JPH0473871U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0473871U JPH0473871U JP11557990U JP11557990U JPH0473871U JP H0473871 U JPH0473871 U JP H0473871U JP 11557990 U JP11557990 U JP 11557990U JP 11557990 U JP11557990 U JP 11557990U JP H0473871 U JPH0473871 U JP H0473871U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- fixed base
- electrode
- held
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である加速度セン
サの断面図、第２図は半導体ストレンゲージを用
いた従来の加速度センサの側面断面図、第３図は
第２図のＰ矢視正面図、第４図は測定用ブリツジ
回路である。 １１……圧電膜、１２Ａ，１２Ｂ……電極膜、
１３……圧電素子、１４……質量部、１５……固
定台、１７Ａ，１７Ｂ……電極片、１９Ａ，１９
Ｂ……支持部、２０Ａ，２０Ｂ……コイルばね。
サの断面図、第２図は半導体ストレンゲージを用
いた従来の加速度センサの側面断面図、第３図は
第２図のＰ矢視正面図、第４図は測定用ブリツジ
回路である。 １１……圧電膜、１２Ａ，１２Ｂ……電極膜、
１３……圧電素子、１４……質量部、１５……固
定台、１７Ａ，１７Ｂ……電極片、１９Ａ，１９
Ｂ……支持部、２０Ａ，２０Ｂ……コイルばね。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 帯状の圧電膜の両面に電極膜を形成した圧電
素子の下端に質量部を設け、上端部を２個の電極
片で挟持し、この電極片を弾性体を介して固定台
に支持したことを特徴とする加速度センサ。 ２ 請求項１記載のものにおいて、圧電素子の上
端部を挟持する電極片は支持部に取付けられ、こ
の支持部が固定台に対し摺動可能に圧縮性コイル
ばねを介して支持されたことを特徴とする加速度
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11557990U JPH0473871U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11557990U JPH0473871U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0473871U true JPH0473871U (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=31863354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11557990U Pending JPH0473871U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0473871U (ja) |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP11557990U patent/JPH0473871U/ja active Pending