JPH0468536U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0468536U JPH0468536U JP11154790U JP11154790U JPH0468536U JP H0468536 U JPH0468536 U JP H0468536U JP 11154790 U JP11154790 U JP 11154790U JP 11154790 U JP11154790 U JP 11154790U JP H0468536 U JPH0468536 U JP H0468536U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- measuring device
- light
- warpage measuring
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案のリードフレームの反り測定装
置の一実施例の装置構成を示す説明図、第２図は
同じく一実施例の測定状態を示す説明図、第３図
は同じく一実施例の測定状態を示す説明図、第４
図は同じく一実施例の光の断面像を示す正面図で
ある。 １……スリツト光、２……リードフレーム（被
測定物）、３……光の断面像、４……センサ、５
……コントローラ、６……増幅器、７……デジタ
ルカウンタ、８……デスプレイ、９……プリンタ
。
置の一実施例の装置構成を示す説明図、第２図は
同じく一実施例の測定状態を示す説明図、第３図
は同じく一実施例の測定状態を示す説明図、第４
図は同じく一実施例の光の断面像を示す正面図で
ある。 １……スリツト光、２……リードフレーム（被
測定物）、３……光の断面像、４……センサ、５
……コントローラ、６……増幅器、７……デジタ
ルカウンタ、８……デスプレイ、９……プリンタ
。
Claims (1)
- スリツト光をリードフレームの表面に斜め方向
から投射し、その反射光からリードフレームの反
りを光の断面像としてとらえ測定するようにした
リードフレームの反り測定装置が、前記反射光を
とらえるセンサと、このセンサに接続され光を電
気信号に変換するコントローラと、このコントロ
ーラに増幅器を介して接続されたデジタルカウン
タと、このカウンタに接続されたデスプレイ、プ
リンタとで構成されたものであることを特徴とす
るリードフレームの反り測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11154790U JPH0468536U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11154790U JPH0468536U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0468536U true JPH0468536U (ja) | 1992-06-17 |
Family
ID=31859014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11154790U Pending JPH0468536U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0468536U (ja) |
-
1990
- 1990-10-24 JP JP11154790U patent/JPH0468536U/ja active Pending
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