JPH0473434U - - Google Patents

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JPH0473434U
JPH0473434U JP11504490U JP11504490U JPH0473434U JP H0473434 U JPH0473434 U JP H0473434U JP 11504490 U JP11504490 U JP 11504490U JP 11504490 U JP11504490 U JP 11504490U JP H0473434 U JPH0473434 U JP H0473434U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は実施例の移動テーブルを示す平面図、
第２図はその側面図、第３図は同上の一部を拡大
して示す断面図、第４図はスライド軸受の構造を
示す縦断平面図、第６図は第５図の−線に沿
つた断面図、第７図は第６図の−線に沿つた
断面図、第８図は位置検出器の構造を示す縦断平
面図、第９図は実施例の移動テーブルの制御構成
を示すブロツク図、第１０図は制御装置の処理フ
ローを示すブロツク図、第１１図は他の実施例を
示す平面図、第１２図は第１１図の−線
に沿つた断面図である。 １，１′……固定盤、２，２′……可動盤、３
，５２，５３……スラスト軸受、９，１０，１１
……駆動装置、１３……継手、１４……案内軸、
１５……スライド軸受、１７……回動ピン、２４
……ボールねじ軸、２５……モータ、３９，４０
，４１……位置検出器、４２……検出棒、４５…
…センサ、４７……制御回路、４８……駆動回路
、５０……フランジ部材。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 固定盤の上にスラスト軸受を介して可動盤
    を移動可能に設け、その可動盤にそれをスラスト
    軸受に沿つて移動させる駆動装置を連結すると共
    に、可動盤の位置を検出する位置検出器を設け、
    その位置検出器の検出値と目標値とを比較してそ
    の比較結果に基づき駆動装置の作動量を制御する
    制御装置を備えた移動テーブル。 (2) 固定盤上に、可動盤を含む平面内で互いに
    平行に伸縮する２個以上の駆動装置とその駆動装
    置に直交する方向に伸縮する１個以上の駆動装置
    を配置し、その各駆動装置と可動盤の側辺を、上
    記平面内で回動可能かつ駆動装置の伸縮方向と直
    交する方向にスライド可能な継手により連結した
    請求項(1)に記載の移動テーブル。 (3) 固定盤の上下を、可動盤とその可動盤に一
    体に連結するフランジ部材により挾み、このフラ
    ンジ部材と固定盤の間にスラスト軸受を介在させ
    た請求項(1)又は(2)に記載の移動テーブル。 (4) 位置検出器を継手を介して可動盤に連結し
    た請求項(1)乃至(3)のいずれかに記載の移動テー
    ブル。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012101332A (ja) * 2010-11-11 2012-05-31 Freebear Corp ワーク位置決めシステム
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JP2016134457A (ja) * 2015-01-16 2016-07-25 東京エレクトロン株式会社 接合装置、接合システムおよび接合方法
JP2017126601A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 日本精工株式会社 テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械

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