JPH048351Y2 - - Google Patents

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JPH048351Y2
JPH048351Y2 JP2513286U JP2513286U JPH048351Y2 JP H048351 Y2 JPH048351 Y2 JP H048351Y2 JP 2513286 U JP2513286 U JP 2513286U JP 2513286 U JP2513286 U JP 2513286U JP H048351 Y2 JPH048351 Y2 JP H048351Y2
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JP
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foreign object
object detection
light
mirror
rotating
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JP2513286U
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JPS62140351U (en
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  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、NC機器等の産業機械における作業
テーブル並びにその周辺の異物を検出するために
用いて好適な光学式異物検出装置に関するもので
ある。
[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to an optical foreign object detection device suitable for use in detecting foreign objects on and around work tables in industrial machines such as NC equipment. .

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来より、NC機器等の自動化装置の一部にお
いては、その作業テーブル上の異物を検出するた
めに光学的な異物検出装置を使用している。近
年、この種の異物検出装置として、ハーフミラー
を透過して照射される光の反射方向を回転ミラー
を回転させながら可変して異物検出光を作ると共
に、被異物検出板面に隣接して反射面を配置し、
この反射面で前記異物検出光を反射させ前記回転
ミラーおよびハーフミラーの鏡面を経由して検出
器に導き、被異物検出板面上の異物を検出するよ
うに構成した異物検出装置が提案されている。
Conventionally, some automated devices such as NC equipment have used optical foreign object detection devices to detect foreign objects on their work tables. In recent years, as this type of foreign object detection device, foreign object detection light is created by changing the reflection direction of the light transmitted through a half mirror and irradiated by rotating a rotating mirror, and is also reflected adjacent to the surface of the foreign object detection plate. Place the surface,
A foreign object detection device has been proposed in which the foreign object detection light is reflected by the reflecting surface and guided to a detector via the mirror surfaces of the rotating mirror and the half mirror, thereby detecting foreign objects on the surface of the foreign object detection plate. There is.

〔考案が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention attempts to solve]

しかしながら、このような異物検出器による
と、ハーフミラーを透過して回転ミラーに光を照
射する際に、ハーフミラー部において屈折反射す
る光や回転ミラー部において乱反射する光が内部
ノイズとして検出器に作用してしまい、反射面に
異物検出光が照射されていないにもかかわらず、
検出器においてはすでに反射面を経由する異物検
出光が導入されているかのような状態となり、反
射面の位置合わせに手間がかかつてしまうもので
あつた。
However, with such foreign object detectors, when light is transmitted through the half mirror and irradiated onto the rotating mirror, the light that is refracted and reflected at the half mirror section and the light that is diffusely reflected at the rotating mirror section enters the detector as internal noise. Even though the foreign object detection light is not irradiated on the reflective surface,
In the detector, it appears as if the foreign object detection light has already been introduced via the reflective surface, and it takes time and effort to align the reflective surface.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本考案はこのような問題点を解消するためにな
されたもので、回転ミラーと反射面との間に光線
調光手段を配置することにより、異物検出光を調
色し可視光線とするようにしたものである。
The present invention was developed to solve these problems, and by disposing a light beam adjustment means between the rotating mirror and the reflecting surface, the foreign object detection light is toned into visible light. This is what I did.

〔作用〕[Effect]

したがつてこの考案によれば、可視光線とされ
た異物検出光の検出器への導入時点で、反射面の
位置合わせを行うことが可能となる。
Therefore, according to this invention, it is possible to align the reflecting surface at the time when the visible foreign object detection light is introduced into the detector.

〔実施例〕 以下、本考案に係る光学式異物検出装置を詳細
に説明する。第2図は、光線調色手段(後述)を
用いて反射面の位置決めを行つた後の光学式異物
検出装置の一例を示す構成図である。同図におい
て。1はNC機器等の産業機械における作業テー
ブル、2aおよび2bは投光源、3aおよび3b
は投光源2aおよび2bより出射される光を集束
する凸レンズ、4aおよび4bはレンズ3aおよ
び3bの集束する光(以下、スポツトビームと呼
ぶ)を透過するハーフミラー、5a及び5bはハ
ーフミラー4aおよび4bを透過して入射される
スポツトビームを反射してその反射光を異物検出
スポツトビームとなす回転ミラー、6aおよび6
bはこの回転ミラー5aおよび5bを回転し、異
物検出スポツトビームの照射方向を可変するパル
スモータ、7aおよび7bは作業テーブル1を挾
んで対向配置された反射面である。反射面7aお
よび7bはプリズムあるいはガラス玉を集めて構
成されており、回転ミラー5aおよび5bにて回
転しながら反射する異物検出スポツトビームが作
業テーブル1の上面を横断して反射面7aおよび
7bに照射されるようになつている。そして、反
射面7aおよび7bに照射される異物検出スポツ
トビームが、この反射面において反射し、回転ミ
ラー5aおよび5bの鏡面を経由してハーフミラ
ー4aおよび4bの鏡面に導びかれて反射し、凸
レンズ8aおよび8bを介して受光素子9aおよ
び9bにおいて受光されるようになつている。す
なわち、投光源2aおよび2b、凸レンズ3aお
よび3b、ハーフミラー4aおよび4b、回転ミ
ラー5aおよび5b、パルスモータ6aおよび6
b、凸レンズ8aおよび8b、受光素子9aおよ
び9bよりなる第1の光学系および第2の光学系
と反射面7aおよび7bとで第1の光学式異物検
出手段および第2の光学式異物検出手段が構成さ
れている。
[Example] Hereinafter, the optical foreign object detection device according to the present invention will be described in detail. FIG. 2 is a configuration diagram showing an example of the optical foreign object detection device after positioning the reflecting surface using a light beam color adjusting means (described later). In the same figure. 1 is a work table for industrial machinery such as NC equipment, 2a and 2b are light sources, 3a and 3b
5a and 5b are convex lenses that converge the light emitted from the light projection sources 2a and 2b, 4a and 4b are half mirrors that transmit the light converged by lenses 3a and 3b (hereinafter referred to as spot beams), and 5a and 5b are half mirrors 4a and 4b. rotating mirrors 6a and 6 which reflect the incident spot beam passing through 4b and convert the reflected light into a foreign object detection spot beam;
Reference numeral b indicates a pulse motor that rotates the rotary mirrors 5a and 5b to vary the irradiation direction of the foreign object detection spot beam, and reference numerals 7a and 7b indicate reflective surfaces facing each other with the work table 1 in between. The reflective surfaces 7a and 7b are composed of prisms or glass beads, and the foreign object detection spot beams reflected while rotating by the rotating mirrors 5a and 5b cross the upper surface of the work table 1 and reach the reflective surfaces 7a and 7b. It is becoming irradiated. The foreign object detection spot beams irradiated onto the reflective surfaces 7a and 7b are reflected on the reflective surfaces, guided to the mirror surfaces of the half mirrors 4a and 4b via the mirror surfaces of the rotating mirrors 5a and 5b, and reflected. The light is received by light receiving elements 9a and 9b via convex lenses 8a and 8b. That is, light projection sources 2a and 2b, convex lenses 3a and 3b, half mirrors 4a and 4b, rotating mirrors 5a and 5b, and pulse motors 6a and 6.
b. A first optical foreign object detection means and a second optical foreign object detection means are formed by a first optical system and a second optical system consisting of convex lenses 8a and 8b, light receiving elements 9a and 9b, and reflective surfaces 7a and 7b. is configured.

第3図aは第1の光学系と反射面7bとを一体
に構成した第1の異物検出器を示す外観斜視図、
第3図bは第2の光学系と反射面7aとを一体に
構成した第2の異物検出器を示す外観斜視図であ
る。同図において、10aおよび11aは回転ミ
ラー5aおよび5bを介して出射される異物検出
スポツトビームの投光窓であり、投光窓10aの
下方領域に反射面7bが投光窓11aの上方領域
に反射面7aが分割形成されている。そして、こ
の第1の異物検出器10と第2の異物検出器11
とが作業テーブル1を挾んで対向配置されてい
る。
FIG. 3a is an external perspective view showing a first foreign object detector in which a first optical system and a reflecting surface 7b are integrated;
FIG. 3b is an external perspective view showing the second foreign object detector in which the second optical system and the reflective surface 7a are integrated. In the figure, reference numerals 10a and 11a are light projection windows for the foreign object detection spot beams emitted via rotating mirrors 5a and 5b, and a reflective surface 7b is located in the lower region of the light projection window 10a, and a reflection surface 7b is located in the upper region of the light projection window 11a. The reflective surface 7a is formed in sections. The first foreign object detector 10 and the second foreign object detector 11
and are placed opposite to each other with the work table 1 in between.

このように構成された異物検出装置において
は、回転ミラー5aおよび5bの回転位置を入射
されるスポツトビームに対して45°(図示状態)と
し、この回転位置を基準として異物の検出を行う
ようにしている。すなわち、回転ミラー5aおよ
び5bの回転位置が図示状態にあるとき、この回
転ミラー5aおよび5bにおいて反射する異物検
出スポツトビームが反射面7aおよび7bの終端
面に照射されるように反射面7aおよび7bの位
置決めが施されている。そして、回転ミラー5a
および5bをこの回転位置を基準にして時計方向
に回転することにより、反射面7aおよび7bに
おける異物検出スポツトビームの照射位置が移動
し、この異物検出スポツトビームの遮光時点で、
受光素子9aおよび9bにおいて作業テーブル1
上の異物の存在を知ることができる。しかして、
反射面7aおよび7b上を移動する異物検出スポ
ツトビームの照射方向が回転ミラー5aの中心と
回転ミラー5bの中心とを結ぶ直径aと一致した
時点で、作業テーブル1上での全ての異物のサー
チを終えることができる。
In the foreign object detection device configured in this manner, the rotational positions of the rotating mirrors 5a and 5b are set at 45 degrees (as shown) with respect to the incident spot beam, and foreign objects are detected based on this rotational position. ing. That is, when the rotational positions of the rotating mirrors 5a and 5b are in the illustrated state, the reflecting surfaces 7a and 7b are arranged so that the foreign object detection spot beams reflected by the rotating mirrors 5a and 5b are irradiated onto the end surfaces of the reflecting surfaces 7a and 7b. The positioning is done. And rotating mirror 5a
and 5b in a clockwise direction based on this rotational position, the irradiation position of the foreign object detection spot beam on the reflecting surfaces 7a and 7b moves, and when the foreign object detection spot beam is blocked,
At the light receiving elements 9a and 9b, the work table 1
The presence of foreign objects on the surface can be detected. However,
When the irradiation direction of the foreign object detection spot beam moving on the reflective surfaces 7a and 7b matches the diameter a connecting the center of the rotating mirror 5a and the center of the rotating mirror 5b, all foreign objects on the work table 1 are searched. can finish.

ところで、このように構成された異物検出装置
においては、反射面7aおよび7bの位置決めを
第1図に示すような赤色フイルム12を用いて行
つている。すなわち、反射面7aの前面側に赤色
フイルム12を配置し、このフイルム12を通過
する異物検出スポツトビームを赤色に調色して反
射面7aの位置決めを行つている。つまり、回転
ミラー5aおよびハーフミラー4aの鏡面を経由
して受光素子9aに導入される異物検出スポツト
ビームを赤色とし、反射面7aの終端面7a1を上
下させながら受光素子9aに赤色光が導入された
時点で反射面7aの正確な位置決めを行つてい
る。尚、第2図における反射面7bも同様にして
正確な位置決めを行うことができるが、本実施例
においては、第1の異物検出器10と第2の異物
検出器11とが左右対称に作られているので、ど
ちらか一方の位置決めを行えば、他方側の反射面
の位置決めは行わなくとも自ずとその位置が決定
される。また、受光素子9aおよび9bに赤色光
が導入されたか否かの確認は目視で行い、この目
視は第1および第2の異物検出器10および11
にのぞき窓を設けることにより容易に可能とな
る。また、本実施例においては、フイルム12を
赤色としたが赤色に限ることはなく、通過する異
物検出スポツトビームを可視光線に変えることが
できれば他の色彩であつてもかまわない。つま
り、テーブル1の周囲に作用する他の有色光に対
して受光素子に導入される異物検出スポツトビー
ムを際立たせることができれば、他の色彩に調色
してもよく、このような光線調色手段はフイルム
以外の方法でも得ることができることは言うまで
もない。
Incidentally, in the foreign object detection device configured as described above, the positioning of the reflective surfaces 7a and 7b is performed using a red film 12 as shown in FIG. That is, a red film 12 is disposed on the front side of the reflective surface 7a, and the foreign object detection spot beam passing through the film 12 is colored red to determine the position of the reflective surface 7a. That is, the foreign object detection spot beam introduced into the light receiving element 9a via the mirror surfaces of the rotating mirror 5a and the half mirror 4a is colored red, and the red light is introduced into the light receiving element 9a while moving the terminal surface 7a1 of the reflecting surface 7a up and down. At this point, the reflective surface 7a is accurately positioned. Incidentally, the reflective surface 7b in FIG. 2 can be accurately positioned in the same manner, but in this embodiment, the first foreign object detector 10 and the second foreign object detector 11 are made symmetrically. Therefore, if one of the reflecting surfaces is positioned, the position of the reflecting surface on the other side will be automatically determined even if the reflecting surface on the other side is not positioned. Further, whether or not red light has been introduced into the light receiving elements 9a and 9b is visually confirmed, and this visual inspection is performed by the first and second foreign object detectors 10 and 11.
This can easily be done by providing a viewing window. Furthermore, in this embodiment, the film 12 is red, but the color is not limited to red, and may be any other color as long as the passing foreign object detection spot beam can be converted into visible light. In other words, as long as it is possible to make the foreign object detection spot beam introduced into the light receiving element stand out from other colored lights acting on the surroundings of the table 1, it may be toned to other colors; It goes without saying that the means can be obtained by methods other than film.

しかして、このような方法で反射面7aおよび
7bの位置決めを終えた後、光線調色手段として
の赤色フイルム12を取り去り、前述した異物の
サーチを行うようにする。
After completing the positioning of the reflective surfaces 7a and 7b in this manner, the red film 12 serving as the light toning means is removed and the above-described search for foreign matter is performed.

尚、赤色フイルム12は、そのまま反射面7a
および7bの前面側に配置した状態にしておいて
もよいことは言うまでもなく、このような状態で
受光素子9aおよび9bの光路の前段に赤色フイ
ルタ(図示せず)を配置し、赤色光のみを透過し
て受光素子9aおよび9bにて受光させるように
すれば、受光素子9aおよび9bに作用する内部
ノイズが除去され、正確な異物の検出が可能とな
る。また、このようにすることによつて、反射面
7aおよび7bの位置決めの際に受光素子9a及
び9bに導入される赤色光の導入タイミングをわ
ざわざ目視することなく、受光素子9aおよび9
bより送出される電気信号に基づいて知ることが
可能となる。また、本実施例においては、作業テ
ーブル1の図示(第2図)斜線部で示した範囲の
異物を検出するようにしたが、作業テーブル1の
周辺部までをも異物検出範囲に含むように構成し
てもよく、この異物検出範囲が被異物検出板面と
なることは言うまでもない。
Incidentally, the red film 12 is directly attached to the reflective surface 7a.
Needless to say, it is also possible to place the red filter (not shown) in front of the optical path of the light receiving elements 9a and 9b in such a state, so that only the red light is transmitted. By transmitting the light and allowing the light to be received by the light receiving elements 9a and 9b, internal noise acting on the light receiving elements 9a and 9b is removed, making it possible to accurately detect foreign objects. Moreover, by doing this, when positioning the reflecting surfaces 7a and 7b, the light receiving elements 9a and 9b can be moved without visually checking the introduction timing of the red light introduced into the light receiving elements 9a and 9b.
It becomes possible to know based on the electrical signal sent from b. In addition, in this embodiment, foreign objects are detected in the shaded area of the work table 1 (FIG. 2), but the foreign object detection range also includes the periphery of the work table 1. It goes without saying that this foreign matter detection range becomes the surface of the foreign matter detection plate.

〔考案の効果〕[Effect of idea]

以上説明したように本考案による光学式異物検
出装置によると、回転ミラーと反射面との間に光
線調光手段を配置することにより、異物検出光を
調色し可視光線とするようにしたので、可視光線
された異物検出光の検出器への導入時点で反射面
の位置を行うことが可能となり、ハーフミラー部
において屈折反射する光や回転ミラー部において
乱反射する光が検出器に内部ノイズとして作用し
たとしても、この内部ノイズとは無関係に反射面
の位置決めを適確且つすばやく行うことができ
る。
As explained above, according to the optical foreign object detection device according to the present invention, the foreign object detection light is colored into visible light by arranging the light beam adjustment means between the rotating mirror and the reflecting surface. , it is possible to determine the position of the reflecting surface at the time when the visible foreign object detection light is introduced into the detector, and the light that is refracted and reflected at the half mirror section and the light that is diffusely reflected at the rotating mirror section can be detected as internal noise in the detector. Even if this occurs, the reflecting surface can be positioned accurately and quickly regardless of this internal noise.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本考案に係る光学式異物検出装置の一
実施例における反射面の位置決めを行う際の構成
図、第2図は反射面の位置決め後赤色フイルムを
取り去つた後の異物検出装置を示す構成図、第3
図はこの異物検出装置に用いる異物検出器を示す
外観斜視図である。 1……作業テーブル、2a,2b……投光源、
4a,4b……ハーフミラー、5a,5b……回
転ミラー、6a,6b……パルスモータ、7a,
7b……反射面、9a,9b……受光素子、1
0,11……異物検出器、12……赤色フイル
ム。
Fig. 1 is a configuration diagram when positioning the reflective surface in an embodiment of the optical foreign object detection device according to the present invention, and Fig. 2 shows the foreign object detection device after removing the red film after positioning the reflective surface. Configuration diagram shown, 3rd
The figure is an external perspective view showing a foreign object detector used in this foreign object detection device. 1...Work table, 2a, 2b...Light source,
4a, 4b...half mirror, 5a, 5b...rotating mirror, 6a, 6b...pulse motor, 7a,
7b... Reflective surface, 9a, 9b... Light receiving element, 1
0, 11... Foreign object detector, 12... Red film.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 ハーフミラーを透過して照射される光を異物検
出光として反射し、この異物検出光の反射方向を
回転しながら可変する回転ミラーと、 被異物検出板面に隣接して配置され、この板面
上を横断して照射される前記異物検出光を反射
し、前記回転ミラーおよび前記ハーフミラーの鏡
面を経由して検出器に導く反射面と を備えてなる光学式異物検出装置において、 前記回転ミラーと前記反射面との間に配置さ
れ、前記異物検出光を調色し可視光線とする光線
調色手段を有する ことを特徴とする光学式異物検出装置。
[Scope of Claim for Utility Model Registration] A rotating mirror that reflects light transmitted through a half mirror as foreign object detection light and that changes the direction of reflection of this foreign object detection light while rotating, and adjacent to the surface of a foreign object detection plate. and a reflecting surface that reflects the foreign object detection light irradiated across the plate surface and guides it to a detector via the mirror surface of the rotating mirror and the half mirror. What is claimed is: 1. An optical foreign object detection device, comprising: a light beam toning unit disposed between the rotating mirror and the reflective surface, and adjusting the color of the foreign object detection light to make it visible light.
JP2513286U 1986-02-25 1986-02-25 Expired JPH048351Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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JP2513286U JPH048351Y2 (en) 1986-02-25 1986-02-25

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JPS62140351U JPS62140351U (en) 1987-09-04
JPH048351Y2 true JPH048351Y2 (en) 1992-03-03

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ID=30824999

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JP2513286U Expired JPH048351Y2 (en) 1986-02-25 1986-02-25

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JPS62140351U (en) 1987-09-04

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