JPH0475286U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるダイアフラムバルブ装置
の第１実施例を示す断面図、第２図は第１実施例
の作用を示す断面図、第３図は第１実施例におけ
る永久磁石の側面図、第４図は本考案によるダイ
アフラムバルブ装置の第２実施例を示す断面図で
ある。 １，１１……ダイアフラム、１ａ，１１ａ……
シール部、１１ｂ……スプリング止め、２，１２
……上部ケース、２ａ……大気室、２ｂ，１２ｂ
……上壁、２ｃ，１２ｃ……挿入孔、１２ｄ……
スプリング止め、３……下部ケース、３ａ……弁
口、３ｂ……流入ポート、３ｃ……流出ポート、
４……永久磁石、５，１５……電磁石、５ａ，１
５ａ……コイル、６……電流制御部、７……セン
サ、１３……スプリング。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 圧力流体の通路途中に形成された弁口３ａ
   をダイアフラム１，１１のシール部１ａ，１１ａ
   により開閉するダイアフラムバルブ装置であつて
   、上記シール部１ａ，１１ａに付設される永久磁
   石４と、この永久磁石４に吸引力または反発力を
   付与する電磁石５，１５と、この電磁石５，１５
   への供給電流を制御する電流制御部６とを備えた
   ことを特徴とするダイアフラムバルブ装置。 (2) 上記永久磁石４は、ダイアフラム１，１１
   のシール部１ａ，１１ａに埋設されていることを
   特徴とする請求項１記載のダイアフラムバルブ装
   置。 (3) 上記電流制御部６は、弁口３ａより下流の
   圧力流体通路に設置されたセンサ７の検出信号に
   応じて圧力流体をフイードバツク制御するように
   電磁石５，１５への供給電流を制御する構成とし
   たことを特徴とする請求項１または請求項２記載
   のダイアフラムバルブ装置。 (4) 上記センサ７は、圧力流体の圧力を検出す
   る圧力センサである請求項３記載のダイアフラム
   バルブ装置。 (5) 上記センサ７は、圧力流体の流量を検出す
   る流量センサである請求項３記載のダイアフラム
   バルブ装置。 (6) 上記ダイアフラム１１のシール部１１ａを
   弁口３ａ側に付勢するスプリング１３を備えたこ
   とを特徴とする請求項１ないし請求項５記載のダ
   イアフラムバルブ装置。