JPH0475286U - - Google Patents

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JPH0475286U
JPH0475286U JP11823290U JP11823290U JPH0475286U JP H0475286 U JPH0475286 U JP H0475286U JP 11823290 U JP11823290 U JP 11823290U JP 11823290 U JP11823290 U JP 11823290U JP H0475286 U JPH0475286 U JP H0475286U
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valve device
diaphragm valve
sensor
pressure fluid
diaphragm
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JP11823290U
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  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案によるダイアフラムバルブ装置
の第1実施例を示す断面図、第2図は第1実施例
の作用を示す断面図、第3図は第1実施例におけ
る永久磁石の側面図、第4図は本考案によるダイ
アフラムバルブ装置の第2実施例を示す断面図で
ある。 1,11……ダイアフラム、1a,11a……
シール部、11b……スプリング止め、2,12
……上部ケース、2a……大気室、2b,12b
……上壁、2c,12c……挿入孔、12d……
スプリング止め、3……下部ケース、3a……弁
口、3b……流入ポート、3c……流出ポート、
4……永久磁石、5,15……電磁石、5a,1
5a……コイル、6……電流制御部、7……セン
サ、13……スプリング。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 圧力流体の通路途中に形成された弁口3a
    をダイアフラム1,11のシール部1a,11a
    により開閉するダイアフラムバルブ装置であつて
    、上記シール部1a,11aに付設される永久磁
    石4と、この永久磁石4に吸引力または反発力を
    付与する電磁石5,15と、この電磁石5,15
    への供給電流を制御する電流制御部6とを備えた
    ことを特徴とするダイアフラムバルブ装置。 (2) 上記永久磁石4は、ダイアフラム1,11
    のシール部1a,11aに埋設されていることを
    特徴とする請求項1記載のダイアフラムバルブ装
    置。 (3) 上記電流制御部6は、弁口3aより下流の
    圧力流体通路に設置されたセンサ7の検出信号に
    応じて圧力流体をフイードバツク制御するように
    電磁石5,15への供給電流を制御する構成とし
    たことを特徴とする請求項1または請求項2記載
    のダイアフラムバルブ装置。 (4) 上記センサ7は、圧力流体の圧力を検出す
    る圧力センサである請求項3記載のダイアフラム
    バルブ装置。 (5) 上記センサ7は、圧力流体の流量を検出す
    る流量センサである請求項3記載のダイアフラム
    バルブ装置。 (6) 上記ダイアフラム11のシール部11aを
    弁口3a側に付勢するスプリング13を備えたこ
    とを特徴とする請求項1ないし請求項5記載のダ
    イアフラムバルブ装置。
JP11823290U 1990-11-09 1990-11-09 Pending JPH0475286U (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002295708A (ja) * 2001-03-30 2002-10-09 Nok Corp ソレノイドバルブ
KR101491711B1 (ko) * 2013-06-10 2015-02-11 (주)씨엔에스 다이어프램 밸브를 이용한 액체 또는 기체의 유량 제어방법
KR101491713B1 (ko) * 2013-06-10 2015-02-11 (주)씨엔에스 액체 또는 기체의 유량 제어방법

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JP4569025B2 (ja) * 2001-03-30 2010-10-27 Nok株式会社 ソレノイドバルブ
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