JPH0510290A

JPH0510290A - Vortex type turbo machine

Info

Publication number: JPH0510290A
Application number: JP16592691A
Authority: JP
Inventors: Bunichi Taniguchi; 文一谷口; Takashi Yamamoto; 隆司山本
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1991-07-05
Filing date: 1991-07-05
Publication date: 1993-01-19

Abstract

PURPOSE:To make a first and a second vortex type compression pump compact for lightening by improving the structure of a first or a fifth main flow passage so as to improve the compression efficiency effectively. CONSTITUTION:Multiple blades 42, 72, facing to a first and a fifth main flow passages 28a-28c, 57a, 57b are projected radially in the peripheral parts 41a, 71a of a first and a second impellers 22, 52 of a first and a second vortex type compression pumps VA1-VA3, VB1, VB2. Cross section area of each main flow passage 28a-28c, 57a, 57b is reduced gradually from the suction ports 34, 63 side to the discharge ports 35, 64 side.

Description

Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、渦流形の真空ポンプ、
圧縮機及びタ―ビンなど羽根車の回転により主流路内の
流体に螺旋運動を与え、この角運動エネルギを圧力に変
換する渦流形タ―ボ機械に関し、特に、主流路の改良に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vortex type vacuum pump,
The present invention relates to a vortex type turbo machine that imparts a spiral motion to a fluid in a main flow passage by rotation of an impeller such as a compressor and a turbine, and converts this angular kinetic energy into pressure, and more particularly to improvement of the main flow passage.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、この種の渦流形タ―ボ機械と
しては、例えば、特開平１−３１８７９５号公報に開示
されているように、多数の羽根を有する羽根車をハウジ
ング内に回転可能に配置し、上記羽根車を駆動モ―タの
駆動によって回転させ、流体をハウジングの吸込口より
該ハウジング内の主流路に吸込み、該主流路内において
流体を主流路の軸方向に螺旋運動させながら移送しつつ
圧縮し、吐出口よりハウジング外に吐出させるようにし
たものが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a vortex type turbo machine of this type, an impeller having a large number of blades can be rotated in a housing as disclosed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-318795. , The impeller is rotated by the drive of the drive motor, the fluid is sucked into the main flow passage in the housing through the suction port of the housing, and the fluid is spirally moved in the main flow passage in the axial direction of the main flow passage. It is known that the material is compressed while being transferred and discharged from the discharge port to the outside of the housing.

【０００３】そして、渦流形タ―ボ機械における羽根車
は、ハブの外周面に多数の羽根が放射状に延設されてな
り、該羽根がハウジング内の主流路に臨んでいる。In the impeller of the vortex type turbomachine, a large number of blades are radially extended on the outer peripheral surface of the hub, and the blades face the main flow path in the housing.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
渦流形タ―ボ機械では、主流路内における流路断面積が
吸込口側から吐出口側にかけて略均一に形成されている
ため、主流路内における圧縮効率を向上させる上で、主
流路の駆動軸に対する軸径を外方に増大させたり、主流
路を駆動軸方向に複数段併設したりすることによって対
応しなければならず、渦流形タ―ボ機械の大型化及び重
量増加が余儀なくされていた。However, in the above-mentioned conventional vortex type turbomachine, since the flow passage cross-sectional area in the main flow passage is formed substantially uniform from the suction port side to the discharge port side, In order to improve the compression efficiency in the interior, the axial diameter of the main flow path with respect to the drive shaft must be increased outward, or multiple main flow paths must be installed side by side in the drive axis direction. There was no choice but to increase the size and weight of the turbo machine.

【０００５】本発明はかかる点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、圧縮効率の向上が効果的
に図り得られるよう主流路の構造を改良して、渦流形タ
―ボ機械の小型軽量化を図ろうとするものである。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to improve the structure of the main flow passage so that the compression efficiency can be effectively improved and to improve the vortex flow type turbomachine. It is intended to reduce the size and weight of the.

【０００６】また、羽根車の羽根形状を改良して、圧縮
効率の向上がより効果的に図り得られるようにすること
も目的とする。It is another object of the present invention to improve the shape of the impeller so that the compression efficiency can be improved more effectively.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明が講じた解決手段は、流体の吸
込口（３４），（６３）及び吐出口（３５），（６４）
が開設されると共に、流体の主流路（２８ａ）〜（２８
ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）を形成する中空環状部
（２７ａ）〜（２７ｃ），（５６ａ），（５６ｂ）を有
するハウジング（２１），（５１）と、該ハウジング
（２１），（５１））内に収納されていて、上記吸込口
（３４），（６３）より主流路（２８ａ）〜（２８
ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）に吸込まれた流体を螺旋
状に移送しつつ圧縮して上記吐出口（３５），（６４）
よりハウジング（２１），（５１）外に吐出させる羽根
車（２２），（５２）とを備えた渦流形タ―ボ機械（Ｖ
A1）〜（ＶA3），（ＶB1），（ＶB2）を前提とする。そ
して、上記羽根車（２２），（５２）に、駆動軸（６）
が連結されたハブ（４１），（７１）の外周部（４１
ａ），（７１ａ）より上記主流路（２８ａ）〜（２８
ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）に臨む複数枚の羽根（４
２），（７２），…を放射状に突設させるとともに、上
記主流路（２８ａ）〜（２８ｃ），（５７ａ），（５７
ｂ）の流路断面積を、吸込口（３４），（６３）側から
吐出口（３５），（６４）側に向かうに従い暫時減少せ
しめる構成としたものである。[Means for Solving the Problems] To achieve the above-mentioned object, a solution means taken by the invention according to claim 1 is a fluid suction port (34), (63) and a discharge port (35), (64).
Is opened, and the main fluid flow paths (28a) to (28)
c), (57a), (57b) forming hollow annular portions (27a) to (27c), (56a), (56b) having housings (21), (51), and the housings (21), (51). 51)), and the main flow paths (28a) to (28) from the suction ports (34) and (63).
c), (57a) and (57b), the fluid is sucked into the fluid and compressed while being spirally transferred to the discharge ports (35) and (64).
Vortex type turbomachine (V) equipped with impellers (22) and (52) for discharging the gas from the housing (21) and (51)
It is assumed that A1) to (VA3), (VB1) and (VB2). The drive shaft (6) is attached to the impellers (22) and (52).
Of the hubs (41) and (71) connected to each other (41)
a) and (71a), the main flow channels (28a) to (28)
c), (57a), (57b) a plurality of blades (4)
2), (72), ... Are projected radially, and the main flow paths (28a) to (28c), (57a), (57) are provided.
The flow passage cross-sectional area of b) is configured to be temporarily reduced from the suction port (34), (63) side toward the discharge port (35), (64) side.

【０００８】また、請求項２に係る発明が講じた解決手
段は、上記請求項１の構成に加えて、中空環状部（２７
ａ）〜（２７ｃ）の中心に吸込口（３４）側から吐出口
（３５）側に向かって延びるガイド部材（３１ａ）〜
（３１ｃ）を設ける構成としたものである。Further, the solution means taken by the invention according to claim 2 is the hollow annular portion (27) in addition to the structure of claim 1.
Guide members (31a) extending from the suction port (34) side toward the discharge port (35) side at the centers of a) to (27c)
(31c) is provided.

【０００９】また、請求項３に係る発明が講じた解決手
段は、上記請求項２の構成に加えて、ガイド部材（３１
ａ）〜（３１ｃ）の断面積を、吸込口（３４）側から吐
出口（３５）側に向かうに従い暫時増大せしめる構成と
したものである。Further, the solution means taken by the invention according to claim 3 is the guide member (31) in addition to the structure of claim 2.
The cross-sectional area of (a) to (31c) is configured to be temporarily increased from the suction port (34) side toward the discharge port (35) side.

【００１０】また、請求項４に係る発明が講じた解決手
段は、上記請求項２の構成に加えて、ガイド部材（３１
ａ）〜（３１ｃ）の断面積を、吸込口（３４）側から吐
出口（３５）側に向かうに従い暫時減少せしめる構成と
したものである。Further, the solution means taken by the invention according to claim 4 is the guide member (31) in addition to the structure of claim 2.
The cross-sectional areas of a) to (31c) are configured to be temporarily reduced from the suction port (34) side toward the discharge port (35) side.

【００１１】また、請求項５に係る発明が講じた解決手
段は、上記請求項１ないし４のいずれか一項の構成に加
えて、複数枚の羽根（４２），（７２），…の断面形状
を湾曲せしめる構成としたものである。Further, in addition to the structure of any one of claims 1 to 4, the solution means taken by the invention according to claim 5 is a cross section of a plurality of blades (42), (72) ,. The configuration is such that the shape is curved.

【００１２】[0012]

【作用】上記の構成により、請求項１および２に係る発
明では、羽根車（２２），（５２）が回転すると、吸込
口（３４），（６３）より主流路（２８ａ）〜（２８
ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）内に流体が吸込まれ、こ
の流体が、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ），（５７
ａ），（５７ｂ）内において、羽根車（２２），（５
２）の羽根（４２），（７２）により角運動エネルギを
得て螺旋運動しながら主流路（２８ａ）〜（２８ｃ），
（５７ａ），（５７ｂ）の軸方向に流れ、この螺旋運動
により流体が圧縮されて吐出口（３５），（６４）より
ハウジング（２１），（５１）外に吐出される。With the above construction, in the inventions according to claims 1 and 2, when the impellers (22) and (52) rotate, the main flow paths (28a) to (28) are drawn from the suction ports (34) and (63).
c), (57a), (57b), the fluid is sucked into the main flow path (28a) to (28c), (57).
In a) and (57b), impellers (22) and (5)
The blades (42) and (72) of 2) obtain angular kinetic energy and make spiral motions, and main flow paths (28a) to (28c),
The fluid flows in the axial direction of (57a) and (57b), the spiral motion compresses the fluid, and the fluid is discharged to the outside of the housings (21) and (51) through the discharge ports (35) and (64).

【００１３】そして、この流体の螺旋運動は、吸込口
（３４），（６３）から吐出口（３５），（６４）にか
けて流路断面積を漸減させた主流路（２８ａ）〜（２８
ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）内において徐々に増大す
る角運動エネルギにより加速され、流体の圧縮効率が効
果的に高められる。The spiral motion of the fluid is such that the flow passage cross-sectional areas are gradually reduced from the suction ports (34), (63) to the discharge ports (35), (64) to the main flow channels (28a)-(28).
c), (57a), (57b) are accelerated by the gradually increasing angular kinetic energy, and the compression efficiency of the fluid is effectively enhanced.

【００１４】このため、主流路の流路断面積が吸込口側
から吐出口側にかけて略均一に形成されているもののよ
うに、主流路の駆動軸に対する軸径を外方に増大させた
り、主流路を駆動軸方向に複数段併設したりして、主流
路内における圧縮効率の向上を図る必要はない。Therefore, as in the case where the flow passage cross-sectional area of the main flow passage is formed substantially uniform from the suction port side to the discharge port side, the axial diameter of the main flow channel with respect to the drive shaft is increased outward or the main flow is increased. There is no need to improve the compression efficiency in the main flow path by arranging a plurality of paths in the drive axis direction.

【００１５】また、請求項３に係る発明では、ガイド部
材（３１ａ）〜（３１ｃ）の断面積は、吸込口（３４）
側から吐出口（３５）側に向かうに従い暫時増大してい
るので、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）の流路断面積
が、吸込口（３４）から吐出口（３５）にかけて流路断
面積を漸減させた主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）に伴い
ガイド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）の断面積を漸増させ
ることによってスム―ズに漸減されることになり、流体
の螺旋運動が、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）内におい
て徐々に増大する角運動エネルギにより加速され、流体
の圧縮効率がより効果的に高められる。In the invention according to claim 3, the guide members (31a) to (31c) have a sectional area which is equal to that of the suction port (34).
The flow passage cross-sectional area of the main flow passages (28a) to (28c) increases from the suction side (34) to the discharge outlet (35) because the flow passage cross-sectional area gradually increases from the side toward the discharge port (35). By gradually increasing the cross-sectional areas of the guide members (31a) to (31c) along with the reduced main flow paths (28a) to (28c), the spiral motion of the fluid becomes a main flow. Acceleration due to the gradually increasing angular kinetic energy in the passages (28a) to (28c) enhances the compression efficiency of the fluid more effectively.

【００１６】また、請求項４に係る発明では、ガイド部
材（３１ａ）〜（３１ｃ）の断面積は、吸込口（３４）
側から吐出口（３５）側に向かうに従い暫時減少してい
るので、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）の流路断面積
が、吸込口（３４）から吐出口（３５）にかけて流路断
面積を漸減させた主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）に伴い
ガイド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）の断面積を漸減させ
ることによってよりスム―ズに漸減されることになり、
主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）内において徐々に増大す
る角運動エネルギにより流体の螺旋運動が加速され、流
体の圧縮効率がより効果的に高められる。In the invention according to claim 4, the cross-sectional areas of the guide members (31a) to (31c) are the same as those of the suction port (34).
Since the flow passage cross-sectional area of the main flow passages (28a) to (28c) decreases from the suction side (34) toward the discharge port (35), the flow passage cross-sectional area of the main flow paths (28a) to (28c) decreases. By gradually reducing the cross-sectional areas of the guide members (31a) to (31c) along with the reduced main flow paths (28a) to (28c), it is possible to reduce more smoothly.
The spiral motion of the fluid is accelerated by the angular kinetic energy that gradually increases in the main channels (28a) to (28c), and the compression efficiency of the fluid is more effectively enhanced.

【００１７】さらに、請求項５に係る発明では、複数枚
の羽根（４２），（７２），…の断面形状が湾曲してい
るので、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ），（５７ａ），
（５７ｂ）内において各羽根（４２），（７２）が受け
る流体の受圧面積が増大する上、流体は進み角が変化し
ても羽根（４２），（７２）への衝突が少なく、しか
も、羽根（４２），（７２）に沿って流体が流れること
になり、スム―ズな渦流を形成することができると共
に、吸込口（３４），（６３）から吐出口（３５），
（６４）にかけて安定した流れを維持することができ、
流体の圧縮効率がより効果的に高められる。Further, in the invention according to claim 5, since the cross-sectional shape of the plurality of blades (42), (72), ... Is curved, the main flow paths (28a) to (28c), (57a),
In (57b), the pressure receiving area of the fluid received by each of the blades (42) and (72) is increased, and the fluid is less likely to collide with the blades (42) and (72) even if the lead angle changes, and The fluid flows along the blades (42) and (72), so that a smooth vortex can be formed, and the suction ports (34) and (63) to the discharge port (35),
A stable flow can be maintained through (64),
The compression efficiency of the fluid is enhanced more effectively.

【００１８】[0018]

【発明の効果】以上の如く、請求項１の発明における渦
流形タ―ボ機械によれば、吸込口（３４），（６３）か
ら吐出口（３５），（６４）にかけて流路断面積が暫時
減少する主流路（２８ａ）〜（２８ｃ），（５７ａ），
（５７ｂ）内において徐々に増大する角運動エネルギに
より流体の螺旋運動を加速させて流体の圧縮効率を効果
的に高めたことにより、主流路（２８ａ）〜（２８
ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）の軸径の小径化及び主流
路（２８ａ）〜（２８ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）の
省段化が共に図れて、渦流形タ―ボ機械（ＶA1）〜（Ｖ
A3），（ＶB1），（ＶB2）の小型軽量化を向上させるこ
とができる。As described above, according to the vortex type turbomachine in the invention of claim 1, the flow passage cross-sectional area from the suction ports (34), (63) to the discharge ports (35), (64) is increased. Main flow paths (28a) to (28c), (57a), which decrease for a while,
In the main flow paths (28a) to (28), the spiral motion of the fluid is accelerated by the angular kinetic energy that gradually increases in (57b) to effectively enhance the compression efficiency of the fluid.
c), (57a), (57b), the shaft diameter can be reduced, and the main flow paths (28a) to (28c), (57a), (57b) can be reduced in number, and the vortex type turbo machine ( VA1) ~ (V
The size and weight reduction of A3), (VB1), and (VB2) can be improved.

【００１９】また、請求項２の発明における渦流形タ―
ボ機械によれば、中空環状部（２７ａ）〜（２７ｃ）の
中心に吸込口（３４）側から吐出口（３５）側に向って
延びるガイド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）を有している
渦流形タ―ボ機械（ＶA1）〜（ＶA3）においても、主流
路（２８ａ）〜（２８ｃ）内において徐々に増大する角
運動エネルギにより流体の螺旋運動を加速させて流体の
圧縮効率を効果的に高めたことにより、主流路（２８
ａ）〜（２８ｃ）の軸径の小径化及び主流路（２８ａ）
〜（２８ｃ）の省段化が共に図れて、渦流形タ―ボ機械
（ＶA1）〜（ＶA3）の小型軽量化を同様に向上させるこ
とができる。Further, the vortex flow type turret according to the invention of claim 2
According to the bo machine, guide members (31a) to (31c) extending from the suction port (34) side toward the discharge port (35) side are provided at the centers of the hollow annular portions (27a) to (27c). Also in the vortex type turbo machines (VA1) to (VA3), the spiral motion of the fluid is accelerated by the angular kinetic energy that gradually increases in the main flow paths (28a) to (28c), and the compression efficiency of the fluid is effective. The main flow path (28
a) to (28c) shaft diameter reduction and main flow path (28a)
(28c) can be reduced, and the vortex flow type turbomachines (VA1) to (VA3) can be similarly reduced in size and weight.

【００２０】また、請求項３の発明における渦流形タ―
ボ機械によれば、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）に伴い
吸込口（３４）から吐出口（３５）にかけて漸増するガ
イド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）の断面積により流路断
面積をスム―ズに暫時減少させた主流路（２８ａ）〜
（２８ｃ）内において徐々に増大する角運動エネルギに
よって流体の螺旋運動をさらに加速させて流体の圧縮効
率を効果的に高め、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）の軸
径の小径化及び省段化を共に図って、渦流形タ―ボ機械
（ＶA1）〜（ＶA3）の小型軽量化をより向上させること
ができる。Further, the eddy-current type turbine according to the third aspect of the invention.
According to the bo machine, the flow passage cross-sectional area is summed by the cross-sectional area of the guide members (31a) to (31c) gradually increasing from the suction port (34) to the discharge port (35) along with the main flow channels (28a) to (28c). -The main flow path (28a) that has been temporarily reduced to
The spiral motion of the fluid is further accelerated by the angular kinetic energy that gradually increases in (28c) to effectively enhance the compression efficiency of the fluid, and the axial diameters of the main flow paths (28a) to (28c) are reduced and the number of steps is reduced. It is possible to further reduce the size and weight of the vortex flow type turbo machines (VA1) to (VA3).

【００２１】また、請求項４の発明における渦流形タ―
ボ機械によれば、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）に伴い
吸込口（３４）から吐出口（３５）にかけて漸減するガ
イド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）の断面積により流路断
面積をよりスム―ズに暫時減少させた主流路（２８ａ）
〜（２８ｃ）内において徐々に増大する角運動エネルギ
によって流体の螺旋運動をさらに加速させて流体の圧縮
効率を効果的に高め、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）の
軸径の小径化及び省段化を共に図って、渦流形タ―ボ機
械（ＶA1）〜（ＶA3）の小型軽量化をより向上させるこ
とができる。Further, the vortex flow type turret according to the invention of claim 4
According to the bo machine, the cross-sectional area of the guide members (31a) to (31c) is gradually reduced from the suction port (34) to the discharge port (35) along with the main flow channels (28a) to (28c), so that the flow channel cross-sectional area is further reduced. The main flow path (28a) that has been reduced to a smooth time
In (28c), the spiral motion of the fluid is further accelerated by the angular kinetic energy that is gradually increased to effectively enhance the compression efficiency of the fluid, and the axial diameters of the main channels (28a) to (28c) are reduced and saved. It is possible to further reduce the size and weight of the vortex-type turbomachines (VA1) to (VA3) by achieving the steps.

【００２２】さらに、請求項５の発明における渦流形タ
―ボ機械によれば、複数枚の羽根（４２），（７２），
…の断面形状を湾曲させて、各羽根（４２），（７２）
による流体の受圧面積を増大させつつスム―ズな渦流に
より安定した流れを維持することにより、流体の圧縮効
率をより効果的に高めたので、主流路（２８ａ）〜（２
８ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）の軸径の小径化及び省
段化を共に図って、渦流形タ―ボ機械（ＶA1）〜（ＶA
3），（ＶB1），（ＶB2）の小型軽量化を著しく向上さ
せることができる。Further, according to the vortex type turbomachine in the invention of claim 5, a plurality of blades (42), (72),
By curving the cross-sectional shape of ..., each blade (42), (72)
By maintaining the stable flow by the smooth vortex while increasing the pressure receiving area of the fluid by the fluid compression efficiency of the fluid is more effectively enhanced, the main flow paths (28a) to (2)
8c), (57a), and (57b) both reduce the shaft diameter and reduce the number of steps, and the vortex type turbomachines (VA1) to (VA)
3), (VB1), (VB2) can be significantly improved in size and weight reduction.

【００２３】[0023]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【００２４】図２及び図３に示すように、（１）は複合
真空ポンプであって、半導体製造装置などの真空室から
空気を排除し、清浄な真空を作り出すものである。As shown in FIGS. 2 and 3, (1) is a composite vacuum pump which removes air from the vacuum chamber of a semiconductor manufacturing apparatus or the like to create a clean vacuum.

【００２５】該複合真空ポンプ（１）は、上部ケ―シン
グ（２）と下部ケ―シング（３）とからなり、該上部ケ
―シング（２）と下部ケ―シング（３）とは環状の連結
部材（４）により連結されている。上記上部ケ―シング
（２）内には、ねじ溝形圧縮ポンプ（Ｎ）と、渦流形タ
―ボ機械としての３台の第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA
1），（ＶA2），（ＶA3）と、渦流形タ―ボ機械として
の２台の第２渦流形圧縮ポンプ（ＶB1），（ＶB2）とが
多段に組み合されて収納されている。該上部ケ―シング
（２）の上部中央には上記真空室に開放される流入口
（５ａ）が、連結部材（４）の側面には大気に開放され
る流出口（５ｂ）がそれぞれ開設されている。更に、上
記上部ケ―シング（２）及び下部ケ―シング（３）内の
中心部には、該上部ケ―シング（２）及び下部ケ―シン
グ（３）に亘る駆動軸（６）が設けられている。該駆動
軸（６）は、連結部材（４）の内周面に設けられた，上
方へ突出する筒状突部（７ａ）を中央部に有する筒状部
材（７）に上部ベアリング（８ａ）を介して上部が回転
自在に支持されているとともに、下部ケ―シング（３）
下部のフレ―ム（３ａ）に下部ベアリング（８ｂ）を介
して下部が回転自在に支持されている。一方、上記下部
ケ―シング（３）内には、駆動モ―タ（９）が収納され
ており、該駆動モ―タ（９）は、駆動軸（６）の下部に
連結されている。該駆動モ―タ（９）は、下部ケ―シン
グ（３）に固定されたステ―タ（９ａ）と、駆動軸
（６）が嵌挿されたロ―タ（９ｂ）とにより成り、駆動
軸（６）を回転するようにしている。The composite vacuum pump (1) comprises an upper casing (2) and a lower casing (3), and the upper casing (2) and the lower casing (3) are annular. Are connected by a connecting member (4). Inside the upper casing (2), there are a thread groove type compression pump (N) and three first vortex type compression pumps (VA) as vortex type turbo machines.
1), (VA2), (VA3) and two second vortex flow type compression pumps (VB1), (VB2) as a vortex flow type turbo machine are combined and stored in multiple stages. An inlet (5a) opened to the vacuum chamber is provided at the center of the upper part of the upper casing (2), and an outlet (5b) opened to the atmosphere is provided on a side surface of the connecting member (4). ing. Further, a drive shaft (6) extending over the upper casing (2) and the lower casing (3) is provided at the center of the upper casing (2) and the lower casing (3). Has been. The drive shaft (6) has an upper bearing (8a) on a tubular member (7) provided on the inner peripheral surface of the connecting member (4) and having a tubular protrusion (7a) projecting upward in the central portion. The upper part is rotatably supported via the lower part and the lower casing (3)
The lower part is rotatably supported by the lower frame (3a) via a lower bearing (8b). On the other hand, a drive motor (9) is housed in the lower casing (3), and the drive motor (9) is connected to the lower portion of the drive shaft (6). The drive motor (9) comprises a stator (9a) fixed to the lower casing (3) and a rotor (9b) into which the drive shaft (6) is inserted and driven. The shaft (6) is adapted to rotate.

【００２６】上記ねじ溝形圧縮ポンプ（Ｎ）は、上下一
対の円板状のロ―タ（１１），（１１）と、該両ロ―タ
（１１）のロ―タ面に対して対向するよう配された円環
状のステ―タ（１２），…とが交互に重畳配設されて成
り、上記上部ケ―シング（２）の流入口（５ａ）側（図
では上部）に設けられている。上記ロ―タ（１１），
（１１）は、その中央部において軸方向へ貫通するボル
ト（１３）により上記各第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA
1），（ＶA2），（ＶA3）共通の断面略Ｈ状の第１ロ―
タハウジング（１４）の上端面に締結されていて、この
第１ロ―タハウジング（１４）と、該第１ロ―タハウジ
ング（１４）の下部に中央部より上方へ突出する上側筒
状突部（１５ａ）が嵌合されてボルト（１６）締結され
かつ上記筒状部材（７）の筒状突部（７ａ）に中央部よ
り下方へ突出する下側筒状突部（１５ｂ）が回動自在に
外嵌される上記各第２渦流形圧縮ポンプ（ＶB1），（Ｖ
B2）共通の略筒形状の第２ロ―タハウジング（１７）と
を介して駆動軸（６）に水平に固定されると共に、該両
ロ―タ（１１），（１１）は所定間隔を存して並設さ
れ、上記駆動軸（６）の回転によって回転するように成
っている。また、上記ステ―タ（１２），…は外周縁部
にて上部ケ―シング（２）に水平に固定されると共に、
上部のステ―タ（１２）は上側のロ―タ（１１）の上方
に、中間部のステ―タ（１２）は上記両ロ―タ（１
１），（１１）間に、下部のステ―タ（１２）は下側の
ロ―タ（１１）の下方にそれぞれ並設されており、上記
各ロ―タ（１１），（１１）と各ステ―タ（１２），…
とは対向面が近接するように設けられている。更に、上
記上部のステ―タ（１２）の下面、中間部のステ―タ
（１２）の両面及び下部のステ―タ（１２）の上面には
それぞれ螺旋溝（１２ａ），…が刳設されて４段のポン
プ段を構成しており、上記ロ―タ（１１），（１１）の
回転により流入口（５ａ）から上部ケ―シング（２）内
に空気を吸込み、上記各螺旋溝（１２ａ）に導入して圧
縮し、上記第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA1），（ＶA2），
（ＶA3）に送り出している。The thread groove type compression pump (N) faces a pair of upper and lower disk-shaped rotors (11), (11) and the rotor surfaces of both rotors (11). The annular stators (12), ..., Which are arranged so as to overlap with each other are alternately superposed on each other, and are provided on the inflow port (5a) side (the upper part in the figure) of the upper casing (2). ing. The above rotor (11),
(11) is a first vortex type compression pump (VA
1), (VA2), (VA3) common first cross-section H-shaped
The first rotor housing (14), which is fastened to the upper end surface of the rotor housing (14), and an upper cylindrical protrusion that protrudes upward from the center of the lower portion of the first rotor housing (14). The lower tubular projection (15b) protruding downward from the central portion is rotated by the tubular projection (7a) of the tubular member (7) into which the portion (15a) is fitted and the bolt (16) is fastened. The second vortex type compression pumps (VB1), (V
B2) It is horizontally fixed to the drive shaft (6) through a common second cylindrical rotor housing (17), and both rotors (11) and (11) are spaced at a predetermined interval. They are arranged side by side and are rotated by the rotation of the drive shaft (6). Further, the stators (12), ... Are fixed horizontally to the upper casing (2) at the outer peripheral edge portion,
The upper stator (12) is above the upper rotor (11), and the intermediate stator (12) is above both rotors (1).
The lower stator (12) is provided between the lower rotor (11) and the lower rotor (11) side by side between 1) and (11). Each status (12), ...
Are provided so that the opposite surfaces are close to each other. Further, spiral grooves (12a) are provided on the lower surface of the upper stator (12), both surfaces of the intermediate stator (12) and the upper surface of the lower stator (12), respectively. 4 pump stages are constructed, and air is sucked into the upper casing (2) from the inlet (5a) by the rotation of the rotors (11), (11), and each spiral groove ( 12a) and then compresses the first vortex flow type compression pump (VA1), (VA2),
It has been sent to (VA3).

【００２７】また、図１にも示すように、上記各第１渦
流形圧縮ポンプ（ＶA1），（ＶA2），（ＶA3）は、空気
を螺旋状に移送しつつ圧縮しており、上部ケ―シング
（２）に固定された第１ハウジング（２１）内に第１羽
根車（２２），…が収納されて構成されている。該第１
ハウジング（２１）は、上下に４分割されたハウジング
部材（２３），（２４），（２５），（２６）を一体的
に組合わせて形成されている。上記各ハウジング部材
（２３）〜（２６）のうち、最上端位置のハウジング部
材（２３）は、上記ねじ溝形圧縮ポンプ（Ｎ）における
下部のステ―タ（１２）としての機能を上部側に有して
いると共に、下部側に、上記第１羽根車（２２）の上端
面を覆うディスク部（２３ａ）と、該ディスク部（２３
ａ）の外周縁に連続形成された半円弧状の環状凹部を有
する半ト―ラス部（２３ｂ）とを有している。また、上
記中央位置上下のハウジング部材（２４），（２５）
は、上記第１羽根車（２２）の上下端面を覆うディスク
部（２４ａ），（２５ａ）と、該ディスク部（２４
ａ），（２５ａ）の外周縁に連続形成された半円弧状の
環状凹部を有する半ト―ラス部（２４ｂ），（２５ｂ）
とを有している。さらに、上記最下端位置のハウジング
部材（２６）は、上部に上記第１羽根車（２２）の下端
面を覆うディスク部（２６ａ）と、該ディスク部（２６
ａ）の外周縁に連続形成された半円弧状の環状凹部を有
する半ト―ラス部（２６ｂ）とを有している。そして、
上記半ト―ラス部（２３ｂ），（２４ｂ），（２５
ｂ），（２６ｂ）は、互いに上下に対向する半ト―ラス
部（２３ｂ），（２４ｂ），（２５ｂ），（２６ｂ）同
士によって上側より第１〜第３中空環状部（２７ａ），
（２７ｂ），（２７ｃ）をそれぞれ形成しており、該各
中空環状部（２７ａ）〜（２７ｃ）内が空気の第１〜第
３主流路（２８ａ），（２８ｂ），（２８ｃ）に構成さ
れている。Further, as shown in FIG. 1, each of the first vortex flow type compression pumps (VA1), (VA2), (VA3) compresses air while transferring it in a spiral shape. The first impeller (22), ... Is housed in a first housing (21) fixed to the single (2). The first
The housing (21) is formed by integrally combining housing members (23), (24), (25) and (26) which are vertically divided into four parts. Of the housing members (23) to (26), the housing member (23) at the uppermost position functions as the lower stator (12) of the screw groove type compression pump (N) on the upper side. A disk portion (23a) that has the upper end surface of the first impeller (22) and has the disk portion (23
and (a) a half-torus portion (23b) having a semicircular arc-shaped annular recess formed continuously on the outer peripheral edge. Also, the housing members (24), (25) above and below the central position
Is a disk part (24a), (25a) covering the upper and lower end surfaces of the first impeller (22), and the disk part (24
a), (25a) semi-torus portions (24b), (25b) having semicircular arc-shaped annular recesses formed continuously on the outer peripheral edge
And have. Further, the housing member (26) at the lowest end position has a disc portion (26a) covering the lower end surface of the first impeller (22) at the upper portion, and the disc portion (26).
and (a) a half-torus portion (26b) having a semicircular arc-shaped annular recess formed continuously on the outer peripheral edge. And
The half-transverse parts (23b), (24b), (25)
b) and (26b) are first to third hollow annular portions (27a) from the upper side due to the half-torus portions (23b), (24b), (25b) and (26b) which are vertically opposed to each other.
(27b) and (27c) are formed respectively, and the insides of the hollow annular portions (27a) to (27c) are configured as first to third main flow paths (28a), (28b) and (28c) for air. Has been done.

【００２８】そして、上記第１〜第３中空環状部（２７
ａ）〜（２７ｃ）内の第１〜第３主流路（２８ａ）〜
（２８ｃ）には、空気の流れを案内する環状の第１〜第
３ガイド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）が配設されてお
り、該各ガイド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）の外周面と
各中空環状部（２７ａ）〜（２７ｃ）の内周面との間が
上記第１〜第３主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）に成って
いる。また、上記第１〜第３ガイド部材（３１ａ）〜
（３１ｃ）の外周部には、遠心方向に突出した複数個の
支持片（図示省略）が周方向に所定間隔を存して一体的
に形成されている。そして、該支持片の外端部が上記各
ハウジング部材（２３）〜（２６）の第１〜第３中空環
状部（２７ａ）〜（２７ｃ）に嵌合されていて、上記各
ガイド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）が第１ハウジング
（２１）の第１〜第３主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）の
中心軸上に固定支持されている。更に、図４に示すよう
に、上記第１主流路（２８ａ）（同一構成となるので第
２，第３主流路（２８ｂ），（２８ｃ）の説明は省略す
る）には、該第１主流路（２８ａ）を高圧側と低圧側と
に区画するよう，第１中空環状部（２７ａ）の内周面か
ら外周面に亘る所定幅の区画部材（３２）が設けられて
いて、上記第１ガイド部材（３１ａ）を支持している。
そして、上記区画部材（３２）の内周部には上記第１羽
根車（２２）が通る案内路（３３）が刳設されており、
該区画部材（３２）の一側方（図４において上側）には
上側のハウジング部材（２３）の半ト―ラス部（２３
ｂ）に空気の吸込口（３４）が、他側方（図４において
下側）には下側のハウジング部材（２４）の半ト―ラス
部（２４ｂ）〜（２６ｂ）に空気の吐出口（３５）がそ
れぞれ開設されていて、該吸込口（３４）から導入され
た空気と吐出口（３５）から吐出される空気とが区画部
材（３２）で合流しないように構成されている。Then, the first to third hollow annular portions (27
a) to (27c), first to third main channels (28a) to
Annular first to third guide members (31a) to (31c) for guiding the flow of air are arranged in (28c), and the outer peripheral surfaces of the respective guide members (31a) to (31c) are arranged. The first to third main flow paths (28a) to (28c) are formed between the hollow annular portions (27a) to (27c) and the inner peripheral surfaces thereof. The first to third guide members (31a) to
On the outer peripheral portion of (31c), a plurality of support pieces (not shown) protruding in the centrifugal direction are integrally formed at predetermined intervals in the circumferential direction. The outer end of the support piece is fitted into the first to third hollow annular portions (27a) to (27c) of the housing members (23) to (26), and the guide members (31a). ) To (31c) are fixedly supported on the central axes of the first to third main flow paths (28a) to (28c) of the first housing (21). Further, as shown in FIG. 4, in the first main flow path (28a) (the description of the second and third main flow paths (28b), (28c) is omitted because they have the same configuration), the first main flow path A partition member (32) having a predetermined width is provided from the inner peripheral surface to the outer peripheral surface of the first hollow annular portion (27a) so as to partition the passage (28a) into the high pressure side and the low pressure side. It supports the guide member (31a).
A guide path (33) through which the first impeller (22) passes is provided in the inner peripheral portion of the partition member (32).
On one side of the partition member (32) (upper side in FIG. 4), the half-torus portion (23) of the upper housing member (23) is provided.
b) has an air suction port (34), and the other side (the lower side in FIG. 4) has an air discharge port in the half-torus portions (24b) to (26b) of the lower housing member (24). Each of the openings (35) is opened so that the air introduced from the suction port (34) and the air discharged from the discharge port (35) do not merge at the partition member (32).

【００２９】一方、上記各第１羽根車（２２）は、上記
第１ロ―タハウジング（１４）の外周面の上下方向３箇
所より外方へ突出する円板状のハブ（４１），…の外周
部における外周面（４１ａ），…に複数枚の羽根（４
２），…が放射状に延設されて構成されている。上記ハ
ブ（４１）の両端面は、互いに上下に対向するハウジン
グ部材（２３），（２４），（２５），（２６）同士の
ディスク部（２３ａ），（２４ａ），（２５ａ），（２
６ａ）が近接して覆われており、第１ロ―タハウジング
（１４）の中央部に上記第２ロ―タハウジング（１７）
の上側筒状突部（１５ａ）を介して上記駆動軸（６）が
貫通して連結されている。該駆動軸（６）は上記第１〜
第３主流路（２８ａ），（２８ｂ），（２８ｃ）及び第
１〜第３ガイド部材（３１ａ），（３１ｂ），（３１
ｃ）と同心上に位置し、上記モ―タ（９）の駆動により
第１羽根車（２２）が回転するように成っている。ま
た、上記ハブ外周面（３１ａ）は、駆動軸（６）と同心
上の円筒面に形成され、上記第１主流路（２８ａ）内周
面の一部を構成している。上記第１羽根車（２２）の羽
根（４２），…は、上記ハブ外周面（４１ａ）より遠心
方向に突出して上記主流路（２８ａ）内に臨んでおり、
先端が上記第１ガイド部材（３１ａ）の内周部に近接す
るように形成されている。更に、図５に示すように、該
羽根（４２）は、上記ハブ（４１）の両端面に亘って形
成され、空気が羽根前縁（４２ａ）から後縁（４２ｂ）
に通り抜けると、上記ハブ（４１）の前面から後面に通
り抜けるように成っており、該羽根（４２）の通過時の
流れがほぼ軸流流れになり、この羽根（４２）通過時に
角運動エネルギが空気に与えられるように構成されてい
る。そして、上記各第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA1），
（ＶA2），（ＶA3）においては、図示しないが、上側に
位置する渦流形圧縮ポンプ（ＶA1）の吐出口（３５）と
中央に位置する渦流形圧縮ポンプ（ＶA2）の吸込口（３
４）とが接続されているとともに、該中央に位置する渦
流形圧縮ポンプ（ＶA2）の吐出口（３５）と下側に位置
する渦流形圧縮ポンプ（ＶA3）の吸込口（３４）とが接
続されていて、該各圧縮ポンプ（ＶA1）〜（ＶA3）で順
次空気を圧縮して上記第２渦流形圧縮ポンプ（ＶB1），
（ＶB2）に送り出している。On the other hand, each of the first impellers (22) has a disk-shaped hub (41), which protrudes outward from three positions in the vertical direction on the outer peripheral surface of the first rotor housing (14). A plurality of blades (4
2), ... Are radially extended. Both end surfaces of the hub (41) have disk portions (23a), (24a), (25a), (2) of housing members (23), (24), (25), and (26) that face each other vertically.
6a) is closely covered, and the second rotor housing (17) is provided at the center of the first rotor housing (14).
The drive shaft (6) penetrates through and is connected to the upper cylindrical protrusion (15a). The drive shaft (6) is the first to the first
Third main flow paths (28a), (28b), (28c) and first to third guide members (31a), (31b), (31
It is located concentrically with c), and the first impeller (22) is rotated by the drive of the motor (9). The hub outer peripheral surface (31a) is formed as a cylindrical surface concentric with the drive shaft (6), and constitutes a part of the inner peripheral surface of the first main flow path (28a). The blades (42), ... Of the first impeller (22) project in the centrifugal direction from the hub outer peripheral surface (41a) and face the main flow path (28a),
The tip is formed so as to be close to the inner peripheral portion of the first guide member (31a). Further, as shown in FIG. 5, the blade (42) is formed over both end surfaces of the hub (41) so that air flows from the blade leading edge (42a) to the blade trailing edge (42b).
When passing through the blade (42), the flow from the front surface to the rear surface of the hub (41) becomes almost axial flow, and when the blade (42) passes, the angular kinetic energy is increased. It is designed to be given to the air. Then, each of the first vortex flow type compression pumps (VA1),
In (VA2) and (VA3), although not shown, the discharge port (35) of the upper vortex type compression pump (VA1) and the suction port (3) of the central vortex type compression pump (VA2) are shown.
4) is connected, and the discharge port (35) of the vortex type compression pump (VA2) located in the center is connected to the suction port (34) of the vortex type compression pump (VA3) located below. The second vortex flow type compression pump (VB1) by sequentially compressing air by the compression pumps (VA1) to (VA3),
It has been sent to (VB2).

【００３０】また、上記各第２渦流形圧縮ポンプ（ＶB
1），（ＶB2）は、上記各第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA
1），（ＶA2），（ＶA3）と同様に空気を螺旋状に移送
しつつ圧縮しており、上部ケ―シング（２）に固定され
た第２ハウジング（５１）内に第２羽根車（５２），
（５２）が収納されて構成されている。該第２ハウジン
グ（５１）は、上記第１ハウジング（２１）における最
下端位置のハウジング部材（２６）を上部に位置せし
め、このハウジング部材（２６）を合わせて上下に３分
割されたハウジング部材（５４），（５５）を一体的に
組合わせて形成されている。上記各ハウジング部材（２
６），（５４），（５５）のうち、上部のハウジング部
材（２６）は、その下部に上記第２羽根車（５２）の上
端面を覆うディスク部（５３ａ）と、該ディスク部（５
３ａ）の外周縁に連続形成された略半楕円形状の環状凹
部を有する半ト―ラス部（５３ｂ）とを有している。ま
た、上記中央のハウジング部材（５４）は、上記第２羽
根車（５２）の上下端面を覆うディスク部（５４ａ），
（５４ａ）と、該ディスク部（５４ａ），（５４ａ）の
外周縁に連続形成された四分の一円弧状の環状凹部を有
する半ト―ラス部（５４ｂ），（５４ｂ）とを有してい
る。さらに、上記下部のハウジング部材（５５）は、上
部に上記第２羽根車（５２）の下端面を覆うディスク部
（５５ａ）と、該ディスク部（５５ａ）の外周縁に連続
形成された略半楕円形状の環状凹部を有する半ト―ラス
部（５５ｂ）とを有している。そして、上記半ト―ラス
部（５３ｂ），（５４ｂ），（５５ｂ）は、互いに上下
に対向する半ト―ラス部（５３ｂ），（５４ｂ），（５
５ｂ）同士によって上側より第４及び第５中空環状部
（５６ａ），（５６ｂ）をそれぞれ形成しており、該各
中空環状部（５６ａ），（５６ｂ）内が空気の第４，第
５主流路（５７ａ），（５７ｂ）に構成されている。Further, each of the second vortex flow type compression pumps (VB
1) and (VB2) are the above first vortex type compression pumps (VA
Like 1), (VA2), and (VA3), air is compressed while being transferred spirally, and the second impeller (51) is fixed in the second housing (51) fixed to the upper casing (2). 52),
(52) is housed and configured. In the second housing (51), the housing member (26) at the lowermost position in the first housing (21) is located at the upper portion, and the housing member (26) is divided into three upper and lower housing members (26). 54) and (55) are integrally formed. Each housing member (2
6), (54), (55), the upper housing member (26) has a disc portion (53a) covering the upper end surface of the second impeller (52) at the lower portion thereof, and the disc portion (5).
3a) has a semi-torus portion (53b) having a substantially semi-elliptical annular recess formed continuously on the outer peripheral edge thereof. The central housing member (54) has a disk portion (54a) covering the upper and lower end surfaces of the second impeller (52),
(54a) and half-torus portions (54b), (54b) having quarter circular arc-shaped annular concave portions continuously formed on the outer peripheral edges of the disc portions (54a), (54a). ing. Further, the lower housing member (55) has a disk portion (55a) covering the lower end surface of the second impeller (52) at the upper portion, and a substantially half portion continuously formed on the outer peripheral edge of the disk portion (55a). And a half-torus portion (55b) having an elliptical annular recess. The half-transverse parts (53b), (54b), (55b) are opposed to each other in the vertical direction.
5b) form fourth and fifth hollow annular portions (56a), (56b) from the upper side, and the hollow annular portions (56a), (56b) are the fourth and fifth main streams of air. The roads (57a) and (57b) are configured.

【００３１】そして、図６に示すように、上記第４主流
路（５７ａ）（同一構成となるので第５主流路（５７
ｂ）の説明は省略する）には、該第４主流路（５７ａ）
を高圧側と低圧側とに区画するよう，第４中空環状部
（５６ａ）の内周面から第２ハウジング（５１）の外周
面に亘る所定幅の区画部材（６１）が設けられている。
そして、上記区画部材（６１）の内周部には上記第２羽
根車（５２）が通る案内路（６２）が刳設されており、
該区画部材（６１）の一側方（図６において右側）には
上側のハウジング部材（２６）の半ト―ラス部（５３
ｂ）に空気の吸込口（６３）が、他側方（図６において
左側）には下側のハウジング部材（５４）の半ト―ラス
部（５４ｂ）に空気の吐出口（６４）がそれぞれ開設さ
れていて、該吸込口（６３）から導入された空気と吐出
口（６４）から吐出される空気とが区画部材（６１）で
合流しないように構成されている。As shown in FIG. 6, the fourth main flow path (57a) (the fifth main flow path (57) has the same structure.
The description of (b) is omitted) in the fourth main flow path (57a).
A partitioning member (61) having a predetermined width is provided from the inner peripheral surface of the fourth hollow annular portion (56a) to the outer peripheral surface of the second housing (51) so as to partition the high pressure side and the low pressure side.
A guide path (62) through which the second impeller (52) passes is provided in the inner peripheral portion of the partition member (61),
On one side (the right side in FIG. 6) of the partition member (61), the half-torus portion (53) of the upper housing member (26) is provided.
b) has an air inlet (63), and the other side (left side in FIG. 6) has an air outlet (64) in the half-torus portion (54b) of the lower housing member (54). It is opened so that the air introduced from the suction port (63) and the air discharged from the discharge port (64) do not merge at the partition member (61).

【００３２】一方、上記各第２羽根車（５２）は、図７
にも示すように、第２ロ―タハウジング（１７）の外周
面上下位置より外方に突出する円板状のハブ（７１）の
外周部（７１ａ）に複数枚の羽根（７２），…が放射状
に延設されて構成されている。該ハブ（７１）の両端面
は、互いに上下に対向するハウジング部材（５３），
（５４），（５５）同士のディスク部（５３ａ），（５
４ａ），（５５ａ）が近接して覆われており、第２ロ―
タハウジング（１７）の中央部に上記駆動軸（６）が貫
通して連結されている。該駆動軸（６）は上記第４，第
５主流路（５７ａ），（５７ｂ）と同心上に位置し、上
記モ―タ（９）の駆動により第２羽根車（５２）が回転
するように成っている。また、上記ハブ外周部（７１
ａ）における外周面は、駆動軸（６）と同心上の円筒面
に形成され、上記第４主流路（５７ａ）内周面の一部を
構成している。上記各第２羽根車（５２）のうち、上側
の第２羽根車（５２）の羽根（７２），…は、図８に示
すように、上記ハブ外周部（７１ａ）側面上側を第４主
流路（５７ａ）に沿った円弧面に形成して第４主流路
（５７ａ）内に臨むよう該外周部（７１ａ）側面上側に
設けられており、先端が第４主流路（５７ａ）の外周部
に近接するように形成されている。一方、下側の第２羽
根車（５２）の羽根（７２），…は、上記ハブ外周部
（７１ａ）側面下側を第５主流路（５７ｂ）に沿った円
弧面に形成して第５主流路（５７ｂ）内に臨むよう該外
周部（７１ａ）側面下側に設けられており、先端が第５
主流路（５７ｂ）の外周部に近接するように形成されて
いる。更に、該羽根（７２），…は、上記ハブ（７１）
の両端面に亘って形成され、空気が羽根前縁（７２ａ）
から後縁（７２ｂ）に通り抜けると、上記ハブ（７１）
の前面から後面に通り抜けるように成っており、該羽根
（７２），…の通過時の流れがほぼ軸流流れになり、こ
の羽根（７２）通過時に角運動エネルギが空気に与えら
れるように構成されている。そして、上記各第２渦流形
圧縮ポンプ（ＶB1），（ＶB2）においては、図示しない
が、上側の渦流形圧縮ポンプ（ＶB1）の吐出口（６４）
と下側の渦流形圧縮ポンプ（ＶB2）の吸込口（６３）と
が接続されていて、該各圧縮ポンプ（ＶB1），（ＶB2）
で順次空気を圧縮して大気に放出するようにしている。On the other hand, each of the second impellers (52) is shown in FIG.
As also shown in FIG. 7, a plurality of blades (72) are provided on the outer peripheral portion (71a) of the disk-shaped hub (71) projecting outward from the vertical position of the outer peripheral surface of the second rotor housing (17). Are radially extended. Both end surfaces of the hub (71) have housing members (53) vertically facing each other,
Disk parts (53a), (5) between (54) and (55)
4a) and (55a) are closely covered, and the second roll
The drive shaft (6) penetrates and is connected to the central portion of the housing (17). The drive shaft (6) is located concentrically with the fourth and fifth main flow paths (57a), (57b), and the second impeller (52) is rotated by driving the motor (9). Made of Further, the hub outer peripheral portion (71
The outer peripheral surface in a) is formed as a cylindrical surface concentric with the drive shaft (6) and constitutes a part of the inner peripheral surface of the fourth main flow path (57a). Of the second impellers (52) described above, the blades (72) of the upper second impeller (52), as shown in FIG. It is formed on an arcuate surface along the path (57a) and is provided on the upper side of the side surface of the outer peripheral portion (71a) so as to face the inside of the fourth main flow path (57a), and the tip is the outer peripheral portion of the fourth main flow path (57a). Is formed so as to be close to. On the other hand, the blades (72) of the lower second impeller (52) are formed by forming the lower side surface of the hub outer peripheral portion (71a) into an arc surface along the fifth main flow path (57b). It is provided on the lower side of the side surface of the outer peripheral portion (71a) so as to face the main flow path (57b), and the tip is the fifth
It is formed so as to be close to the outer peripheral portion of the main channel (57b). Further, the blades (72), ...
Is formed over both end faces of the air, and the air is blown by the blade leading edge (72a).
From the rear edge (72b), the hub (71)
Is configured to pass from the front surface to the rear surface of the blade, and the flow when passing through the blades (72), ... Is substantially an axial flow, and angular kinetic energy is given to air when passing through the blade (72). Has been done. Although not shown, in each of the second vortex type compression pumps (VB1) and (VB2), the discharge port (64) of the upper vortex type compression pump (VB1) is not shown.
And the suction port (63) of the lower vortex type compression pump (VB2) are connected to each other, and the respective compression pumps (VB1), (VB2)
The air is compressed in sequence and released into the atmosphere.

【００３３】次に、本発明の特徴として、上記３台の第
１渦流形圧縮ポンプ（ＶA1），（ＶA2），（ＶA3）は、
第１主流路（２８ａ），第２主流路（２８ｂ），第３主
流路（２８ｃ）の順で流路断面積が暫時減少していると
ともに、第１ガイド部材（３１ａ），第２ガイド部材
（３１ｂ），第３ガイド部材（３１ｃ）の順で断面積が
暫時減少している。すなわち、第１主流路（２８ａ）を
代表して述べると、図９および図１０にも示すように、
第１主流路（２８ａ）の流路断面積は、吸込口（３４）
側から吐出口（３５）側に向かうに従い漸減させた第１
ガイド部材（３１ａ）の断面積でもって、吸込口（３
４）側から吐出口（３５）側に向かうに従いスム―ズに
漸減している。また、上記２台の第２渦流形圧縮ポンプ
（ＶB1），（ＶB2）は、上記下側の第１渦流形圧縮ポン
プ（ＶA3）の第３主流路（２８ｃ）に引き続いて第４主
流路（５７ａ），第５主流路（５７ｂ）の順で流路断面
積が暫時減少しており、第４主流路（５７ａ）を代表し
て述べると、図１１及び図１２にも示すように、第４主
流路（５７ａ）の流路断面積は、吸込口（３４）側から
吐出口（３５）側に向かうに従い漸減している。そし
て、上記３台の第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA1），（ＶA
2），（ＶA3）における各第１羽根車（２２）の羽根
（４２），…、及び上記２台の第２渦流形圧縮ポンプ
（ＶB1），（ＶB2）における各第２羽根車（５２）の羽
根（７２）…は、翼形が略三日月状に形成されて所定の
反りを有するように形成されていて、各羽根車（２
２），（５２）の回転時における羽根（４２），（７
２）の空気の受圧面積を大きく確保している。また、図
５及び図８に示したように、該各羽根（４２），（７
２）の流入角（ａ1 ）及び流出角（ａ2 ）は、例えば、
４５°に形成され、該流入角（ａ1 ）によって空気がス
ム―ズに羽根（４２），（７２）に流入する一方、流出
角（ａ2 ）によって羽根（４２），（７２）の流出時に
大きなエネルギが与えられるように成っている。Next, as a feature of the present invention, the three first vortex type compression pumps (VA1), (VA2), (VA3) are
The cross-sectional area of the first main flow channel (28a), the second main flow channel (28b), and the third main flow channel (28c) is temporarily reduced in this order, and the first guide member (31a) and the second guide member are also provided. (31b), the third guide member (31c) in order, the cross-sectional area is temporarily reduced. That is, to describe the first main flow path (28a) as a representative, as shown in FIG. 9 and FIG.
The flow passage cross-sectional area of the first main flow passage (28a) is equal to the suction port (34).
From the first side toward the discharge port (35) side
With the cross-sectional area of the guide member (31a), the suction port (3
It gradually decreases from the 4) side toward the discharge port (35) side in a smooth manner. The two second vortex type compression pumps (VB1) and (VB2) are connected to the third main channel (28c) of the lower first vortex type compression pump (VA3) and subsequently to the fourth main channel (28c). 57a) and the fifth main flow channel (57b), the cross-sectional area of the flow channel is decreasing for a while. To describe the fourth main flow channel (57a) as a representative, as shown in FIG. 11 and FIG. The cross-sectional area of the four main channels (57a) gradually decreases from the suction port (34) side toward the discharge port (35) side. Then, the three first vortex type compression pumps (VA1), (VA
2), blades (42) of each first impeller (22) in (VA3), ..., And each second impeller (52) in the above two second vortex flow compression pumps (VB1), (VB2) The blades (72) of the blades (72) are formed so as to have a substantially crescent shape and have a predetermined warp, and each blade (2)
2), blades (42), (7) when rotating (52)
The large pressure receiving area of 2) is secured. Further, as shown in FIGS. 5 and 8, the blades (42), (7
The inflow angle (a1) and the outflow angle (a2) of 2) are, for example,
It is formed at 45 °, and the inflow angle (a1) allows air to smoothly flow into the blades (42) and (72), while the outflow angle (a2) causes large air flow when the blades (42) and (72) flow out. It is designed to be energized.

【００３４】次に、上記複合真空ポンプ（１）の作用に
ついて説明する。Next, the operation of the composite vacuum pump (1) will be described.

【００３５】先ず、駆動モ―タ（９）を始動すると、ね
じ溝形圧縮ポンプ（Ｎ）、第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA
1），（ＶA2），（ＶA3）及び第２渦流形圧縮ポンプ
（ＶB1），（ＶB2）が共に起動し、真空室の空気が流入
口（５ａ）より第１ハウジング（５ａ）内に吸込まれ
る。この吸込まれた空気は、先ず、上記ねじ溝形圧縮ポ
ンプ（Ｎ）の両ロ―タ（１１），（１１）の回転によ
り、上部ステ―タ（１２）の上面螺旋溝（１２ａ）に導
入して求心方向に螺旋運動した後、下面螺旋溝（１２
ａ）に移って遠心方向に螺旋運動し、その後、中央部ス
テ―タ（１２）の上面螺旋溝（１２ａ）に導入して再度
求心方向に螺旋運動してから下面螺旋溝（１２ａ）に移
って遠心方向に螺旋運動し、次いで下部ステ―タ（１
２）の上面螺旋溝（１２ａ）に移り、再び求心方向に螺
旋運動して空気は１０Ｔorr 程度に圧縮されて下方に吐
出される。First, when the drive motor (9) is started, the thread groove type compression pump (N) and the first vortex type compression pump (VA
1), (VA2), (VA3) and the second vortex flow type compression pumps (VB1), (VB2) are both activated, and the air in the vacuum chamber is sucked into the first housing (5a) through the inlet (5a). Be done. The sucked air is first introduced into the upper spiral groove (12a) of the upper stator (12) by the rotation of both rotors (11), (11) of the screw groove type compression pump (N). Then, after spiraling in the centripetal direction, the lower surface spiral groove (12
After moving to a), the spiral movement in the centrifugal direction is made, and then it is introduced into the upper surface spiral groove (12a) of the central portion stator (12) and again spiraled in the centripetal direction and then moved to the lower surface spiral groove (12a). Spirally in the centrifugal direction, and then the lower stator (1
It moves to the upper surface spiral groove (12a) of 2) and again spirals in the centripetal direction to compress the air to about 10 Torr and discharge it downward.

【００３６】続いて、上記ねじ溝形圧縮ポンプ（Ｎ）よ
り吐出された空気は、上側の第１渦流形圧縮ポンプ（Ｖ
A1）の吸込口（３４）より第１主流路（２８ａ）に導入
し、第１羽根車（２２）の回転により該第１主流路（２
８ａ）内を螺旋運動しつつ第１主流路（２８ａ）の軸方
向に進み、この螺旋運動中において羽根（４２），…に
より角運動エネルギが与えられて圧縮される。次いで、
上記空気は上側の第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA1）の吐出
口（３５）より吐出し、中央の第１渦流形圧縮ポンプ
（ＶA2）の吸込口より該圧縮ポンプ（ＶA2）の第２主流
路（２８ｂ）に吸込まれ、上述と同様に螺旋運動して圧
縮される。その後、上記空気は中央の第１渦流形圧縮ポ
ンプ（ＶA2）の吐出口より吐出し、下側の第１渦流形圧
縮ポンプ（ＶA3）の吸込口より該圧縮ポンプ（ＶA3）の
主流路（２８ｃ）に吸込まれ、上述と同様に螺旋運動し
て圧縮され、吐出口より吐出される。Subsequently, the air discharged from the screw groove type compression pump (N) is supplied to the upper first vortex type compression pump (V).
It is introduced from the suction port (34) of A1) into the first main flow path (28a), and the first main flow path (2) is rotated by the rotation of the first impeller (22).
8a) moves in the axial direction of the first main flow path (28a) while making a spiral motion, and during this spiral motion, blades (42), ... Then
The air is discharged from the discharge port (35) of the upper first vortex type compression pump (VA1), and the second main flow path of the compression pump (VA2) from the suction port of the first vortex type compression pump (VA2) in the center. It is sucked into (28b) and spirally compressed as described above to be compressed. Thereafter, the air is discharged from the discharge port of the first vortex flow type compression pump (VA2) at the center, and from the suction port of the first vortex flow type compression pump (VA3) on the lower side, the main flow path (28c) of the compression pump (VA3). ), Is spiraled and compressed in the same manner as described above, and is discharged from the discharge port.

【００３７】さらに、上記下側の第１渦流形圧縮ポンプ
（ＶA3）の吐出口より吐出された空気は、上側の第２渦
流形圧縮ポンプ（ＶB1）の吸込口（６３）より第４主流
路（５７ａ）に導入し、第２羽根車（５２）の回転によ
り該第４主流路（５７ａ）内を螺旋運動しつつ第４主流
路（５７ａ）の軸方向に進み、この螺旋運動中において
羽根（７２），…により角運動エネルギが与えられて圧
縮される。その後、上記空気は上側の第２渦流形圧縮ポ
ンプ（ＶA1）の吐出口（６４）より吐出し、下側の第２
渦流形圧縮ポンプ（ＶB2）の吸込口より該圧縮ポンプ
（ＶB2）の第５主流路（５７ｂ）に吸込まれ、上述と同
様に螺旋運動して７６０Ｔorr 程度に圧縮され、吐出口
より吐出して、連結部材（４）の流出口（５ｂ）より大
気に放出される。Further, the air discharged from the discharge port of the lower first vortex flow type compression pump (VA3) has a fourth main flow path from the suction port (63) of the upper second vortex flow type compression pump (VB1). (57a), the second impeller (52) rotates to spirally move in the fourth main flow path (57a) while moving in the axial direction of the fourth main flow path (57a). (72), ... Gives angular kinetic energy and compresses. After that, the air is discharged from the discharge port (64) of the second upper vortex type compression pump (VA1) and the second lower vortex type compression pump (VA1).
It is sucked into the fifth main flow path (57b) of the compression pump (VB2) from the suction port of the vortex flow type compression pump (VB2), spirals in the same manner as described above, is compressed to about 760 Torr, and is discharged from the discharge port. It is released into the atmosphere from the outlet (5b) of the connecting member (4).

【００３８】この圧縮動作中において、第１渦流形圧縮
ポンプ（ＶA1）〜（ＶA3) 及び第２渦流形圧縮ポンプ
（ＶB1），（ＶB2）による流体の螺旋運動は、吸込口
（３４），（６３）から吐出口（３５），（６４）にか
けて流路断面積を漸減させた各主流路（２８ａ）〜（２
８ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）内において徐々に増大
する角運動エネルギにより加速され、流体の圧縮効率が
効果的に高められる。その上、上記圧縮動作中におい
て、第１渦流形圧縮ポンプ（ＶA1）〜（ＶA3) 内のガイ
ド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）の断面積は、吸込口（３
４）側から吐出口（３５）側に向かうに従い暫時減少し
ているので、主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）の流路断面
積が、吸込口（３４）から吐出口（３５）にかけて流路
断面積を漸減させた主流路（２８ａ）〜（２８ｃ）に伴
いガイド部材（３１ａ）〜（３１ｃ）の断面積を漸減さ
せることによってスム―ズに漸減されることになり、主
流路（２８ａ）〜（２８ｃ）内において徐々に増大する
角運動エネルギにより流体の螺旋運動が加速され、流体
の圧縮効率がより効果的に高められる。さらに、第１及
び第２羽根車（２２），（５２）の複数枚の羽根（４
２），（７２），…の翼形が断面略三日月状に形成され
て所定の反りを有するように形成されているので、第１
〜第５主流路（２８ａ）〜（２８ｃ），（５７ａ），
（５７ｂ）内において各羽根（４２），（７２）が受け
る流体の受圧面積が増大している上、流体は進み角が変
化しても羽根（４２），（７２）への衝突が少なく、し
かも、羽根（４２），（７２）に沿って流体が流れるこ
とになり、スム―ズな渦流を形成することができると共
に、吸込口（３４），（６３）から吐出口（３５），
（６４）にかけて安定した流れを維持することができ、
流体の圧縮効率がさらに効果的に高められる。During this compression operation, the spiral movement of the fluid by the first vortex flow type compression pumps (VA1) to (VA3) and the second vortex flow type compression pumps (VB1), (VB2) is caused by the suction ports (34), (VB1). 63) to the discharge ports (35) and (64), the main flow channels (28a) to (2) whose flow channel cross-sectional areas are gradually reduced.
8c), (57a) and (57b) are accelerated by the gradually increasing angular kinetic energy, and the compression efficiency of the fluid is effectively increased. Moreover, during the compression operation, the cross-sectional area of the guide members (31a) to (31c) in the first vortex flow type compression pumps (VA1) to (VA3) is equal to the suction port (3).
Since it gradually decreases from the 4) side toward the discharge port (35) side, the flow channel cross-sectional area of the main flow channels (28a) to (28c) extends from the suction port (34) to the discharge port (35). By gradually reducing the cross-sectional areas of the guide members (31a) to (31c) along with the main channels (28a) to (28c) whose cross-sectional areas are gradually reduced, the main channels (28a) are smoothly reduced. The angular kinetic energy that gradually increases within ~ (28c) accelerates the spiral motion of the fluid, thereby more effectively increasing the compression efficiency of the fluid. Furthermore, a plurality of blades (4) of the first and second impellers (22), (52)
Since the airfoils of 2), (72), ... Are formed to have a substantially crescent-shaped cross section and have a predetermined warp,
~ Fifth main flow path (28a) ~ (28c), (57a),
In (57b), the pressure receiving area of the fluid received by each of the blades (42) and (72) is increasing, and the fluid is less likely to collide with the blades (42) and (72) even if the lead angle changes. Moreover, the fluid flows along the blades (42) and (72), so that a smooth vortex can be formed, and the suction ports (34) and (63) to the discharge port (35),
A stable flow can be maintained through (64),
The compression efficiency of the fluid is further effectively increased.

【００３９】このため、主流路の流路断面積が吸込口側
から吐出口側にかけて略均一に形成されているもののよ
うに、主流路の駆動軸に対する軸径を外方に増大させた
り、主流路を駆動軸方向に複数段併設したりして、主流
路内における圧縮効率の向上を図る必要がなくなり、第
１〜第５主流路（２８ａ）〜（２８ｃ），（５７ａ），
（５７ｂ）の軸径の小径化及び第１〜第５主流路（２８
ａ）〜（２８ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）の省段化が
共に図れて、第１，第２渦流形タ―ボ機械（ＶA1）〜
（ＶA3），（ＶB1），（ＶB2）の小型軽量化を著しく向
上させることができる。Therefore, as in the case where the flow passage cross-sectional area of the main flow passage is formed substantially uniform from the suction port side to the discharge port side, the shaft diameter of the main flow channel with respect to the drive shaft is increased outward or There is no need to improve the compression efficiency in the main flow path by arranging a plurality of paths in the drive axis direction, and the first to fifth main flow paths (28a) to (28c), (57a),
(57b) The shaft diameter is reduced and the first to fifth main flow paths (28
a)-(28c), (57a), (57b) can be reduced in number, and the first and second vortex flow type turbo machines (VA1)-
The size and weight reduction of (VA3), (VB1), and (VB2) can be significantly improved.

【００４０】図１３は、上記第１及び第２渦流形圧縮ポ
ンプ（ＶA1）〜（ＶA3），（ＶB1），（ＶB2）のポンプ
性能Ａを、主流路の流路断面積が吸込口側の大径な流路
断面積のままで吐出口側に至るよう略均一に形成されて
いる渦流形圧縮ポンプのポンプ性能Ｂと、主流路の流路
断面積が吐出口側の小径な流路断面積のままで吸込口側
から吐出口側まで至るよう略均一に形成されている渦流
形圧縮ポンプのポンプ性能Ｃとで比較したものであり、
横軸は対数目盛で排気速度Ｓ（ｌ／Ｍin）を示し、縦軸
は圧縮比ＰＲ（Ｐ）を示している。尚、圧縮比ＰＲ（Ｐ
＝２）は７６０Ｔorr となる。FIG. 13 shows the pump performance A of the first and second vortex flow type compression pumps (VA1) to (VA3), (VB1), (VB2) in which the cross-sectional area of the main flow passage is on the suction port side. The pump performance B of the vortex-type compression pump, which is formed almost uniformly so as to reach the discharge port side with the large-diameter flow channel cross-sectional area, and the flow channel cross-sectional area of the main flow channel is small on the discharge port side. It is compared with the pump performance C of the vortex type compression pump which is formed substantially uniformly from the suction port side to the discharge port side while maintaining the area,
The horizontal axis represents the exhaust speed S (l / Min) on a logarithmic scale, and the vertical axis represents the compression ratio PR (P). The compression ratio PR (P
= 2) is 760 Torr.

【００４１】従って、吸込口（３４），（６３）から吐
出口（３５），（６４）にかけて第１〜第５主流路（２
８ａ）〜（２８ｃ），（５７ａ），（５７ｂ）の流路断
面積をそれぞれ漸減させることにより、主流路の流路断
面積が吸込口側の大径な流路断面積のままで吐出口側に
至るよう略均一に形成されている渦流形圧縮ポンプのポ
ンプ性能Ｂ、及び主流路の流路断面積が吐出口側の小径
な流路断面積のままで吸込口側から吐出口側まで至るよ
う略均一に形成されている渦流形圧縮ポンプのポンプ性
能Ｃに比して、各主流路（２８ａ）〜（２８ｃ），（５
７ａ），（５７ｂ）内における流体の圧縮効率が効果的
に高められることが判る。Therefore, the first to fifth main flow paths (2) from the suction ports (34) and (63) to the discharge ports (35) and (64).
8a) to (28c), (57a), and (57b) are gradually reduced, so that the flow passage cross-sectional area of the main flow passage remains the large-diameter flow passage cross-sectional area of the discharge port. From the suction side to the discharge side with the pump performance B of the vortex-type compression pump formed almost uniformly to reach the side and the flow path cross-sectional area of the main flow path remains the small diameter cross-sectional area of the discharge side. The main flow paths (28a) to (28c), (5
It can be seen that the compression efficiency of the fluid in 7a) and (57b) is effectively increased.

【００４２】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、その他種々の変形例を包含するものである。
例えば、上記実施例では、吸込口（３４）から吐出口
（３５）にかけて第１〜第３ガイド部材（３１ａ）〜
（３１ｃ）の断面積を暫時減少させつつ第１〜第３主流
路（２８ａ）〜（２８ｃ）の流路断面積をそれぞれ漸減
させたが、吸込口から吐出口にかけて第１〜第３ガイド
部材の断面積を暫時増大させつつ第１〜第３主流路の流
路断面積がそれぞれ漸減されるように構成してもよい。The present invention is not limited to the above embodiment, but includes various other modifications.
For example, in the above-described embodiment, the first to third guide members (31a) to the suction port (34) to the discharge port (35).
Although the flow passage cross-sectional areas of the first to third main flow passages (28a) to (28c) were gradually decreased while the cross-sectional area of (31c) was temporarily reduced, the first to third guide members were drawn from the suction port to the discharge port. The cross-sectional area of each of the first to third main flow paths may be gradually reduced while the cross-sectional area of No. 1 is increased for a while.

【００４３】また、上記実施例では、第１渦流形圧縮ポ
ンプ（ＶA1）〜（Ｖ3 ）と第２渦流形圧縮ポンプ（ＶB
1），（ＶB2）とを重畳したが、第１渦流形圧縮ポンプ
又は第２渦流形圧縮ポンプのみを重畳するようにしても
良い。In the above embodiment, the first vortex type compression pumps (VA1) to (V3) and the second vortex type compression pump (VB) are used.
Although 1) and (VB2) are superposed, only the first vortex flow type compression pump or the second vortex flow type compression pump may be superposed.

[Brief description of drawings]

【図１】複合真空ポンプ上部の拡大縦断面図である。FIG. 1 is an enlarged vertical sectional view of an upper portion of a composite vacuum pump.

【図２】複合真空ポンプ上部の縦断面図である。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of an upper portion of a composite vacuum pump.

【図３】複合真空ポンプの縦断面図である。FIG. 3 is a vertical sectional view of a composite vacuum pump.

【図４】第１渦流形圧縮ポンプをガイド部材付近で切断
した横断面図である。FIG. 4 is a transverse cross-sectional view of the first vortex flow type compression pump cut near the guide member.

【図５】第１渦流形圧縮ポンプにおける第１羽根車の正
面図である。FIG. 5 is a front view of a first impeller of the first vortex type compression pump.

【図６】第２渦流形圧縮ポンプにおける第４主通路の横
断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a fourth main passage in the second vortex flow type compression pump.

【図７】第２渦流形圧縮ポンプにおける上側の第２羽根
車の縦断面図である。FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of an upper second impeller of the second vortex type compression pump.

【図８】第２渦流形圧縮ポンプにおける第２羽根車の正
面図である。FIG. 8 is a front view of a second impeller of the second vortex type compression pump.

【図９】第１渦流形圧縮ポンプにおける吸込口付近の第
１主通路の縦断面図である。FIG. 9 is a vertical cross-sectional view of a first main passage near a suction port of a first vortex flow compression pump.

【図１０】第１渦流形圧縮ポンプにおける吐出口付近の
第１主通路の縦断面図である。FIG. 10 is a vertical cross-sectional view of a first main passage near a discharge port in a first vortex flow compression pump.

【図１１】第２渦流形圧縮ポンプにおける吸込口付近の
第４主通路の縦断面図である。FIG. 11 is a vertical cross-sectional view of a fourth main passage in the vicinity of the suction port of the second vortex type compression pump.

【図１２】第２渦流形圧縮ポンプにおける吐出口付近の
第４主通路の縦断面図である。FIG. 12 is a vertical cross-sectional view of a fourth main passage in the vicinity of a discharge port of a second vortex type compression pump.

【図１３】各渦流形圧縮ポンプの排気速度に対する圧縮
比の特性を示す特性図である。FIG. 13 is a characteristic diagram showing a characteristic of a compression ratio with respect to an exhaust speed of each vortex flow type compression pump.

[Explanation of symbols]

２１第１ハウジング２２第１羽根車２７ａ〜２７ｃ第１〜第３中空環状部２８ａ〜２８ｃ第１〜第３主流路３１ａ〜３１ｃ第１〜第３ガイド部材３４，６３吸込口３５，６４吐出口４１，７１ハブ４１ａ，７１ａ外周部４２，７２羽根５１第２ハウジング５２第２羽根車５６ａ，５６ｂ第４，第５中空環状部５７ａ，５７ｂ第４，第５主流路 21 first housing 22 1st impeller 27a-27c 1st-3rd hollow annular part 28a-28c 1st-3rd main flow path 31a-31c 1st-3rd guide member 34,63 Suction port 35, 64 outlet 41,71 hubs 41a, 71a outer peripheral portion 42,72 blades 51 Second housing 52 Second impeller 56a, 56b Fourth and fifth hollow annular portions 57a, 57b Fourth and fifth main flow paths

Claims

[Claims]

1. Fluid inlets (34), (63) and outlets (35), (64) are opened, and main fluid channels (28a) to (28c), (57a), (57b) are provided. )
Hollow annular parts (27a) to (27c), (56)
housings (21), (5) having a), (56b)
1) and the housings (21) and (51) are housed in the main channels (28a) to (28c), (57a) and (57b) through the suction ports (34) and (63). The sucked fluid is compressed while being transferred in a spiral shape, and is discharged from the discharge ports (35) and (64) through the housings (21) and (51).
In a vortex type turbomachine equipped with impellers (22) and (52) for discharging to the outside, a hub (41) having a drive shaft (6) connected to the impellers (22) and (52). ), (71) outer peripheral portion (41a),
From (71a), the main flow paths (28a) to (28c),
A plurality of blades (42) facing (57a), (57b),
(72), ... Are radially provided, and the flow passage cross-sectional areas of the main flow passages (28a) to (28c), (57a), (57b) are from the suction port (34), (63) side. A vortex type turbo machine characterized in that it gradually decreases toward the discharge ports (35), (64).

2. The hollow annular portions (27a) to (27c) are
The swirl type turbomachine according to claim 1, further comprising guide members (31a) to (31c) extending from the suction port (34) side toward the discharge port (35) side at the center thereof.

3. The vortex type turbo robot according to claim 2, wherein the cross-sectional areas of the guide members (31a) to (31c) are temporarily increased from the suction port (34) side toward the discharge port (35) side. machine.

4. The vortex type turbo robot according to claim 2, wherein the cross-sectional areas of the guide members (31a) to (31c) are temporarily reduced from the suction port (34) side toward the discharge port (35) side. machine.

5. The vortex type turbo machine according to claim 1, wherein the plurality of blades (42), (72), ... Have a curved cross-sectional shape.