JPH0467654U - - Google Patents
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- JPH0467654U JPH0467654U JP11144790U JP11144790U JPH0467654U JP H0467654 U JPH0467654 U JP H0467654U JP 11144790 U JP11144790 U JP 11144790U JP 11144790 U JP11144790 U JP 11144790U JP H0467654 U JPH0467654 U JP H0467654U
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- Japan
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- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の実施例を示し、
第１図は装置全体の構成を示す図、第２図は詳細
な構成を示す図、第３図および第４図は従来装置
を示し、第３図は材料フイルムの構成を示す図、
第４図は装置全体の構成を示す図である。 １……原版フイルム、２……紫外線ランプ、３
……フイルタ、４……テーブル、５……材料フイ
ルム、６……送りローラ、７……巻取りローラ、
８ａ〜８ｄ……プーリ、９ａ……ピンチローラ、
９ｂ……補助ローラ、１０……フイルムバツフア
、１１ａ〜１１ｂ……歯車、１２ａ，１２ｂ……
モータ、１３……インバータ。
第１図は装置全体の構成を示す図、第２図は詳細
な構成を示す図、第３図および第４図は従来装置
を示し、第３図は材料フイルムの構成を示す図、
第４図は装置全体の構成を示す図である。 １……原版フイルム、２……紫外線ランプ、３
……フイルタ、４……テーブル、５……材料フイ
ルム、６……送りローラ、７……巻取りローラ、
８ａ〜８ｄ……プーリ、９ａ……ピンチローラ、
９ｂ……補助ローラ、１０……フイルムバツフア
、１１ａ〜１１ｂ……歯車、１２ａ，１２ｂ……
モータ、１３……インバータ。
Claims (1)
- ループ状に形成された帯状体であつてその表裏
方向に光が透過するように形成された所望のパタ
ーンを有する原版フイルムと帯状体であつてその
長さ方向を上記原版フイルムの長さ方向に一致さ
せて配置され表面に感光性被膜が塗布された材料
フイルムと、上記原版フイルムと材料フイルムと
をそれらの長さ方向に沿つて搬送する搬送手段と
、上記材料フイルムを上記原版フイルムに順次密
着させる密着手段と該密着手段により材料フイル
ムと原版フイルムとが密着された部分において上
記原版フイルムを介して上記材料フイルムを露光
する露光手段とを具備したことを特徴とする連続
露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11144790U JPH0467654U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11144790U JPH0467654U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0467654U true JPH0467654U (ja) | 1992-06-16 |
Family
ID=31858903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11144790U Pending JPH0467654U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0467654U (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005182007A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Lg Electron Inc | パターニング装置及びこれを用いた連続パターニング方法 |
| JP2005215686A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Lg Electron Inc | 露光装置 |
| JP2006038902A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Toppan Printing Co Ltd | 拡散フィルムの製造方法及び製造装置 |
| WO2007029852A1 (en) * | 2005-09-07 | 2007-03-15 | Fujifilm Corporation | Pattern exposure method and pattern exposure apparatus |
| JP2013517625A (ja) * | 2010-01-12 | 2013-05-16 | ボリス コブリン | ナノパターン形成方法および装置 |
| JP2018077530A (ja) * | 2012-03-15 | 2018-05-17 | 株式会社ニコン | 基板処理装置、及びパターン形成方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54121971A (en) * | 1978-03-15 | 1979-09-21 | Tokyo Shibaura Electric Co | Continuous exposure apparatus for longgsized flexible substrate |
| JPS60205452A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Canon Inc | 露光方法 |
-
1990
- 1990-10-24 JP JP11144790U patent/JPH0467654U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54121971A (en) * | 1978-03-15 | 1979-09-21 | Tokyo Shibaura Electric Co | Continuous exposure apparatus for longgsized flexible substrate |
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| JP4556173B2 (ja) * | 2003-12-16 | 2010-10-06 | エルジー エレクトロニクス インコーポレイティド | パターニング装置及びこれを用いた連続パターニング方法 |
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