JPH0474434U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0474434U JPH0474434U JP11681790U JP11681790U JPH0474434U JP H0474434 U JPH0474434 U JP H0474434U JP 11681790 U JP11681790 U JP 11681790U JP 11681790 U JP11681790 U JP 11681790U JP H0474434 U JPH0474434 U JP H0474434U
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- JP
- Japan
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- chute
- semiconductor device
- semiconductor
- semiconductor manufacturing
- manufacturing apparatus
- Prior art date
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例の断面図、第２
図は本考案の第２の実施例の断面図、第３図は従
来のシユート機能を備えた半導体製造装置の断面
図である。 １……半導体装置、２，１２……シユート、３
，１３……シユートカバー、４……反転部、５，
１５，２５……半導体装置ストツパ、６……ソー
タ、７……シリンダ、８……測定部。
図は本考案の第２の実施例の断面図、第３図は従
来のシユート機能を備えた半導体製造装置の断面
図である。 １……半導体装置、２，１２……シユート、３
，１３……シユートカバー、４……反転部、５，
１５，２５……半導体装置ストツパ、６……ソー
タ、７……シリンダ、８……測定部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ シユート機能を有しシユート内で半導体装置
を停止させる半導体装置ストツパを備えた半導体
製造装置において、前記半導体装置ストツパの前
記シユート内の形状が先端部が細くなるようにテ
ーパ状となつていることを特徴とする半導体製造
装置。 ２ 請求項１記載の半導体装置ストツパがシユー
トカバーに固定されていることを特徴とする半導
体製造装置。 ３ 請求項１記載の半導体装置ストツパがシユー
トカバーに設けられた貫通孔を通して可動である
ことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11681790U JPH0474434U (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11681790U JPH0474434U (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474434U true JPH0474434U (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=31864656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11681790U Pending JPH0474434U (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0474434U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS556119U (ja) * | 1978-06-29 | 1980-01-16 | ||
| JPS6361137B2 (ja) * | 1984-07-18 | 1988-11-28 | ||
| JPH0221573B2 (ja) * | 1979-10-29 | 1990-05-15 | Hoechst Ag |
-
1990
- 1990-11-07 JP JP11681790U patent/JPH0474434U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS556119U (ja) * | 1978-06-29 | 1980-01-16 | ||
| JPH0221573B2 (ja) * | 1979-10-29 | 1990-05-15 | Hoechst Ag | |
| JPS6361137B2 (ja) * | 1984-07-18 | 1988-11-28 |