JPH0484720A - サーモグラフィ装置 - Google Patents
サーモグラフィ装置Info
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- JPH0484720A JPH0484720A JP2200338A JP20033890A JPH0484720A JP H0484720 A JPH0484720 A JP H0484720A JP 2200338 A JP2200338 A JP 2200338A JP 20033890 A JP20033890 A JP 20033890A JP H0484720 A JPH0484720 A JP H0484720A
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- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はサーモグラフィ装置に関し、特に、半導体集積
回路のような試料の熱画像をその放射率分布で補正する
ことにより、正確な温度分布画像を得ることが可能なサ
ーモグラフィ装置に関する。
回路のような試料の熱画像をその放射率分布で補正する
ことにより、正確な温度分布画像を得ることが可能なサ
ーモグラフィ装置に関する。
第１図に側面図を示すように、カメラスタンド１に取り
付けた赤外線カメラ２に拡大レンズ３を装着して、ＩＣ
等の被写体４を拡大してその熱画像を撮影して、それを
ＣＲＴに表示することにより温度測定をするサーモグラ
フィ装置は公知である。この場合、赤外線カメラの赤外
線観測波長と同程度の１０μｍぐらいの画像分解能で微
小部分を拡大した熱画像を見ることができる。しかしな
がら、集積回路の発熱分布等を見るためにその温度分布
を測定しようとする場合、ＩＣのシリコン表面と金属配
線パターンとの放射率が大きく異なるので、測定される
熱画像が放射率分布を反映した赤外線放射強度分布画像
として測定されてしまい、真の温度分布を測定すること
ができない。そこで、従来、放射率分布を求め、観測さ
れた熱画像をその放射率分布によって放射率補正して実
際の温度分布を求めている。
付けた赤外線カメラ２に拡大レンズ３を装着して、ＩＣ
等の被写体４を拡大してその熱画像を撮影して、それを
ＣＲＴに表示することにより温度測定をするサーモグラ
フィ装置は公知である。この場合、赤外線カメラの赤外
線観測波長と同程度の１０μｍぐらいの画像分解能で微
小部分を拡大した熱画像を見ることができる。しかしな
がら、集積回路の発熱分布等を見るためにその温度分布
を測定しようとする場合、ＩＣのシリコン表面と金属配
線パターンとの放射率が大きく異なるので、測定される
熱画像が放射率分布を反映した赤外線放射強度分布画像
として測定されてしまい、真の温度分布を測定すること
ができない。そこで、従来、放射率分布を求め、観測さ
れた熱画像をその放射率分布によって放射率補正して実
際の温度分布を求めている。
以下、この放射率補正について述べる。
サーモグラフィ装置によって物体の温度を測定する場合
、第６図に示すように、物体から放射された赤外線と環
境から放射されて物体で反射された赤外線が加算されて
サーモグラフィ装置に入射するため、放射率補正をしな
い場合、見かけの温度は次のように測定される。
、第６図に示すように、物体から放射された赤外線と環
境から放射されて物体で反射された赤外線が加算されて
サーモグラフィ装置に入射するため、放射率補正をしな
い場合、見かけの温度は次のように測定される。
Ｒ（Ｔ’）＝ εＩｔ（Ｔン千（１−ε）Ｒ（Ｔ、
）ただし、εは放射率、Ｔは測定物体の温度、Ｔ。
）ただし、εは放射率、Ｔは測定物体の温度、Ｔ。
は環境反射源の温度で、一般には反射源は部屋の壁等で
あるが、第１図のようにカメラと物体が近接した配置で
は、カメラ内部温度が反射源温度となる。Ｔｏは測定さ
れる見かけの温度、すなわち、サーモグラフィ装置の温
度指示値、Ｒ（Ｔ）は温度Ｔの黒体（ε＝１）から放射
される赤外線放射光量のうちサーモグラフィ装置で検出
される波長域の赤外線有効放射光量で、第７図のような
関係にある。１−εは物体の反射率である。一般には、
放射率、物体温度、環境反射源温度には２次元的な分布
があるので、上記の式は、 Ｒ（Ｔ’ ） （Ｘ、 ｙ）＝ Ｅ （Ｘ、 ｙ） Ｒ
（Ｔ） （ｘ、 ｙ）＋［１−ε（Ｘ、 ｙ）］Ｒ（Ｔ
、 ） （ｘ、 ｙ）と書ける。すなわち、ε（Ｘ、ｙ
） 、Ｒ（Ｔ）（Ｘ、ｙ）等は２次元的な分布を持つこ
とを意味する。一般の物体では、０≦ε（Ｘ、 ｙ）≦
１である。
あるが、第１図のようにカメラと物体が近接した配置で
は、カメラ内部温度が反射源温度となる。Ｔｏは測定さ
れる見かけの温度、すなわち、サーモグラフィ装置の温
度指示値、Ｒ（Ｔ）は温度Ｔの黒体（ε＝１）から放射
される赤外線放射光量のうちサーモグラフィ装置で検出
される波長域の赤外線有効放射光量で、第７図のような
関係にある。１−εは物体の反射率である。一般には、
放射率、物体温度、環境反射源温度には２次元的な分布
があるので、上記の式は、 Ｒ（Ｔ’ ） （Ｘ、 ｙ）＝ Ｅ （Ｘ、 ｙ） Ｒ
（Ｔ） （ｘ、 ｙ）＋［１−ε（Ｘ、 ｙ）］Ｒ（Ｔ
、 ） （ｘ、 ｙ）と書ける。すなわち、ε（Ｘ、ｙ
） 、Ｒ（Ｔ）（Ｘ、ｙ）等は２次元的な分布を持つこ
とを意味する。一般の物体では、０≦ε（Ｘ、 ｙ）≦
１である。
さて、被写体が−様な温度Ｔ、になった時、赤外線カメ
ラに入射する赤外線光量は、 Ｒ（Ｔ’＋）（ｘ、ｙ）−ε（Ｘ、ｙ）Ｒ（ＴＩ）＋［
１−Ｅ （ｘ、ｙ）コＲ（Ｔ、 ）（ｘ、ｙ）−（
１）上記温度Ｔ１と異なる温度Ｔ、に被写体を加熱する
と、 Ｒ（Ｔ’５）（ｘ、ｙ）＝ｇ （ｘ、ｙ）Ｒ（Ｔｉ）＋
［１−ε（ｘ、 ｙ）］Ｒ（Ｔ、 ） （ｘ、 ｙ）・
・毫）（２）式−（１）式より、 Ｒ（Ｔ’ ＊） （Ｘ、 ｙ）−Ｒ（Ｔ’ ＋） （Ｘ
、 ｙ）＝ Ｅ （ｘ、 ｙ） ［Ｒ（Ｔ２） −Ｒ（
Ｔ １） ］すなわち、 ここで、被写体、例えばＩＣに通電した状態での未知の
温度分布をＴｏ （ｘ、 ｙ）とすると、Ｒ（Ｔ’ ａ
） （ｘ、 ｙ）＝ ｔ−（Ｘ、 ｙ）Ｒ（Ｔｏ） （
Ｘ、 ｙ）＋［１−ε（Ｘ、 ｙ） ］Ｒ（Ｔ、 ）
（ｘ、 ｙ） ・−・Ｃ４）（荀式−（１）式より、 Ｒ（Ｔ’ ｏ） （ｘ、ｙ） −Ｒ（Ｔ’ ＋ ） （
Ｘ、 ｙ）＝ｔ （ｘ、ｙ）［Ｒ（Ｔｏ）（ｘ、ｙ）
−Ｒ（ＴＩ）コ ・（５）すなわち、 Ｒ（Ｔｏ） （Ｘ、 ｙ） ＝［Ｒ（Ｔ’ ｏ） （ｘ、 ｙ）−Ｒ（Ｔ’ ＋）
（ｘ、 ｙ）］／ ｔ （Ｘ、 ｙ）＋Ｒ（Ｔ、）・・
・（６） 又は、 Ｒ（Ｔｏ） （ｘ、 Ｙ） Ｒ（Ｔ’ ａ） （ｘ、 ｙ） −Ｒ（Ｔ’ ＋ ）
（ｘ、 ｙ）＋Ｒ（Ｔ、）・・・（７） ここで、（３）式を見ると、Ｔ’ ＋ （Ｘ、 ｙ）、
Ｔ’ ２ （ｘ、 ｙ）はサーモグラフィ装置で得られ
た熱画像の各画素の温度指示値であり既知であるので、
Ｒ（Ｔ’ ２） （Ｘ、ｙ）とＲ（Ｔ’ ＋） （ｘ、
ｙ）は第７図の温度−光量カーブから計算できる。Ｔ
、とＴ１は、例えば第１図に示したように、被写体４を
支持する金属ブロック５に挿入された温度センサー６で
測定可能であるので、放射率分布ε（ｘ、 ｙ）は（３
）式によって計算することができる。
ラに入射する赤外線光量は、 Ｒ（Ｔ’＋）（ｘ、ｙ）−ε（Ｘ、ｙ）Ｒ（ＴＩ）＋［
１−Ｅ （ｘ、ｙ）コＲ（Ｔ、 ）（ｘ、ｙ）−（
１）上記温度Ｔ１と異なる温度Ｔ、に被写体を加熱する
と、 Ｒ（Ｔ’５）（ｘ、ｙ）＝ｇ （ｘ、ｙ）Ｒ（Ｔｉ）＋
［１−ε（ｘ、 ｙ）］Ｒ（Ｔ、 ） （ｘ、 ｙ）・
・毫）（２）式−（１）式より、 Ｒ（Ｔ’ ＊） （Ｘ、 ｙ）−Ｒ（Ｔ’ ＋） （Ｘ
、 ｙ）＝ Ｅ （ｘ、 ｙ） ［Ｒ（Ｔ２） −Ｒ（
Ｔ １） ］すなわち、 ここで、被写体、例えばＩＣに通電した状態での未知の
温度分布をＴｏ （ｘ、 ｙ）とすると、Ｒ（Ｔ’ ａ
） （ｘ、 ｙ）＝ ｔ−（Ｘ、 ｙ）Ｒ（Ｔｏ） （
Ｘ、 ｙ）＋［１−ε（Ｘ、 ｙ） ］Ｒ（Ｔ、 ）
（ｘ、 ｙ） ・−・Ｃ４）（荀式−（１）式より、 Ｒ（Ｔ’ ｏ） （ｘ、ｙ） −Ｒ（Ｔ’ ＋ ） （
Ｘ、 ｙ）＝ｔ （ｘ、ｙ）［Ｒ（Ｔｏ）（ｘ、ｙ）
−Ｒ（ＴＩ）コ ・（５）すなわち、 Ｒ（Ｔｏ） （Ｘ、 ｙ） ＝［Ｒ（Ｔ’ ｏ） （ｘ、 ｙ）−Ｒ（Ｔ’ ＋）
（ｘ、 ｙ）］／ ｔ （Ｘ、 ｙ）＋Ｒ（Ｔ、）・・
・（６） 又は、 Ｒ（Ｔｏ） （ｘ、 Ｙ） Ｒ（Ｔ’ ａ） （ｘ、 ｙ） −Ｒ（Ｔ’ ＋ ）
（ｘ、 ｙ）＋Ｒ（Ｔ、）・・・（７） ここで、（３）式を見ると、Ｔ’ ＋ （Ｘ、 ｙ）、
Ｔ’ ２ （ｘ、 ｙ）はサーモグラフィ装置で得られ
た熱画像の各画素の温度指示値であり既知であるので、
Ｒ（Ｔ’ ２） （Ｘ、ｙ）とＲ（Ｔ’ ＋） （ｘ、
ｙ）は第７図の温度−光量カーブから計算できる。Ｔ
、とＴ１は、例えば第１図に示したように、被写体４を
支持する金属ブロック５に挿入された温度センサー６で
測定可能であるので、放射率分布ε（ｘ、 ｙ）は（３
）式によって計算することができる。
そして、（６）式を見ると、Ｔ’ ｏ （ｘ、ｙ）、Ｔ
’ ＋ （Ｘ、 ｙ）はサーモグラフィ装置で得られた
熱画像の各画素の温度指示値で既知であり、Ｒ（Ｔ’
ｏ） （Ｘ、 ｙ）とＲ（Ｔ’、）（ｘ、 ｙ）は第７
図の温度−光量カーブから計算できる。したがって、（
６）式のＲ（Ｔｏ） （Ｘ、 ｙ）は計算でき、Ｔｏ
（ｘ・ｙ）を知ることができる。（６）式の代わりに（
７）式を用いてもよい。
’ ＋ （Ｘ、 ｙ）はサーモグラフィ装置で得られた
熱画像の各画素の温度指示値で既知であり、Ｒ（Ｔ’
ｏ） （Ｘ、 ｙ）とＲ（Ｔ’、）（ｘ、 ｙ）は第７
図の温度−光量カーブから計算できる。したがって、（
６）式のＲ（Ｔｏ） （Ｘ、 ｙ）は計算でき、Ｔｏ
（ｘ・ｙ）を知ることができる。（６）式の代わりに（
７）式を用いてもよい。
ところで、物体４の温度をＴ１及びＴ２に加熱又は冷却
するのは、例えば第１図に示したように、例えばペルチ
ェ効果を利用したサーモモジュールからなる加熱／冷却
素子７に極性を選択しながら電流を流すようにすればよ
い。ペルチェ効果を利用する場合、電流の極性によって
金属ブロック５を加熱又は冷却できる。そして、温度セ
ンサー６で金属ブロック５の温度を検知して、温度コン
トロールする。被写体４は金属ブロック５の上に固定支
持されているので、金属ブロック５とほぼ同じ温度に加
熱又は冷却される。
するのは、例えば第１図に示したように、例えばペルチ
ェ効果を利用したサーモモジュールからなる加熱／冷却
素子７に極性を選択しながら電流を流すようにすればよ
い。ペルチェ効果を利用する場合、電流の極性によって
金属ブロック５を加熱又は冷却できる。そして、温度セ
ンサー６で金属ブロック５の温度を検知して、温度コン
トロールする。被写体４は金属ブロック５の上に固定支
持されているので、金属ブロック５とほぼ同じ温度に加
熱又は冷却される。
なお、第７図の温度−光量カーブがほぼリニアーと仮定
すれば、（３）式及び（６）式、（７）式は次の（３）
′式及び（６）’ 、（７）’式の様に簡略化すること
ができる。
すれば、（３）式及び（６）式、（７）式は次の（３）
′式及び（６）’ 、（７）’式の様に簡略化すること
ができる。
Ｔｏ（ｘ、 ｙ）＝［Ｔ’ ｏ（ｘ、 ｙ）−Ｔ’ ＋
（ｘ、 ｙ）］／ Ｅ （ｘ、 ｙ） ＋ Ｔ＋・・
・（６）′ 又は、 ・・・（７）′ 〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、上記のような放射率補正をするには、被写体
４の加熱又は冷却温度Ｔ１、Ｔ、を測定しなければなら
ない。従来は、上記したように、熱電対等の温度センサ
ー６で実際の温度Ｔ、、 Ｔ、を測定して放射率分布を
求め、それに基づいて得られた熱画像の放射率補正をし
て、実際の温度分布を求めていた。また、被写体の一部
を放射率が１に近い黒体塗料で塗り、その点のサーモグ
ラフィ装置の温度指示値から試料温度を求めることも既
知の技術である。
（ｘ、 ｙ）］／ Ｅ （ｘ、 ｙ） ＋ Ｔ＋・・
・（６）′ 又は、 ・・・（７）′ 〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、上記のような放射率補正をするには、被写体
４の加熱又は冷却温度Ｔ１、Ｔ、を測定しなければなら
ない。従来は、上記したように、熱電対等の温度センサ
ー６で実際の温度Ｔ、、 Ｔ、を測定して放射率分布を
求め、それに基づいて得られた熱画像の放射率補正をし
て、実際の温度分布を求めていた。また、被写体の一部
を放射率が１に近い黒体塗料で塗り、その点のサーモグ
ラフィ装置の温度指示値から試料温度を求めることも既
知の技術である。
しかしながら、これらの測定及びそれに基づく放射率補
正熱画像の出力は、従来は、殆どマニアル作業で行われ
ていたため、時間がかかる作業であった。
正熱画像の出力は、従来は、殆どマニアル作業で行われ
ていたため、時間がかかる作業であった。
したがって、本発明の目的は、上記従来の技術の問題点
を解決して、温度センサーで実際に被写体の温度を測定
することなく、サーモグラフィ装置自身で被写体の加熱
又は冷却温度を測定して、自動的に放射率分布を求め、
その分布に基づいて放射率補正をした熱画像を得るよう
にしたサーモグラフィ装置を提供することである。
を解決して、温度センサーで実際に被写体の温度を測定
することなく、サーモグラフィ装置自身で被写体の加熱
又は冷却温度を測定して、自動的に放射率分布を求め、
その分布に基づいて放射率補正をした熱画像を得るよう
にしたサーモグラフィ装置を提供することである。
上記目的を達成する本発明のサーモグラフィ装置は、赤
外線カメラを備え、試料を少なくとも異なる２つの温度
に設定可能な試料加熱ステージと、赤外線カメラの視野
中の試料の黒体部分又は放射率の高い部分の１点を選択
してその点の温度を測定する手段と、試料加熱ステージ
を異なる２つの温度に設定したそれぞれの時において、
前記選択点の温度が安定したことを判断してその点にお
ける試料の温度と視野の熱画像データとを記憶する記憶
手段と、前記記憶手段に記憶された異なる２つの温度と
それらの温度の時の熱画像データに基づいて試料の未知
温度分布の熱画像を放射率補正する手段とを備えている
ことを特徴とするものである。
外線カメラを備え、試料を少なくとも異なる２つの温度
に設定可能な試料加熱ステージと、赤外線カメラの視野
中の試料の黒体部分又は放射率の高い部分の１点を選択
してその点の温度を測定する手段と、試料加熱ステージ
を異なる２つの温度に設定したそれぞれの時において、
前記選択点の温度が安定したことを判断してその点にお
ける試料の温度と視野の熱画像データとを記憶する記憶
手段と、前記記憶手段に記憶された異なる２つの温度と
それらの温度の時の熱画像データに基づいて試料の未知
温度分布の熱画像を放射率補正する手段とを備えている
ことを特徴とするものである。
この場合、赤外線カメラの視野を少なくとも異なる２つ
の視野に選択的に設定する手段と、選択された２つの視
野を記憶し一方の視野から他方の視野へ双方向に切り換
える手段とを更に備え、大きい方の視野において前記選
択点における試料の温度を測定及び記憶し、小さい方の
視野に切り換えてその温度におけるその視野の熱画像デ
ータを記憶するように構成すると、視野中の試料に黒体
部分又は放射率の高い部分がなくとも、視野を拡大して
その拡大視野の中にこれを見い出し、その点において、
試料の温度を正確に検出することができ、放射率マツプ
を正確に算出することがでる。
の視野に選択的に設定する手段と、選択された２つの視
野を記憶し一方の視野から他方の視野へ双方向に切り換
える手段とを更に備え、大きい方の視野において前記選
択点における試料の温度を測定及び記憶し、小さい方の
視野に切り換えてその温度におけるその視野の熱画像デ
ータを記憶するように構成すると、視野中の試料に黒体
部分又は放射率の高い部分がなくとも、視野を拡大して
その拡大視野の中にこれを見い出し、その点において、
試料の温度を正確に検出することができ、放射率マツプ
を正確に算出することがでる。
その結果、正確な放射率補正ができる。
本発明においては、赤外線カメラの視野中の試料の黒体
部分又は放射率の高い部分の１点を選択してその点の温
度を測定する手段と、試料加熱ステージを異なる２つの
温度に設定したそれぞれの時において、前記選択点の温
度が安定したことを判断してその点における試料の温度
と視野の熱画像データとを記憶する記憶手段とを設けた
ので、従来のように温度センサー等で検出する場合に比
較して温度測定が簡単である。また、試料の表面温度を
測定するので、試料を載せた金属ブロックの温度から間
接的に測定するのに比較して正確に温度を測定できる。
部分又は放射率の高い部分の１点を選択してその点の温
度を測定する手段と、試料加熱ステージを異なる２つの
温度に設定したそれぞれの時において、前記選択点の温
度が安定したことを判断してその点における試料の温度
と視野の熱画像データとを記憶する記憶手段とを設けた
ので、従来のように温度センサー等で検出する場合に比
較して温度測定が簡単である。また、試料の表面温度を
測定するので、試料を載せた金属ブロックの温度から間
接的に測定するのに比較して正確に温度を測定できる。
さらに、試料の２つの異なる安定した温度と熱画像デー
タを自動的に取り込み、自動化されたルーチンで放射率
マツプを迅速、正確に算出することができる。
タを自動的に取り込み、自動化されたルーチンで放射率
マツプを迅速、正確に算出することができる。
次に、本発明のサーモグラフィ装置を、実施例に基づい
て説明する。
て説明する。
本発明のサーモグラフィ装置は、被写体（試料）の放射
率分布（放射率マツプ）を前記（３）式ないしく３）１
式に基づいて求める際の温度Ｔ１とＴ２の測定方式に１
つの特徴があるものである。すなわち、被写体の温度を
従来のように温度センサー等で測定するのではなく、赤
外線カメラ自身の熱画像から取り込むようにして、自動
的に放射率マツプを求めて、以後の試料の実際の温度分
布の測定に用いるようにするものでる。
率分布（放射率マツプ）を前記（３）式ないしく３）１
式に基づいて求める際の温度Ｔ１とＴ２の測定方式に１
つの特徴があるものである。すなわち、被写体の温度を
従来のように温度センサー等で測定するのではなく、赤
外線カメラ自身の熱画像から取り込むようにして、自動
的に放射率マツプを求めて、以後の試料の実際の温度分
布の測定に用いるようにするものでる。
まず、サーモグラフィ装置本体としては、従来と同様、
第１図に示したものを用いる。すなわち、カメラスタン
ド１に取り付けた赤外線カメラ２に拡大レンズ３を装着
して、ＩＣ等の被写体４を拡大してその熱画像を撮影し
て、それをＣＲＴに表示する。赤外線カメラ２は、例え
ば、その走査ミラーの走査角を変更することによってそ
の視野範囲ＦＯＶを大きくしたり小さくしたりできるズ
ーム機構を有するものとする。また、被写体４は、加熱
／冷却素子７が一体に固定された金属ブロック５上に取
り付けられる。この金属ブロック５、加熱／冷却素子７
、及び、これらを支持している試料移動ステージ８は、
サーモグラフィ装置の試料加熱ステージ９を構成してい
る。この試料加熱ステージ９は、金属ブロック５に挿入
された温度センサー６と加熱／冷却素子７に流す電流を
制御する制御回路とによって、金属ブロック５上に取り
付けられる被写体４の温度を予め設定された高温と低温
に制御可能に構成されている。また、赤外線カメラ２は
その視野に重ねてｘ１Ｙ軸に平行でＹＳＸ軸方向に移動
可能な２本のカーソルを有し、それらのカーソルの交差
点（カーソルクロス点）の熱画像の温度を選択的に読み
取り可能になっている。そして、このサーモグラフィ装
置は、図示していないコントローラを備え、赤外線カメ
ラ２が撮影した熱画像データの記憶、カーソルクロス点
の温度データの監視、それらのデータに基づいた所望の
演算、試料加熱ステージ９の温度制御、赤外線カメラ２
の視野範囲ＦＯＶ切替え等が可能になっている。なお、
赤外線カメラ２の視野範囲ＦＯＶ切替えを拡大レンズ３
のズーム機構によって行う場合には、この拡大レンズ３
のズーム機構の調節も、コントローラによって制御可能
になっている。
第１図に示したものを用いる。すなわち、カメラスタン
ド１に取り付けた赤外線カメラ２に拡大レンズ３を装着
して、ＩＣ等の被写体４を拡大してその熱画像を撮影し
て、それをＣＲＴに表示する。赤外線カメラ２は、例え
ば、その走査ミラーの走査角を変更することによってそ
の視野範囲ＦＯＶを大きくしたり小さくしたりできるズ
ーム機構を有するものとする。また、被写体４は、加熱
／冷却素子７が一体に固定された金属ブロック５上に取
り付けられる。この金属ブロック５、加熱／冷却素子７
、及び、これらを支持している試料移動ステージ８は、
サーモグラフィ装置の試料加熱ステージ９を構成してい
る。この試料加熱ステージ９は、金属ブロック５に挿入
された温度センサー６と加熱／冷却素子７に流す電流を
制御する制御回路とによって、金属ブロック５上に取り
付けられる被写体４の温度を予め設定された高温と低温
に制御可能に構成されている。また、赤外線カメラ２は
その視野に重ねてｘ１Ｙ軸に平行でＹＳＸ軸方向に移動
可能な２本のカーソルを有し、それらのカーソルの交差
点（カーソルクロス点）の熱画像の温度を選択的に読み
取り可能になっている。そして、このサーモグラフィ装
置は、図示していないコントローラを備え、赤外線カメ
ラ２が撮影した熱画像データの記憶、カーソルクロス点
の温度データの監視、それらのデータに基づいた所望の
演算、試料加熱ステージ９の温度制御、赤外線カメラ２
の視野範囲ＦＯＶ切替え等が可能になっている。なお、
赤外線カメラ２の視野範囲ＦＯＶ切替えを拡大レンズ３
のズーム機構によって行う場合には、この拡大レンズ３
のズーム機構の調節も、コントローラによって制御可能
になっている。
さて、第２図にサーモグラフィ装置の処理手順の１例の
フローチャートを示す。ただし、図中点線で囲んだステ
ップは操作者がマニュアルで人力して実行するものであ
り、本発明のサーモグラフィ装置自身の自動処理部分は
実線で囲んだ部分のみである。この場合、被写体（試料
）４としてＩＣを例にとって説明する。操作者は、ＳＴ
Ｉにおいて、加熱／冷却素子７が一体に固定された金属
ブロック５上に試料４を載置してから、加熱／冷却素子
７に通電して試料４の加熱を開始するように入力する。
フローチャートを示す。ただし、図中点線で囲んだステ
ップは操作者がマニュアルで人力して実行するものであ
り、本発明のサーモグラフィ装置自身の自動処理部分は
実線で囲んだ部分のみである。この場合、被写体（試料
）４としてＩＣを例にとって説明する。操作者は、ＳＴ
Ｉにおいて、加熱／冷却素子７が一体に固定された金属
ブロック５上に試料４を載置してから、加熱／冷却素子
７に通電して試料４の加熱を開始するように入力する。
通常、試料４は常温では赤外線放射強度分布のコントラ
ストが弱くてコントラストの良い熱画像が見えないので
、加熱してからＳｒ１においてカメラ２のピントを合わ
せる。そして、Ｓｒ１において、試料４に対する視野を
、試料移動ステージ８を操作し、また、ズーム機能を操
作して、合わせる。次いで、Ｓｒ１において、試料４の
温度が安定したときのその温度Ｔ１、Ｔ２を赤外線カメ
ラ２により測定するポイントを決める。第２図の場合は
、カメラ２のカーソルを操作者が画面上で移動させて目
視により選択する場合であり、第３図はその代わりに装
置自身の処理により選択する場合である。通常、試料４
は黒体（放射率ε＝１）と考えて差し支えない領域を有
しており、試料４の温度が安定した時、その点の見かけ
の温度が試料４の温度を示している。したがって、この
点をカーソルで選んで監視することにより、試料４の温
度Ｔ１、Ｔ、を測定し得る。第２図はこのような前提の
もとに１．Ｓ Ｔ ４において、このような黒体部分に
カーソルのクロスポイント （ＣＰ）を合わせる。とこ
ろで、試料４を一様に加熱した場合、試料の黒体部分は
見かけの温度が最も高くなる。したがって、第２図のＳ
ｒ４のように、操作者がカーソルを動かして試料４の温
度測定点（ＣＰ）を選択する代わりに、第３図にＳｒ４
’として示したように、カメラ２により得られる試料４
の均一加熱時の熱画像の見かけの最高温度点（ＣＰ）を
検出し、この点を以後の温度監視点にするように変更す
ることもできる。なお、試料４が黒体部分を有しないも
のの場合、試料４の一部に黒体塗料を塗布して測定する
のが有効である。なお、黒体部分の放射率ε（ＣＰ）は
１と見なせることが理想であるが、１と見なせないとき
は、（１）式においてε（ｘ、ｙ） ＝ε（ＣＰ）とＴ
、をマニュアルで与えてやると、Ｔ１１はサーモグラフ
ィ装置の温度指示値であり、既知であるので、放射率補
正した試料温度Ｔ１を計算できる。（２）式において同
様にε（Ｘ、 ｙ）＝ε（ＣＰ）とＴ、をマニュアルで
与えてやると、放射率補正した試料温度Ｔ２を計算でき
る。これらＴ、、Ｔ、の値をＣＰの温度値として使用す
れば、さらに精度の良い放射率補正画像が作成できる。
ストが弱くてコントラストの良い熱画像が見えないので
、加熱してからＳｒ１においてカメラ２のピントを合わ
せる。そして、Ｓｒ１において、試料４に対する視野を
、試料移動ステージ８を操作し、また、ズーム機能を操
作して、合わせる。次いで、Ｓｒ１において、試料４の
温度が安定したときのその温度Ｔ１、Ｔ２を赤外線カメ
ラ２により測定するポイントを決める。第２図の場合は
、カメラ２のカーソルを操作者が画面上で移動させて目
視により選択する場合であり、第３図はその代わりに装
置自身の処理により選択する場合である。通常、試料４
は黒体（放射率ε＝１）と考えて差し支えない領域を有
しており、試料４の温度が安定した時、その点の見かけ
の温度が試料４の温度を示している。したがって、この
点をカーソルで選んで監視することにより、試料４の温
度Ｔ１、Ｔ、を測定し得る。第２図はこのような前提の
もとに１．Ｓ Ｔ ４において、このような黒体部分に
カーソルのクロスポイント （ＣＰ）を合わせる。とこ
ろで、試料４を一様に加熱した場合、試料の黒体部分は
見かけの温度が最も高くなる。したがって、第２図のＳ
ｒ４のように、操作者がカーソルを動かして試料４の温
度測定点（ＣＰ）を選択する代わりに、第３図にＳｒ４
’として示したように、カメラ２により得られる試料４
の均一加熱時の熱画像の見かけの最高温度点（ＣＰ）を
検出し、この点を以後の温度監視点にするように変更す
ることもできる。なお、試料４が黒体部分を有しないも
のの場合、試料４の一部に黒体塗料を塗布して測定する
のが有効である。なお、黒体部分の放射率ε（ＣＰ）は
１と見なせることが理想であるが、１と見なせないとき
は、（１）式においてε（ｘ、ｙ） ＝ε（ＣＰ）とＴ
、をマニュアルで与えてやると、Ｔ１１はサーモグラフ
ィ装置の温度指示値であり、既知であるので、放射率補
正した試料温度Ｔ１を計算できる。（２）式において同
様にε（Ｘ、 ｙ）＝ε（ＣＰ）とＴ、をマニュアルで
与えてやると、放射率補正した試料温度Ｔ２を計算でき
る。これらＴ、、Ｔ、の値をＣＰの温度値として使用す
れば、さらに精度の良い放射率補正画像が作成できる。
さて、試料温度測定点（ＣＰ）が決まると、Ｓｒ５でこ
の点ＣＰの座標を記憶する。次いで、Ｓｒ６において、
サーモグラフィ装置は、ＣＰの温度を監視する。そして
、Ｓｒ７において、その点の温度が安定したかどうかを
判定する。通常、所定の時間間隙でＣＰの温度を監視し
なか前回の温度に対する今回の温度の差が所定の値以下
になった時を、温度が安定したと判定する。なお、その
他の判定方式も有効である。温度が安定した時のＣＰの
温度が試料４全体の温度とみて良いので、次のＳｒ１に
おいてその温度指示値Ｔ２を記憶する。同時に、次のＳ
ｒ１において、試料の熱画像のデータＲ（Ｔ２） （Ｘ
、 ｙ）を記憶する。次いで、装置のコンビ二一夕は、
５ＴＩＯにおいて、加熱／冷却素子７に流す電流を逆転
させて、試料４の冷却を開始し、５Ｔｌｌにおいて、先
に記憶した位置ＣＰの温度を監視する。そして、５Ｔ１
２において、ＣＰの温度が安定したかどうかを判定する
。温度が安定したと判定すると、５Ｔ１３において、そ
の温度指示値Ｔ１を記憶する。同時に、次の５Ｔ１４に
おいて、試料の熱画像のデータＲ（Ｔ’ ＋） （Ｘ、
ｙ）を記憶する。次いで、５Ｔ１５において、コンピ
ュータは、記憶されている７１％ Ｔ２、Ｒ（Ｔ’ ＋
） （ｘ、 Ｙ） 、Ｒ（Ｔ’ ２） （Ｘ。
の点ＣＰの座標を記憶する。次いで、Ｓｒ６において、
サーモグラフィ装置は、ＣＰの温度を監視する。そして
、Ｓｒ７において、その点の温度が安定したかどうかを
判定する。通常、所定の時間間隙でＣＰの温度を監視し
なか前回の温度に対する今回の温度の差が所定の値以下
になった時を、温度が安定したと判定する。なお、その
他の判定方式も有効である。温度が安定した時のＣＰの
温度が試料４全体の温度とみて良いので、次のＳｒ１に
おいてその温度指示値Ｔ２を記憶する。同時に、次のＳ
ｒ１において、試料の熱画像のデータＲ（Ｔ２） （Ｘ
、 ｙ）を記憶する。次いで、装置のコンビ二一夕は、
５ＴＩＯにおいて、加熱／冷却素子７に流す電流を逆転
させて、試料４の冷却を開始し、５Ｔｌｌにおいて、先
に記憶した位置ＣＰの温度を監視する。そして、５Ｔ１
２において、ＣＰの温度が安定したかどうかを判定する
。温度が安定したと判定すると、５Ｔ１３において、そ
の温度指示値Ｔ１を記憶する。同時に、次の５Ｔ１４に
おいて、試料の熱画像のデータＲ（Ｔ’ ＋） （Ｘ、
ｙ）を記憶する。次いで、５Ｔ１５において、コンピ
ュータは、記憶されている７１％ Ｔ２、Ｒ（Ｔ’ ＋
） （ｘ、 Ｙ） 、Ｒ（Ｔ’ ２） （Ｘ。
ｙ）、及び、第７図のような温度−光量カーブから、（
３）式又は（３）′式に従ってε（ｘ、 ｙ）を計算し
、その試料４の放射率マツプとして記憶する。以上の処
理が完了すると、次に、試料４であるＩＣに実際に電流
を流して発熱させる（ＳＴ１６）。そして、カメラ２に
よりその時の熱画像Ｒ（Ｔ’。）（Ｘ。
３）式又は（３）′式に従ってε（ｘ、 ｙ）を計算し
、その試料４の放射率マツプとして記憶する。以上の処
理が完了すると、次に、試料４であるＩＣに実際に電流
を流して発熱させる（ＳＴ１６）。そして、カメラ２に
よりその時の熱画像Ｒ（Ｔ’。）（Ｘ。
ｙ）を取り込んで記憶しく５Ｔ１７）、次いで、５Ｔ１
８において、先に記憶しておいた放射率マツプｅ （ｘ
、ｙ） 、Ｔ＋、 Ｒ（Ｔ’ １）（Ｘ、Ｙ） 、温度
−光量カーブから、（６）式又は〔６）′式に従って放
射率で補正した実際の温度分布を表す熱画像Ｒ（Ｔｏ）
（ｘ、 ｙ）を作成する。Ｉ’Ｃに流す電流を変化さ
せてデータ取りする必要があれば（Ｓｒ２４）、通電条
件を変更して（Ｓｒ２５）ＳＴＩ ６．１７．１８を繰
り返せばよい。この時、５Ｔ１５で取得した放射率マツ
プを使用する。
８において、先に記憶しておいた放射率マツプｅ （ｘ
、ｙ） 、Ｔ＋、 Ｒ（Ｔ’ １）（Ｘ、Ｙ） 、温度
−光量カーブから、（６）式又は〔６）′式に従って放
射率で補正した実際の温度分布を表す熱画像Ｒ（Ｔｏ）
（ｘ、 ｙ）を作成する。Ｉ’Ｃに流す電流を変化さ
せてデータ取りする必要があれば（Ｓｒ２４）、通電条
件を変更して（Ｓｒ２５）ＳＴＩ ６．１７．１８を繰
り返せばよい。この時、５Ｔ１５で取得した放射率マツ
プを使用する。
以上のように、第２図又は第３図の実施例においては、
試料４を低温及び高温に均一加熱した時の熱画像のカー
ソルクロス点の温度指示値又は熱画像の最高温度点の温
度指示値を、放射率分布を求めるための温度Ｔ１及びＴ
２とするものである。
試料４を低温及び高温に均一加熱した時の熱画像のカー
ソルクロス点の温度指示値又は熱画像の最高温度点の温
度指示値を、放射率分布を求めるための温度Ｔ１及びＴ
２とするものである。
ところで、例えば、ＩＣの極く限られた微小領域を拡大
して温度測定する場合のように、その測定視野（ＦＯＶ
Ｉ）範囲内に放射率の高い物体がない時、又は、この視
野範囲の中に黒体物体を塗布又は貼付できない場合でも
、ＦＯＶＩの視野範囲の外側の一部を黒体物体として認
定することができる。すなわち、通常、第５図（ａ）に
示すように、温度分布を測定しようとする視野ＦＯＶＩ
内に黒体部分が存在する場合は、第２図及び第３図に示
したように、その視野内でカーソルクロス点を定めるな
り最高温度点を求めて、試料４の温度を測定することが
できるが、第５図（ｂ）に示すように、温度分布を測定
しようとする視野ＦＯＶｌ内に黒体部分が存在しない場
合は、カメラ２の視野をその走査範囲を変更する等をし
て、より広いＦＯＶ２として、この視野範囲でカーソル
クロス点を定めるなり最高温度点を求めて、その点の温
度を物体温度と認定するようにすることが有効である。
して温度測定する場合のように、その測定視野（ＦＯＶ
Ｉ）範囲内に放射率の高い物体がない時、又は、この視
野範囲の中に黒体物体を塗布又は貼付できない場合でも
、ＦＯＶＩの視野範囲の外側の一部を黒体物体として認
定することができる。すなわち、通常、第５図（ａ）に
示すように、温度分布を測定しようとする視野ＦＯＶＩ
内に黒体部分が存在する場合は、第２図及び第３図に示
したように、その視野内でカーソルクロス点を定めるな
り最高温度点を求めて、試料４の温度を測定することが
できるが、第５図（ｂ）に示すように、温度分布を測定
しようとする視野ＦＯＶｌ内に黒体部分が存在しない場
合は、カメラ２の視野をその走査範囲を変更する等をし
て、より広いＦＯＶ２として、この視野範囲でカーソル
クロス点を定めるなり最高温度点を求めて、その点の温
度を物体温度と認定するようにすることが有効である。
この場合は、物体温度がＴ２又はＴ１に安定した時、視
野をＦＯＶＩに切替えて、高温及び低温時の熱画像デー
タの取込みを行うようにする。この場合のサーモグラフ
ィ装置の処理手順のフローチャートを第４図に示す。た
だし、図中点線で囲んだステップは操作者がマニュアル
で人力して実行するものである。ＳＴＩ’ 、ＳＴ２’
は第２図のＳＴ１、ＳＴ２と同様である。ＳＴ３’
において、試料４に対する視野を、試料移動ステージ８
を操作し、また、ズーム機能を操作して、実際に温度分
布を求める視野ＦＯＶＩに合わせる。次いで、ＳＴ４’
において、操作者による装置のボタン操作等により、そ
の視野ＦＯＶＩを得る倍率又は走査範囲を８己憶する。
野をＦＯＶＩに切替えて、高温及び低温時の熱画像デー
タの取込みを行うようにする。この場合のサーモグラフ
ィ装置の処理手順のフローチャートを第４図に示す。た
だし、図中点線で囲んだステップは操作者がマニュアル
で人力して実行するものである。ＳＴＩ’ 、ＳＴ２’
は第２図のＳＴ１、ＳＴ２と同様である。ＳＴ３’
において、試料４に対する視野を、試料移動ステージ８
を操作し、また、ズーム機能を操作して、実際に温度分
布を求める視野ＦＯＶＩに合わせる。次いで、ＳＴ４’
において、操作者による装置のボタン操作等により、そ
の視野ＦＯＶＩを得る倍率又は走査範囲を８己憶する。
次いで、ＳＴ５’において、視野を黒体部分が存在する
視野ＦＯＶ２ （第５図（ｂ））に切り換える。そして
、ＳＴ６’ において、カメラ２のカーソルを操作者が
画面上で移動させて、黒体部分にカーソルのクロスポイ
ント（ＣＰ）を合わせる。この代わりに、第３図のＳＴ
４′のように、カメラ２により得られる試料４の熱画像
の見かけの最高温度点（ＣＰ）を検出し、この点を以後
の温度監視点にするように変更することもできる。温度
測定点（ＣＰ）が決まると、ＳＴ７’でこの点ＣＰの座
標と視野ＦＯＶ２を得る倍率又は走査範囲を記憶する。
視野ＦＯＶ２ （第５図（ｂ））に切り換える。そして
、ＳＴ６’ において、カメラ２のカーソルを操作者が
画面上で移動させて、黒体部分にカーソルのクロスポイ
ント（ＣＰ）を合わせる。この代わりに、第３図のＳＴ
４′のように、カメラ２により得られる試料４の熱画像
の見かけの最高温度点（ＣＰ）を検出し、この点を以後
の温度監視点にするように変更することもできる。温度
測定点（ＣＰ）が決まると、ＳＴ７’でこの点ＣＰの座
標と視野ＦＯＶ２を得る倍率又は走査範囲を記憶する。
次いで、ＳＴ８’において、ＣＰの温度を監視する。そ
して、ＳＴ９′において、その点の温度が安定したかど
うかを判定する。温度が安定と判断すると、次の５Ｔ１
０′においてその温度指示値Ｔ、を記憶する。その後、
５ＴＩＩ’において、視野をＦＯＶＩに切り換え、次の
５Ｔ１２’において、その視野ＦＯ■１における試料の
熱画像のデータＲ（Ｔ’ ２） （ｘ、 ｙ）を記憶す
る。次いで、５Ｔ１３’において、視野を再びＦＯＶ２
に切り換え、５Ｔ１４’において、加熱／冷却素子７に
流す電流を逆転させて、試料４の冷却を開始し、５Ｔ１
５’において、先に記憶した位置ＣＰの温度を監視する
。そして、５Ｔ１６′において、ＣＰの温度が安定した
かどうかを判定する。温度が安定したと判定すると、５
Ｔ１７′において、その温度指示値Ｔ１を記憶する。
して、ＳＴ９′において、その点の温度が安定したかど
うかを判定する。温度が安定と判断すると、次の５Ｔ１
０′においてその温度指示値Ｔ、を記憶する。その後、
５ＴＩＩ’において、視野をＦＯＶＩに切り換え、次の
５Ｔ１２’において、その視野ＦＯ■１における試料の
熱画像のデータＲ（Ｔ’ ２） （ｘ、 ｙ）を記憶す
る。次いで、５Ｔ１３’において、視野を再びＦＯＶ２
に切り換え、５Ｔ１４’において、加熱／冷却素子７に
流す電流を逆転させて、試料４の冷却を開始し、５Ｔ１
５’において、先に記憶した位置ＣＰの温度を監視する
。そして、５Ｔ１６′において、ＣＰの温度が安定した
かどうかを判定する。温度が安定したと判定すると、５
Ｔ１７′において、その温度指示値Ｔ１を記憶する。
そして、５Ｔ１８’において、視野を再びＦＯＶｌに戻
し、５Ｔ１９’おいて、その視野ＦＯＶ １における試
料の熱画像のデータＲ（Ｔ’ ＋） （Ｘ、 ｙ）を記
憶する。以後のＳＴ２０’〜２３′は第２図の５７１５
〜１８と同様である。また、ＩＣに流す電流を変化させ
てデータ取りをする必要があれば、第２図の５Ｔ２４．
５Ｔ２５で説明したように、ＳＴ２４’ 、ＳＴ２５’
により通電条件を変更すればよい。
し、５Ｔ１９’おいて、その視野ＦＯＶ １における試
料の熱画像のデータＲ（Ｔ’ ＋） （Ｘ、 ｙ）を記
憶する。以後のＳＴ２０’〜２３′は第２図の５７１５
〜１８と同様である。また、ＩＣに流す電流を変化させ
てデータ取りをする必要があれば、第２図の５Ｔ２４．
５Ｔ２５で説明したように、ＳＴ２４’ 、ＳＴ２５’
により通電条件を変更すればよい。
ところで、以上の説明においては、試料４の温度を測定
する点のマニュアル指定は、第５図に示したようなカー
ソルの交差点（カーソルクロス点）によって行うものと
して説明してきたが、この指定を矢印、点播種等、任意
の指標によって行うようにしてよいことはもちろんであ
る。さらに、赤外線カメラの視野の切り換えについては
、走査鏡の走査角の変更以外に拡大レンズ３をズームレ
ンズにて構成し、この調節によって行うようにしても良
い。さらに、赤外線カメラは、ミラー走査型に限定され
ず、Ｉ Ｒ−ＣＣＤカメラでも良い。
する点のマニュアル指定は、第５図に示したようなカー
ソルの交差点（カーソルクロス点）によって行うものと
して説明してきたが、この指定を矢印、点播種等、任意
の指標によって行うようにしてよいことはもちろんであ
る。さらに、赤外線カメラの視野の切り換えについては
、走査鏡の走査角の変更以外に拡大レンズ３をズームレ
ンズにて構成し、この調節によって行うようにしても良
い。さらに、赤外線カメラは、ミラー走査型に限定され
ず、Ｉ Ｒ−ＣＣＤカメラでも良い。
ＩＲ−ＣＣＤカメラでの視野切り換えはズームレンズで
行うようにする。その他、本発明のサーモグラフィ装置
において、種々の変形が可能なことは明らかであろう。
行うようにする。その他、本発明のサーモグラフィ装置
において、種々の変形が可能なことは明らかであろう。
本発明のサーモグラフィ装置においては、赤外線カメラ
の視野中の試料の黒体部分又は放射率の高い部分の１点
を選択してその点の温度を測定する手段と、試料加熱ス
テージを異なる２つの温度に設定したそれぞれの時にお
いて、前記選択点の温度が安定したことを判断してその
点における試料の温度と視野の熱画像データとを記憶す
る記憶手段とを設けたので、従来のように温度センサー
等で検出する場合に比較して温度測定が簡単である。ま
た、試料の表面温度を測定するので、試料を載せた金属
ブロックの温度から間接的に測定するのに比較して正確
に温度を測定できる。さらに、試料の２つの異なる安定
した温度と熱画像データを自動的に取り込み、自動化さ
れたルーチンで放射率マツプを迅速、正確に算出するこ
とができる。
の視野中の試料の黒体部分又は放射率の高い部分の１点
を選択してその点の温度を測定する手段と、試料加熱ス
テージを異なる２つの温度に設定したそれぞれの時にお
いて、前記選択点の温度が安定したことを判断してその
点における試料の温度と視野の熱画像データとを記憶す
る記憶手段とを設けたので、従来のように温度センサー
等で検出する場合に比較して温度測定が簡単である。ま
た、試料の表面温度を測定するので、試料を載せた金属
ブロックの温度から間接的に測定するのに比較して正確
に温度を測定できる。さらに、試料の２つの異なる安定
した温度と熱画像データを自動的に取り込み、自動化さ
れたルーチンで放射率マツプを迅速、正確に算出するこ
とができる。
さらに、赤外線カメラの視野を少なくとも異なる２つの
視野に選択的に設定する手段と、選択された２つの視野
を記憶し一方の視野から他方の視野へ双方向に切り換え
る手段とを設け、大きい方の視野において前記選択点に
おける試料の温度を測定及び記憶し、小さい方の視野に
切り換えてその温度におけるその視野の熱画像データを
記憶するように構成すると、視野中の試料に黒体部分又
は放射率の高い部分がなくとも、視野を拡大してその拡
大視野の中にこれを見い出し、その点において、試料の
温度を正確に検出することができ、放射率マツプを正確
に算出することがでる。その結果、正確な放射率補正が
できる。
視野に選択的に設定する手段と、選択された２つの視野
を記憶し一方の視野から他方の視野へ双方向に切り換え
る手段とを設け、大きい方の視野において前記選択点に
おける試料の温度を測定及び記憶し、小さい方の視野に
切り換えてその温度におけるその視野の熱画像データを
記憶するように構成すると、視野中の試料に黒体部分又
は放射率の高い部分がなくとも、視野を拡大してその拡
大視野の中にこれを見い出し、その点において、試料の
温度を正確に検出することができ、放射率マツプを正確
に算出することがでる。その結果、正確な放射率補正が
できる。
第１図は本発明の１実施例のサーモグラフィ装置本体の
側面図、第２図は本発明のサーモグラフィ装置の処理手
順の１例のフローチャート、第３図は第２図の一部のス
テップの変形例を示す部分フローチャート、第４図は他
の例のフローチャート、第５図は試料の黒体部分と赤外
線カメラの視野の関係を説明するための図、第６図は赤
外線カメラによって測定される見かけの温度と物体及び
環境から放射される赤外線との関係を説明するだめの図
、第７図は黒体温度と赤外線光量の関係を示す図である
。 １・・・カメラスタンド、２・・・赤外線カメラ、３・
・・拡大レンズ、４・・・被写体、５・・・金属ブロッ
ク、６・・・温度センサー、７・・・加熱／冷却素子、
８・・・試料移動ステージ、９・・・試料加熱ステージ
出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 韮 澤 弘（外７名）第２図（１
） カメラのピント合せ カメラの視野合せ 第 図 第２図（３） 第３図 第 図 第 図 第４図（３）
側面図、第２図は本発明のサーモグラフィ装置の処理手
順の１例のフローチャート、第３図は第２図の一部のス
テップの変形例を示す部分フローチャート、第４図は他
の例のフローチャート、第５図は試料の黒体部分と赤外
線カメラの視野の関係を説明するための図、第６図は赤
外線カメラによって測定される見かけの温度と物体及び
環境から放射される赤外線との関係を説明するだめの図
、第７図は黒体温度と赤外線光量の関係を示す図である
。 １・・・カメラスタンド、２・・・赤外線カメラ、３・
・・拡大レンズ、４・・・被写体、５・・・金属ブロッ
ク、６・・・温度センサー、７・・・加熱／冷却素子、
８・・・試料移動ステージ、９・・・試料加熱ステージ
出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 韮 澤 弘（外７名）第２図（１
） カメラのピント合せ カメラの視野合せ 第 図 第２図（３） 第３図 第 図 第 図 第４図（３）
Claims (2)
- （１）赤外線カメラを備え、試料を少なくとも異なる２
つの温度に設定可能な試料加熱ステージと、赤外線カメ
ラの視野中の試料の黒体部分又は放射率の高い部分の１
点を選択してその点の温度を赤外線カメラで測定する手
段と、試料加熱ステージを異なる２つの温度に設定した
それぞれの時において、前記選択点の温度が安定したこ
とを判断してその点における試料の温度と視野の熱画像
データとを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶さ
れた異なる２つの温度とそれらの温度の時の熱画像デー
タに基づいて試料の未知温度分布の熱画像を放射率補正
する手段とを備えていることを特徴とするサーモグラフ
ィ装置。 - （２）赤外線カメラの視野を少なくとも異なる２つの視
野に選択的に設定する手段と、選択された２つの視野を
記憶し一方の視野から他方の視野へ双方向に切り換える
手段とを更に備え、大きい方の視野において前記選択点
における試料の温度を測定及び記憶し、小さい方の視野
に切り換えてその温度におけるその視野の熱画像データ
を記憶するように構成したことを特徴とする請求項１記
載のサーモグラフィ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2200338A JP2895587B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | サーモグラフィ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2200338A JP2895587B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | サーモグラフィ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0484720A true JPH0484720A (ja) | 1992-03-18 |
| JP2895587B2 JP2895587B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=16422632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2200338A Expired - Fee Related JP2895587B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | サーモグラフィ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2895587B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007192579A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Toyota Motor Corp | 温度計測装置及び温度計測方法 |
| JP2011053022A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Nikon Corp | 温度測定装置および照明装置 |
| CZ305219B6 (cs) * | 2013-03-21 | 2015-06-17 | České vysoké učení technické v Praze, Fakulta strojní, Ústav přístrojové a řídící techniky | Způsob automatického bezdotykového stanovení emisivity povrchu a zařízení k provádění tohoto způsobu |
-
1990
- 1990-07-27 JP JP2200338A patent/JP2895587B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2011053022A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Nikon Corp | 温度測定装置および照明装置 |
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| Publication number | Publication date |
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| JP2895587B2 (ja) | 1999-05-24 |
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