JPH0460062B2 - - Google Patents
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- JPH0460062B2 JPH0460062B2 JP62167806A JP16780687A JPH0460062B2 JP H0460062 B2 JPH0460062 B2 JP H0460062B2 JP 62167806 A JP62167806 A JP 62167806A JP 16780687 A JP16780687 A JP 16780687A JP H0460062 B2 JPH0460062 B2 JP H0460062B2
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Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
[産業上の利用分野]
本発明は、ガラス面側の反射色がゴールド色を
し、かつ膜形成面側の反射色がニユートラル系を
呈する熱線反射ガラスに関するものである。
[従来の技術]
ビルにおける開口部は、近年意匠性と快適性の
ために拡大する傾向にある。それに伴い、太陽光
の侵入量が増加し室内の冷房負荷が大きくなると
いう点や、ビルの外観上大きな面積を占める窓の
デザイン的な重要性が増加するという点等の因子
により、熱線反射ガラスを使用するケースが急増
している。この用途に用いられる熱線反射ガラス
は、通常ソーラーコントロール・ガラスと呼ばれ
寒冷地での暖房負荷軽減用のヒートミラー・ガラ
スと区別されている。このソーラーコントロー
ル・ガラスの望ましい特性としては、前述のよう
に
太陽光の侵入を制限すること
室外側の反射色がデザイン性に富むこと
がまず挙げられる。これまで知られているソーラ
ーコントロール・ガラスは、上記の点を達成す
るために、可視光線透過率を5〜40%程度に抑え
ている。一方、上記の反射色としてはメタリツ
クなシルバー系の反射色が標準的であつたが、最
近特開昭63−190742号に見られるように反射色調
を様々に変化させたものも提案されている。しか
し、これらの熱線反射ガラスはいずれも室外側の
反射率と室内側の反射率が同程度であるため、夕
刻から夜間になると室内灯により室内面がミラー
状に反射してしまいこれが居住性の面での大きな
欠点となつていた。このため、ソーラーコントロ
ール・ガラスに要求される次の特性として
室内側の反射色がニユートラルで反射率が低
いこと
がクローズアツプされてきた。そこで、本出願人
は先に金属膜/窒化物膜/酸化物膜の組み合わせ
により室内側の反射率を20%以下に低減させたい
わゆる室内低反射の熱線反射ガラスを提案してい
る。(特開昭63−242948号参照)
しかし、この発明に見られる室内低反射の熱線
反射ガラスでは室外側の反射色はシルバー系に限
られ、色調のバリエーシヨンがなく、デザイン性
に難点があつた。
一方、熱線反射ガラスの普及と共により個性的
な、表現力に富んだデザイン性の高い色調を求め
る傾向は増々強くなりつつある。その代表的な色
調の1つにゴールド色がある。これまでも、様々
なゴールド色の室外反射色を呈するような熱線反
射ガラスが数種類知られている。これらはその構
成により概ね次のように分類できる。
(1) 金の薄膜を用いたもの(単膜及び積層膜)
(2) TiN単層膜を用いたもの
(3) 酸化物膜/窒化物膜/酸化物膜の3層系
このうち(1)は耐久性に問題があり、複層ガラス
の内側にしか用いることができず、又高価である
という欠点があつた。(2)は、時計などの装飾用コ
ーテイングやドリルなどの長寿命化のためなどに
用いられているが、窓に適用した場合、室内側も
室外側と同じく金色の高い反射を示すため、前述
したの要求特性を満たさず、耐久性にもやや問
題がある。(3)は、耐久性に優れ、又、酸化物の膜
厚を調整すること及び窒化物膜の材質を選択する
ことにより、様々な色調を実現することができる
という特徴を持つが、(2)と同じく室内側の反射
率、反射色に問題がある。
[発明の解決しようとする問題点]
本発明の目的は従来技術の有していた前述の欠
点を解消し、室外側(ガラス基板側)の反射色調
がゴールド色を呈し、室内側(膜形成面側)の反
射色調がニユートラルで、かつ反射率が20%以下
であるような新しい熱線反射ガラスを提供するこ
とにある。
[問題点を解決するための手段]
本発明は前述の問題点を解決すべくなされたも
のであり、その第1の発明は、ガラス基板上に、
基板側から順次窒化物層、酸化物層、金属層、酸
化物層を積層させてなる、ガラス基板側反射色が
ゴールドを呈し、かつ膜形成面側反射色がニユー
トラル系で、反射率が20%以下である熱線反射ガ
ラスであつて、窒化物層の材質がTi,Cr,Zr,
Ta,Hfの窒化物及びこれらを主成分とする複合
窒化物の群から選ばれたものであることを特徴と
する熱線反射ガラスを提供するものである。
又本発明の第2の発明は、前述の問題点を解決
すべくなされたものであり、ガラス基板上に、基
板側から順次酸化物層、窒化物層、酸化物層、金
属層、酸化物層を積層させてなる、ガラス基板側
反射色がゴールドを呈し、かつ膜形成面側反射色
がニユートラル系で、反射率が20%以下であるこ
とを特徴とする熱線反射ガラスを提供するもので
ある。
第1,2図は、本発明に係る熱線反射ガラスの
一部断面図を示し、10,20は、無色透明又は
着色透明のソーダライムシリケートガラスからな
る普通ガラス板、フロードガラス板、又はブルー
色、ブロンズ色、グレー色、グリーン色、その他
各種色調の熱線吸収ガラス、あるいはその他各種
ガラスから選ばれるガラス基板を示すなお、この
ガラス基板としてはプラスチツク等の透明材料、
いわゆる有機ガラスを用いてもよい。第1図にお
いて、11はガラス基板10面から数えて第1層
として形成される窒化物膜、12は第2層として
の酸化物膜、13は第3層としての金属膜、14
は第4層としての酸化物膜を示し、又第2図にお
いて、21はガラス基板20面から数えて第1層
としての酸化物膜、22は第2層としての窒化物
膜、23は第3層としての酸化物膜、24は第4
層としての金属膜、25は第5層としての酸化物
膜を示す。
第1,2図に示した熱線反射ガラスは、双方と
もガラス基板側から数えて順次、窒化物層、酸化
物層、金属層、酸化物層の4層構成の熱線反射膜
を有することを共通としており、第2図の熱線反
射ガラスは、上記4層構成の熱線反射膜の最下層
の窒化物層とガラス基板面との付着力を高めるた
めに、酸化物層をその間に介在させたものであ
る。
本発明の熱線反射ガラスは、単板としてビルの
窓に嵌め込まれる場合、熱線反射膜の耐久性を考
慮して熱線反射膜側が室内側となり、熱線反射膜
が形成されていない側、即ちガラス基板面側が室
外側となる様に配される。本発明においては、こ
の配置状態においてガラス面側の反射色がゴール
ド色を示し、かつ膜形成面側がニユートラル色を
示すことを意味する。
本発明の熱線反射ガラスにおいて、酸化物層の
材料としては、Ti,Sn,In,Zn,Zr,Ta,Hf,
Cr等の酸化物及びこれらを主成分とする複合酸
化物の群から選ばれた材料を使用することができ
る。又、本発明の窒化物層の材料としては、Ti,
Zr,Ta,Hf,Cr等の窒化物及びこれらを主成分
とする複合窒化物の群から選ばれた材料を用いる
ことができる。又、本発明の金属層の材料として
は、Ti,Cr,SUS(ステンレス),Zr,Hf,Ta,
Mo,W,Si及びこれらを主成分とする合金の群
から選ばれた材料を用いることができる。
本発明において、第2層及び第4層(第1図に
おいて)、又は第1層、第3層及び第5層(第2
図において)の酸化物層としては、同じ材質から
なる層により構成してもよいし、あるいは又異な
る材質からなる層により構成してもよい。
本発明において、各層の膜厚は必ずしも限定さ
れるものではないが、ガラス基板面側反射色がゴ
ールド色、膜形成面側反射色がニユートラル色
で、膜形成面側の反射率が20%以下となる様に、
第2図の第1層としての酸化物層は10〜100Å又
は700〜1700Å、又第1図の第1層としての窒化
物層及び第2図の第2層としての窒化物層は100
〜500Å、又第1図の第2,4層としての酸化物
層及び第2図の第3,5層としての酸化物層は
200〜600Å、又第1図の第3層としての金属層及
び第2図の第4層としての金属層は5〜100Åと
するのが最適である。
次に、本発明の熱線反射ガラスの熱線反射膜の
構成の代表的なものについて下表に示す。
[Industrial Field of Application] The present invention relates to a heat ray reflective glass in which the reflection color on the glass surface side is gold-colored and the reflection color on the film-forming surface side is neutral. [Prior Art] In recent years, openings in buildings have tended to be enlarged for the sake of design and comfort. As a result, heat ray reflective glass The number of cases in which it is used is rapidly increasing. The heat-reflecting glass used for this purpose is usually called solar control glass and is distinguished from heat mirror glass, which is used to reduce heating loads in cold regions. Desirable characteristics of this solar control glass include, as mentioned above, the ability to limit the penetration of sunlight, and the reflective color on the outside that is rich in design. In order to achieve the above points, the solar control glass known so far has a visible light transmittance of about 5 to 40%. On the other hand, the standard reflection color mentioned above has been a metallic silver color, but recently, as seen in Japanese Patent Application Laid-open No. 190742/1983, various changes in reflection color have been proposed. . However, with all of these heat-reflecting glasses, the reflectance on the outside and inside is about the same, so in the evening and at night, interior lights reflect the interior surface in a mirror-like manner, which reduces livability. This was a major drawback in terms of For this reason, the next characteristic required for solar control glass is that the reflective color on the indoor side is neutral and the reflectance is low. Therefore, the present applicant has previously proposed a so-called indoor low-reflection, heat-reflecting glass that reduces the reflectance on the indoor side to 20% or less using a combination of metal film/nitride film/oxide film. (Refer to Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-242948.) However, in the heat-reflecting glass with low indoor reflection seen in this invention, the reflection color on the outdoor side is limited to silver, and there is no variation in color tone, which poses a problem in terms of design. Ta. On the other hand, with the spread of heat-reflecting glass, there is a growing trend toward more unique, expressive, and highly designed color tones. One of its representative colors is gold. Up to now, several types of heat-reflecting glasses have been known that exhibit various gold-colored outdoor reflection colors. These can be roughly classified as follows depending on their structure. (1) Thin gold film (single film and laminated film) (2) TiN single layer film (3) Three-layer system of oxide film/nitride film/oxide film Among these, (1) ) had problems in durability, could only be used on the inside of double-glazed glass, and was expensive. (2) is used for decorative coatings such as watches and to extend the lifespan of drills, etc., but when applied to windows, the indoor side exhibits a high golden reflection just like the outdoor side, so as mentioned above, It does not meet the required characteristics, and there are some problems with durability. (3) has excellent durability and is characterized by the ability to achieve various color tones by adjusting the oxide film thickness and selecting the material of the nitride film. ), there are problems with the reflectance and reflected color on the indoor side. [Problems to be Solved by the Invention] The purpose of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks of the prior art, and to achieve a reflection color tone on the outdoor side (glass substrate side) that is golden, and The purpose of the present invention is to provide a new heat ray reflective glass that has a neutral reflective color tone (front side) and a reflectance of 20% or less. [Means for Solving the Problems] The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a first aspect of the invention is to
A nitride layer, an oxide layer, a metal layer, and an oxide layer are sequentially laminated from the substrate side.The reflection color on the glass substrate side is gold, and the reflection color on the film formation side is neutral, and the reflectance is 20. % or less, the material of the nitride layer is Ti, Cr, Zr,
The present invention provides a heat ray reflective glass characterized in that it is selected from the group of nitrides of Ta and Hf and composite nitrides containing these as main components. The second aspect of the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is to form an oxide layer, a nitride layer, an oxide layer, a metal layer, and an oxide layer on a glass substrate in order from the substrate side. To provide a heat ray reflective glass formed by stacking layers, which has a gold reflective color on the glass substrate side, a neutral reflective color on the film forming surface, and a reflectance of 20% or less. be. 1 and 2 show partial cross-sectional views of the heat ray reflective glass according to the present invention, and 10 and 20 are ordinary glass plates made of colorless transparent or colored transparent soda lime silicate glass, flowed glass plates, or blue colored glass plates. , bronze, gray, green, heat-absorbing glass of various other colors, or a glass substrate selected from various types of glasses. Note that this glass substrate may be made of transparent materials such as plastics,
So-called organic glass may also be used. In FIG. 1, 11 is a nitride film formed as a first layer counting from the glass substrate 10 surface, 12 is an oxide film as a second layer, 13 is a metal film as a third layer, and 14 is a nitride film formed as a first layer.
indicates an oxide film as the fourth layer, and in FIG. 2, 21 is the oxide film as the first layer counting from the 20th surface of the glass substrate, 22 is the nitride film as the second layer, and 23 is the nitride film as the second layer. Oxide film as three layers, 24 is the fourth
A metal film is used as a layer, and 25 is an oxide film as a fifth layer. The heat ray reflective glasses shown in Figures 1 and 2 both have a 4-layer heat ray reflective film consisting of a nitride layer, an oxide layer, a metal layer, and an oxide layer in order from the glass substrate side. The heat ray reflective glass shown in Fig. 2 has an oxide layer interposed between the bottom nitride layer of the four-layer heat ray reflective film and the glass substrate surface in order to increase the adhesion between them. It is. When the heat ray reflective glass of the present invention is fitted into a building window as a single plate, the heat ray reflective film side is the indoor side in consideration of the durability of the heat ray reflective film, and the side on which the heat ray reflective film is not formed is the glass substrate. Arranged so that the surface side faces outdoors. In the present invention, this arrangement means that the reflected color on the glass surface side shows a gold color, and the film forming surface side shows a neutral color. In the heat ray reflective glass of the present invention, the materials for the oxide layer include Ti, Sn, In, Zn, Zr, Ta, Hf,
Materials selected from the group of oxides such as Cr and composite oxides containing these as main components can be used. In addition, as the material of the nitride layer of the present invention, Ti,
Materials selected from the group of nitrides such as Zr, Ta, Hf, and Cr, and composite nitrides containing these as main components can be used. In addition, materials for the metal layer of the present invention include Ti, Cr, SUS (stainless steel), Zr, Hf, Ta,
Materials selected from the group of Mo, W, Si, and alloys containing these as main components can be used. In the present invention, the second layer and the fourth layer (in FIG. 1), or the first layer, the third layer, and the fifth layer (the second layer)
The oxide layer (in the figure) may be composed of layers made of the same material, or may be composed of layers made of different materials. In the present invention, the film thickness of each layer is not necessarily limited, but the reflection color on the glass substrate side is gold, the reflection color on the film formation side is neutral, and the reflectance on the film formation side is 20% or less. So that
The oxide layer as the first layer in FIG. 2 is 10-100 Å or 700-1700 Å, and the nitride layer as the first layer in FIG.
~500 Å, and the oxide layers as the second and fourth layers in Figure 1 and the third and fifth layers in Figure 2 are
The optimum thickness is 200 to 600 Å, and the thickness of the metal layer as the third layer in FIG. 1 and the metal layer as the fourth layer in FIG. 2 is 5 to 100 Å. Next, typical configurations of the heat ray reflective film of the heat ray reflective glass of the present invention are shown in the table below.
【表】【table】
【表】
本発明における各膜の製法としては、特に限定
するものではないが、物理的薄膜形成方法として
電子ビーム加熱蒸着法、各種イオンプレーテイン
グ法、アーク蒸着法、スパツタ法などを用いるこ
とができる。特に、スパツタ法が現在のところ大
面積基板への薄膜形成方法として優れている。ま
た、化学的薄膜形成方法として常圧CVD法、減
圧CVD法、プラズマCVD法、光CVD法などを用
いることもできる。
なお、本発明においては、ガラス基板上に上記
した様な4層構成ないし5層構成の熱線反射膜が
形成されるものであるが、場合によつては、ガラ
ス基板と熱線反射膜との間に一層又は複数層のガ
ラスからのアルカリ成分溶出防止膜や、付着性向
上膜やその他各種機能膜を形成してもよいし、あ
るいは又熱線反射膜の上層に耐久性向上のために
保護層を形成したり、その他各種機能膜を形成し
てもよい。
又、本発明の4層ないし5層を構成する各層
は、通常は単一の薄膜層により形成されている
が、単一層と同等の働きをする複数の酸化物層、
複数の窒化物層、複数の金属層から形成されてい
てもよい。
[作用]
第1図に示した様な本発明の熱線反射ガラスに
おいて、この4層膜は光の干渉作用により、それ
ぞれ相互に影響し合つているため、各層の役割を
明確に区別することはできないが、概ね次のよう
な意味合いを持つていると考えてよい。まず、窒
化物膜は太陽光の透過率を制限する役割を主に担
つている。この窒化物膜と上層の2層の酸化物膜
との干渉作用によりガラス側の反射色調をゴール
ドにすることができる。各層の膜厚は選択した材
料に応じて調整することが必要である。金属膜は
透過率の制限と最上層の酸化物層との干渉により
膜形成面側反射率を抑制する働きをする。この層
の存在により、外観の反射色調を鮮やかなゴール
ドに保ちながら膜形成面側の反射色をニユートラ
ル系に、かつ反射率を抑制することが可能とな
る。
又、第2図に示した様な本発明の熱線反射ガラ
スにおいて、ガラス基板と窒化物膜の間に挿入さ
れる第1層としての酸化物膜は、窒化物膜と他の
2層の酸化物層との干渉作用によりガラス側の反
射色調をゴールドにする役割を担つている。特に
第1層の酸化物の存在により、ガラス面側の干渉
作用を強め、窒化物膜の材料選択の巾を広げるこ
とが可能となる。又、一般に窒化物膜のガラス基
板上への付着力にはやや問題があるが、第1層に
酸化物膜を形成させることにより、付着力を改善
する効果もある。
他の4層の作用は前述した作用と同じである。
[実施例]
実施例 1
フロートガラス板からなるガラス基板を真空槽
にセツトし、1×10-5Torrまで排気した。次に
窒素ガスを導入し、圧力を3×10-3Torrにして、
チタンターゲツトを直流マグネトロンスパツタし
て、室温のガラス基板上に約230ÅのTiN膜を第
1層として形成した。次に酸素ガスを導入し、3
×10-3Torrの圧力でチタンターゲツトを直流マ
グネトロンスパツタして、約320ÅのTiO2膜を第
2層として形成した。次にアルゴンガスを導入
し、4×10-3Torrの圧力でクロムターゲツトを
直流マグネトロンスパツタして、約35ÅのCr膜
を第3層として形成した。次いで第2層と同様に
して約400ÅのTiO2膜を第4層として形成した。
このようにして得られた熱線反射ガラスサンプ
ルの光学特性を測定したところ、次の表のように
なつた。[Table] The method for producing each film in the present invention is not particularly limited, but physical thin film forming methods such as electron beam heating evaporation, various ion plating methods, arc evaporation, sputtering, etc. can be used. can. In particular, sputtering is currently an excellent method for forming thin films on large-area substrates. Further, as a chemical thin film forming method, normal pressure CVD method, reduced pressure CVD method, plasma CVD method, optical CVD method, etc. can also be used. In the present invention, a heat ray reflective film having a four-layer or five-layer structure as described above is formed on a glass substrate, but in some cases, there may be a gap between the glass substrate and the heat ray reflective film. A single layer or multiple layers of a film to prevent elution of alkali components from glass, a film to improve adhesion, and various other functional films may be formed on the glass, or a protective layer may be formed on the heat ray reflective film to improve durability. Alternatively, various other functional films may be formed. Furthermore, although each layer constituting the four to five layers of the present invention is usually formed of a single thin film layer, it is possible to use a plurality of oxide layers that function equivalently to a single layer.
It may be formed from a plurality of nitride layers or a plurality of metal layers. [Function] In the heat ray reflective glass of the present invention as shown in Fig. 1, these four layers influence each other due to the interference effect of light, so it is difficult to clearly distinguish the role of each layer. Although it is not possible, it can be thought that it has the following meaning. First, the nitride film primarily plays a role in limiting the transmittance of sunlight. Due to the interference between this nitride film and the two upper oxide films, the reflected color tone on the glass side can be made gold. It is necessary to adjust the thickness of each layer depending on the selected material. The metal film functions to suppress the reflectance on the side where the film is formed by limiting the transmittance and interfering with the uppermost oxide layer. The presence of this layer makes it possible to keep the external reflective color tone bright gold while keeping the reflective color on the film forming surface neutral and suppressing the reflectance. In addition, in the heat ray reflective glass of the present invention as shown in FIG. Its role is to make the reflected color on the glass side gold due to interference with the object layer. In particular, the presence of the oxide in the first layer strengthens the interference effect on the glass surface side, making it possible to widen the range of material selection for the nitride film. Furthermore, although there is generally a slight problem in the adhesion of a nitride film onto a glass substrate, forming an oxide film as the first layer has the effect of improving the adhesion. The functions of the other four layers are the same as those described above. [Examples] Example 1 A glass substrate made of a float glass plate was set in a vacuum chamber, and the vacuum chamber was evacuated to 1×10 −5 Torr. Next, introduce nitrogen gas and set the pressure to 3×10 -3 Torr.
A titanium target was subjected to direct current magnetron sputtering to form a TiN film with a thickness of about 230 Å as a first layer on a glass substrate at room temperature. Next, introduce oxygen gas and
A TiO 2 film of about 320 Å was formed as a second layer by direct current magnetron sputtering on a titanium target at a pressure of ×10 −3 Torr. Next, argon gas was introduced and the chromium target was sputtered with a DC magnetron at a pressure of 4×10 -3 Torr to form a third layer of Cr film with a thickness of about 35 Å. Next, a TiO 2 film of about 400 Å was formed as a fourth layer in the same manner as the second layer. The optical properties of the thus obtained heat ray reflective glass sample were measured and were as shown in the following table.
【表】
実施例 2
フロートガラス板からなるガラス基板を真空槽
にセツトし、1×10-5Torrまで排気した。次に
酸素ガスを導入し、圧力を3×10-3Torrにして、
チタンターゲツトを直流マグネトロンスパツタし
て、室温のガラス基板上に約50ÅのTiO2膜を付
着力強化の目的で第1層として形成した。次に窒
素ガスを導入し、3×10-3Torrの圧力でチタン
ターゲツトを直流マグネトロンスパツタして、約
240ÅのTiN膜を第2層として形成した。次に第
1層と同様にして、約340ÅのTiO2膜を第3層と
して形成した。次に、アルゴンガスを導入して、
4×10-3Torrの圧力でクロムターゲツトを直流
マグネトロンスパツタして、約35ÅのCr膜を第
4層として形成した。次いで第1層と同様にし
て、約320ÅのTiO2膜を第5層として形成した。
このようにして得られた熱線反射ガラスサンプ
ルの光学特性を測定したところ、次のようになつ
た。[Table] Example 2 A glass substrate made of a float glass plate was set in a vacuum chamber, and the vacuum chamber was evacuated to 1×10 −5 Torr. Next, introduce oxygen gas and set the pressure to 3×10 -3 Torr.
A TiO 2 film of about 50 Å thick was formed as a first layer on a glass substrate at room temperature by direct current magnetron sputtering on a titanium target for the purpose of strengthening adhesion. Next, nitrogen gas was introduced and the titanium target was sputtered with DC magnetron at a pressure of 3×10 -3 Torr.
A 240 Å TiN film was formed as the second layer. Next, in the same manner as the first layer, a TiO 2 film of about 340 Å was formed as a third layer. Next, introduce argon gas,
A chromium target was DC magnetron sputtered at a pressure of 4×10 -3 Torr to form a Cr film of about 35 Å as a fourth layer. Next, in the same manner as the first layer, a TiO 2 film of about 320 Å was formed as a fifth layer. The optical properties of the thus obtained heat ray reflective glass sample were measured and were as follows.
【表】
実施例 3
フロートガラス板からなるガラス基板を真空槽
にセツトし、1×10-5Torrまで排気した。次に
酸素ガスを導入し、圧力を3×10-3Torrにして、
錫ターゲツトを直流マグネトロンスパツタして、
室温のガラス基板上に約1100ÅのSnO2膜を第1
層として形成した。次に窒素ガスを導入し、圧力
を3×10-3Torrにしてクロムターゲツトを直流
マグネトロンスパツタして、約330ÅのCrN膜を
第2層として形成した。次に、第1層と同様にし
て、約410ÅのSnO2膜を第3層として形成した。
次に、アルゴンガスを導入して4×10-3Torrの
圧力でステンレスターゲツトを直流マグネトロン
スパツタして、約25ÅのSUS膜を第4層として
形成した。次に第1層と同様にして、約460Åの
SnO2膜を第5層として形成した。
このようにして得られた熱線反射ガラスサンプ
ルの光学特性を測定したところ、次のようになつ
た。[Table] Example 3 A glass substrate made of a float glass plate was set in a vacuum chamber, and the vacuum chamber was evacuated to 1×10 −5 Torr. Next, introduce oxygen gas and set the pressure to 3×10 -3 Torr.
Sputter a tin target with a DC magnetron,
First, a SnO 2 film of about 1100 Å is deposited on a glass substrate at room temperature.
Formed as a layer. Next, nitrogen gas was introduced, the pressure was set to 3×10 -3 Torr, and the chromium target was subjected to direct current magnetron sputtering to form a second layer of CrN with a thickness of about 330 Å. Next, a SnO 2 film with a thickness of about 410 Å was formed as a third layer in the same manner as the first layer.
Next, argon gas was introduced and the stainless steel target was subjected to direct current magnetron sputtering at a pressure of 4×10 -3 Torr to form a SUS film of approximately 25 Å as a fourth layer. Next, in the same way as the first layer, about 460 Å
A SnO 2 film was formed as the fifth layer. The optical properties of the thus obtained heat ray reflective glass sample were measured and were as follows.
【表】
[比較例]
比較例 1
フロートガラス板からなるガラス基板を真空槽
にセツトし、1×10-5Torrまで排気した。次に
窒素ガスを導入し、3×10-3Torrの圧力でチタ
ンターゲツトを直流マグネトロンスパツタし、室
温のガラス基板上に約900ÅのTiN膜を形成し
た。
このようにして得られた熱線反射ガラスサンプ
ルの光学特性を測定したところ、次のようになつ
た。[Table] [Comparative Examples] Comparative Example 1 A glass substrate made of a float glass plate was set in a vacuum chamber, and the vacuum chamber was evacuated to 1×10 -5 Torr. Next, nitrogen gas was introduced and the titanium target was subjected to direct current magnetron sputtering at a pressure of 3×10 -3 Torr to form a TiN film of about 900 Å on the glass substrate at room temperature. The optical properties of the thus obtained heat ray reflective glass sample were measured and were as follows.
【表】
比較例 2
フロートガラス板からなるガラス基板を真空槽
にセツトし、1×10-5Torrまで排気した。次に
酸素ガスを導入し圧力を3×10-3Torrにして錫
ターゲツトを直流マグネトロンスパツタして、室
温のガラス基板上に約1450ÅのSnO2膜を第1層
として形成した。次に窒素ガスを導入し、3×
10-3Torrの圧力でクロムターゲツトを直流マグ
ネトロンスパツタして、約450ÅのCrN膜を第2
層として形成した。次に第1層と同様にして約
250ÅのSnO2膜を形成した。
このようにして得られた試料の光学特性を測定
したところ、次の表のようになつた。[Table] Comparative Example 2 A glass substrate made of a float glass plate was set in a vacuum chamber and evacuated to 1×10 -5 Torr. Next, oxygen gas was introduced and the pressure was set to 3×10 -3 Torr, and a tin target was subjected to direct current magnetron sputtering to form a SnO 2 film of about 1450 Å as a first layer on the glass substrate at room temperature. Next, introduce nitrogen gas and
A second CrN film of about 450 Å was deposited by direct current magnetron sputtering on a chromium target at a pressure of 10 -3 Torr.
Formed as a layer. Next, in the same way as the first layer, about
A 250 Å SnO 2 film was formed. When the optical properties of the sample thus obtained were measured, the results were as shown in the following table.
【表】
[発明の効果]
以上の実施例と比較例を通じて明らかなよう
に、本発明によれば、室外側の反射色としては鮮
やかなゴールド色を保ちながら、室内側即ち膜形
成面側の反射色はニユートラルで、かつその反射
率が20%以下と低反射であるような新現な熱線反
射ガラスを得ることができる。
本発明をビルの窓ガラスに適用すれば外観がゴ
ールドで意匠性が高く、かつ室内側反射が低く、
反射色がニユートラルであるため、居住性も高い
ビル窓を形成することができる。又、透過率は5
〜50%程度であるため従来の熱線反射ガラスと同
じく太陽光を遮蔽し、冷房負荷を軽減する効果は
保持されている。[Table] [Effects of the Invention] As is clear from the above Examples and Comparative Examples, according to the present invention, while maintaining a bright gold color as a reflection color on the outdoor side, the reflection color on the indoor side, that is, on the film forming surface side, is reduced. It is possible to obtain a new type of heat-reflecting glass that has a neutral reflective color and a low reflectance of 20% or less. If the present invention is applied to the window glass of a building, it will have a gold exterior with a high design quality and have low indoor reflection.
Since the reflective color is neutral, it is possible to form building windows with high livability. Also, the transmittance is 5
Since it is about ~50%, it maintains the same effect as conventional heat-reflecting glass in blocking sunlight and reducing the cooling load.
第1,2図は、本発明の具体例に係る熱線反射
ガラスの一部の断面を模式的に示した断面図であ
り、第3図は実施例1により得られた熱線反射ガ
ラスの分光特性図である。
10,20……ガラス基板、11,22……窒
化物膜、12,14,21,23,25……酸化
物膜、13,24……金属膜、31……ガラス面
側の分光反射率曲線、32……膜形成面側の分光
反射率曲線、33……分光透過率曲線。
1 and 2 are cross-sectional views schematically showing a cross section of a part of a heat-ray reflective glass according to a specific example of the present invention, and FIG. 3 is a spectral characteristic of the heat-ray reflective glass obtained in Example 1. It is a diagram. 10, 20... Glass substrate, 11, 22... Nitride film, 12, 14, 21, 23, 25... Oxide film, 13, 24... Metal film, 31... Spectral reflectance on glass surface side Curve, 32... Spectral reflectance curve on the film forming surface side, 33... Spectral transmittance curve.
Claims (1)
酸化物層、金属層、酸化物層を積層させてなる、
ガラス基板側反射色がゴールドを呈し、かつ膜形
成面側反射色がニユートラル系で、反射率が20%
以下である熱線反射ガラスであつて、窒化物層の
材質がTi,Cr,Zr,Ta,Hfの窒化物及びこれら
を主成分とする複合窒化物の群から選ばれたもの
であることを特徴とする熱線反射ガラス。 2 酸化物層の材質がTi,Sn,In,Zn,Zr,
Ta,Hf,Crの酸化物及びこれらを主成分とする
複合酸化物の群から選ばれたものであることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の熱線反射ガ
ラス。 3 金属層の材質がTi,Cr,SUS,Zr,Hf,
Ta,Mo,W,Si及びこれらを主成分とする合金
の群から選ばれたものであることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の熱線反射ガラス。 4 ガラス基板上に、基板側から順次酸化物層、
窒化物層、酸化物層、金属層、酸化物層を積層さ
せてなる、ガラス基板側反射色がゴールドを呈
し、かつ膜形成面側反射色がニユートラル系で、
反射率が20%以下であることを特徴とする熱線反
射ガラス。 5 窒化物層の材質がTi,Cr,Zr,Ta,Hfの窒
化物及びこれらを主成分とする複合窒化物の群か
ら選ばれたものであることを特徴とする特許請求
の範囲第4項記載の熱線反射ガラス。 6 酸化物の材質がTi,Sn,In,Zn,Zr,Ta,
Hf,Crの酸化物及びこれらを主成分とする複合
酸化物の群から選ばれたものであることを特徴と
する特許請求の範囲第4項記載の熱線反射ガラ
ス。 7 金属の材質がTi,Cr,SUS,Zr,Hf,Ta,
Mo,W,Si及びこれらを主成分とする合金の群
から選ばれたものであることを特徴とする特許請
求の範囲第4項記載の熱線反射ガラス。[Claims] 1. On a glass substrate, a nitride layer is sequentially formed from the substrate side,
Made by laminating an oxide layer, a metal layer, and an oxide layer,
The reflection color on the glass substrate side is gold, and the reflection color on the film formation side is neutral, with a reflectance of 20%.
A heat ray reflective glass as described below, characterized in that the material of the nitride layer is selected from the group of nitrides of Ti, Cr, Zr, Ta, Hf and composite nitrides containing these as main components. Heat reflective glass. 2 The material of the oxide layer is Ti, Sn, In, Zn, Zr,
The heat ray reflective glass according to claim 1, characterized in that it is selected from the group of oxides of Ta, Hf, and Cr, and composite oxides containing these as main components. 3 The material of the metal layer is Ti, Cr, SUS, Zr, Hf,
The heat ray reflective glass according to claim 1, characterized in that it is selected from the group of Ta, Mo, W, Si and alloys containing these as main components. 4 On the glass substrate, oxide layers are sequentially formed from the substrate side,
It is made by laminating a nitride layer, an oxide layer, a metal layer, and an oxide layer, and the reflection color on the glass substrate side is gold, and the reflection color on the film formation side is neutral.
Heat reflective glass characterized by a reflectance of 20% or less. 5. Claim 4, characterized in that the material of the nitride layer is selected from the group of nitrides of Ti, Cr, Zr, Ta, and Hf, and composite nitrides containing these as main components. Heat reflective glass as described. 6 The material of the oxide is Ti, Sn, In, Zn, Zr, Ta,
The heat ray reflective glass according to claim 4, characterized in that the glass is selected from the group of oxides of Hf and Cr and composite oxides containing these as main components. 7 The metal material is Ti, Cr, SUS, Zr, Hf, Ta,
The heat ray reflective glass according to claim 4, characterized in that it is selected from the group of Mo, W, Si, and alloys containing these as main components.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16780687A JPS6414130A (en) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | Heat radiation reflecting glass |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16780687A JPS6414130A (en) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | Heat radiation reflecting glass |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6414130A JPS6414130A (en) | 1989-01-18 |
JPH0460062B2 true JPH0460062B2 (en) | 1992-09-25 |
Family
ID=15856453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16780687A Granted JPS6414130A (en) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | Heat radiation reflecting glass |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6414130A (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018030355A1 (en) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 日本電気硝子株式会社 | Decorative plate |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63100043A (en) * | 1986-10-15 | 1988-05-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Heat ray reflection glass |
-
1987
- 1987-07-07 JP JP16780687A patent/JPS6414130A/en active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63100043A (en) * | 1986-10-15 | 1988-05-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Heat ray reflection glass |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6414130A (en) | 1989-01-18 |
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