JPH0460549U - - Google Patents

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JPH0460549U
JPH0460549U JP10110990U JP10110990U JPH0460549U JP H0460549 U JPH0460549 U JP H0460549U JP 10110990 U JP10110990 U JP 10110990U JP 10110990 U JP10110990 U JP 10110990U JP H0460549 U JPH0460549 U JP H0460549U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1A図は本考案の一実施例の一部切欠き正面
部分図である第1B図のIA−IA断面部分図、
第1B図は第1AのIB−IB断面部分図、第2
図は第1B図の−断面概略図、第3図は第1
B図の−断面概略図である。 1……仕切弁室、2a,3a……開口部、4,
5……弁板、8……コロ、10……ピストンロツ
ド、12……挿入部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 2つの真空室間の仕切弁室内に対向配置され、
    それぞれ各真空室の開口部を開閉するための1対
    の仕切弁と、 前記各仕切弁を、それぞれ対応する真空室の開
    口部側方の閉塞位置と前記開口部から離れた退避
    位置との間で移動させる駆動部と、 前記各仕切弁の対向側にそれぞれ設けられ、前
    記各仕切弁に対してそれぞれ回転自在な1対の転
    がり部と、 前記駆動部の先端に固定され、前記各仕切弁が
    閉塞位置のとき前記各転がり部の間に挿入され、
    前記各転がり部を介して前記各仕切弁を対応する
    各開口部に押圧接触させる挿入部と、 を備えた真空成膜装置の仕切弁装置。
JP10110990U 1990-09-26 1990-09-26 真空成膜装置の仕切弁装置 Expired - Lifetime JPH0721569Y2 (ja)

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JP10110990U JPH0721569Y2 (ja) 1990-09-26 1990-09-26 真空成膜装置の仕切弁装置

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JP10110990U JPH0721569Y2 (ja) 1990-09-26 1990-09-26 真空成膜装置の仕切弁装置

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Publication Number Publication Date
JPH0460549U true JPH0460549U (ja) 1992-05-25
JPH0721569Y2 JPH0721569Y2 (ja) 1995-05-17

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ID=31844284

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JP10110990U Expired - Lifetime JPH0721569Y2 (ja) 1990-09-26 1990-09-26 真空成膜装置の仕切弁装置

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JPH0721569Y2 (ja) 1995-05-17

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