JPH05104421A - 超音波加工装置の電歪振動子制御回路 - Google Patents

超音波加工装置の電歪振動子制御回路

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JPH05104421A
JPH05104421A JP3290685A JP29068591A JPH05104421A JP H05104421 A JPH05104421 A JP H05104421A JP 3290685 A JP3290685 A JP 3290685A JP 29068591 A JP29068591 A JP 29068591A JP H05104421 A JPH05104421 A JP H05104421A
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JP
Japan
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circuit
phase difference
output
electrostrictive
light
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JP3290685A
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English (en)
Inventor
Seiji Kato
誠二 加藤
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Nippon Electric Industry Co Ltd
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Nippon Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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  • Knives (AREA)
  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 振動子に検出器を接着するのに伴って発生す
る接着剤からの検出器の剥離が防止できると共にその剥
離に伴う異音の発生を防止する。また、各種工具を交換
しても最適な周波数の調整を行うことができる。 【構成】 この発明の超音波加工装置の電歪振動子制御
回路は、位相差回路から基準発振回路に出力する位相差
信号を入力し抵抗値を変化させて周波数を変更させるた
めCdsホトカプラを使用しており、初期設定した基準
周波数に対し特定範囲(例えば±3KHz前後)におい
ては、位相差信号によってCdsホトカプラの抵抗値を
変化させて周波数の変更を行い常時電圧振動子を自動的
に共振状態で動作することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、水晶振動子等の電歪
振動子を用いてヤスリやカッタ等の工具を微小振動させ
て被加工物を加工する超音波加工装置に係り、特にその
加工に用いる工具の種類や工具形状の変化したものに応
じて電歪振動子を適正に調整する超音波加工装置の電歪
振動子制御回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】超音波を効率的に利用して被加工物の加
工や溶接を行うため、振動子として電歪振動子(例えば
PZT)を用い、この振動子に振動振幅拡大用のホーン
を接合した超音波加工機や超音波溶接機(以下超音波加
工装置とよぶ)が提案されている。この超音波加工装置
には、励振のために発振周波数が振動系の共振周波数に
自動的に追尾する、振動帰還形発振器を用いることがで
きる。
【0003】例えばこのようなものとして、図18に示
すように、振動子100にホーン101を接合して振動
系を構成するとともに、振動子100に電歪素子を振動
検出器102として接着し、この検出器102により振
動速度に比例した出力を取出し、これを帰還電圧として
振幅制限回路103を経て増幅部における可変増幅度増
幅器104入力端に正帰還させて発振させ、同時に振動
系の負荷変動に拘わらず振動速度を一定に保持するため
に帰還電圧の一部を検波回路105で整流し、これを基
準電圧と比較してその差の電圧を可変増幅度増幅器10
4に加えて一種の整列負帰還を行い、振動振幅が一定と
なるよう制御した構成のものがある。
【0004】そして、この回路構成のものは、検波回路
105の後段に増幅器106を設けており、この増幅器
106の後段の時定数回路107はハンチングを防止す
るためのものである。また増幅部にはバンドパスフィル
タ108及び電力増幅器109を備えている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構成の発振制御回路の場合には、振動子100とは別に
検出器102を用い、これを振動子100に接着させた
構成となっているので、接着部分が振動のために熱を生
じ、剥離し易いので、特殊な接着剤等が必要となる。ま
た、その接着部分にすきまを生じ、異音が生ずるおそれ
もある。
【0006】さらに、このような構成のものでは、超音
波加工機のようなものに使用する場合、例えば工具を変
更するようなときにそれに合せて自動追尾するのに最適
な固有振波数に調整する必要がある。ところが、その調
整可能な周波数幅がそれ程広くなく、そのため専用のも
のを別途用意する等の措置が必要となる場合も考えられ
る。
【0007】そこで、この発明は、上記した欠点に鑑
み、振動検出器を特に必要とせず、このため振動子に検
出器を接着しなくともすみ、従って検出器の剥離や異音
の発生が防止できる超音波加工装置の電歪振動子制御回
路を提供することを目的とするものである。また、この
発明は、各種工具を交換して使用する際に固有周波数の
調整幅を広く設定でき、しかも工具に合せて最適な周波
数の微調整を容易に行うこともできる超音波加工装置の
電歪振動子制御回路を提供することを目的とするもので
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は、基準
周波数の正弦波信号を発振すると共に、共振周波数の調
整のための基準電圧を出力する基準発振回路と、この基
準発振回路から出力する正弦波の振幅を増大させる増幅
回路と、この増幅回路からの正弦波を入力してヤヤスリ
やカッタ等の工具を微小振動させる電歪振動子と、この
電歪振動子の振動により出力する負荷電流の波形と基準
発振回路から出力する基準電圧の波形との位相を比較
し、その位相差に応じた電圧を基準発振回路へ出力する
位相差比較回路とを備えた超音波加工装置の電歪振動子
制御回路において、前記位相差比較回路から出力する位
相差信号に応じて発光する発光部と、基準発振回路内の
三角波信号を出力する積分回路の抵抗の一部として可変
抵抗素子を構成する受光部とからなるCdsホトカプラ
を備え、発光部からの光を受光して抵抗値を変化させ基
準発振回路から発振する信号の周波数を変更させて共振
周波数の微調整を行うと共に、前記積分回路の一部を構
成する抵抗として固定抵抗と可変抵抗とを設け、これら
の抵抗を粗調整切替手段によって適宜切替えて使用する
ように構成したものである。
【0009】
【作用】この発明の超音波加工装置の電歪振動子制御回
路は、位相差回路から基準発振回路に出力する位相差信
号を入力し抵抗値を変化させて周波数を変更させるCd
sホトカプラを使用しており、初期設定した基準周波数
に対し特定範囲(例えば±3KHz前後)においては、
位相差信号によってCdsホトカプラの抵抗値を変化さ
せて周波数の変更を行い(微調整)常時電圧振動子を自
動的に共振状態で動作することができる。これによっ
て、特に形状に大きな変化のない工具へ取替えて使用す
る場合や、同一工具を使用するときに振動系におけるあ
る程度の負荷変動、例えば振動子の発熱,先端工具の取
付け具合或はある程度の形状変化等が発生する場合に自
動追尾を行うことができる。
【0010】また、特定範囲をこえる大幅な負荷変動、
例えば基準周波数に対し振動子固有の共振周波数が±3
KHzをこえるような場合、例えば著しく形状が異る工
具への変換等の場合には、積分回路の一部に設けた可変
抵抗を切替えて選択・使用し、インジケータによって表
示される振動状態を見ながら基準周波数を大幅に自動調
節(微調整)することもできる。
【0011】
【実施例】以下この発明の一実施例について添付図面を
参照しながら説明する。図1はこの発明に係る超音波加
工装置の電歪振動子制御回路を示すものであり、この電
歪振動子制御回路は、基準発振回路1と、増幅回路2
と、電歪振動子3と、位相差比較回路4と、振動状態表
示回路5とを備えている。基準発振回路1は、基準周波
数f0 (初期振動周波数)の正弦波信号を電歪振動子3
側に向けて発振すると共に、共振周波数の調整のための
基準電圧を位相差比較回路4へ出力するようになってい
る。この基準発振回路1は、図2に示すように、三角波
(図4参照)を形成する三角波形成回路1Aとこの三角
波を図5に示す正弦波に整形して電歪振動子3に向けて
出力する波形整形回路1Bとから構成されている。
【0012】三角波形成回路1Aは、図3に示す方形波
α1 を形成するオペアンプOPM1と、このオペアンプ
OPM1の出力にリミットをかけ、この出力の振幅を安
定させるためのツェナーダイオードDZ1 ,DZ2 と、
位相差比較回路4との間に設けたCdsホトカプラの受
光部R1 を含む抵抗R0 、コンデンサC1 及びオペアン
プOPM2 で構成した積分回路1Cとから構成されてい
る。そして、この三角波形成回路1Aは、積分回路1C
を構成する抵抗R0 ,コンデンサC1 によって一義的に
決定される基準周波数f0 0 =1/4・C1 ・R0 の三角波α2 (図4参照)を出力するようになってい
る。
【0013】また、この積分回路1Cを構成する抵抗R
0 は、図2に示す如く切替スイッチSWによって固定抵
抗R2 ,可変抵抗R3の何れかと手動で切替接続するこ
とによって、抵抗値を随時大幅に変更し基準周波数f0
も変更できるようになっている。また、このうち可変抵
抗R3 に接続した場合には、粗調整つまみ(図略)によ
って粗く初期設定を行うことができるようになってい
る。また、Cdsホトカプラの受光部を構成する可変抵
抗R1 は、振動子から(の振動により)出力する負荷電
流波形に応じて基準周波数を微調整するようになってお
り、位相差比較回路4に設けたCdsホトカプラの発光
部LEDから出射する発光光量(光強度)の変化に基づ
いて抵抗値が変化するようになっている。
【0014】なお、抵抗R4 ,R5 は各々ツェナーダイ
オードでリミットされた電圧とOPM2の出力とを比較
し、OPM1に正帰還させることによって正負の方形波
を得るためのものである。また、オペアンプOPM1か
ら出力する方形波の一部を位相差比較回路4へ出力する
ため、抵抗R6とCdsホトカプラの受光部R1 との間
であってツェナーダイオードZD1 との接合部分が位相
差比較回路4側と接続されている。増幅回路2は、基準
発振回路1から出力する正弦波の振幅を増大させ、図6
に示す正弦波βとして電歪振動子3に出力するものであ
る。
【0015】電歪振動子3は、図1に示す如く振動振幅
拡大用のホーン3Aを接合すると共に、そのホーン3A
先端部に被加工物の加工用工具6を取付けてある。ま
た、この電歪振動子3は、増幅回路2から信号を入力し
て微小振動する際に、その振動に伴って図7に示す波形
の負荷電流γを出力するようになっている。位相差比較
回路4は、電歪振動子3の振動により出力する負荷電流
γと基準発振回路1から出力する基準電圧α1 との各波
形の位相を比較し、図8に示すようなその位相差に応じ
た電圧δ′を基準発振回路1へ出力するものである。即
ち、この位相差比較回路4は、図3に示すオペアンプO
PM1から出力された方形波α1 を図9に示すプラスの
みに波形整形するとともに、図7に示す正弦波の負荷電
流γを図10に示す方形波γ′に波形整形し、かつこれ
ら双方の波形の位相差をとって図11に示すような位相
差波形(方形波)δを形成するようになっている。ま
た、この位相差比較回路4は、図11に示す位相差波形
(方形波)δにおいて“H”の出力時間Δtの長さに応
じて図8に示すような電圧ΔV ΔV∝Δt を発生するようになっている。
【0016】振動状態表示回路5は、電歪振動子3から
出力される図7に示すような波形γの負荷電流の一部を
入力して電歪振動子3の振動状態をインジケータ7に表
示するものである。即ち、このインジケータ7に表示さ
れる振動状態を目視で確認しながら、可変抵抗R3 の粗
調整つまみを調節して最適な固有の基準周波数を設定す
ることができるようになっている。
【0017】次に、この実施例の動作について説明す
る。 (I)大幅な負荷変動を生じるような工具6の交換等を
行う場合、 まず切替スイッチSWを可変抵抗R3 側に切替えると
共に適当な値に粗調整つまみをセットする。 すると、そのセット値に応じた基準周波数f0 で正弦
波α3 が出力され、増幅回路2によって正弦波α3 の振
幅が増大された正弦波βを出力する。 その出力された正弦波βが電歪振動子3に入力したと
きに、交換した工具6の重量,長さ等に応じて決定され
ていた固有振動と共振するように基準周波数がセットさ
れている場合には、LEDインジケータ7によって確認
されるので、粗調整つまみは、その後調整しなくともよ
い。 すると、基準電圧α1 と負荷電流γとが位相差比較回
路4に入力するが、基準電圧α1 と負荷電流γとは殆ど
位相差を生じておらず図12の如き“H”の出力時間t
1 が短いので、それに合せて僅かな電圧値V1 の位相差
信号δ′が位相差比較回路4に出力される。なお、この
とき工具6と基準周波数との差が大きい場合には、その
差に応じて図14に示すような位相差信号δ2 が出力さ
れ、図15に示すその信号δ2の“H”の出力時間t2
に合せた大きな電圧値V2 の位相差信号δ2 ′が出力さ
れる。また、その差がさらに大きいと、図16に示すよ
うな位相差信号δ3 が出力され、図17に示すその信号
δ3 の“H”出力時間t3 に合せたさらに大きな電圧値
3 の位相差信号δ3 ′が出力される。
【0018】(II)小さな負荷変動を生じるような工具
6の取付具合の変化,振動子3の発熱,振動子3のある
程度の形状変化を生じる場合、 この場合には、粗調整つまみを調整する必要なく、つ
まり手動調整は一切行う必要がない。 即ち、特定の幅以下で負荷が変動すると、それに合せ
て電歪振動子3から負荷電流が位相比較回路4へ出力さ
れる。 一方、基準発振回路1からは一定の基準電圧波形が出
力され、負荷電流と基準電圧との位相差に応じた電圧値
の位相信号が、位相差比較回路4から基準発振回路1へ
出力される。換言すれば、位相差比較回路4のCdsホ
トカプラの発光部であるLEDからその電圧に応じた光
強度の光が出射し、光を受光したCdsホトカプラの受
光部R1 はこの光強度に応じて抵抗値R1 が変化する。
即ち、負荷変動が大きく(小さく)位相差が大きい(小
さい)場合には、発光部から大きな(小さな)強度で光
が出射されるので抵抗値R1 が減少(増大)し、その結
果基準周波数が大きく(小さく)なる。 これにより、電圧値の位相差信号が形成され、位相差
比較回路4から基準発振回路1へ出力される。 従って、その位相差信号に応じてCdsホトカプラの
受光部R1 は抵抗値が最適値に微調整され、同調状態と
なる。
【0019】
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明に係
る超音波加工装置の電歪振動子制御回路によれば、位相
差回路から基準発振回路に出力する位相差信号を入力し
抵抗値を変化させて周波数を変更させるためにCdsホ
トカプラを使用しており、初期設定した基準周波数に対
し特定範囲(例えば±3KHz前後)においては、位相
差信号によってCdsホトカプラの抵抗値を変化させて
周波数の変更を行い常時電圧振動子を自動的に共振状態
で動作することができる。これによって、特に形状に大
きな変化のない工具へ取替えて使用する場合や、同一工
具を使用するときに振動系におけるある程度の負荷変
動、例えば振動子の発熱,先端工具の取付け具合或はあ
る程度の形状変化等が生じても、確実に自動追尾を行う
ことができる。また、基準周波数に対し振動子固有の共
振周波数が特定範囲をこえる大幅な負荷変動、例えば著
しく形状の異る工具への交換等を行う場合には、積分回
路の一部に設けた可変抵抗を切替えて選択・使用し、イ
ンジケータによって表示される振動状態を見ながら容易
に基準周波数の大幅な調整作業を行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る超音波加工装置の電歪振動子制
御回路を示すブロック図である。
【図2】この発明に係る基準発振回路を示す回路図であ
る。
【図3】この発明に係る三角波形成回路のオペアンプO
PM1から出力される方形波を示す波形図である。
【図4】同三角波形成回路のオペアンプOPM2から出
力される三角波を示す波形図である。
【図5】この発明に係る波形整形回路から出力される正
弦波を示す波形図である。
【図6】図5に示す正弦波を増幅回路で増幅して得られ
る正弦波を示す波形図である。
【図7】この発明に係る電歪振動子から出力される負荷
電流波形を示す波形図である。
【図8】この発明に係る位相差比較回路から出力する位
相差信号を示す波形図である。
【図9】この発明に係る基準発振回路から出力した基準
電圧波形を波形整形したときの波形図である。
【図10】この発明に係る電歪振動子から出力の負荷電
流を方形波に波形整形したときの波形図である。
【図11】この発明に係る位相差比較回路において位相
差をとったときの波形図である。
【図12】この発明に係る位相差比較回路において求め
た位相差が小さいときに出力する位相差信号の波形図で
ある。
【図13】図12に示す波形図において“H”信号の出
力時間に応じた電圧値を発生する位相差信号を示す波形
図である。
【図14】この発明に係る位相差比較回路によいて求め
た位相差がある程度大きい場合に出力する位相差信号を
示す波形図である。
【図15】図14に示す波形図において“H”信号の出
力時間に応じた比較的大きな電圧値を発生する位相差信
号を示す波形図である。
【図16】この発明に係る位相差比較回路において求め
た位相差が大きい場合に出力する位相差信号を示す波形
図である。
【図17】図16に示す波形図において“H”信号の出
力時間お応じた大きな電圧値を発生する位相差信号を示
す波形図である。
【図18】従来の高周波電源装置における発振制御回路
を示す回路図である。
【符号の説明】
1 基準発振回路 2 増幅回路 3 電歪振動子 4 位相差比較回路 5 振動状態表示回路 7 LEDインジケータ SW 粗調整手段 R1 Cdsホトカプラ(受光部)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H03L 7/06

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基準周波数の正弦波信号を発振すると共
    に、共振周波数の調整のための基準電圧を出力する基準
    発振回路と、この基準発振回路から出力する正弦波の振
    幅を増大させる増幅回路と、この増幅回路からの正弦波
    を入力してヤヤスリやカッタ等の工具を微小振動させる
    電歪振動子と、この電歪振動子の振動により出力する負
    荷電流の波形と基準発振回路から出力する基準電圧の波
    形との位相を比較し、その位相差に応じた電圧を基準発
    振回路へ出力する位相差比較回路とを備えた超音波加工
    装置の電歪振動子制御回路において、 前記位相差比較回路から出力する位相差信号に応じて発
    光する発光部と、基準発振回路内の三角波信号を出力す
    る積分回路の抵抗の一部として可変抵抗素子を構成する
    受光部とからなるCdsホトカプラを備え、発光部から
    の光を受光して抵抗値を変化させ基準発振回路から発振
    する信号の周波数を変更させて共振周波数の微調整を行
    うと共に、 前記積分回路の一部を構成する抵抗として固定抵抗と可
    変抵抗とを設け、これらの抵抗を粗調整切替手段によっ
    て適宜切替えて使用するように構成したことを特徴とす
    る超音波加工装置の電歪振動子制御回路。
  2. 【請求項2】 電歪振動子の振動により出力する負荷電
    流の一部を入力して振動状態を常時インジケータに表示
    する振動状態表示回路を備えたことを特徴とする請求項
    1に記載の超音波加工装置の電歪振動子制御回路。
JP3290685A 1991-10-09 1991-10-09 超音波加工装置の電歪振動子制御回路 Pending JPH05104421A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150124005A (ko) * 2014-04-25 2015-11-05 한국기계연구원 초음파 밀링용 진동자
CN105345606A (zh) * 2015-09-28 2016-02-24 芜湖市恒峰科技有限公司 一种超声波打孔机控制电路

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150124005A (ko) * 2014-04-25 2015-11-05 한국기계연구원 초음파 밀링용 진동자
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