JPH0487641U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0487641U JPH0487641U JP12922790U JP12922790U JPH0487641U JP H0487641 U JPH0487641 U JP H0487641U JP 12922790 U JP12922790 U JP 12922790U JP 12922790 U JP12922790 U JP 12922790U JP H0487641 U JPH0487641 U JP H0487641U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- suction
- collet
- suction pipe
- attached
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るペレツト吸着
装置の一部破断斜視図、第２図は同実施例の縦断
面図、第３図は同実施例の使用状態を説明する縦
断面図、第４図は従来例を示す縦断面図である。 １……コレツト、１３，１４……吸着部、２…
…吸引パイプ、３……半導体ペレツト。
装置の一部破断斜視図、第２図は同実施例の縦断
面図、第３図は同実施例の使用状態を説明する縦
断面図、第４図は従来例を示す縦断面図である。 １……コレツト、１３，１４……吸着部、２…
…吸引パイプ、３……半導体ペレツト。
Claims (1)
- 吸引パイプに取着されたコレツトによつて分割
された各半導体ペレツトを吸着した状態で所定の
場所に移動させるペレツト吸着装置において、上
記吸引パイプの下端内面に、両側に吸着部をそれ
ぞれ突設したコレツトを着脱自在に取着したこと
を特徴とするペレツト吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12922790U JPH0487641U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12922790U JPH0487641U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0487641U true JPH0487641U (ja) | 1992-07-30 |
Family
ID=31876642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12922790U Pending JPH0487641U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0487641U (ja) |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP12922790U patent/JPH0487641U/ja active Pending