JPH0468790A - 固体光検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、三原色フィルタによってそれぞれ被覆された
第１ないし第３の光電変換部から出力された三原色信号
を処理することにより色信号を発生する固体光検出装置
に関するものである。

［従来の技術］ 従来、この種の固体光検出装置としては、（ｉｌ三原色
フィルタ（たとえば赤色フィルタ、緑色フィルタおよび
青紫色フィルタ）によってそれぞれ被覆された３つの線
形固体光検出素子（いわゆる°°ラインセンサー”）を
画素ごとに一組として配置しておき、３つの線形固体光
検出素子の検出結果を三原色信号（ここでは赤色信号Ｒ
１緑色信号Ｇおよび青紫色信号Ｂ）として出力せしめ後
続の色処理回路で適宜に処理して色信号を作成してなる
もの、あるいはｆｉｉ）単一の線形固体光検出素子に対
して三原色フィルタ（たとえば赤色フィルタ、緑色フィ
ルタおよび青紫色フィルタ）を画素ごとに一組として配
置しておき、線形固体光検出素子の検出結果をマトリク
ス回路で適宜に分配することにより三原色信号（ここで
は赤色信号Ｒ１緑色信号Ｇおよび青紫色信号Ｂ）を取り
出し後続の色処理回路で適宜に処理して色信号を作成し
てなるものが提案されていた。

［解決すべき問題点］ しかしながら、従来の固体光検出装置では、ｆｉ１画素
ごとに３つの線形固体光検出素子を一組として配置する
場合、大型化してしまい、製造原価を押し上げてしまう
欠点があり、また３つの線形固体光検出素子の出力間に
差が生じるため補正しなければならない欠点があり、ま
た（ｉｉｌ単一の線形固体光検出素子に対し画素ごとに
三原色フィルタ（たとえば赤色フィルタ、緑色フィルタ
および青紫色フィルタ）を−組として配置する場合、三
原色フィルタ（赤色フィルタ、緑色フィルタおよび青紫
色フィルタ）を−組として配置する関係上、画素あたり
の色分解能が三分の−に低下してしまう欠点があり、ま
た画素数が増大するにつれ動作速度が低下してしまう欠
点があった。

そこで、本発明は、これらの欠点を除去する目的で、三
原色フィルタによってそれぞれ被覆された第１ないし第
３の光電変換部を同一の半導体基板上に形成してなる固
体光検出装置を提供せんとするものである。

（２）発明の構成 ［問題点の解決手段］ 本発明により提供される問題点の解決手段は、「三原色
フィルタによってそれぞれ被覆された第１ないし第３の
光電変換部から出力された三原色信号を処理することに
より色信号を発生する固体光検出装置において、（ａｌ
第１の光電変換部（ＩＬ＋’〜１２＋ｍ’；〜、１２４
．”〜１ｚ４ｓ”ｌ　、第２の光電変換部＋１３□。〜
１３１ｓ”；〜：１３４＋”〜１３．３’ｌおよび第３
の光電変換 部１１４□１〜１４．ｓ”：〜、１４．．ｍ〜１４４ｓ
’ｌに対して１対ｌで配設されており、第１の光電変換
部（１２，。

〜１２．ｓ”；〜、１２．．”〜ｔ、”１．第２の光電
変換部ｆ１３＋、”〜１３，３°；〜；１３．．”〜１
３４．”ｌおよび第３の光電変換部ｆ１４．．”〜１４
＋ｓ”：〜；１４４１”〜１４４、”ｌから電荷を受は
取るための第１の電荷転送部ｆ１５＋＋”〜１５１３”
；〜：１５４−〜１５４．”ｌと、 ｆｂ）第１の電荷転送部（ｌｓ＋＋′〜１５１ｓ”；〜
；１５４＋”〜１５４ｓ”ｌに対し一組の第１の光電変
換部（１２＋＋”〜１２＋ｓ　；〜；１２．、”−１２
４，’１．第２の光電変換部（１３，、”〜１３＋ｓ”
：〜、１３．．”〜１３、ｌ”ｌおよび第３の光電変換 部（１４ｒ　＋　”〜１４＋ｓ”；〜：１４４．”〜１
４４ｓ”ｌごとに１対１で配設されており、第１の電荷
転送部（１５＋１＊〜１５．３″″；〜、１５４．’〜
１５４ｓ’ｌから電荷を受は取るための第２の電荷転送 部（１６１゜〜ｉ６４”ｌ　　と、 ｆｃｌ第２の電荷転送部ｆ１６．”〜１６４”）から電
荷を転送するための電荷転 送路（１６）と、 ｆｄｌ　ｉｆ電荷転送路１６）によって転送されてきた
電荷を第１の光電変換 部ｆ１２□。〜１２ｒｓ”：〜、１２．．’〜１２．３
”１．第２の光電変換部ｆ１３．。

〜ＩＬｓ”・〜；１３４−〜ＩＬｓ”ｌおよび第３の光
電変換部（１４，−〜１４１ｓ　；〜：１４．．’〜１
４４．”ｌにそれぞれ対応する記憶領域に記憶しておき
、三 原色信号として出力する記憶装 置（２０）と を備えてなることを特徴とする固体光検出装置」 である。

［作用］ 本発明にかかる固体光検出装置は、三原色フィルタによ
ってそれぞれ被覆された第１ないし第３の光電変換部か
ら出力された三原色信号を処理することにより色信号を
発生する固体光検出装置であって、特に、第１ないし第
３の光電変換部に対して第１の電荷転送部が１対１で配
設されており、第１の電荷転送部に対し一組の第１ない
し第３の光電変換部ごとに第２の電荷転送部が１対ｌで
配設されており、第２の電荷転送部に対し電荷を転送す
るための電荷転送路が配設されており、電荷転送路によ
って転送されてきた電荷を第１ないし第３の光電変換部
にそれぞれ対応する記憶装置の記憶領域に記憶し三原色
信号として出力しているので、 （ｉｔ色分解能を改善する作用 をなし、また ｆｉｉｌ第１ないし第３の光電変換部の受光時間を延長
する作用 をなし、ひいては ｆｉｉｉ）低照度の場合にも受光感度を良好とする作用 をなし、併せて （ｉｖｌ電荷転送路に伴なう容量負荷を削減して高速動
作可能とする作用 をなす。

［実施例］ 次に、本発明にかかる固体光検出装置について、その好
ましい実施例を挙げ、添付図面を参照しつつ、具体的に
説明する。

しかしながら、以下に説明する実施例は、本発明の理解
を容易化ないし促進化するために記載されるものであっ
て、本発明を限定するために記載されるものではない。

換言すれば、以下に説明される実施例において開示され
る各要素は、本発明の精神ならびに技術的範囲に属する
全ての設計変更ならびに均等物置換を含むものである。

」匡佳区国匹脱肛り 第１図は、本発明にかかる固体光検出装置の第１および
第２の実施例を共通に示すための回路図である。

第２図は、本発明にかかる固体光検出装置の第１の実施
例を一層具体的に例示する目的で、第１図回路図の一部
である固体光検出素子を拡大して示すための斜視図であ
る。

第３図は、第２図に示した固体光検出素子のｍ−■線に
そった断面図である。

第４図は、本発明にかかる固体光検出装置の第２の実施
例を一層具体的に例示する目的で、第１図回路図の一部
である固体光検出素子を拡大して示すための斜視図であ
る。

第５図は、第４図に示した固体光検出素子のＶ−Ｖ綿に
そった断面図である。

（第１の　　例の　　） まず、第１図ないし第３図を参照しつつ、本発明にかか
る固体光検出装置の第１の実施例について、その構成を
詳細に説明する。

■は、本発明にかかる固体光検出装置であって、光を受
光しており受光した光のもつ三原色成分（たとえば赤色
成分、緑色成分および青紫色成分；以下この場合につい
て説明する）に応じて三原色信号（ここでは赤色信号Ｒ
９緑色信号Ｇおよび青紫色信号Ｂ）を発生するための固
体光検出素子用と、固体光検出装置赳に対して接続され
ており固体光検出素子用の検出した三原色信号（ここで
は赤色信号Ｒ９緑色信号Ｇおよび青紫色信号Ｂ）をそれ
ぞれ記憶するための記憶装置並と、記憶装置毅に対して
入力端が接続されており記憶装置並から読み出された三
原色信号を適宜に処理して色信号Ｓを出力するための色
処理装置並と、固体光検出素子旦、記憶装置翻および色
処理装置且に対して接続されておりそれぞれに対しタイ
ミングパルスｐ　＋、　ｐ　、、　ｐ、を与えるための
タイミングパルス発生装置並とを備えている。ちなみに
、固体光検出装置朋は、電荷結合素子（いわゆる“ＣＣ
Ｄ”）あるいは金属酸化物半導体（いわゆる°’ＭＯＳ
”）素子などの固体撮像素子である。

固体光検出素子」は、半導体基板１１に対して１つずつ
形成された１２組の光電変換部すなわち４組の赤色光電
変換部１２．−〜１２４１°、４組の緑色光電変換部１
３□６〜１３４．”および４組の青紫色光電変換部１４
＋＋”〜１４．．”と、４組の赤色光電変換部１２、、
”〜１２４．”、４組の緑色光電変換部１３１１ｅ〜１
３４、”および４組の青紫色光電変換部１４＋＋”〜１
４４、。の各組にそれぞれ隣接するよう半導体基板１１
に対して形成された１２の電荷転送部１５．、’〜１５
４＋”　；１５．□１〜１５４ｇ”；１５＋ｓ。〜１５
４．”　と、１２の電荷転送部１５＋＋’〜１５＋ｓ”
、　１５□１′〜１５□ｍ”：　１５１１〜１５ｓｓ”
；　ｔｓ４．”〜１５４．。の３つを１群とした各群に
それぞれ隣接するよう半導体基板１１に対して形成され
た４つの電荷転送部ＩＬ＊〜１６４゜とを備えている。

１２（７）電荷転送部１５．、”　〜１５．．”；　〜
；１５．−〜１５４、”の３つを一群とする要領は、赤
色光電変換ｆａｎ　１２１１”〜１ｚ、ｔ”、ａ色光ｔ
ｆＪＬＪ　１３．、”　〜１３４゜および青紫色光電変
換部１４＋＋”〜１４４．。のそれぞれに対応するもの
を１つずつ含むように配慮すればよい。

光電変換素子長は、また、赤色光電変換部１２＋　ｌ。

〜１２４＋”をそれぞれ被覆するよう半導体基板ｌｌ上
に配置されており受光された光のうち赤色成分のみを透
過するための赤色フィルタ１２Ｈ〜１２４、と、緑色光
電変換部１３＋＋”〜１３４１’をそれぞれ被覆するよ
う半導体基板ｌｌ上に配置されており受光された光のう
ち緑色成分のみを透過するための緑色フィルタ１３□〜
１３，１と、青紫色光電変換部１４＋＋”〜１４．−を
被覆するよう半導体基板１１上に配置されており受光さ
れた光のうち青紫色成分のみを透過するための青紫色フ
ィルタ１４＋＋〜１４４１と、電荷転送部１５．＋＋’
〜１５４１”：　ＩＬｉ”〜１５４ｆｆｉ”。

１５、。〜１５ｏ。をそれぞれ被覆するよう半導体基板
１１上に配置されており光の透過を阻止するための遮蔽
膜１５．、〜１５．．；　１５□〜１５．、；　１５．
、〜１５４３と、電荷転送部１６□１〜１６４゜を被覆
するよう半導体基板ｌｌ上に配設されており電荷転送部
Ｉ６１゜〜１６４゜から受は取った電荷を記憶装置践に
向けて案内するための電荷転送路１６とを備えている。

１の　　の 次いで、第１図ないし第３図を参照しつつ、本発明にか
かる固体光検出装置の第１の実施例について、その作用
を詳細に説明する。

固体光検出装置旦の赤色光電変換部】２１□。〜１２４
１”、緑色光電変換部１３．、”〜１３４１°および青
紫色光電変換部１４１．。〜１４４＋’は、赤色フィル
タ１２１、〜１２．．．緑色フィルタ１３＋＋−１３４
＋および青紫色フィルタ１４１．〜１４４１を介して光
が照射されると、それぞれ、受光された光の赤色成分、
緑色成分および青紫色成分に応じて電荷を発生する。

固体光検出装置且の赤色光電変換部１２１１゜〜１２４
、”、緑色光電変換部１３．１＊〜１３．、”および青
紫色光電変換部１４１１゜〜１４４．’で発生された電
荷は、記憶装置亜の書込時間に、タイミングパルス発生
装置並から与えられたタイミングパルスＰ１によって記
憶装置赳に向は以下のごとく転送され、タイミングパル
ス発生装置並から与えられたタイミングパルスＰ２によ
って記憶装置毅のそれぞれ対応する記憶領域に記憶され
る。

すなわち、タイミングパルス発生装置並からタイミング
パルスＰ、が与えられると、固体光検出素子側は、赤色
光電変換部１２．１°から電荷転送・部１５１＋”に対
して電荷を転送したのち、電荷転送部１５．１゜から電
荷転送部１６．０に対して電荷を転送し、更に電荷転送
部１６Ｉ′から電荷転送路１Ｂを介し記憶装置側に向け
て電荷を転送する。次いで、固体光検出素子■は、赤色
光電変換部１２．１°から電荷転送部１５□ｔに対して
電荷を転送したのち、電荷転送部１５□１°から電荷転
送部１６２′に対して電荷を転送し、更に電荷転送部１
６ｇ”から電荷転送路１６を介し記憶装置並に向けて電
荷を転送する。そののち、固体光検出素子側は、赤色光
電変換部１２３ケから電荷転送部１５８１”に対して電
荷を転送したのち、電荷転送部１５３．＠から電荷転送
部１６３１に対して電荷を転送し、更に電荷転送部１６
１から電荷転送路１６を介し記憶装置２０に向けて電荷
を転送する。更に、固体光検出素子側は、赤色光電変換
部１２４ピから電荷転送部１５４１゜に対して電荷を転
送したのち、電荷転送部１５４＋”から電荷転送部１６
４′に対して電荷を転送し、更に電荷転送部１６．。

から電荷転送路１６を介し記憶装置並に向けて電荷を転
送する。

赤色光電変換部１２１．。〜１２４＋”で発生された電
荷が全て記憶装置輩に向けて転送されたのち、固体光検
出素子１０は、緑色光電変換部１３３．。から電荷転送
部１５１？に対して電荷を転送したのち、電荷転送部１
５．２°から電荷転送部１５□°を介し電荷転送部１６
トに対して電荷を転送し、更に電荷転送部１６１′から
電荷転送路１６を介し記憶装置輩に向けて電荷を転送す
る。そののち、固体光検出素子圧は、緑色光電変換部１
３□ｔから電荷転送部Ｊ５２２に対して電荷を転送した
のち、電荷転送部１５２２から電荷転送部１５□１°を
介し電荷転送部１６２°に対して電荷を転送し、更に電
荷転送部１６□′から電荷転送路１６を介し記憶装置並
に向けて電荷を転送する。更に、固体光検出素子■は、
緑色光電変換部１３、　、　”から電荷転送部１５，２
°に対して電荷を転送したのち、電荷転送部１５ｘｘ”
から電荷転送部１５ｓ＋。を介し電荷転送部１６３゜に
対して電荷を転送し、更に電荷転送部１６，１から電荷
転送路１６を介し記憶装置並に向けて電荷を転送する。

更に、固定光検出素子■は、緑色光電変換部１３４．”
から電荷転送部１５４１に対して電荷を転送したのち、
電荷転送部１５．、”から電荷転送部１５４．。を介し
電荷転送部１６４゜に電荷を転送し、更に電荷転送部１
６４１から電荷転送路１６を介し記憶装置柱に向けて電
荷を転送する。

緑色光電変換部１３．、”〜１３．．＠で発生された電
荷が全て記憶装置凹に向けて転送されたのち、固体光検
出素子且は、青紫色光電変換部１４．、”から電荷転送
部１５＋ｓ”に対して電荷を転送したのち、電荷転送部
１５１ｍ＠から電荷転送部１５＋ｔ”および電荷転送部
１５．１゜を介し電荷転送部１６１゜に対して電荷を転
送し、更に電荷転送部１６．”から電荷転送路１６を介
し記憶装置並に向けて電荷を転送する。そののち、固体
光検出素子且は、青紫色光電変換部１４□１゜から電荷
転送部１５□′に対して電荷を転送したのち、電荷転送
部１５□３＠から電荷転送部１５゜′および電荷転送部
１５□、。を介し電荷転送部１６□°に対して電荷を転
送し、更に電荷転送部１６２゜から電荷転送路１６を介
し記憶装置並に向けて電荷を転送する。固体光検出素子
圧は、青紫色光電変換部１４，１°から電荷転送路１５
．？に対して電荷を転送したのち、電荷転送部１５ｓｎ
”から電荷転送部１５３１および電荷転送部１５ｇ＋＠
を介し電荷転送部１６、°に対し電荷を転送し、更に電
荷転送部１６３°から電荷転送路１６を介し記憶装置録
に向けて電荷を転送する。固体光検出素子■は、青紫色
光電変換部１４４どから電荷転送部１５４？に対して電
荷を転送したのち、電荷転送部１５４１から電荷転送部
１５４１および電荷転送部１５４１°を介し電荷転送部
１６４′に電荷を転送し、更に電荷転送部１６４°から
電荷転送路１６を介し記憶装置２０に向けて転送する。

記憶装置迂は、書込時間において、固体光検出素子側か
ら転送されてきた電荷を、タイミングパルス発生装置並
から与えられたタイミングパルスＰ８に応じて、それが
転送されてくるごとに、それぞれ対応する記憶領域に配
憶する。

色処理装置並は、記憶装置践の書込時間を除いた動作時
間すなわち読出時間において、タイミングパルス発生回
路並から与えられたタイミングパルスＰ２に応じ記憶装
置並から読み出された三原色信号（ここでは赤色信号Ｒ
９緑色信号Ｇおよび青紫色信号Ｂ）を受は取って、タイ
ミングパルス発生回路並から与えられたタイミングパル
スＰ。

に応じて適宜の処理を施して色信号Ｓを作成し、後続の
装置に向けて出力する。

（２の　　の 加えて、第１図、第４図および第５図を参照しつつ、本
発明にかかる固体光検出装置の第２の実施例について、
その構成および作用を詳細に説明する。

第２の実施例は、固体光検出素子■に代え固体光検出素
子１０Ａが採用されたことを除き、第１の実施例と実質
的に同一の構成および作用を有する。

したがって、ここでは、説明を簡潔とする目的で、固体
光検出素子１０Ａの構成および作用に関する説明を除き
、第１の実施例に含まれた要素と同一の機能をなす各要
素に対し、第１の実施例と同一の参照符号を付すことに
より、その説明を省略する。

固体光検出素子１０Ａの構成 固体光検出素子出は、半導体基板１１に対して３つずつ
形成された１２組の光電変換部すなわち４組の赤色光電
変換部１２．、’〜１２□。；〜、１２．．”〜１２４
、”、　４組の緑色光電変換部１３＋＋’〜１３□６；
〜；１３４１’〜１３４３゜および４組の青紫色光電変
換部１４、、”〜１４１ｓ”：〜、１４４．”〜１４．
．”と、４組の赤色光電変換部１２１＋”〜１２．．”
；〜、１２４．”〜１２４３”＋　４組の緑色光電変換
部１３．、”〜１３＋ｓ”：〜、１３．．＠〜１３．１
および４組の青紫色光電変換部１４１１＊〜１４＋ｓ”
：〜、１４．．”〜１４４３°にそれぞれ隣接するよう
半導体基ｌ２ｉｉｌｌに対して形成された１２の電荷転
送部１５１＋”〜１５４Ｉ＠；１５＋＊’〜ＩＬ２”；
１５゜８〜１５４３と、１２の電荷転送部１５．、”〜
１５＋ｓ”、　１５□。〜１５＊ｓ”；’　１５ｓ１”
〜１５ｍ５”；　１５４−〜１５４ｍ”の３つを１群と
した各群にそれぞれ隣接するよう半導体基板１１に対し
て形成された４つの電荷転送部１６．。〜１６４゜とを
備えている。１２の電荷転送部１５□。〜ＩＬｓ”；〜
；・１５４１”〜１５４３゜の３つを一群とする要領は
、赤色光電変換部１２１１′１１２４＊”ｉ緑色光電変
換部１３１−〜１３４？および青紫色光電変換部１４＋
＋〜１４４１のそれぞれに対応するものを１つずつ含む
ように配慮すればよい。

光電変換素子出は、また、赤色光電変換部１２゜。〜１
２４．”をそれぞれ被覆するよう半導体基板１１上に配
置されており受光された光のうち赤色成分のみを透過す
るための赤色フィルタ１２１、〜１２４３と、緑色光電
変換部１３１．”〜１３４３°をそれぞれ被覆するよう
半導体基板ｌｌ上に配置されており受光された光のうち
緑色成分のみを透過するための緑色フィルタ１３１１〜
１３４３と、青紫色光電変換部１４１１＊〜１４４？を
被覆するよう半導体基板１１上に配置されており受光さ
れた光のうち青紫色成分のみを透過するための青紫色フ
ィルタ１４１１〜１４４゜と、電荷転送部１５゜。〜１
５．．”；　１５□。〜１５４ｍ”；１５．１〜１５．
、”をそれぞれ被覆するよう半導体基板１１上に配置さ
れており光の透過を阻止するための遮蔽膜１５１．〜１
５４．：　１５＋ｇ〜１５．．．１５□〜１５４８と、
電荷転送部１６’ｃ”〜１６４３を被覆するよう半導体
基板１１上に配設されており電荷転送部１６１＊〜１６
．。

から受は取った電荷を記憶装置翻に向けて案内するため
の電荷転送路１６とを備えている。

固体光検出素子１０Ａの作用 固体光検出素子１０Ａの赤色光電変換部１２゜＊〜１２
、ａ”、緑色光電変換部１３，１＊〜１３４３”および
青紫色光電変換部１４．１＊〜１４４．”は、赤色フィ
ルタ１２．１〜１２−ａ、緑色フィルタ１３１．〜１３
４．および青紫色フィルタ１４．、〜１４４．を介して
光が照射されると、それぞれ、受光された光の赤色成分
、緑色成分および青紫色成分に応じて電荷を発生する。

固体光検出素子出の赤色光電変換部１２□ｔ〜１２４ｓ
”、緑色光電変換部１３゜。〜１３４ｍ’および青紫色
光電変換部１４＋＋”〜１４４１で発生された電荷は、
記憶装置迂の書込時間に、タイミングパルス発生装置並
から与えられたタイミングパルスＰ１によって記憶装置
２０に向は以下のごと（転送され、タイミングパルス発
生装置並から与えられたタイミングパルスＰ、によって
記憶装置並のそれぞれ対応する記憶領域に記憶される。

すなわち、タイミングパルス発生装置並からタイミング
パルスＰ、が与えられると、固体光検出素子出は、赤色
光電変換部１２□′〜１２．、”および電荷転送部１５
＋＋”、１６１”の間で電荷を順次転送したのち、電荷
転送部１６１′から電荷転送路１６を介し記憶装置輩に
向けて電荷を順次転送する。次いで、固体光検出素子出
は、赤色光電変換部１２□１゜〜１２□３′および電荷
転送部１５＊＋”、１６ｇ”の間で電荷を順次転送した
のち、電荷転送部１６？から電荷転送路１６を介し記憶
装置並に向けて電荷を順次転送する。そののち、固体光
検出素子出は、赤色光電変換部１２３１＊〜１２３３°
および電荷転送部１５ｘ＋”、１６−”の間で電荷を順
次転送したのち、電荷転送部１６３′から電荷転送路１
６を介し記憶装置２０に向けて電荷を順次転送する。更
に、゛固体光検出素子上は、赤色光電変換部１２４．。

〜１２４．”および電荷転送部１５．−．１６４”の間
で電荷を順次転送したのち、電荷転送部１６．°から電
荷転送路１６を介し記憶装置２０に向けて電荷を順次転
送する。

赤色光電変換部１２１１゜〜１２４１で発生された電荷
が全て記憶装置■に向けて転送されたのち、固体光検出
素子出は、緑色光電変換部１３．、”〜１３＋＊”およ
び電荷転送部１５．、”、１５．、”、１６．”の間で
電荷を順次転送したのち、電荷転送部１６．°から電荷
転送路１６を介し記憶装置２０に向けて電荷を順次転送
する。そののち、固体光検出素子出は、緑色光電変換部
１３２Ｉ６〜１３□３゜および電荷転送部１５□２”、
１５１１＠、１６１”の間で電荷を順次転送したのち、
電荷転送部１６□。から電荷転送路１６を介し記憶装置
」に向けて電荷を順次転送する。更に、固体光検出素子
出は、緑色光電変換部１３３１゜〜１３３？および電荷
転送部１５ｉ□”、１５ａ、”、１６ｉ”の間で電荷を
順次転送したのち、電荷転送部１６ａ°から電荷転送路
１６を介し記・１装置２０に向けて電荷を順次転送する
。更に、固定光検出素子塵は、緑色光電変換部１３４１
゜〜１３４？および電荷転送部１５．□。

１５４、’、１６４”の間で電荷を順次転送したのち、
電荷転送部１６４゜から電荷転送路１６を介し記憶装置
２ｏに向けて電荷を順次転送する。

緑色光電変換部’１３．．”〜１３４１で発生された電
荷が全て記憶装置翻に向けて転送されたのち、固体光検
出素子出は、青紫色光電変換部１’４．、。〜１４１１
および電荷転送部１５１１”、１５．、”、１５．、＠
、１６．”の間で電荷を順次転送したのち、電荷転送部
１６．。

から電荷転送路１６を介し記憶装置■に向けて電荷を順
次転送する。そののち、固体光検出素子出は、青紫色光
電変換部１４□＋”　”＝１’ｂｘ。および電荷転送部
１５ａ’−”、１５ｚｚ”、１５−１”、１６ａ”の間
で電荷を順次転送したのち、゛電荷転送部１６１から電
荷転送路１６を介し記憶装置並に向けて電荷を順次転送
する。

固体光検出素子出は、青紫色光電変換部１４，１〜１４
，３゜および電荷転送路１５ｓｓ”、１５ａｉ”、１５
ｉ＋　。

１６３′″の間で電荷を順次転送したのち、電荷転送部
１６、′から電荷転送路１６を介し記憶装置輩に向けて
電荷を順次転送する。固体光検出素子出は、青紫色光電
変換部１４４１゜〜１４４３゜および電荷転送部１５４
ｓ”、１５４ｇ”、ＩＬ＋”、ＩＬ”の間で電荷を順次
転送したのち、電荷転送部１６４′から電荷転送路１６
を介し記憶装置並に向けて順次転送する。

」１皿性の！扛り 第１．第２の実施例を要約すれば、本発明は、三原色フ
ィルタ１２１．〜１２４１　；　１３＋ｔ〜１３４□ｉ
１４＋ｔ〜１４４、によってそれぞれ被覆された第１な
いし第３の光電変換部１２＋＋”〜１２４ｘ’；　ＩＬ
＋”〜１３４．”。

１４、、”〜１４４３゜から出力された三原色信号を処
理することにより色信号を発生する固体光検出装置層で
あって、特に、（ａｌ第１の光電変換部１２、、”〜１
２４．’、第２の光電変換部１３．、”〜１３４３およ
び第３の光電変換部１４．ど〜１４４３”に対して１対
１で配設されており、第１の光電変換部１２１１＊〜１
２４３°、第２の光電変換部１３１１＊〜１３４３およ
び第３の光電変換部１４，１＠〜１４４１から電荷を受
は取るための第１の電荷転送部１５□′〜１５４？と、
ｆｂｌ第１の電荷転送部１５．、”〜１５４３に対し一
組の第１の光電変換部１２１Ｉ＠〜１２４ｇ”＋第２の
光電変換部１３＋＋”〜１３．１”および第３の光電変
換部１４．、”〜１４４１ごとに１対１で配設されてお
り、第１の電荷転送部１５＋＋”〜１５４．。から電荷
を受は取るための第２の電荷転送部１６１′〜１６．′
と、（ｃｌ第２の電荷転送部１６３ｍ〜１６４゜から電
荷を転送するための電荷転送路１６と、ｆｄｌ電荷転送
路１６によって転送されてきた電荷を第１の光電変換部
１２１．”　〜１２４．”、第２の光電変換部１３１１
”’−１３４１および第３の光電変換部１４．、”〜１
４４？にそれぞれ対応する記憶領域に記憶しておき、三
原色信号として出力する記憶装置社とを備えている。

」！胆皿り なお、上述では、第１ないし第３の光電変換部がそれぞ
れ１つずつもしくは３つずつ包有された場合についての
み説明したが、本発明は、これに限定されるものではな
（、所望に応じて適宜の数としてもよい。

（３）発明の効果 上述より明らかなように、本発明にかかる固体光検出装
置は、三原色フィルタによってそれぞれ被覆された第１
ないし第３の光電変換部から出力された三原色信号を処
理することにより色信号を発生する固体光検出装置であ
って、特に、第１ないし第３の光電変換部に対して第１
の電荷転送部が１対１で配設されており、第１の電荷転
送部に対し一組の第１ないし第３の光電変換部ごとに第
２の電荷転送部が１対１で配設されており、第２の電荷
転送部に対し電荷を転送するための電荷転送路が配設さ
れており、電荷転送路によって転送されてきた電荷を第
１ないし第３の光電変換部にそれぞれ対応する記憶装置
の記憶領域に記憶し三原色信号として出力しているので
、 （ｉ１色分解能を改善できる効果 を有し、また ｆｉｉｌ第１ないし第３の光電変換部の受光時間を延長
できる効果 を有し、ひいては ｆｉｉｉ）低照度の場合にも受光感度を良好とてきる効
果 を有し、併せて （ｉｖｌ　１１荷転送路に伴なう容量負荷を削減して高
速動作可能とできる効果 を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる固体光検出装置の第１および第
２の実施例を共通に示すための回路図、第２図は本発明
にかかる固体光検出装置の第１の実施例を一層具体的に
例示する目的で第１図回路図の一部である固体光検出素
子を拡大して示すための斜視図、第３図は第２図に示し
た固体光検出素子の■−■線にそった断面図、第４図は
本発明にかかる固体光検出装置の第２の実施例を一層具
体的に例示する目的で第１図回路図の一部である固体光
検出素子を拡大して示すための斜視図、第５図は第４図
に示した固体光検出素子のｖ−■線にそった断面図であ
る。 １００・・・・・・・・・・・・・・・・・固体光検出
装置１０、ＩＯＡ・・・・・・・・・・・・・・固体光
検出素子１１・・・・・・・・・・・・・・・・半導体
基板１２、、〜１２４．・・・・・・・・赤色フィルタ
１２．１′〜１２４３　　・・赤色光電変換部１３．１
〜１３４３・・・・・・・・緑色フィルタ１３１、。〜
１３ｏ　・・緑色光電変換部１４１１〜１４４．・・・
・・・・・青紫色フィルタ１４、、”〜１４４．　　・
・青紫色光電変換部１５．１〜１５４ｓ・・・・・・・
・遮蔽膜１５．１゜〜１５４．・・電荷転送部 １６・・・・・・・・・・・・・・・・電荷転送路１６
１＠〜１６４゜・・・・・・電荷転送部２０・・・・・
・・・・・・・・・・・・・記憶装置３０・・・・・・
・・・・・・・・・・色処理装置並・・・・・・・・・
・・・・・・・・・タイミングパルス発生装置

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　三原色フィルタによってそれぞれ被覆された第１ない
   し第３の光電変換部から出力された三原色信号を処理す
   ることにより色信号を発生する固体光検出装置において
   、 （ａ）第１の光電変換部（１２＿１＿１＾＊〜１２＿１
   ＿３＾＊；〜；１２＿４＿１＾＊〜１２＿４＿３＾＊）
   、第２の光電変換部（１３＿１＿１＾＊〜１３＿１＿３
   ＾＊；〜；１３＿４＿１＾＊〜１３＿４＿３＾＊）およ
   び第３の光電変換部（１４＿１＿１＾＊〜１４＿１＿３
   ＾＊；〜；１４＿４＿１＾＊〜１４＿４＿３＾＊）に対
   して１対１で配設されており、第１の光電変換 部（１２＿１＿１＾＊〜１２＿１＿３＾＊；〜；１２＿
   ４＿１＾＊〜１２＿４＿３＾＊）、第２の光電変換部（
   １３＿１＿１＾＊〜１３＿１＿３＾＊；〜；１３＿４＿
   １＾＊〜１３＿４＿３＾＊）および第３の光電変換部（
   １４＿１＿１＾＊〜１４＿１＿３＾＊；〜；１４＿４＿
   １＾＊〜１４＿４＿３＾＊）から電荷を受け取るための
   第１の電荷転 送部（１５＿１＿１＾＊〜１５＿１＿３＾＊；〜；１５
   ＿４＿１＾＊〜１５＿４＿３＾＊）と、 （ｂ）第１の電荷転送部（１５＿１＿１＾＊〜１５＿１
   ＿３＾＊；〜；１５＿４＿１＾＊〜１５＿４＿３＾＊）
   に対し一組の第１の光電変換部（１２＿１＿１＾＊〜１
   ２＿１＿３＾＊；〜；１２＿４＿１＾＊〜１２＿４＿３
   ＾＊）、第２の光電変換部（１３＿１＿１＾＊〜１３＿
   １＿３＾＊；〜；１３＿４＿１＾＊〜１３＿４＿３＾＊
   ）および第３の光電変換部（１４＿１＿１＾＊〜１４＿
   １＿３＾＊；〜；１４＿４＿１＾＊〜１４＿４＿３＾＊
   ）ごとに１対１で配設されており、第１の電荷転送部（
   １５＿１＿１＾＊〜１５＿１＿３＾＊；〜；１５＿４＿
   １＾＊〜１５＿４＿３＾＊）から電荷を受け取るための
   第２の電荷転送部（１６＿１＾＊〜１６＿４＾＊）と、 （ｃ）第２の電荷転送部（１６＿１＾＊〜１６＿４＾＊
   ）から電荷を転送するための電荷転送路（１６） と、 （ｄ）電荷転送路（１６）によって転送されてきた電荷
   を第１の光電変換部（１２＿１＿１＾＊〜１２＿１＿３
   ＾＊；〜；１２＿４＿１＾＊〜１２＿４＿３＾＊）、第
   ２の光電変換部（１３＿１＿１＾＊〜１３＿１＿３＾＊
   ；〜；１３＿４＿１＾＊〜１３＿４＿３＾＊）および第
   ３の光電変換部（１４＿１＿１＾＊〜１４＿１＿３＾＊
   ；〜；１４＿４＿１＾＊〜１４＿４＿３＾＊）にそれぞ
   れ対応する記憶領域に記憶しておき、三 原色信号として出力する記憶装置（￥２０￥）と を備えてなることを特徴とする固体光検出装置。