しいという欠点があった。However, if this curvature is small, the loss becomes large due to the effect of radiation loss due to bending, so the radius of curvature is usually set to several mm. Therefore, the total length of the curvature waveguide for this connection is several mm, and there is a drawback that the length of the entire switch becomes long. In addition, coupling also occurs between optical waveguides having a curvature near the 3 dB couplers 200 and 400.
The B couplers 200, 400 have a drawback that the tolerances of setting the length and manufacturing are strict.
【０００６】以上の点に鑑み、本発明の主な目的は、マ
ッハツェンダ光導波路を構成する２本の位相変調用光導
波路間に溝を配置し、以て両光導波路間の結合を疎にす
ることによって、２本の位相変調用光導波路間のギャッ
プを小さくし、光スイッチの全長を短くすること、３ｄ
Ｂカップラ部の長さを、それを構成する部分の直線光導
波路の長さよりも短くすることによって製作上のトレラ
ンスを緩和することのできる光スイッチを提供すること
にある。In view of the above points, a main object of the present invention is to dispose a groove between two phase modulation optical waveguides forming a Mach-Zehnder optical waveguide, thereby making the coupling between the optical waveguides sparse. By doing so, the gap between the two optical waveguides for phase modulation can be reduced, and the total length of the optical switch can be shortened.
An object of the present invention is to provide an optical switch that can reduce manufacturing tolerance by making the length of the B coupler portion shorter than the length of the linear optical waveguide of the portion that constitutes the B coupler portion.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、位相差を生じさせる２本の位相変
調用光導波路と、該光導波路の前後に配置された２つの
３ｄＢカップラ部とを有するマッハツェンダ形光スイッ
チにおいて、前記２本の位相変調用光導波路間に溝を配
置して、前記２本の位相変調用光導波路間の結合を疎に
したことを特徴とする。In order to achieve such an object, the present invention provides two phase-modulating optical waveguides that cause a phase difference and two 3 dB arranged before and after the optical waveguides. In a Mach-Zehnder type optical switch having a coupler section, a groove is arranged between the two phase modulation optical waveguides to loosen the coupling between the two phase modulation optical waveguides.
【０００８】請求項２記載の本発明は、請求項１記載の
光スイッチにおいて、前記溝を、前記２本の位相変調用
光導波路間のコア層に達する深さに形成したことを特徴
とする。According to a second aspect of the present invention, in the optical switch according to the first aspect, the groove is formed to a depth reaching the core layer between the two phase modulation optical waveguides. ..
【０００９】請求項３記載の本発明は、請求項１または
２記載の光スイッチにおいて、前記３ｄＢカップラ部と
前記２本の位相変調用光導波路とを直線光導波路で結合
したことを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the optical switch according to the first or second aspect, the 3 dB coupler section and the two optical waveguides for phase modulation are coupled by a linear optical waveguide. ..
【００１０】請求項４記載の本発明は、請求項１ないし
３のいずれかの項に記載の光スイッチにおいて、前記３
ｄＢカップラ部と前記２本の位相変調用光導波路との間
に曲率を有する光導波路を配置したことを特徴とする。The present invention according to claim 4 provides the optical switch according to any one of claims 1 to 3, wherein:
An optical waveguide having a curvature is arranged between the dB coupler and the two optical waveguides for phase modulation.
【００１１】請求項５記載の本発明は、請求項１ないし
４のいずれかの項に記載の光スイッチにおいて、前記３
ｄＢカップラ部の近傍の、曲率を有する光導波路の近傍
に、前記溝を配設して、当該曲率を有する光導波路間の
結合を疎にしたことを特徴とする。The present invention according to claim 5 provides the optical switch according to any one of claims 1 to 4, wherein:
The groove is arranged near the optical waveguide having a curvature in the vicinity of the dB coupler to loosen the coupling between the optical waveguides having the curvature.
【００１２】請求項６記載の本発明は、請求項１ないし
５のいずれかの項に記載の光スイッチにおいて、前記３
ｄＢカップラ部の近傍の、直線光導波路の長さを、前記
３ｄＢカップラ部の長さよりも長くすることにより、前
記３ｄＢカップラ部の製作時におけるマスク合わせのト
レランスを向上させるようにしたことを特徴とする。The present invention according to claim 6 provides the optical switch according to any one of claims 1 to 5, wherein
By making the length of the linear optical waveguide in the vicinity of the dB coupler section longer than the length of the 3 dB coupler section, it is possible to improve the tolerance of mask alignment at the time of manufacturing the 3 dB coupler section. To do.
【００１３】請求項７記載の本発明は、請求項１ないし
６のいずれかの項に記載の光スイッチにおいて、前記３
ｄＢカップラ部と前記２本の位相変調用光導波路との各
中心軸を互いに基板表面に平行な方向に位置的にオフセ
ットさせて配置したことを特徴とする。The present invention according to claim 7 is the optical switch according to any one of claims 1 to 6, wherein
It is characterized in that the central axes of the dB coupler section and the two optical waveguides for phase modulation are offset from each other in a direction parallel to the substrate surface.
【００１４】[0014]
【作用】本発明では、マッハツェンダ光導波路を構成す
る２本の位相変調用光導波路間に溝を配置し、両光導波
路間の結合を疎にすることによって２本の位相変調用光
導波路間のギャップを小さくでき、その結果、光スイッ
チの全長を短くできること、および３ｄＢカップラ部の
長さをそれを構成する部分の直線光導波路の長さよりも
短くすることによって、製作上のトレランスを緩和する
ことができる。また、３ｄＢカップラ部と２本の位相変
調用光導波路とを互いに基板表面に平行な方向にオフセ
ットさせることにより、３ｄＢカップラ部と２本の位相
変調用光導波路との結合損失を低減させることができ
る。According to the present invention, a groove is arranged between the two phase modulation optical waveguides forming the Mach-Zehnder optical waveguide, and the coupling between the two optical waveguides is made sparse to thereby provide a space between the two phase modulation optical waveguides. The gap can be made small, and as a result, the total length of the optical switch can be shortened, and the manufacturing tolerance can be relaxed by making the length of the 3 dB coupler part shorter than the length of the straight optical waveguide of the part that constitutes it. You can Further, by offsetting the 3 dB coupler section and the two phase modulation optical waveguides in a direction parallel to the substrate surface, it is possible to reduce the coupling loss between the 3 dB coupler section and the two phase modulation optical waveguides. it can.
【００１５】[0015]
【実施例】以下に図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１６】図１は本発明の第１の実施例の構成を示す
斜視図、図２はその上面図、図３は図１のＢ−Ｂ′線に
おける断面図、図４は図１のＣ−Ｃ′線における断面図
である。ここで、図６〜図８と同様の個所には同一符号
を付して、その詳細説明は省略する。FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a top view thereof, FIG. 3 is a sectional view taken along the line BB 'of FIG. 1, and FIG. It is a sectional view taken along the line -C '. Here, the same parts as those in FIGS. 6 to 8 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００１７】図１および図２からわかるように、本発明
では３ｄＢカップラ部２００および４００を構成する２
本の光導波路とマッハツェンダ部を構成する２つの位相
変調部３００Ａおよび３００Ｂとが直線光導波路でつな
がって構成されている。これら位相変調部３００Ａおよ
び３００Ｂの２本の光導波路はマッハツェンダを構成す
るため、それらの間での光結合を抑圧せねばならない。
そのため、これら２本の位相変調用光導波路の間の結合
を疎にする必要があり、本実施例では、図３の断面図に
よく示されているように、コア５の部分に至るまで層４
および５にエッチングにより切込溝１０を該設する。As can be seen from FIG. 1 and FIG. 2, in the present invention, 2 which constitutes the 3 dB coupler sections 200 and 400.
The optical waveguide of the book and the two phase modulators 300A and 300B forming the Mach-Zehnder section are connected by a linear optical waveguide. Since the two optical waveguides of the phase modulators 300A and 300B form a Mach-Zehnder, the optical coupling between them must be suppressed.
Therefore, it is necessary to loosen the coupling between these two phase modulation optical waveguides. In this embodiment, as shown in the cross-sectional view of FIG. Four
The cut grooves 10 are provided in the grooves 5 and 5 by etching.
【００１８】なお、３ｄＢカップラ部２００および４０
０と２本の位相変調部３００Ａおよび３００Ｂとを曲率
を有する光導波路で接続することもでき、この場合に
は、２本の位相変調用光導波路間のギャップが従来形と
まではいかずとも、比較的広いので、溝１０をコア５の
深さまでエッチングで切込む必要はなく、ｉ−ＩｎＰ層
４の直下まで、もしくはその途中の深さまでエッチング
すればよい。The 3 dB couplers 200 and 40
It is also possible to connect 0 and the two phase modulation sections 300A and 300B by an optical waveguide having a curvature. In this case, even if the gap between the two phase modulation optical waveguides is not the conventional type, Since it is relatively wide, it is not necessary to cut the groove 10 to the depth of the core 5 by etching, and it is sufficient to etch the groove 10 directly below the i-InP layer 4 or to a depth in the middle thereof.
【００１９】さらに、図２や図４からわかるように、本
実施例では、３ｄＢカップラ部２００および４００以外
の部分にもエッチングにより溝１１および１２が形成さ
れており、３ｄＢカップラ部２００，４００の長さＬ
3dB よりも直線導波路の部分の長さＬを長くしているの
で、光導波路の長手方向におけるマスク合わせのトレラ
ンスが大変緩い。これら溝１１および１２を設けない
と、３ｄＢカップラ部２００，４００に近接する位置の
光導波路、すなわち、互いに近接し合っている光導波路
間で光結合がなされる。この点に鑑みて、少なくとも３
ｄＢカップラ部２００，４００に近接する部分には溝１
１，１２を設ける必要がある。Further, as can be seen from FIG. 2 and FIG. 4, in this embodiment, the grooves 11 and 12 are formed by etching also in the portions other than the 3 dB coupler portions 200 and 400, and the 3 dB coupler portions 200 and 400 are formed. Length L
Since the length L of the straight waveguide portion is longer than 3 dB, the tolerance of mask alignment in the longitudinal direction of the optical waveguide is very loose. If these grooves 11 and 12 are not provided, optical coupling is performed between the optical waveguides at positions close to the 3 dB coupler units 200 and 400, that is, the optical waveguides close to each other. In view of this point, at least 3
The groove 1 is provided in the portion close to the dB couplers 200 and 400.
It is necessary to provide 1 and 12.
【００２０】なお、本実施例においては溝１０の方が溝
１１および１２より深いが、これら溝１０，１１および
１２を同じ深さまでエッチングすることにしておけば、
１回のエッチング処理ですべての溝１０〜１２を形成で
きるので、スイッチの製作性が向上する。Although the groove 10 is deeper than the grooves 11 and 12 in this embodiment, if the grooves 10, 11 and 12 are etched to the same depth,
Since all the grooves 10 to 12 can be formed by one etching process, the manufacturability of the switch is improved.
【００２１】また、図３からわかるように、本発明で
は、位相変調部３００Ａおよび３００Ｂの２本の光導波
路間に溝１０を設けて結合を疎にするので、光導波路を
伝搬する導波光の強度分布のピークの位置が導波路の中
心よりも外側に位置することになる。一方、３ｄＢカッ
プラ部２００および４００を伝搬する導波光の強度分布
のピークの位置は導波路のほぼ中心にあるので、結合損
失の点からは好ましくない。Further, as can be seen from FIG. 3, in the present invention, since the groove 10 is provided between the two optical waveguides of the phase modulators 300A and 300B to loosen the coupling, the guided light propagating through the optical waveguides is The position of the peak of the intensity distribution is located outside the center of the waveguide. On the other hand, the position of the peak of the intensity distribution of the guided light propagating through the 3 dB couplers 200 and 400 is substantially at the center of the waveguide, which is not preferable in terms of coupling loss.
【００２２】この点を考慮して、図５に示す本発明の第
２の実施例では、２本の位相変調用光導波路と３ｄＢカ
ップラ部２００および４００の各中心軸線を互いに基板
表面に平行な方向において長さＯＳだけオフセットさせ
ることにより、３ｄＢカップラ部２００および４００を
伝搬する導波光と位相変調部３００Ａおよび３００Ｂの
光導波路を伝搬する導波光との結合損失を低減させるこ
とができる。In consideration of this point, in the second embodiment of the present invention shown in FIG. 5, the center axes of the two phase modulation optical waveguides and the 3 dB couplers 200 and 400 are parallel to the substrate surface. By offsetting the length OS in the direction, it is possible to reduce the coupling loss between the guided light propagating through the 3 dB coupler units 200 and 400 and the guided light propagating through the optical waveguides of the phase modulation units 300A and 300B.
【００２３】なお、本発明ではマッハツェンダ光導波路
を構成する２本の位相変調用光導波路間に溝を配設し、
これら光導波路間の結合を疎にすることによって、２本
の位相変調用光導波路間のギャップを小さくでき、従っ
て、光スイッチの全長を短くできること、および３ｄＢ
カップラ部の長さをそれを構成する部分の直線光導波路
の長さよりも短くすることによって製作のトレランスを
緩和することなどをその動作原理としている。従って、
本発明は、ＭＱＷとして、ここで述べたＩｎＧａＡｌＡ
ｓウェルやＩｎＡｌＡｓバリアのみではなく、ＩｎＧａ
ＡｓＰウェルやＩｎＰバリアなどを用いてもよく、ＭＱ
Ｗの組成に依存するものではない。さらに、ｐ−クラッ
ドやｎ−クラッドの材料として何を用いてもよい。その
結果、本発明は半導体以外の材料、例えば石英光導波路
を用いた光スイッチやマッハツェンダ形の機能デバイス
にも適用可能である。In the present invention, a groove is provided between the two phase modulation optical waveguides constituting the Mach-Zehnder optical waveguide,
By making the coupling between these optical waveguides sparse, the gap between the two optical waveguides for phase modulation can be reduced, and therefore the total length of the optical switch can be shortened, and 3 dB.
The operating principle is to reduce the manufacturing tolerance by making the length of the coupler portion shorter than the length of the linear optical waveguide of the portion forming the coupler portion. Therefore,
The present invention refers to the InGaAlA described herein as MQW.
InGa as well as s-well and InAlAs barriers
AsP well or InP barrier may be used, and MQ
It does not depend on the composition of W. Further, any material may be used as the material for the p-clad and the n-clad. As a result, the present invention can be applied to materials other than semiconductors, for example, optical switches using a quartz optical waveguide and Mach-Zehnder type functional devices.
【００２４】なお、図面では省略したが、３ｄＢカップ
ラ部に３ｄＢ分配用電極を形成してもよい。Although not shown in the drawing, a 3 dB distribution electrode may be formed in the 3 dB coupler.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上のように、本発明では、マッハツェ
ンダ光導波路を構成する２本の位相変調用光導波路間に
溝を配設し、これら光導波路間の結合を疎にすることに
よって、２本の位相変調用光導波路間のギャップを小さ
くでき、従って光スイッチの全長を短くでき、３ｄＢカ
ップラ部の長さを、それを構成する部分の直線光導波路
の長さよりも短くすることによって製作のトレランスを
緩和でき、および３ｄＢカップラ部と２本の位相変調用
光導波路との各中心軸を互いに基板表面に平行な方向に
オフセットさせることにより、３ｄＢカップラ部と２本
の位相変調用光導波路との結合損失を低減できるなどの
効果を有する。As described above, according to the present invention, the groove is provided between the two phase modulation optical waveguides forming the Mach-Zehnder optical waveguide, and the coupling between these optical waveguides is made sparse. The gap between the optical waveguides for phase modulation of the book can be made small, and therefore the total length of the optical switch can be shortened, and the length of the 3 dB coupler can be made shorter than the length of the straight optical waveguide of the part that constitutes it. The tolerance can be relaxed, and the central axes of the 3 dB coupler and the two phase modulating optical waveguides are offset from each other in the direction parallel to the surface of the substrate, so that the 3 dB coupler and the two phase modulating optical waveguides can be formed. This has the effect of reducing the coupling loss of.
【図１】本発明の第１の実施例の構成を示す斜視図であ
る。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a first exemplary embodiment of the present invention.
【図２】図１に示した本発明第１実施例の上面図であ
る。FIG. 2 is a top view of the first embodiment of the present invention shown in FIG.
【図３】図１におけるＢ−Ｂ′線での断面図である。3 is a sectional view taken along line BB ′ in FIG.
【図４】図１におけるＣ−Ｃ′線での断面図である。4 is a cross-sectional view taken along the line CC ′ in FIG.
【図５】本発明の第２の実施例の構成を示す上面図であ
る。FIG. 5 is a top view showing the configuration of the second exemplary embodiment of the present invention.
【図６】従来の光スイッチの一例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an example of a conventional optical switch.
【図７】図６に示した光スイッチの上面図である。7 is a top view of the optical switch shown in FIG.
【図８】図６におけるＡ−Ａ′線での断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG.
１ ｐ側Ａｕ電極 ２ ｐ+ −ＩｎＧａＡｓキャップ ３ ｐ−ＩｎＰクラッド ４ ｉ−ＩｎＰ ５ ＭＱＷコア ６ ｎ−ＩｎＰクラッド ７ ｎ−ＩｎＰ基板 ８ ｎ側Ａｕ電極 １０ 溝 １１ 溝 １２ 溝 １００Ａ，１００Ｂ 入力用光導波路 ２００ ３ｄＢカップラ部 ３００Ａ，３００Ｂ 位相変調部 ４００ ３ｄＢカップラ部 ５００Ａ，５００Ｂ 出力用光導波路1 p-side Au electrode 2 p + -InGaAs cap 3 p-InP clad 4 i-InP 5 MQW core 6 n-InP clad 7 n-InP substrate 8 n-side Au electrode 10 groove 11 groove 12 groove 100A, 100B Input light Waveguide 200 3dB coupler 300A, 300B Phase modulator 400 3dB coupler 500A, 500B Output optical waveguide
Claims (7)
導波路と、該光導波路の前後に配置された２つの３ｄＢ
カップラ部とを有するマッハツェンダ形光スイッチにお
いて、前記２本の位相変調用光導波路間に溝を配置し
て、前記２本の位相変調用光導波路間の結合を疎にした
ことを特徴とする光スイッチ。1. Two optical waveguides for phase modulation which cause a phase difference, and two 3 dB arranged in front of and behind the optical waveguide.
In a Mach-Zehnder type optical switch having a coupler section, a groove is arranged between the two phase modulation optical waveguides to loosen the coupling between the two phase modulation optical waveguides. switch.
記溝を、前記２本の位相変調用光導波路間のコア層に達
する深さに形成したことを特徴とする光スイッチ。2. The optical switch according to claim 1, wherein the groove is formed to a depth reaching a core layer between the two optical waveguides for phase modulation.
いて、前記３ｄＢカップラ部と前記２本の位相変調用光
導波路とを直線光導波路で結合したことを特徴とする光
スイッチ。3. The optical switch according to claim 1, wherein the 3 dB coupler section and the two optical waveguides for phase modulation are coupled by a linear optical waveguide.
の光スイッチにおいて、前記３ｄＢカップラ部と前記２
本の位相変調用光導波路との間に曲率を有する光導波路
を配置したことを特徴とする光スイッチ。4. The optical switch according to claim 1, wherein the 3 dB coupler section and the 2
An optical switch characterized in that an optical waveguide having a curvature is arranged between the optical waveguide for phase modulation of a book.
の光スイッチにおいて、前記３ｄＢカップラ部の近傍
の、曲率を有する光導波路の近傍に、前記溝を配設し
て、当該曲率を有する光導波路間の結合を疎にしたこと
を特徴とする光スイッチ。5. The optical switch according to claim 1, wherein the groove is provided near the optical waveguide having a curvature near the 3 dB coupler, and the curvature is reduced. An optical switch characterized in that the coupling between the optical waveguides included therein is sparse.
の光スイッチにおいて、前記３ｄＢカップラ部の近傍
の、直線光導波路の長さを、前記３ｄＢカップラ部の長
さよりも長くすることにより、前記３ｄＢカップラ部の
製作時におけるマスク合わせのトレランスを向上させる
ようにしたことを特徴とする光スイッチ。6. The optical switch according to claim 1, wherein the length of the linear optical waveguide near the 3 dB coupler section is longer than the length of the 3 dB coupler section. An optical switch characterized in that the tolerance of mask alignment at the time of manufacturing the 3 dB coupler is improved.
の光スイッチにおいて、前記３ｄＢカップラ部と前記２
本の位相変調用光導波路との各中心軸を互いに基板表面
に平行な方向に位置的にオフセットさせて配置したこと
を特徴とする光スイッチ。7. The optical switch according to claim 1, wherein the 3 dB coupler unit and the 2
An optical switch characterized in that the respective central axes of the phase modulation optical waveguide and the phase modulation optical waveguide of the book are arranged offset from each other in a direction parallel to the substrate surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26460491A JPH05107568A (en) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | Optical switch |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26460491A JPH05107568A (en) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | Optical switch |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05107568A true JPH05107568A (en) | 1993-04-30 |
Family
ID=17405630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26460491A Pending JPH05107568A (en) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | Optical switch |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05107568A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000072062A1 (en) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | British Telecommunications Public Limited Company | Planar optical waveguides with grooves |
| GB2383424A (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-25 | Marconi Optical Components Ltd | Photonic integrated device |
| US8538207B2 (en) | 2007-04-16 | 2013-09-17 | University Of Southampton | Method of fabricating waveguide devices which use evanescent coupling between waveguides and grooves |
| US20220091446A1 (en) * | 2020-09-24 | 2022-03-24 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Optical coupler |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP26460491A patent/JPH05107568A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000072062A1 (en) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | British Telecommunications Public Limited Company | Planar optical waveguides with grooves |
| GB2383424A (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-25 | Marconi Optical Components Ltd | Photonic integrated device |
| GB2383424B (en) * | 2001-11-30 | 2004-12-22 | Marconi Optical Components Ltd | Photonic integrated device |
| US7035486B2 (en) | 2001-11-30 | 2006-04-25 | Bookham Technology, Plc | Photonic integrated device |
| US8538207B2 (en) | 2007-04-16 | 2013-09-17 | University Of Southampton | Method of fabricating waveguide devices which use evanescent coupling between waveguides and grooves |
| US20220091446A1 (en) * | 2020-09-24 | 2022-03-24 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Optical coupler |
| US11630334B2 (en) * | 2020-09-24 | 2023-04-18 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Optical coupler |
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