JPH0463552U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0463552U JPH0463552U JP10756790U JP10756790U JPH0463552U JP H0463552 U JPH0463552 U JP H0463552U JP 10756790 U JP10756790 U JP 10756790U JP 10756790 U JP10756790 U JP 10756790U JP H0463552 U JPH0463552 U JP H0463552U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oven
- temperature
- heating
- power supply
- power unit
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン源用オー
ブンの制御装置の構成を示すブロツク図、第２図
はポテンシヨメータのダイヤル値とパワーユニツ
トの発生電圧の関係を示す図、第３図はオーブン
温度とパワーユニツトの発生電圧の関係を示す図
、第４図はオンオフ制御信号を示すタイムチヤー
ト、第５図はパワーユニツトの具体構成を示す回
路図、第６図は第５図のパワーユニツトにおける
発生電圧の変化を示すタイムチヤートである。 １……オーブン電源、２，２′……シーケンス
コントローラ、３……パワーユニツト、４……光
信号−電気信号変換器、５……熱電対用避雷器、
６……光信号−電気信号変換器、７……熱電対、
８……オーブン加熱用ヒータ部、９……温度コン
トローラ、１０……ホトカプラ、１１……リレー
、１１ａ……リレー接点、１２……ポテンシヨメ
ータ、１３……モータ、１４……ポテンシヨメー
タ。
ブンの制御装置の構成を示すブロツク図、第２図
はポテンシヨメータのダイヤル値とパワーユニツ
トの発生電圧の関係を示す図、第３図はオーブン
温度とパワーユニツトの発生電圧の関係を示す図
、第４図はオンオフ制御信号を示すタイムチヤー
ト、第５図はパワーユニツトの具体構成を示す回
路図、第６図は第５図のパワーユニツトにおける
発生電圧の変化を示すタイムチヤートである。 １……オーブン電源、２，２′……シーケンス
コントローラ、３……パワーユニツト、４……光
信号−電気信号変換器、５……熱電対用避雷器、
６……光信号−電気信号変換器、７……熱電対、
８……オーブン加熱用ヒータ部、９……温度コン
トローラ、１０……ホトカプラ、１１……リレー
、１１ａ……リレー接点、１２……ポテンシヨメ
ータ、１３……モータ、１４……ポテンシヨメー
タ。
Claims (1)
- オーブン加熱用ヒータ部と、オーブン温度を検
出して実温度信号を出力する温度検出素子と、発
生電圧の実効値およびオーブン加熱用ヒータ部へ
の給電期間と給電停止期間との比が可変であつて
前記オーブン加熱用ヒータ部に加熱用電力を供給
するパワーユニツトと、前記オーブン加熱用ヒー
タ部の型式の違いおよび前記オーブン温度の変化
に応じて前記パワーユニツトの発生電圧の実効値
を異ならせるとともに、前記オーブン設定温度を
示す温度設定信号を出力するシーケンスコントロ
ーラと、前記温度検出素子より出力された実温度
信号および前記シーケンスコントローラより出力
された温度設定信号に基づいて前記パワーユニツ
トからオーブン加熱用ヒータ部への給電期間と給
電停止期間との比を変化させてオーブン温度をオ
ーブン設定温度に制御する温度コントローラとを
備えたイン源用オーブンの制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10756790U JPH0463552U (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10756790U JPH0463552U (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463552U true JPH0463552U (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=31854154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10756790U Pending JPH0463552U (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0463552U (ja) |
-
1990
- 1990-10-11 JP JP10756790U patent/JPH0463552U/ja active Pending