JPH0460549U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0460549U JPH0460549U JP10110990U JP10110990U JPH0460549U JP H0460549 U JPH0460549 U JP H0460549U JP 10110990 U JP10110990 U JP 10110990U JP 10110990 U JP10110990 U JP 10110990U JP H0460549 U JPH0460549 U JP H0460549U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate valves
- pair
- opening
- gate
- rolling
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１Ａ図は本考案の一実施例の一部切欠き正面
部分図である第１Ｂ図のＩＡ−ＩＡ断面部分図、
第１Ｂ図は第１ＡのＩＢ−ＩＢ断面部分図、第２
図は第１Ｂ図の−断面概略図、第３図は第１
Ｂ図の−断面概略図である。 １……仕切弁室、２ａ，３ａ……開口部、４，
５……弁板、８……コロ、１０……ピストンロツ
ド、１２……挿入部。
部分図である第１Ｂ図のＩＡ−ＩＡ断面部分図、
第１Ｂ図は第１ＡのＩＢ−ＩＢ断面部分図、第２
図は第１Ｂ図の−断面概略図、第３図は第１
Ｂ図の−断面概略図である。 １……仕切弁室、２ａ，３ａ……開口部、４，
５……弁板、８……コロ、１０……ピストンロツ
ド、１２……挿入部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ２つの真空室間の仕切弁室内に対向配置され、
それぞれ各真空室の開口部を開閉するための１対
の仕切弁と、 前記各仕切弁を、それぞれ対応する真空室の開
口部側方の閉塞位置と前記開口部から離れた退避
位置との間で移動させる駆動部と、 前記各仕切弁の対向側にそれぞれ設けられ、前
記各仕切弁に対してそれぞれ回転自在な１対の転
がり部と、 前記駆動部の先端に固定され、前記各仕切弁が
閉塞位置のとき前記各転がり部の間に挿入され、
前記各転がり部を介して前記各仕切弁を対応する
各開口部に押圧接触させる挿入部と、 を備えた真空成膜装置の仕切弁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10110990U JPH0721569Y2 (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | 真空成膜装置の仕切弁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10110990U JPH0721569Y2 (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | 真空成膜装置の仕切弁装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0460549U true JPH0460549U (ja) | 1992-05-25 |
| JPH0721569Y2 JPH0721569Y2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=31844284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10110990U Expired - Lifetime JPH0721569Y2 (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | 真空成膜装置の仕切弁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0721569Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-09-26 JP JP10110990U patent/JPH0721569Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0721569Y2 (ja) | 1995-05-17 |